CN108828909A - 一种显影*** - Google Patents

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裴立志
郑泽钢
施威健
时庆文
周伟杰
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Truly Opto Electronics Ltd
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Truly Opto Electronics Ltd
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/30Imagewise removal using liquid means

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Abstract

本发明公开了一种显影***,所述显影***包括:显影液存储装置、PH值调节溶液存储装置、控制装置、第一检测器及第二检测器;其中,所述第一检测器用于检测所述显影液存储装置中显影液的PH值;所述第二检测器用于检测所述显影液存储装置中显影液的透过率;所述控制装置用于当所述PH值低于第一预设值时,控制所述PH值调节溶液存储装置向所述显影液存储装置中填充PH值调节溶液;所述控制装置还用于当所述透过率低于第二预设值时,使所述显影***停止运行。该显影***可以实时对显影液的质量进行检测,提高显影质量。

Description

一种显影***
技术领域
本发明涉及显影工艺技术领域,更具体地说,尤其涉及一种显影***。
背景技术
随着科学技术的不断发展,显影工艺已广泛应用于各个领域中,是工艺制作中占据重要的地位。
其中,显影液在显影工艺中必不可缺少的,显影液的质量会影响最终的显影效果。
但是,目前并没有一种显影***可以实时对显影液的质量进行检测。
发明内容
为解决上述问题,本发明提供了一种显影***可以实时对显影液的质量进行检测,提高显影质量。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种显影***,所述显影***包括:显影液存储装置、PH值调节溶液存储装置、控制装置、第一检测器及第二检测器;
其中,所述第一检测器用于检测所述显影液存储装置中显影液的PH值;
所述第二检测器用于检测所述显影液存储装置中显影液的透过率;
所述控制装置用于当所述PH值低于第一预设值时,控制所述PH值调节溶液存储装置向所述显影液存储装置中填充PH值调节溶液;
所述控制装置还用于当所述透过率低于第二预设值时,使所述显影***停止运行。
优选的,在上述显影***中,所述控制装置用于当所述PH值低于第一预设值时,控制所述PH值调节溶液存储装置向所述显影液存储装置中填充PH值调节溶液包括:
当所述PH值低于所述第一预设值时,所述控制装置控制所述显影***停止运行,再控制所述PH值调节溶液存储装置向所述显影液存储装置中填充所述PH值调节溶液。
优选的,在上述显影***中,所述显影***还包括:循环装置;
其中,所述循环装置用于当所述PH值调节溶液存储装置向所述显影液存储装置中填充所述PH值调节溶液后,使混合后的溶液混合均匀。
优选的,在上述显影***中,所述控制装置还用于当所述循环装置运行预设时间后,控制所述显影***开始运行。
优选的,在上述显影***中,所述显影***还包括:提示装置;
其中,当所述透过率低于第二预设值时,所述控制装置控制所述显影***停止运行,且控制所述提示装置发出报警提示。
优选的,在上述显影***中,所述提示装置为声光报警器。
优选的,在上述显影***中,所述PH值调节溶液为碱性溶液。
通过上述描述可知,本发明提供的一种显影***,所述显影***包括:显影液存储装置、PH值调节溶液存储装置、控制装置、第一检测器及第二检测器;其中,所述第一检测器用于检测所述显影液存储装置中显影液的PH值;所述第二检测器用于检测所述显影液存储装置中显影液的透过率;所述控制装置用于当所述PH值低于第一预设值时,控制所述PH值调节溶液存储装置向所述显影液存储装置中填充PH值调节溶液;所述控制装置还用于当所述透过率低于第二预设值时,使所述显影***停止运行。
该显影***通过控制装置、第一检测器及第二检测器对显影液存储装置中的显影液进行实时检测,以提高最终的显影质量。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种显影***的示意图;
图2为本发明实施例提供的另一种显影***的示意图;
图3为本发明实施例提供的又一种显影***的示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
参考图1,图1为本发明实施例提供的一种显影***的示意图,所述显影***包括:显影液存储装置11、PH值调节溶液存储装置12、控制装置15、第一检测器13及第二检测器14。
其中,所述第一检测器13用于检测所述显影液存储装置11中显影液的PH值;
所述第二检测器14用于检测所述显影液存储装置11中显影液的透过率;
所述控制装置15用于当所述PH值低于第一预设值时,控制所述PH值调节溶液存储装置12向所述显影液存储装置11中填充PH值调节溶液;
所述控制装置15还用于当所述透过率低于第二预设值时,使所述显影***停止运行。
具体的,所述PH值调节溶液存储装置中存储有用于调节显影液PH值的PH值调节溶液,通过控制装置和第一检测器,对显影液的PH值进行实时检测,当所述PH值低于第一预设值时,控制所述PH值调节溶液存储装置向所述显影液存储装置中填充PH值调节溶液,以解决显影液PH值低于预设值而影响显影质量的问题。
并且,通过控制装置和第二检测器实时对显影液的透过率进行检测,当透过率低于第二预设值时,使所述显影***停止运行,待显影液更换完成后,再启动运行。
该显影***实现了对显影液质量的实时监控,进而提高显影质量。
进一步的,所述控制装置15用于当所述PH值低于第一预设值时,控制所述PH值调节溶液存储装置12向所述显影液存储装置11中填充PH值调节溶液包括:
当所述PH值低于所述第一预设值时,所述控制装置15控制所述显影***停止运行,再控制所述PH值调节溶液存储装置12向所述显影液存储装置11中填充所述PH值调节溶液。
具体的,当所述PH值低于所述第一预设值时,首先将显影***停止运行,保证显影质量的情况下,对显影液的PH值进行调节。
进一步的,如图2所示,所述显影***还包括:循环装置16。
其中,所述循环装置16用于当所述PH值调节溶液存储装置12向所述显影液存储装置11中填充所述PH值调节溶液后,使混合后的溶液混合均匀。
具体的,所述循环装置16用于将混合后的溶液持续循环预设时间,保证混合后的溶液能充分混合均匀。
进一步的,所述控制装置15还用于当所述循环装置16运行预设时间后,控制所述显影***开始运行。
具体的,通过设置该预设时间,可以保证混合后的显影液的PH值均匀,也进一步提高了显影质量。
进一步的,如图3所示,所述显影***还包括:提示装置17。
其中,当所述透过率低于第二预设值时,所述控制装置15控制所述显影***停止运行,且控制所述提示装置17发出报警提示。
具体的,所述提示装置17包括但不限于为声光报警器。提示装置17发出报警提示时,工作人员对显影液进行更换,可以提高生产效率。
进一步的,所述PH值调节溶液为高浓度的碱性溶液。
具体的,该碱性溶液在本发明实施例中并不作限定,根据显影液的不同采用不同浓度不同成分的碱性溶液。
通过上述描述可知,该显影***可以实时对显影液的质量进行检测,提高显影质量,提高了生产效率。
对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (7)

1.一种显影***,其特征在于,所述显影***包括:显影液存储装置、PH值调节溶液存储装置、控制装置、第一检测器及第二检测器;
其中,所述第一检测器用于检测所述显影液存储装置中显影液的PH值;
所述第二检测器用于检测所述显影液存储装置中显影液的透过率;
所述控制装置用于当所述PH值低于第一预设值时,控制所述PH值调节溶液存储装置向所述显影液存储装置中填充PH值调节溶液;
所述控制装置还用于当所述透过率低于第二预设值时,使所述显影***停止运行。
2.根据权利要求1所述的显影***,其特征在于,所述控制装置用于当所述PH值低于第一预设值时,控制所述PH值调节溶液存储装置向所述显影液存储装置中填充PH值调节溶液包括:
当所述PH值低于所述第一预设值时,所述控制装置控制所述显影***停止运行,再控制所述PH值调节溶液存储装置向所述显影液存储装置中填充所述PH值调节溶液。
3.根据权利要求2所述的显影***,其特征在于,所述显影***还包括:循环装置;
其中,所述循环装置用于当所述PH值调节溶液存储装置向所述显影液存储装置中填充所述PH值调节溶液后,使混合后的溶液混合均匀。
4.根据权利要求3所述的显影***,其特征在于,所述控制装置还用于当所述循环装置运行预设时间后,控制所述显影***开始运行。
5.根据权利要求1所述的显影***,其特征在于,所述显影***还包括:提示装置;
其中,当所述透过率低于第二预设值时,所述控制装置控制所述显影***停止运行,且控制所述提示装置发出报警提示。
6.根据权利要求5所述的显影***,其特征在于,所述提示装置为声光报警器。
7.根据权利要求1所述的显影***,其特征在于,所述PH值调节溶液为碱性溶液。
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