CN108598034A - 大尺寸硅片非接触式吸取机构 - Google Patents
大尺寸硅片非接触式吸取机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108598034A CN108598034A CN201810491618.0A CN201810491618A CN108598034A CN 108598034 A CN108598034 A CN 108598034A CN 201810491618 A CN201810491618 A CN 201810491618A CN 108598034 A CN108598034 A CN 108598034A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- plectane
- centre bore
- sucker
- panel
- sucker panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 37
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 37
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 37
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 title claims abstract description 10
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 4
- 230000009102 absorption Effects 0.000 abstract description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 241001331845 Equus asinus x caballus Species 0.000 abstract 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N ammonia Natural products N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- -1 poly- ammonia Ester Chemical class 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本发明公开了一种大尺寸硅片非接触式吸取机构,解决了现有吸盘容易在吸取硅片时导致硅片破裂和不能适应多规格硅片吸取要求的问题。在吸盘面板(1)中心孔的正下方设置有中心孔封堵圆板(7),封堵圆板固定骡丝(6)从下向上依次穿过中心孔封堵圆板、吸盘面板(1)后与设置在圆柱状气室(2)底板上的螺钉孔(5)螺接,在吸盘面板与中心孔封堵圆板之间的封堵圆板固定螺丝上套接有环形垫片(11),在吸盘面板与中心孔封堵圆板之间形成有环形喷气口(8),在中心孔封堵圆板外侧的吸盘面板的下底面上设置有三个弹性垫杯(9),在弹性垫杯与吸盘面板之间设置有弹性卡环(10)。特别适合于在光伏自动化生产线中使用。
Description
技术领域
本发明涉及一种吸取机构,用于搬运厚度薄、精密高的脆弱薄片类工件,也可用于分离一摞薄片,特别涉及一种应用在光伏太阳能行业自动化设备中的硅片吸取机构。
背景技术
薄片吸取机构是应用在光伏自动化设备中的关键部件,承担着将硅片吸离原位置的任务,与搬运机械手相配合完成硅片不同工位之间的搬运传输工作。现有的硅片吸盘有接触式吸盘和非接触式吸盘两种,在硅片搬运中,为了避免吸盘对移送硅片的污染,通常采用非接触式吸盘,并且吸盘与硅片的接触面积是越小越好。现有的非接触式吸盘为带台阶的圆柱状盒体结构,在圆柱状盒体结构的上台阶的侧面上布设有出气口,在圆柱状盒体结构的顶部中央设置有进气口,压缩空气从进气口进入到圆柱状盒体中后,从台阶的柱状侧面上的出气口向四周放射性喷出,在喷射口正下方会产生负压,该负压将硅片吸附到圆柱状盒体结构的下底面上,在圆柱状盒体结构的下底面上设置有若干个接触凸起点,使被吸附的硅片只与接触凸起点直接接触,以达到尽可能避免污染的效果。各接触凸起点为聚氨酯材料,与圆柱状吸盘台阶的底面是刚性连接在一起的,若各接触凸起点的最高凸点不在同一水平面上时,很容易造成被吸附的硅片在吸力的作用下受力扭曲破碎,特别是当吸附力不均匀或突变时,更容易导致被吸附的硅片破碎。另外,现有吸盘的圆柱状盒体的台阶柱状侧面上的出气口的大小固定不变,当所要吸附的硅片规格发生较大变化时,出气口所产生的负压与预吸附的硅片所要求的吸附力不匹配,使原吸盘无法使用,需要更换新吸盘,造成设备投资增大。
发明内容
本发明提供了一种大尺寸硅片非接触式吸取机构,解决了现有吸盘容易在吸取硅片时导致硅片破裂和不能适应多规格硅片吸取要求的技术问题。
本发明是通过以下技术方案解决以上技术问题的:
一种大尺寸硅片非接触式吸取机构,包括带中心孔的吸盘面板,在吸盘面板上固定扣接有圆柱状气室,圆柱状气室与吸盘面板上的中心孔连通在一起,在圆柱状气室的顶端中央设置有中央进气口,在吸盘面板中心孔的正下方设置有中心孔封堵圆板,封堵圆板固定螺丝从下向上依次穿过中心孔封堵圆板、吸盘面板后与设置在圆柱状气室底板上的螺钉孔螺接在一起,在吸盘面板与中心孔封堵圆板之间的封堵圆板固定螺丝上套接有环形垫片,在吸盘面板与中心孔封堵圆板之间形成有环形喷气口,在中心孔封堵圆板外侧的吸盘面板的下底面上设置有三个弹性垫杯,三个弹性垫杯是呈三角形布设的,弹性垫杯的下底面是低于中心孔封堵圆板的下底面的,在弹性垫杯与吸盘面板之间设置有弹性卡环。
在圆柱状气室的侧端面上设置有侧向进气口;在三个弹性垫杯上吸附有硅片。
本发明适合吸附各种规格尺寸的硅片,吸附力大,制作简单,吸附效果稳定、可靠,只需要更换不同厚度的垫片,就可满足不同规格尺寸硅片的吸附要求,特别适合于在光伏自动化生产线中使用。
附图说明
图1是本发明的结构示意图;
图2是本发明在俯视方向上的立体结构示意图;
图3是本发明的吸盘面板1在仰视方向上的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明进行详细说明:
一种大尺寸硅片非接触式吸取机构,包括带中心孔的吸盘面板1,在吸盘面板1上固定扣接有圆柱状气室2,圆柱状气室2与吸盘面板1上的中心孔连通在一起,在圆柱状气室2的顶端中央设置有中央进气口3,在吸盘面板1中心孔的正下方设置有中心孔封堵圆板7,封堵圆板固定螺丝6从下向上依次穿过中心孔封堵圆板7、吸盘面板1后与设置在圆柱状气室2底板上的螺钉孔5螺接在一起,在吸盘面板1与中心孔封堵圆板7之间的封堵圆板固定螺丝6上套接有环形垫片11,在吸盘面板1与中心孔封堵圆板7之间形成有环形喷气口8,在中心孔封堵圆板7外侧的吸盘面板1的下底面上设置有三个弹性垫杯9,三个弹性垫杯9是呈三角形布设的,弹性垫杯9的下底面是低于中心孔封堵圆板7的下底面的,在弹性垫杯9与吸盘面板1之间设置有弹性卡环10。
在圆柱状气室2的侧端面上设置有侧向进气口4;在三个弹性垫杯9上吸附有硅片12。
本发明的大尺寸硅片非接触式吸取机构的工作过程如下:
第一步、在吸取机构圆柱状气室2的中央进气口3或侧向进气口4上连接0.4MPa的压缩空气,将大尺寸的硅片12放置于吸取机构正下方,距离在30毫米左右;
第二步、接通压缩空气,压缩空气会进入到圆柱状气室2中,并从环形喷气口8上喷出,在中心孔封堵圆板7的下方会产生伯努利效应,将正下方的硅片12吸附上来,当吸附的硅片12与弹性垫杯9接触时,弹性垫杯9会压缩弹性卡环10,使其变形,从而实现弹性接触,缓冲距离可以在弹性垫杯9上进行调节,实现吸附的硅片12与弹性垫杯9柔性接触,保护其不受损坏。
Claims (2)
1.一种大尺寸硅片非接触式吸取机构,包括带中心孔的吸盘面板(1),在吸盘面板(1)上固定扣接有圆柱状气室(2),圆柱状气室(2)与吸盘面板(1)上的中心孔连通在一起,在圆柱状气室(2)的顶端中央设置有中央进气口(3),其特征在于,在吸盘面板(1)中心孔的正下方设置有中心孔封堵圆板(7),封堵圆板固定螺丝(6)从下向上依次穿过中心孔封堵圆板(7)、吸盘面板(1)后与设置在圆柱状气室(2)底板上的螺钉孔(5)螺接在一起,在吸盘面板(1)与中心孔封堵圆板(7)之间的封堵圆板固定螺丝(6)上套接有环形垫片(11),在吸盘面板(1)与中心孔封堵圆板(7)之间形成有环形喷气口(8),在中心孔封堵圆板(7)外侧的吸盘面板(1)的下底面上设置有三个弹性垫杯(9),三个弹性垫杯(9)是呈三角形布设的,弹性垫杯(9)的下底面是低于中心孔封堵圆板(7)的下底面的,在弹性垫杯(9)与吸盘面板(1)之间设置有弹性卡环(10)。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅片非接触式吸取机构,其特征在于,在圆柱状气室(2)的侧端面上设置有侧向进气口(4);在三个弹性垫杯(9)上吸附有硅片(12)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810491618.0A CN108598034A (zh) | 2018-05-22 | 2018-05-22 | 大尺寸硅片非接触式吸取机构 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810491618.0A CN108598034A (zh) | 2018-05-22 | 2018-05-22 | 大尺寸硅片非接触式吸取机构 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN108598034A true CN108598034A (zh) | 2018-09-28 |
Family
ID=63632187
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201810491618.0A Pending CN108598034A (zh) | 2018-05-22 | 2018-05-22 | 大尺寸硅片非接触式吸取机构 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN108598034A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111872966A (zh) * | 2020-07-23 | 2020-11-03 | 厦门市华飚科技有限公司 | 软性布料自动抓取装备 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100968437B1 (ko) * | 2009-11-17 | 2010-07-07 | 한국뉴매틱(주) | 비접촉식 진공패드 |
KR20100128398A (ko) * | 2009-05-28 | 2010-12-08 | 주식회사농심 | 비접촉 패드를 구비한 이송장치 |
KR101056705B1 (ko) * | 2011-05-09 | 2011-08-12 | 한국뉴매틱(주) | 진공 그리퍼 장치 |
CN102693928A (zh) * | 2011-03-25 | 2012-09-26 | 致茂电子股份有限公司 | 非接触式吸盘 |
CN205618523U (zh) * | 2016-04-29 | 2016-10-05 | 南京卓胜自动化设备有限公司 | 一种非接触吸盘装置 |
CN208336178U (zh) * | 2018-05-22 | 2019-01-04 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 大尺寸硅片非接触式吸取机构 |
-
2018
- 2018-05-22 CN CN201810491618.0A patent/CN108598034A/zh active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20100128398A (ko) * | 2009-05-28 | 2010-12-08 | 주식회사농심 | 비접촉 패드를 구비한 이송장치 |
KR100968437B1 (ko) * | 2009-11-17 | 2010-07-07 | 한국뉴매틱(주) | 비접촉식 진공패드 |
CN102693928A (zh) * | 2011-03-25 | 2012-09-26 | 致茂电子股份有限公司 | 非接触式吸盘 |
KR101056705B1 (ko) * | 2011-05-09 | 2011-08-12 | 한국뉴매틱(주) | 진공 그리퍼 장치 |
CN205618523U (zh) * | 2016-04-29 | 2016-10-05 | 南京卓胜自动化设备有限公司 | 一种非接触吸盘装置 |
CN208336178U (zh) * | 2018-05-22 | 2019-01-04 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 大尺寸硅片非接触式吸取机构 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111872966A (zh) * | 2020-07-23 | 2020-11-03 | 厦门市华飚科技有限公司 | 软性布料自动抓取装备 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107161692B (zh) | 一种叠片玻璃自动分片输送装置及分片输送方法 | |
CN209009638U (zh) | 一种真空吸盘装置 | |
US20130168910A1 (en) | Sucking device for vacuum sucking workpiece | |
CN107098160B (zh) | 一种柔性多孔薄型片材的抓取与传递装置 | |
CN107591356A (zh) | 晶圆固定装置及其使用方法 | |
CN208336178U (zh) | 大尺寸硅片非接触式吸取机构 | |
CN108598034A (zh) | 大尺寸硅片非接触式吸取机构 | |
CN104675840A (zh) | 一种晶体吸盘装置 | |
CN203792155U (zh) | 一种可调节压力的硅片对准器 | |
CN107346757A (zh) | 传输腔室及半导体加工设备 | |
CN110774077B (zh) | 一种晶圆加工减薄机 | |
CN108190517A (zh) | 平板类工件对位传送装置及方法 | |
CN205928237U (zh) | 一种柔性模块化的真空吸盘 | |
JP5932457B2 (ja) | チャックテーブル及びチャックテーブルを備える加工装置 | |
CN102332420A (zh) | 超薄伞流式非接触硅片吸盘 | |
KR102556329B1 (ko) | 반도체 기판을 지지하는 진공척 | |
CN202352643U (zh) | 一种硅片取放装置 | |
CN205723485U (zh) | 太阳能电池装片机吸盘及对应的装片机 | |
CN213026086U (zh) | 一种自动化设备气动吸盘 | |
CN220821487U (zh) | 一种晶圆片压平机构 | |
CN107452643A (zh) | 基板压平设备与使用所述基板压平设备的半导体制造方法 | |
CN220753391U (zh) | 用于超薄晶片的吸盘装置 | |
CN110370153B (zh) | 一种用于抛光设备的上定盘晶片剥离装置 | |
KR102158825B1 (ko) | 반도체 패키지 픽업 장치 | |
CN220774326U (zh) | 一种翘曲晶圆取片装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |