CN108908074A - 一种晶圆片抛光装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及晶圆加工设备附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆片抛光装置，其可以在放置板顶端设置可以调节尺寸的调节夹，从而可以固定多种尺寸的晶圆片；同时将抛光机固定在支架上工作，降低人为因素对抛光机加工精度的影响；同时可以提高粗轮抛光机和细轮抛光机切换使用的效率；包括操作台、放置板、晶圆片、粗轮抛光机和细轮抛光机；还包括两组挤压夹、拉伸弹簧、两组齿轮条、两组带动杆和同步齿轮，放置板的内部上侧区域设置有拉伸腔；还包括螺纹调节杆、两组轴承、升降杆、支撑横杆和两组限位轨，两组限位轨分别设置有两组滑动槽；还包括滑板、两组插销杆、两组挤压弹簧、两组限位片和两组拉伸钮。

Description

一种晶圆片抛光装置

技术领域

本发明涉及晶圆加工设备附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆片抛光装置。

背景技术

众所周知，晶圆片抛光装置是一种在晶圆片加工的过程中，用于对抛光晶圆片的装置，其在晶圆加工设备的领域中得到了广泛的使用；现有的晶圆片抛光装置包括操作台、放置板、晶圆片、粗轮抛光机和细轮抛光机，所述放置板的底端与操作台的顶端中部连接，所述放置板的顶端设置有放置槽；现有的晶圆片抛光装置使用时，首先将需要加工的晶圆片卡装在放置槽内，然后工作人员首先用粗轮抛光机对晶圆片加工面抛光，粗抛完毕之后，工作人员换用细轮抛光机对晶圆片加工面抛光即可；现有的晶圆片抛光装置使用中发现，首先放置板的放置槽尺寸是固定的，因为对加工的晶圆片的尺寸要求比较高，从而导致使用局限性较高；并且工作人员操作抛光机的时候无法保证抛光面的加工精度，从而导致可靠性较差；同时粗轮抛光机和细轮抛光机来回切换使用使加工效率降低，从而导致实用性较差。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种可以在放置板顶端设置可以调节尺寸的调节夹，从而可以固定多种尺寸的晶圆片，降低使用局限性；同时将抛光机固定在支架上工作，降低人为因素对抛光机加工精度的影响，从而增强了可靠性；同时可以提高粗轮抛光机和细轮抛光机切换使用的效率，从而增强实用性的晶圆片抛光装置。

本发明的一种晶圆片抛光装置，包括操作台、放置板、晶圆片、粗轮抛光机和细轮抛光机，所述放置板的底端与操作台的顶端中部连接，所述放置板的顶端设置有放置槽；还包括两组挤压夹、拉伸弹簧、两组齿轮条、两组带动杆和同步齿轮，所述放置板的内部上侧区域设置有拉伸腔，所述同步齿轮的中部转动设置有支撑轴，所述支撑轴的底端与拉伸腔的底端中部连接，所述支撑轴的顶端与拉伸腔的顶端中部连接，所述拉伸腔的顶端左侧和右侧均设置有滑动口，所述两组带动杆自拉伸腔外侧分别穿过两组滑动口并伸入到拉伸腔内，所述两组带动杆的顶端分别与两组挤压夹的底端中部连接，所述两组带动杆的底端分别与两组齿轮条的固定端连接，所述两组齿轮条的齿牙端分别与同步齿轮的前端和后端咬合，所述拉伸弹簧的左端和右端分别与两组带动杆的内侧壁中部连接；还包括螺纹调节杆、两组轴承、升降杆、支撑横杆和两组限位轨，所述两组限位轨的底端分别与操作台的顶端的左侧和右侧连接，所述两组限位轨分别设置有两组滑动槽，所述升降杆的两端分别设置有两组滑片，所述两组滑片分别与两组滑动槽滑动连接，所述两组限位轨的顶端分别与支撑横杆的左端和右端连接，所述支撑横杆的顶端和底端的中部连通设置有连通孔，所述升降杆的顶端和底端的左侧和右侧分别连通设置有两组转动孔，所述升降杆的底端和顶端的中部连通设置有螺纹孔，所述螺纹调节杆的螺纹端自支撑横杆的上侧穿过连通孔并伸出至支撑横杆的下侧，并且所述螺纹调节杆的螺纹端自升降杆的顶端螺接穿过螺纹孔并伸出至升降杆的下侧，所述两组轴承均与螺纹调节杆的上侧转动套装，所述两组轴承包括上轴承和下轴承，所述上轴承的底端与支撑横杆的顶端中部紧贴，所述下轴承的顶端与支撑横杆的底端中部紧贴，所述粗轮抛光机和细轮抛光机均设置有双腿支架，所述两组双腿支架的支撑端分别与升降杆的顶端的左侧和右侧连接，所述粗轮抛光机的输出轴和细轮抛光机的输出轴分别自升降杆的顶端穿过两组转动孔并伸出至升降杆的下侧，所述粗轮抛光机的输出轴底端设置有粗抛光轮，所述细轮抛光机的输出轴底端设置有细抛光轮；还包括滑板、两组插销杆、两组挤压弹簧、两组限位片和两组拉伸钮，所述放置板的左端和右端中部连通设置有位移孔，所述滑板的左端自位移孔的右端穿过位移孔并伸出至位移孔的左侧，所述滑板的两端分别与两组限位轨的内侧壁的下侧连接，所述滑板底端的左侧和右侧分别设置有两组限位孔，所述放置板的内部下侧设置有两组压缩腔，所述两组压缩腔的顶端均设置有伸出口，所述两组压缩腔的底端设置有调节口，所述两组插销杆的顶端分别自两组调节口的下侧穿过调节口并分别伸入到两组压缩腔内，然后两组插销杆的顶端分别自两组限位孔下侧穿过两组限位孔并分别伸出至两组限位孔的上侧，所述两组插销杆的顶端与滑板的底端紧贴，所述两组插销杆的底端分别与两组拉伸钮的顶端连接，所述两组挤压弹簧分别活动套装在两组插销杆上，所述两组挤压弹簧的顶端分别与两组限位片的底端连接，所述两组挤压弹簧底端分别与两组压缩腔的底端连接，所述两组限位片分别与两组插销杆的中部套装。

本发明的一种晶圆片抛光装置，还包括推动把手，所述推动把手的固定端与两组挤压夹的左侧挤压夹的外侧壁中部连接。

本发明的一种晶圆片抛光装置，还包括两组防滑胶条，所述两组防滑胶条分别粘贴在两组挤压夹的内侧壁的中部区域。

本发明的一种晶圆片抛光装置，还包括调节标尺和指针，所述调节标尺粘贴在两组限位轨的右端限位轨的前侧壁中上部，所述指针粘贴在升降杆前侧壁的右侧。

本发明的一种晶圆片抛光装置，还包括托盘和研磨抛光液，所述托盘的左端与两组限位轨中的右侧限位轨的右侧壁下侧连接，所述托盘内设置有盛放腔，所述盛放腔的顶端设置有放置口，所述研磨抛光液的固定端自放置口上方穿过放置口并伸入到盛放腔内部，索虎研磨抛光液的底端与盛放腔的底端紧贴。

本发明的一种晶圆片抛光装置，还包括防护板，所述防护板的内侧壁底部区域设置有多组连接杆，所述多组连接杆的固定端均与放置板的圆周侧壁的上部区域连接，并且多组连接杆在放置板的圆周侧壁上均匀分布。

本发明的一种晶圆片抛光装置，还包括收集圆盘，所述收集圆盘的底端内侧壁的中部设置有挂杆，所述挂杆的顶端与螺纹调节杆的底端连接。

本发明的一种晶圆片抛光装置，还包括限位块，所述限位块的左侧壁与左侧限位轨的内侧壁的上侧连接。

与现有技术相比本发明的有益效果为：首先拉动推动把手将左侧的挤压夹拽动，左侧挤压夹的齿轮条带动同步齿轮转动，此时同步齿轮同样带动右侧挤压夹的同步齿轮条向外侧移动，从而两组挤压夹之间的距离增大，然后将需要加工的晶圆片放入到两组挤压夹之间，这时不再对推动把手施加拉力，两组挤压夹在拉伸弹簧的拉动下靠拢直到将晶圆片固定牢靠，从而可以实现对多种尺寸的晶圆片的夹放，降低了使用局限性；并且将两组抛光机固定在升降杆上，通过转动螺纹调节杆可以使两组抛光机跟随升降杆分别沿着两组限位轨上下移动而不会发生滑动，从而降低了人为因素抛光机加工精度的影响，增强了可靠性；再有放置板通过滑动到滑板的左侧和右侧可以实现快速切换粗抛和细抛，并且选择好了抛光轮之后，插销杆会在挤压弹簧的挤压下***到限位孔内限位，当需要切换抛光轮时，只需要拉动拉伸钮使插销杆在限位孔内***，然后滑动放置板即可，从而增加了粗轮抛光机和洗轮抛光机的切换效率，从而增强了实用性。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明的限位轨和升降杆的连接结构示意图；

图3是本发明的A的局部放大结构示意图；

图4是本发明的两组挤压夹和放置板的连接结构示意图；

图5是本发明的两组齿轮条和同步齿轮的连接结构示意图；

附图中标记：1、操作台；2、放置板；3、晶圆片；4、粗轮抛光机；5、细轮抛光机；6、两组挤压夹；7、拉伸弹簧；8、两组齿轮条；9、两组带动杆；10、同步齿轮；11、螺纹调节杆；12、两组轴承；13、升降杆；14、支撑横杆；15、两组限位轨；16、滑板；17、两组插销杆；18、两组挤压弹簧；19、两组限位片；20、两组拉伸钮；21、推动把手；22、两组防滑胶条；23、调节标尺；24、指针；25、托盘；26、托盘；27、防护板；28、收集圆盘；29、限位块。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图1至图5所示，本发明的一种晶圆片抛光装置，包括操作台1、放置板2、晶圆片3、粗轮抛光机4和细轮抛光机5，放置板的底端与操作台的顶端中部连接，放置板的顶端设置有放置槽；还包括两组挤压夹6、拉伸弹簧7、两组齿轮条8、两组带动杆9和同步齿轮10，放置板的内部上侧区域设置有拉伸腔，同步齿轮的中部转动设置有支撑轴，支撑轴的底端与拉伸腔的底端中部连接，支撑轴的顶端与拉伸腔的顶端中部连接，拉伸腔的顶端左侧和右侧均设置有滑动口，两组带动杆自拉伸腔外侧分别穿过两组滑动口并伸入到拉伸腔内，两组带动杆的顶端分别与两组挤压夹的底端中部连接，两组带动杆的底端分别与两组齿轮条的固定端连接，两组齿轮条的齿牙端分别与同步齿轮的前端和后端咬合，拉伸弹簧的左端和右端分别与两组带动杆的内侧壁中部连接；还包括螺纹调节杆11、两组轴承12、升降杆13、支撑横杆14和两组限位轨15，两组限位轨的底端分别与操作台的顶端的左侧和右侧连接，两组限位轨分别设置有两组滑动槽，升降杆的两端分别设置有两组滑片，两组滑片分别与两组滑动槽滑动连接，两组限位轨的顶端分别与支撑横杆的左端和右端连接，支撑横杆的顶端和底端的中部连通设置有连通孔，升降杆的顶端和底端的左侧和右侧分别连通设置有两组转动孔，升降杆的底端和顶端的中部连通设置有螺纹孔，螺纹调节杆的螺纹端自支撑横杆的上侧穿过连通孔并伸出至支撑横杆的下侧，并且螺纹调节杆的螺纹端自升降杆的顶端螺接穿过螺纹孔并伸出至升降杆的下侧，两组轴承均与螺纹调节杆的上侧转动套装，两组轴承包括上轴承和下轴承，上轴承的底端与支撑横杆的顶端中部紧贴，下轴承的顶端与支撑横杆的底端中部紧贴，粗轮抛光机和细轮抛光机均设置有双腿支架，两组双腿支架的支撑端分别与升降杆的顶端的左侧和右侧连接，粗轮抛光机的输出轴和细轮抛光机的输出轴分别自升降杆的顶端穿过两组转动孔并伸出至升降杆的下侧，粗轮抛光机的输出轴底端设置有粗抛光轮，细轮抛光机的输出轴底端设置有细抛光轮；还包括滑板16、两组插销杆17、两组挤压弹簧18、两组限位片19和两组拉伸钮20，放置板的左端和右端中部连通设置有位移孔，滑板的左端自位移孔的右端穿过位移孔并伸出至位移孔的左侧，滑板的两端分别与两组限位轨的内侧壁的下侧连接，滑板底端的左侧和右侧分别设置有两组限位孔，放置板的内部下侧设置有两组压缩腔，两组压缩腔的顶端均设置有伸出口，两组压缩腔的底端设置有调节口，两组插销杆的顶端分别自两组调节口的下侧穿过调节口并分别伸入到两组压缩腔内，然后两组插销杆的顶端分别自两组限位孔下侧穿过两组限位孔并分别伸出至两组限位孔的上侧，两组插销杆的顶端与滑板的底端紧贴，两组插销杆的底端分别与两组拉伸钮的顶端连接，两组挤压弹簧分别活动套装在两组插销杆上，两组挤压弹簧的顶端分别与两组限位片的底端连接，两组挤压弹簧底端分别与两组压缩腔的底端连接，两组限位片分别与两组插销杆的中部套装；首先拉动推动把手将左侧的挤压夹拽动，左侧挤压夹的齿轮条带动同步齿轮转动，此时同步齿轮同样带动右侧挤压夹的同步齿轮条向外侧移动，从而两组挤压夹之间的距离增大，然后将需要加工的晶圆片放入到两组挤压夹之间，这时不再对推动把手施加拉力，两组挤压夹在拉伸弹簧的拉动下靠拢直到将晶圆片固定牢靠，从而可以实现对多种尺寸的晶圆片的夹放，降低了使用局限性；并且将两组抛光机固定在升降杆上，通过转动螺纹调节杆可以使两组抛光机跟随升降杆分别沿着两组限位轨上下移动而不会发生滑动，从而降低了人为因素抛光机加工精度的影响，增强了可靠性；再有放置板通过滑动到滑板的左侧和右侧可以实现快速切换粗抛和细抛，并且选择好了抛光轮之后，插销杆会在挤压弹簧的挤压下***到限位孔内限位，当需要切换抛光轮时，只需要拉动拉伸钮使插销杆在限位孔内***，然后滑动放置板即可，从而增加了粗轮抛光机和洗轮抛光机的切换效率，从而增强了实用性。

本发明的一种晶圆片抛光装置，还包括推动把手21，推动把手的固定端与两组挤压夹的左侧挤压夹的外侧壁中部连接；通过推动把手可以更加便利的拉动两组挤压夹，提高了晶圆片的夹放效率，从而增强了便捷性。

本发明的一种晶圆片抛光装置，还包括两组防滑胶条22，两组防滑胶条分别粘贴在两组挤压夹的内侧壁的中部区域；两组挤压夹分别通过两组防滑胶条与晶圆片接触可以增加了固定的牢固度，并且两组防滑胶条可以减少对晶圆片的损坏，从而增加了实用性。

本发明的一种晶圆片抛光装置，还包括调节标尺23和指针24，调节标尺粘贴在两组限位轨的右端限位轨的前侧壁中上部，指针粘贴在升降杆前侧壁的右侧；通过观察指针在调节标尺上的位置变化，可以精确的控制抛光机的下降距离，便于控制对晶圆片的抛光强度，从而增加了实用性。

本发明的一种晶圆片抛光装置，还包括托盘25和研磨抛光液26，托盘的左端与两组限位轨中的右侧限位轨的右侧壁下侧连接，托盘内设置有盛放腔，盛放腔的顶端设置有放置口，研磨抛光液的固定端自放置口上方穿过放置口并伸入到盛放腔内部，索虎研磨抛光液的底端与盛放腔的底端紧贴；通过在限位轨上设置托盘使研磨抛光液的取放更加的便捷，同时研磨抛光液可以提高晶圆片的抛光效果，从而降低了使用局限性。

本发明的一种晶圆片抛光装置，还包括防护板27，防护板的内侧壁底部区域设置有多组连接杆，多组连接杆的固定端均与放置板的圆周侧壁的上部区域连接，并且多组连接杆在放置板的圆周侧壁上均匀分布；防护板可以防止晶圆片在抛光的过程中产生的废屑和研磨抛光液的飞溅，从而增加了安全性。

本发明的一种晶圆片抛光装置，还包括收集圆盘28，收集圆盘的底端内侧壁的中部设置有挂杆，挂杆的顶端与螺纹调节杆的底端连接；在使用螺纹调节杆调节升降杆的时候，螺纹杆与螺纹孔摩擦会产生废屑，并且为了降低螺纹杆和螺纹孔的摩擦力，螺纹杆上会滴加润滑油，通过设置收集圆盘可以有效的防止废屑和润滑油滴落到晶圆片上，从而增强了实用性。

本发明的一种晶圆片抛光装置，还包括限位块29，限位块的左侧壁与左侧限位轨的内侧壁的上侧连接；通过限位块对升降杆限位可以防止两组抛光轮的电机撞碰到支撑横杆，从而增加了安全性。

本发明的一种晶圆片抛光装置，其在工作时，首先将需要加工的晶圆片卡装在放置槽内，然后工作人员首先用粗轮抛光机对晶圆片加工面抛光，粗抛完毕之后，工作人员换用细轮抛光机对晶圆片加工面抛光即可；在完成上述动作之前，首先拉动推动把手将左侧的挤压夹拽动，左侧挤压夹的齿轮条带动同步齿轮转动，此时同步齿轮同样带动右侧挤压夹的同步齿轮条向外侧移动，从而两组挤压夹之间的距离增大，然后将需要加工的晶圆片放入到两组挤压夹之间，这时不再对推动把手施加拉力，两组挤压夹在拉伸弹簧的拉动下靠拢直到将晶圆片固定牢靠；并且将两组抛光机固定在升降杆上，通过转动螺纹调节杆可以使两组抛光机跟随升降杆分别沿着两组限位轨上下移动而不会发生滑动；再有放置板通过滑动到滑板的左侧和右侧可以实现快速切换粗抛和细抛，并且选择好了抛光轮之后，插销杆会在挤压弹簧的挤压下***到限位孔内限位，当需要切换抛光轮时，只需要拉动拉伸钮使插销杆在限位孔内***，然后滑动放置板即可。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种晶圆片抛光装置，包括操作台（1）、放置板（2）、晶圆片（3）、粗轮抛光机（4）和细轮抛光机（5），所述放置板（2）的底端与操作台（1）的顶端中部连接，所述放置板（2）的顶端设置有放置槽；其特征在于，还包括两组挤压夹（6）、拉伸弹簧（7）、两组齿轮条（8）、两组带动杆（9）和同步齿轮（10），所述放置板（2）的内部上侧区域设置有拉伸腔，所述同步齿轮（10）的中部转动设置有支撑轴，所述支撑轴的底端与拉伸腔的底端中部连接，所述支撑轴的顶端与拉伸腔的顶端中部连接，所述拉伸腔的顶端左侧和右侧均设置有滑动口，所述两组带动杆（9）自拉伸腔外侧分别穿过两组滑动口并伸入到拉伸腔内，所述两组带动杆（9）的顶端分别与两组挤压夹（6）的底端中部连接，所述两组带动杆（9）的底端分别与两组齿轮条（8）的固定端连接，所述两组齿轮条（8）的齿牙端分别与同步齿轮（10）的前端和后端咬合，所述拉伸弹簧（7）的左端和右端分别与两组带动杆（9）的内侧壁中部连接；还包括螺纹调节杆（11）、两组轴承（12）、升降杆（13）、支撑横杆（14）和两组限位轨（15），所述两组限位轨（15）的底端分别与操作台（1）的顶端的左侧和右侧连接，所述两组限位轨（15）分别设置有两组滑动槽，所述升降杆（13）的两端分别设置有两组滑片，所述两组滑片分别与两组滑动槽滑动连接，所述两组限位轨（15）的顶端分别与支撑横杆（14）的左端和右端连接，所述支撑横杆（14）的顶端和底端的中部连通设置有连通孔，所述升降杆（13）的顶端和底端的左侧和右侧分别连通设置有两组转动孔，所述升降杆（13）的底端和顶端的中部连通设置有螺纹孔，所述螺纹调节杆（11）的螺纹端自支撑横杆（14）的上侧穿过连通孔并伸出至支撑横杆（14）的下侧，并且所述螺纹调节杆（11）的螺纹端自升降杆（13）的顶端螺接穿过螺纹孔并伸出至升降杆（13）的下侧，所述两组轴承（12）均与螺纹调节杆（11）的上侧转动套装，所述两组轴承（12）包括上轴承和下轴承，所述上轴承的底端与支撑横杆（14）的顶端中部紧贴，所述下轴承的顶端与支撑横杆（14）的底端中部紧贴，所述粗轮抛光机（4）和细轮抛光机（5）均设置有双腿支架，所述两组双腿支架的支撑端分别与升降杆（13）的顶端的左侧和右侧连接，所述粗轮抛光机（4）的输出轴和细轮抛光机（5）的输出轴分别自升降杆（13）的顶端穿过两组转动孔并伸出至升降杆（13）的下侧，所述粗轮抛光机（4）的输出轴底端设置有粗抛光轮，所述细轮抛光机（5）的输出轴底端设置有细抛光轮；还包括滑板（16）、两组插销杆（17）、两组挤压弹簧（18）、两组限位片（19）和两组拉伸钮（20），所述放置板（2）的左端和右端中部连通设置有位移孔，所述滑板（16）的左端自位移孔的右端穿过位移孔并伸出至位移孔的左侧，所述滑板（16）的两端分别与两组限位轨（15）的内侧壁的下侧连接，所述滑板（16）底端的左侧和右侧分别设置有两组限位孔，所述放置板（2）的内部下侧设置有两组压缩腔，所述两组压缩腔的顶端均设置有伸出口，所述两组压缩腔的底端设置有调节口，所述两组插销杆（17）的顶端分别自两组调节口的下侧穿过调节口并分别伸入到两组压缩腔内，然后两组插销杆（17）的顶端分别自两组限位孔下侧穿过两组限位孔并分别伸出至两组限位孔的上侧，所述两组插销杆（17）的顶端与滑板（16）的底端紧贴，所述两组插销杆（17）的底端分别与两组拉伸钮（20）的顶端连接，所述两组挤压弹簧（18）分别活动套装在两组插销杆（17）上，所述两组挤压弹簧（18）的顶端分别与两组限位片（19）的底端连接，所述两组挤压弹簧（18）底端分别与两组压缩腔的底端连接，所述两组限位片（19）分别与两组插销杆（17）的中部套装。

2.如权利要求1所述的一种晶圆片抛光装置，其特征在于，还包括推动把手（21），所述推动把手（21）的固定端与两组挤压夹（6）的左侧挤压夹的外侧壁中部连接。

3.如权利要求2所述的一种晶圆片抛光装置，其特征在于，还包括两组防滑胶条（22），所述两组防滑胶条（22）分别粘贴在两组挤压夹（6）的内侧壁的中部区域。

4.如权利要求3所述的一种晶圆片抛光装置，其特征在于，还包括调节标尺（23）和指针（24），所述调节标尺（23）粘贴在两组限位轨（15）的右端限位轨的前侧壁中上部，所述指针（24）粘贴在升降杆（13）前侧壁的右侧。

5.如权利要求4所述的一种晶圆片抛光装置，其特征在于，还包括托盘（25）和研磨抛光液（26），所述托盘（25）的左端与两组限位轨（15）中的右侧限位轨的右侧壁下侧连接，所述托盘（25）内设置有盛放腔，所述盛放腔的顶端设置有放置口，所述研磨抛光液（26）的固定端自放置口上方穿过放置口并伸入到盛放腔内部，索虎研磨抛光液（26）的底端与盛放腔的底端紧贴。

6.如权利要求5所述的一种晶圆片抛光装置，其特征在于，还包括防护板（27），所述防护板（27）的内侧壁底部区域设置有多组连接杆，所述多组连接杆的固定端均与放置板（2）的圆周侧壁的上部区域连接，并且多组连接杆在放置板（2）的圆周侧壁上均匀分布。

7.如权利要求6所述的一种晶圆片抛光装置，其特征在于，还包括收集圆盘（28），所述收集圆盘（28）的底端内侧壁的中部设置有挂杆，所述挂杆的顶端与螺纹调节杆（11）的底端连接。

8.如权利要求7所述的一种晶圆片抛光装置，其特征在于，还包括限位块（29），所述限位块（29）的左侧壁与左侧限位轨的内侧壁的上侧连接。