CN108710002A - 加速度计可靠性测试方法、装置以及测试用加速度计 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种加速度计可靠性测试方法、装置以及测试用加速度计，所述加速度计可靠性测试方法包括采集加速度计在上电正常工作时的第一电压信号；加速度计为包括敏感结构单元的加速度计；敏感结构单元包括设置在敏感结构单元的质量块两侧的第一加力极板和第二加力极板；在第一加力极板加载第一电压、且第二加力极板加载第二电压时，采集加速度计的第二电压信号；处理第一电压信号和第二电压信号，得到加速度计的第一加速度值；根据第一加速度值，确认加速度计的当前工作情况,从而利用本发明各实施例中加速度计可靠性测试方法能够测试出输入加速度对加速度计的可靠性的影响。
Description
技术领域
本发明涉及加速度传感器技术领域，特别是涉及一种加速度计可靠性测试方法、装置以及测试用加速度计。
背景技术
MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微机电***)加速度计是使用MEMS加工技术制造的加速度计，其是一种惯性传感器，能够测量物体的加速度。由于采用了MEMS技术，其尺寸相对传统加速度计大大缩小，此外，MEMS加速度计还有功耗低、成本低和易集成等特点，这些特点使得MEMS加速度计在消费电子、汽车电子、工业控制、航空航天和国防军事等诸多领域得到广泛应用。
可靠性是产品工程化的一个重要考核指标，在MEMS加速度计的研制和应用过程中，需要对其进行可靠性试验以验证和改善其可靠性，因此，对MEMS加速度计开展可靠性试验研究对于提高其可靠性、减小故障率、实现工程化应用具有重要意义。
传统的微电子产品可靠性试验包括温度、湿度、振动、冲击等试验项目，可以对产品进行单项可靠性试验，也可以对产品进行多项综合可靠性试验，如温度+湿度+振动的三综合试验。在实现过程中，发明人发现传统技术中至少存在如下问题：加速度计不同于传统的微电子产品，其作为一种传感器，其敏感的输入物理量，也会对产品的可靠性造成影响，但传统的可靠性综合试验方法并未考虑输入加速度，使得不能全面的评判加速度计的可靠性。
发明内容
基于此，有必要针对传统的可靠性综合试验方法并未考虑输入加速度，使得不能全面的评判加速度计的可靠性的问题，提供一种加速度计可靠性测试方法、装置以及测试用加速度计。
为了实现上述目的，一方面，本发明实施提供了一种加速度计可靠性测试方法，包括以下步骤：
采集加速度计在上电正常工作时的第一电压信号；加速度计为包括敏感结构单元的加速度计；敏感结构单元包括设置在敏感结构单元的质量块两侧的第一加力极板和第二加力极板；
在第一加力极板加载第一电压、且第二加力极板加载第二电压时，采集加速度计的第二电压信号；
处理第一电压信号和第二电压信号，得到加速度计的第一加速度值；
根据第一加速度值，确认加速度计的当前工作情况。
在其中一个实施例中，采集加速度计在上电正常工作时的第一电压信号的步骤之前，包括：
采集加速度计在上电正常工作时的性能指标参数。
在其中一个实施例中，性能指标参数包括加速度计的零位、标度因数以及量程。
在其中一个实施例中，处理第一电压信号和第二电压信号，得到加速度计的第一加速度值的步骤之后，还包括：
在加速度计的测试环境温度发生变化、且接收到振动应力和/或冲击应力时，采集加速度计的第三电压信号；
处理第一电压信号和第三电压信号，得到加速度计的第二加速度值；
根据第一加速度值和第二加速度值，确定加速度计的当前工作情况。
另一方面，还提供了一种测试用加速度计，包括敏感结构单元；
敏感结构单元包括：第一极板、第二极板、质量块、机械梁、锚、第一加力极板以及第二加力极板；
机械梁的一端机械连接质量块的一端，另一端机械连接锚；
第一极板、第二极板设置在质量块的两侧；
第一加力极板、第二加力极板设置在质量块的两侧。
在其中一个实施例中，第一加力极板与质量块相邻侧面之间的垂直距离等于第二加力极板与质量块相邻侧面之间的垂直距离。
另一方面，还提供了一种加速度计可靠性测试装置，包括：
数据采集模块，用于采集加速度计在上电正常工作时的第一电压信号；加速度计为包括敏感结构单元的加速度计；敏感结构单元包括设置在敏感结构单元的质量块两侧的第一加力极板和第二加力极板；
数据采集模块，还用于在第一加力极板加载第一电压、且第二加力极板加载第二电压时，采集加速度计的第二电压信号；
数据处理模块，用于处理第一电压信号和第二电压信号，得到加速度计的第一加速度值；
工作状况确认模块，用于根据第一加速度值，确认加速度计的当前工作情况。
在其中一个实施例中，
在加速度计的测试环境温度发生变化、且接收到振动应力和/或冲击应力时，采集加速度计的第三电压信号；
数据处理模块，还用于处理第一电压信号和第三电压信号，得到加速度计的第二加速度值；
工作状况确认模块，还用于根据第一加速度值和第二加速度值，确定加速度计的当前工作情况。
另一方面，还提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现以下步骤：
在加速度计上电正常工作时，采集加速度计的第一电压信号；加速度计为包括敏感结构单元的加速度计；敏感结构单元包括设置在敏感结构单元的质量块两侧的第一加力极板和第二加力极板；
在第一加力极板加载第一电压、且第二加力极板加载第二电压时，采集加速度计的第二电压信号；
处理第一电压信号和第二电压信号，得到加速度计的第一加速度值；
根据第一加速度值，确认加速度计的当前工作情况。
另一方面，还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：
在加速度计上电正常工作时，采集加速度计的第一电压信号；加速度计为包括敏感结构单元的加速度计；敏感结构单元包括设置在敏感结构单元的质量块两侧的第一加力极板和第二加力极板；
在第一加力极板加载第一电压、且第二加力极板加载第二电压时，采集加速度计的第二电压信号；
处理第一电压信号和第二电压信号，得到加速度计的第一加速度值；
根据第一加速度值，确认加速度计的当前工作情况。
上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点和有益效果：
通过在加速度计的敏感结构单元的质量块的两侧设计加装第一加力极板和第二加力极板，并通过分别在第一加力极板上加载第一电压、在第二加力极板上加载第二电压以在质量块上模拟加载不同的输入加速度。具体的，在加速度计上电正常工作时，采集第一电压信号，在第一加力极板加载第一电压、且第二加力极板加载第二电压时，采集第二电压信号，处理第一电压信号和第二电压信号得到第一加速度值，并根据其来确认加速度计的当前工作情况，从而利用本发明各实施例中的加速度计可靠性测试方法能够测试出输入加速度对加速度计的可靠性的影响，也正是由于本发明各实施例提出的加速度计可靠性测试方法使得在对加速度计输入加速度的同时，输入其他环境应力，例如，温度应力、湿度应力、振动应力以及冲击应力，使得能够全面综合的对加速度计的可靠性的进行评估。
附图说明
图1为一个实施例中本发明加速度计可靠性测试方法中输入加速度的步骤流程图；
图2为一个实施例中本发明测试用加速度计的敏感结构单元的结构示意图；
图3为一个实施例中本发明加速度计可靠性测试方法中输入振动应力和/或冲击应力的步骤流程图；
图4为一个实施例中本发明加速度计可靠性测试方法用于评价MEMS加速度计可靠性的步骤流程图；
图5为一个实施例中本发明加速度计可靠性测试装置的结构示意图；
图6为一个实施例中计算机设备的内部结构图。
具体实施方式
为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的首选实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容更加透彻全面。
需要说明的是，当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件并与之结合为一体，或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“设置”、“一端”、“另一端”以及类似的表述只是为了说明的目的。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
为了解决传统的可靠性综合试验方法并未考虑输入加速度，使得不能全面的评判加速度计的可靠性的问题，在一个实施例中，本发明提供了一种加速度计可靠性测试方法，如图1所示，包括以下步骤：
步骤S110，采集加速度计在上电正常工作时的第一电压信号；加速度计为包括敏感结构单元的加速度计；敏感结构单元包括设置在敏感结构单元的质量块两侧的第一加力极板和第二加力极板。
其中，只要加速度计包括敏感结构单元、且敏感结构单元中包括质量块，均可适用本发明各实施例中的加速度计可靠性测试方法。进一步的，加速度计可为MEMS加速度计。
如图2所示，在敏感结构单元的质量块的两侧设计加装第一加力极板和第二加力极板，并分别在第一加力极板上加载第一电压、在第二加力极板上加载第二电压，通过变换加载的第一电压和第二电压的电压值，给质量块上加载上不同的静电力，从而模拟出加速度计在实际使用过程质量块所受的加速度状况。
给加速度计上电，采集加速度计正常工作时输出的第一电压信号。第一电压信号为未给质量块施加加速度，即第一电压和第二电压为零时加速度计输出的电压信号。
步骤S120，在第一加力极板加载第一电压、且第二加力极板加载第二电压时，采集加速度计的第二电压信号。
其中，当第一电压和第二电压中任意一个电压值不为零，即可给质量块加载上相应的加速度。具体的，在加力极板上加载直流电压后，加力极板与质量块之间产生电位差，电位差会对质量块产生静电力。第一加力极板对质量块加载的静电力为Fe1，第二加力极板对质量块加载的静电力为Fe2，根据牛顿第二定律F＝ma，即可计算出质量块受到的加速度为a＝(Fe1-Fe2)/m，其中m表示质量块的质量。
在第一加力极板或在第二加力极板上加载电压后，相应的加速度计输出的对应的电压信号，第二电压信号为在第一加力极板上加载第一电压或第二加力极板上加载第二电压时对应输出的电压信号。
步骤S130处理第一电压信号和第二电压信号，得到加速度计的第一加速度值。
其中，根据公式Uout1＝Uout0+Ka(其中Uout1表示第二电压信号，Uout0表示第一电压信号，K表示标度因数，为常数)，即可加速度计输出的第一加速度值。
步骤S140根据第一加速度值，确认加速度计的当前工作情况。
其中，当第一加速度值严重偏离利用第一加力极板和第二加力极板加载到质量块的理论加速度值时，即确认加速度计不正常，反之，当第一加速度值与理论加速度值的差值在合理的误差范围内，即确认加速度计工作正常。
本发明加速度计可靠性测试方法各实施例中，通过在加速度计的敏感结构单元的质量块的两侧设计加装第一加力极板和第二加力极板，并通过分别在第一加力极板上加载第一电压、在第二加力极板上加载第二电压以在质量块上模拟加载不同的应力。具体的，在加速度计上电正常工作时，采集第一电压信号，在第一加力极板加载第一电压、且第二加力极板加载第二电压时，采集第二电压信号，处理第一电压信号和第二电压信号得到第一加速度值，并根据其来确认加速度计的当前工作情况，从而利用本发明各实施例中的加速度计可靠性测试方法能够测试出输入加速度对加速度计的可靠性的影响，也正是由于本发明各实施例提出的加速度计可靠性测试方法使得在对加速度计输入加速度的同时，输入其他环境应力，例如，温度应力、湿度应力、振动应力以及冲击应力，使得能够全面综合的对加速度计的可靠性的进行评估。
在一个实施例中，采集加速度计在上电正常工作时的第一电压信号的步骤之前，包括：
采集加速度计在上电正常工作时的性能指标参数。
进一步的，性能指标参数包括加速度计的零位、标度因数以及量程。
具体而言，在对加速度计进行上电采集第一电压信号之前，需要测量加速度计的性能指标参数，进一步的，性能指标参数包括加速度计的零位、标度因数以及量程。其中，零位为加速度计没有加速度输入(第一加力极板和第二加力极板均未加载电压)时，其输出电压信号；标度因数为加速度计输出信号和被测量的加速度之比；量程为保证一定线性度的情况下，可测量加速度的范围。
本发明加速度计可靠性测试方法各实施例中，明确加速度计的初始传统数据，即加速度计的零位、标度因数和量程，在测试加速度计的可靠性时，计入零位，使得后续处理数据更加准确，减少了测试可靠性的误差。而考虑标度因数和量程，使得在可靠性测试过程中更具备针对性，并在一个合理的范围内评价加速度计的可靠性。
在实施例中，如图3所示，处理第一电压信号和第二电压信号，得到加速度计的第一加速度值的步骤之后，还包括：
步骤S310，在加速度计的测试环境温度发生变化、且接收到振动应力和/或冲击应力时，采集加速度计的第三电压信号；
步骤S320，处理第一电压信号和第三电压信号，得到加速度计的第二加速度值；
步骤S330，根据第一加速度值和第二加速度值，确定加速度计的当前工作情况。
需要说明的是，本发明加速度计可靠性测试方法可单独测试加速度输入对加速度计的影响，也可在对加速度计输入加速度的同时输入其他环境应力。例如，同时给加速度计施加加速度、温度以及振动三种应力，测试对加速度计同时施加上述三种应力时的可靠性。或者，又可给加速度计施加加速度、湿度、温度以及振动四种应力。上述示例，仅为了说明在测试加速度对加速度计的影响时，可同时输入其他应力，综合评价加速度计同时受各种应力时的可靠性，但不限于上述组合。
具体而言，可利用HALT/HASS试验箱来给加速度计输入温度和振动两种应力，在输入温度和振动两种应力同时，给第一加力极板加载第一电压和给第二加力极板加载第二电压，采集该状况下加速度计输出的第三电压信号，处理第一电压信号和第三电压信号，得到加速度计在受加速度、温度和振动影响下的第二加速度值。当测试加速度计仅施加加速度的可靠性时，第一加速度值满足可靠性要求，再测试加速度计施加加速度、温度以及振动三种应力的可靠性时，当第二加速度值严重偏离第一加速度值时，即确认加速度计在施加加速度、温度以及振动三种应力时的可靠性差，而当第二加速度值与第一加速度值的差值在合理的误差范围内，即确认加速度计在施加加速度、温度以及振动三种应力时的可靠性良好。
本发明加速度计可靠性测试方法各实施例中，能够测试给加速度计施加包括加速度在内的多种输入应力时的稳定性，使得能够综合评价加速度计的可靠性，也缩减了加速度计的可靠性的测试周期。
在一个实施例中，如图4所示，本发明加速度计可靠性测试方法，包括以下步骤：
步骤S410，采集MEMS加速度计在上电正常工作时的性能指标参数；性能指标参数包括MEMS加速度计的零位、标度因数以及量程；
步骤S420，采集MEMS加速度计在上电正常工作时的第一电压信号；MEMS加速度计为包括敏感结构单元的MEMS加速度计；敏感结构单元包括设置在敏感结构单元的质量块两侧的第一加力极板和第二加力极板；
步骤S430，在第一加力极板加载第一电压、且第二加力极板加载第二电压时，采集MEMS加速度计的第二电压信号；
步骤S440处理第一电压信号和第二电压信号，得到MEMS加速度计的第一加速度值；
步骤S450，在MEMS加速度计的测试环境温度发生变化、且接收到振动应力和/或冲击应力时，采集MEMS加速度计的第三电压信号；
步骤S460，处理第一电压信号和第三电压信号，得到MEMS加速度计的第二加速度值；
步骤S470，根据第一加速度值和第二加速度值，确定MEMS加速度计的当前工作情况。
具体而言，测量MEMS加速度计的零位、标度因数以及量程；在MEMS加速度计上电正常工作的情况下，采集第一电压信号；给MEMS加速度计施加加速度应力，采集第二电压信号，处理第一电压信号和第二电压信号得到第一加速度值；同时，再给MEMS加速度计施加温度和振动应力，采集第三电压信号，处理第一电压信号和第三电压信号得到第二加速度值。
通过比对第一加速度值与理论加速度值，可得到加速度计在只施加加速度时的可靠性；比对第二加速度值与理论加速度值，可得到加速度计在施加加速度、温度和振动时的可靠性；比对第一加速度值和第二加速度值，可得到加速度计在施加温度和振动时的可靠性。
本发明加速度计可靠性测试方法各实施例中，减少了测试人员的工作量，缩短了MEMS加速度计可靠性测试周期，同时更加全面评估了MEMS加速度计的可靠性。
应该理解的是，虽然图1、3和4的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，这些步骤可以以其它的顺序执行。而且，图1、3和4中的至少一部分步骤可以包括多个子步骤或者多个阶段，这些子步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，这些子步骤或者阶段的执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其它步骤或者其它步骤的子步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。
在一个实施例中，一种测试用加速度计，如图2所示，包括敏感结构单元；
敏感结构单元包括：第一极板、第二极板、质量块、机械梁、锚、第一加力极板以及第二加力极板；
机械梁的一端机械连接质量块的一端，另一端机械连接锚的一侧端；
第一极板、第二极板设置在质量块的两侧；
第一加力极板、第二加力极板设置在质量块的两侧。
具体而言，上极板和下极板是固定的，质量块通过机械梁与锚连接，其可发生位移，在有外界加速度输入的情况下，由牛顿第二定律可知，质量块会受到惯性力作用，在惯性力和机械梁的作用下，质量块会发生位移，质量块的位移会改变质量块和上下极板的间距，进而引起上下电容的变化，通过检测电路检测出电容的变化量即可求得外界输入的加速度大小。
需要说明的是，如图2所示，上下极板和质量块加载的电压V1 sin ωt、Vfb、Vref分别是调制电压、反馈电压、预载电压，这三个电压的作用是检测电容以及静电力反馈。
本发明测试用加速度计各实施例中，依据MEMS加速度计敏感结构的特点，通过在敏感结构上设置加力极板来实现加速度输入的模拟，采用本发明测试用加速度计的结构，能够兼容加速度与其他应力(温度、湿度、振动、冲击)，更加实际地模拟出加速度计在实际应用过程中的状况。
在一个实施例中，第一加力极板与质量块相邻侧面之间的垂直距离等于第二加力极板与质量块相邻侧面之间的垂直距离。
本发明测试用加速度计各实施例中，将第一加力极板与质量块相邻侧面之间的垂直距离设计成等于第二加力极板与质量块相邻侧面之间的垂直距离，简化了给第一加力极板和第二加力极板施加电压时的控制程序。
在一个实施例中，一种加速度计可靠性测试装置，如图5所示，包括：
数据采集模块510，用于采集加速度计在上电正常工作时的第一电压信号；加速度计为包括敏感结构单元的加速度计；敏感结构单元包括设置在敏感结构单元的质量块两侧的第一加力极板和第二加力极板；
数据采集模块510，还用于在第一加力极板加载第一电压、且第二加力极板加载第二电压时，采集加速度计的第二电压信号；
数据处理模块520，用于处理第一电压信号和第二电压信号，得到加速度计的第一加速度值；
工作状况确认模块530，用于根据第一加速度值，确认加速度计的当前工作情况。
在一个实施例中，如图5所示，数据采集模块510，还用于在加速度计的测试环境温度发生变化、且接收到振动应力和/或冲击应力时，采集加速度计的第三电压信号；
数据处理模块520，还用于处理第一电压信号和第三电压信号，得到加速度计的第二加速度值；
工作状况确认模块530，还用于根据第一加速度值和第二加速度值，确定加速度计的当前工作情况。
关于加速度计可靠性测试装置的具体限定可以参见上文中对于加速度计可靠性测试方法的限定，在此不再赘述。上述加速度计可靠性测试装置中的各个模块可全部或部分通过软件、硬件及其组合来实现。上述各模块可以硬件形式内嵌于或独立于计算机设备中的处理器中，也可以以软件形式存储于计算机设备中的存储器中，以便于处理器调用执行以上各个模块对应的操作。
在一个实施例中，提供了一种计算机设备，该计算机设备可以是终端，其内部结构图可以如图6所示。该计算机设备包括通过***总线连接的处理器、存储器、网络接口、显示屏和输入装置。其中，该计算机设备的处理器用于提供计算和控制能力。该计算机设备的存储器包括非易失性存储介质、内存储器。该非易失性存储介质存储有操作***和计算机程序。该内存储器为非易失性存储介质中的操作***和计算机程序的运行提供环境。该计算机设备的网络接口用于与外部的终端通过网络连接通信。该计算机程序被处理器执行时以实现一种加速度计可靠性测试方法。该计算机设备的显示屏可以是液晶显示屏或者电子墨水显示屏，该计算机设备的输入装置可以是显示屏上覆盖的触摸层，也可以是计算机设备外壳上设置的按键、轨迹球或触控板，还可以是外接的键盘、触控板或鼠标等。
本领域技术人员可以理解，图6中示出的结构，仅仅是与本申请方案相关的部分结构的框图，并不构成对本申请方案所应用于其上的计算机设备的限定，具体的计算机设备可以包括比图中所示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者具有不同的部件布置。
在一个实施例中，提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，存储器中存储有计算机程序，该处理器执行计算机程序时实现以下步骤：
在加速度计上电正常工作时，采集加速度计的第一电压信号；加速度计为包括敏感结构单元的加速度计；敏感结构单元包括设置在敏感结构单元的质量块两侧的第一加力极板和第二加力极板；
在第一加力极板加载第一电压、且第二加力极板加载第二电压时，采集加速度计的第二电压信号；
处理第一电压信号和第二电压信号，得到加速度计的第一加速度值；
根据第一加速度值，确认加速度计的当前工作情况。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时还实现以下步骤：
采集加速度计在上电正常工作时的性能指标参数。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时还实现以下步骤：
在加速度计的测试环境温度发生变化、且接收到振动应力和/或冲击应力时，采集加速度计的第三电压信号；
处理第一电压信号和第三电压信号，得到加速度计的第二加速度值；
根据第一加速度值和第二加速度值，确定加速度计的当前工作情况。
在一个实施例中，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：
在加速度计上电正常工作时，采集加速度计的第一电压信号；加速度计为包括敏感结构单元的加速度计；敏感结构单元包括设置在敏感结构单元的质量块两侧的第一加力极板和第二加力极板；
在第一加力极板加载第一电压、且第二加力极板加载第二电压时，采集加速度计的第二电压信号；
处理第一电压信号和第二电压信号，得到加速度计的第一加速度值；
根据第一加速度值，确认加速度计的当前工作情况。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：
采集加速度计在上电正常工作时的性能指标参数。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：
在加速度计的测试环境温度发生变化、且接收到振动应力和/或冲击应力时，采集加速度计的第三电压信号；
处理第一电压信号和第三电压信号，得到加速度计的第二加速度值；
根据第一加速度值和第二加速度值，确定加速度计的当前工作情况。
本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、存储、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和/或易失性存储器。非易失性存储器可包括只读存储器(ROM)、可编程ROM(PROM)、电可编程ROM(EPROM)、电可擦除可编程ROM(EEPROM)或闪存。易失性存储器可包括随机存取存储器(RAM)或者外部高速缓冲存储器。作为说明而非局限，RAM以多种形式可得，诸如静态RAM(SRAM)、动态RAM(DRAM)、同步DRAM(SDRAM)、双数据率SDRAM(DDRSDRAM)、增强型SDRAM(ESDRAM)、同步链路(Synchlink)DRAM(SLDRAM)、存储器总线(Rambus)直接RAM(RDRAM)、直接存储器总线动态RAM(DRDRAM)、以及存储器总线动态RAM(RDRAM)等。
以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种加速度计可靠性测试方法，其特征在于，包括以下步骤：
采集加速度计在上电正常工作时的第一电压信号；所述加速度计为包括敏感结构单元的加速度计；所述敏感结构单元包括设置在所述敏感结构单元的质量块两侧的第一加力极板和第二加力极板；
在所述第一加力极板加载第一电压、且所述第二加力极板加载第二电压时，采集所述加速度计的第二电压信号；
处理所述第一电压信号和所述第二电压信号，得到所述加速度计的第一加速度值；
根据所述第一加速度值，确认所述加速度计的当前工作情况。
2.根据权利要求1所述的加速度计可靠性测试方法，其特征在于，所述采集加速度计在上电正常工作时的第一电压信号的步骤之前，包括：
采集所述加速度计在上电正常工作时的性能指标参数。
3.根据权利要求2所述的加速度计可靠性测试方法，其特征在于，所述性能指标参数包括所述加速度计的零位、标度因数以及量程。
4.根据权利要求1至3任意一项所述的加速度计可靠性测试方法，其特征在于，所述处理所述第一电压信号和所述第二电压信号，得到所述加速度计的第一加速度值的步骤之后，还包括：
在所述加速度计的测试环境温度发生变化、且接收到振动应力和/或冲击应力时，采集所述加速度计的第三电压信号；
处理所述第一电压信号和所述第三电压信号，得到所述加速度计的第二加速度值；
根据所述第一加速度值和所述第二加速度值，确定所述加速度计的当前工作情况。
5.一种测试用加速度计，其特征在于，包括敏感结构单元；
所述敏感结构单元包括：第一极板、第二极板、质量块、机械梁、锚、第一加力极板以及第二加力极板；
所述机械梁的一端机械连接所述质量块的一端，另一端机械连接所述锚的一侧端；
所述第一极板、所述第二极板设置在所述质量块的两侧；
所述第一加力极板、所述第二加力极板设置在所述质量块的两侧。
6.根据权利要求5所述的测试用加速度计，其特征在于，所述第一加力极板与所述质量块相邻侧面之间的垂直距离等于所述第二加力极板与所述质量块相邻侧面之间的垂直距离。
7.一种加速度计可靠性测试装置，其特征在于，包括：
数据采集模块，用于采集加速度计在上电正常工作时的第一电压信号；所述加速度计为包括敏感结构单元的加速度计；所述敏感结构单元包括设置在所述敏感结构单元的质量块两侧的第一加力极板和第二加力极板；
所述数据采集模块，还用于在所述第一加力极板加载第一电压、且所述第二加力极板加载第二电压时，采集所述加速度计的第二电压信号；
数据处理模块，用于处理所述第一电压信号和所述第二电压信号，得到所述加速度计的第一加速度值；
工作状况确认模块，用于根据所述第一加速度值，确认所述加速度计的当前工作情况。
8.根据权利要求7所述的加速度计可靠性测试装置，其特征在于，
所述数据采集模块，还用于在所述加速度计的测试环境温度发生变化以及对其输入振动应力和/或冲击应力时，采集所述加速度计的第三电压信号；
所述数据处理模块，还用于处理所述第一电压信号和所述第三电压信号，得到所述加速度计的第二加速度值；
所述工作状况确认模块，还用于根据所述第一加速度值和所述第二加速度值，确定所述加速度计的当前工作情况。
9.一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至4中任一项所述方法的步骤。
10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至4中任一项所述的方法的步骤。
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