CN108787645A - 管路清洁组件及管路清洁方法 - Google Patents
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Abstract
本申请提供一种管路清洁组件及管路清洁方法。所述管路清洁组件包括加热机构和输气管道，加热机构用于对气体加热，输气管道与待清洁的管路导通，并将加热后的气体通入所述管路。基于此，本申请能够在清洁管路的同时，有利于提高设备运行时间，减少产能损失。
Description
技术领域
本申请涉及显示技术领域，具体涉及显示器件的制造设备的清洁领域，尤其涉及一种管路清洁组件及管路清洁方法。
背景技术
在显示装置的制程中，各制造设备会产生大量的粉尘类污染物，这些不能被排放的污染物冷却后会粘附在管路的侧壁上，不仅会造成管路负压不足或者堵塞，容易引起设备宕机，影响设备正常运行，而且污染物会腐蚀密封圈，加快其老化，增加管路气体泄露的风险。为了解决该问题，现有技术一般关停设备，并定期拆开管路对管路进行保养。但是，该技术必须设备停机较长时间，会严重影响产能。
发明内容
鉴于此，本申请提供一种管路清洁组件及管路清洁方法，能够在清洁管路的同时，有利于提高设备运行时间，减少产能损失。
本申请一实施例的管路清洁组件，包括加热机构和输气管道，所述加热机构用于对气体加热，所述输气管道与待清洁的管路导通，并将加热后的气体通入所述管路。
本申请一实施例的管路清洁方法，包括：
提供一管路清洁组件，其包括加热机构和输气管道；
所述加热机构对气体加热；
将所述输气管道与待清洁的管路导通；
所述输气管道将加热后的气体通入所述管路。
有益效果：本申请设计管路清洁组件包括加热机构和输气管道，在气体通入管路之前，加热机构对气体进行加热，输气管道与待清洁的管路导通，以将加热的气体通入管路，气体传导热量给粉尘类污染物，使得粉尘类污染物不易凝结，有利于管路内的防堵，由于无需拆开管路进行保养，因此有利于提高设备运行时间，减少产能损失。
附图说明
图1是本申请一实施例的管路清洁组件的结构示意图；
图2是本申请一实施例的管路清洁方法的流程示意图。
具体实施方式
本申请的主要目的是：设计管路清洁组件包括加热机构和输气管道，加热机构对气体进行加热，输气管道接通待清洁的管路以将加热的气体通入管路，气体传导热量给粉尘类污染物，使得粉尘类污染物不易凝结，以此有利于管路内的防堵，在整个清洁过程中，由于无需拆开管路进行保养，因此有利于提高设备运行时间，减少产能损失。
本申请的管路清洁组件可以适用于显示装置制造领域中含有特气制程的制造设备，例如化学气相沉积机、干法刻蚀机、柔性封装机。其中，所述特气制程通入的气体与输气管道通入的气体不同，输气管道通入的气体不会与特气制程所涉及的任何材料产生反应，于此，本申请优选输气管道通入的气体为惰性气体，例如氦(He)气。另外，所述显示装置可为柔性显示装置，包括但不限于为OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)显示器、AMOLED(Active-matrix organic light emitting diode,有源矩阵发光二极管)显示器。
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请所提供的各个示例性的实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。在不冲突的情况下，下述各个实施例及其技术特征可以相互组合。并且，本申请全文所采用的方向性术语，例如“上”、“下”等，均是为了更好的描述各个实施例的技术方案，并非用于限制本申请的保护范围。
图1是本申请一实施例的管路清洁组件的结构示意图。请参阅图1所示，所述管路清洁组件10包括加热机构11和输气管道12，输气管道12可以为内部中空的管体，输气管道12的一端与待清洁的管路20导通，输气管道12的另一端与加热机构11连接。
所述加热机构11包括加热电阻丝以及呈螺旋状设置的管道111，所述加热电阻丝设于管道111的内侧，所述管道111与输气管道12导通。其中，螺旋状的管道111可以增大气体(例如氦气)的流通行程，使气体与加热电阻丝的接触时间更久，热传递更加充分，从而达到较高的加热效率。在实际应用场景中，加热机构11可以设置有壳体，所述管道111和加热电阻丝位于该壳体内，并且该壳体可以设置有隔热层，该隔热层贴附于壳体的内壁或者包裹于壳体的外侧。
所述输气管道12可采用耐高温及耐酸碱材质制得，其材质包括但不限于PVC(Polyvinyl chloride,聚氟乙烯)、PE(Polyethylene,聚乙烯)、PP(Polypropylene,聚丙烯)、PFA(Polytetrafluoro ethylene,聚四氟乙烯)。并且，输气管道12与管路20导通的一端可设有吹扫喷嘴，吹扫喷嘴将加热后的气体通入管路20中对易塞部位进行吹扫。
如图1所示，虚线箭头表示惰性气体的走向，粗实线表示特气制程的气体的走向，在对管路20清洁时，加热机构11用于对气体进行加热，输气管道将加热后的气体通入待清洁的管路20，气体传导热量给粉尘类污染物，使得粉尘类污染物不易凝结，降低污染物粘附在管路20侧壁上的几率，从而有利于管路20内的防堵，由于无需拆开管路20进行保养，因此有利于提高设备运行时间，减少产能损失。
应该理解到，在对用于特气制程的管路20进行清洁时，输气管道12通入的气体与管路20通入的气体相混合，此时，输气管道12通入的气体更重要的是传导热量给管路20内的粉尘类污染物，使得粉尘类污染物不易凝结。而在对非用于特气制程的管路20、以及特气制程开始之前或结束后的管路20进行清洁时，输气管道12通入的气体还可以通过自身流速，造成管路20内部产生负压，有助于将管路20内的粉尘类污染物排出，进一步有利于管路20内的防堵。
在应用场景中，所述输气管道12可以接入管路20的多个位置，例如，结合图1所示，对具有泵(Pump)21和气体洗涤器(scrubber)22的制程设备进行清洁时，输气管道12可以在气体到达泵21之前接入管路20，也可以接入管路20的泵21和气体洗涤器22之间的部分。
请继续参阅图1，本申请的管路清洁组件10还可以包括温控机构13、调压机构14和流量计15中的至少一者。温控机构13可以连接与电源131和加热机构11之间，用以控制加热机构11调节对气体的加热温度。该温控机构13可以为PID(Proportion-Integral-Derivative,比例-积分-倒数)温控器，PID温控器可以依据需要自动设置加热机构11的温度，同时控制加热机构11的温度更加精确。所述调压机构14设于输气管道12的一端，用以调节输气管道12内气体的压强。所述流量计15设置于输气管道12的一端，具体可以设置于调压机构14和输气管道12之间，该流量计15用于控制输气管道12所通入气体的量，以此实现对通入的惰性气体的流量监控。
为了提高管路清洁组件10所适用的制程设备的保养便利性，所述输气管道12和待清洁的管路20之间可以设置有阀门16。例如，在输气管道12的通气口设置一阀门16。又例如，在加热机构11的出气口设置一阀门16，以切断或使得加热后气体进入待清洁的管路20。于此，在对制程设备进行保养时，管路清洁组件10无需与制程设备拆离。
图2是本申请一实施例的管路清洁方法的流程示意图。请参阅图2，所述管路清洁方法可以包括以下步骤S21～S23。
S21：提供一管路清洁组件，该管路清洁组件包括加热机构和输气管道。
S22：所述加热机构对气体加热。
S23：将所述输气管道与待清洁的管路导通。
S24：输气管道将加热后的气体通入待清洁的管路。
本实施例的管路清洁方法可以基于上述管路清洁组件10，基于此：
在步骤S21中，所述加热机构可以包括加热电阻丝以及呈螺旋状设置的管道，所述加热电阻丝设于呈螺旋状设置的管道的内侧，呈螺旋状设置的管道与输气管道导通。在步骤S22中，螺旋状的管道可以增大气体的流通行程，使其与加热电阻丝的接触时间更久，热传递更加充分，从而达到较高的加热效率。在实际应用场景中，所述加热机构可设有壳体，加热电阻丝和呈螺旋状设置的管道位于该壳体内，并且该壳体可设有隔热层，该隔热层贴附于壳体内壁或者包裹于壳体外侧。
本实施例的管路清洁组件还可以包括温控机构。在步骤S22中，温控机构与用于为加热机构提供能量的电源连接，用以控制加热机构调节对气体的加热温度。该温控机构可以为PID温控器，可以依据需要自动设置加热机构的温度，同时控制加热机构的温度更加精确。
本实施例的管路清洁组件还可以包括调压机构，该调压机构设于所述输气管道的一端。在步骤S24中，调压机构调节输气管道内气体的压强。当然，所述管路清洁组件还可以包括设置于输气管道一端的流量计，具体可设于调压机构和输气管道之间，该流量计用于控制输气管道所通入气体的量，以此实现对通入的惰性气体的流量监控。
由于本实施例的管路清洁方法采用于上述管路清洁组件10相同结构的管路清洁组件，因此具有与其相同的有益效果。
应理解，以上所述仅为本申请的实施例，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，例如各实施例之间技术特征的相互结合，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。
Claims (10)
1.一种管路清洁组件，其特征在于，所述管路清洁组件包括加热机构和输气管道，所述加热机构用于对气体加热，所述输气管道与待清洁的管路导通，并将加热后的气体通入所述管路。
2.根据权利要求1所述的管路清洁组件，其特征在于，所述加热机构包括加热电阻丝及螺旋状的管道，所述加热电阻丝设于所述管道内侧，所述管道与所述输气管道导通。
3.根据权利要求1所述的管路清洁组件，其特征在于，所述管路清洁组件还包括调压机构，所述调压机构设于所述输气管道的一端，所述输气管道的另一端与所述待清洁的管路导通。
4.根据权利要求1所述的管路清洁组件，其特征在于，所述管路清洁组件还包括与所述加热机构连接的温控机构，所述温控机构用于控制所述加热机构调节对所述气体的加热温度。
5.根据权利要求1所述的管路清洁组件，其特征在于，所述输气管道和所述待清洁的管路之间还设置有阀门。
6.根据权利要求1所述的管路清洁组件，其特征在于，所述气体为惰性气体。
7.一种管路清洁方法，其特征在于，所述管路清洁方法包括：
提供一管路清洁组件，其包括加热机构和输气管道；
所述加热机构对气体加热；
将所述输气管道与待清洁的管路导通；
所述输气管道将加热后的气体通入所述待清洁的管路。
8.根据权利要求7所述的管路清洁方法，其特征在于，所述加热机构包括加热电阻丝及螺旋状的管道，所述加热电阻丝设于所述管道内侧，所述管道与所述输气管道导通。
9.根据权利要求7所述的管路清洁方法，其特征在于，所述管路清洁组件还包括调压机构，所述调压机构设于所述输气管道的一端，所述输气管道的另一端与所述待清洁的管路导通，
所述输气管道将加热后的气体通入所述管路，包括：所述调压机构调节所述输气管道内气体的压强，再将所述气体通入所述管路。
10.根据权利要求7所述的管路清洁方法，其特征在于，所述管路清洁组件还包括与所述加热机构连接的温控机构，
所述加热机构对气体加热，包括：
所述温控机构控制所述加热机构调节对所述气体的加热温度。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201810457115.1A Pending CN108787645A (zh) | 2018-05-14 | 2018-05-14 | 管路清洁组件及管路清洁方法 |
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|---|---|
| CN (1) | CN108787645A (zh) |
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