CN108585475A - 一种石英坩埚的制备工艺 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种石英坩埚的制备工艺，包括以下步骤：（1）、制备石英坩埚用石英砂泥浆；（2）、加入真空度为0.01‑0.1pa的金属合金模具内旋转成型；（3）、真空电弧高温熔制模具内的原料，控制熔制温度为2500‑2800ºC，电极棒起弧电压140‑160V；（4）、自然冷却至室温进行脱模；（5）、酸洗、高压冲洗、超声和高压喷淋；（6）、烘干、涂层处理；（7）、冷却至室温，检验包装入库。本发明提供一种石英坩埚的制备工艺，生产成本低、周期短，节约能耗，而且产品气泡数量少、使用寿命长，拉制单晶硅成功率高。

Description

一种石英坩埚的制备工艺
技术领域
本发明涉及石英坩埚技术领域，尤其涉及一种石英坩埚的制备工艺。
背景技术
目前，国内石英坩埚生产企业使用的设备、工艺源于上世纪70 年代初从日本引进的，该该工艺不但自动化程度不高，整个生产过程中更多的依靠人工来实现，而且原料只能依赖国外进口的石英砂、生产成本高、能耗高、产品气泡数量多、生产周期长、使用寿命短、拉制单晶硅成功率低。光伏行业的快速发展以及单晶硅生产技术的进步对石英坩埚在大直径、高纯度、气泡少、杂质分布高均匀、耐高温性能好等专业领域提出了更高的要求。因此，迫切需要对现有石英坩埚生产进行改进满足市场需求。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种石英坩埚的制备工艺，生产成本低、周期短，节约能耗，而且产品气泡数量少、使用寿命长，拉制单晶硅成功率高。
本发明的技术方案：一种石英坩埚的制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：
（1）、按质量百分比取石英砂95-96%，碳酸钙0.5-1%，聚乙烯醇0.5-2%，高岭土2-5%，硅酸钠1-2%混合均匀形成配合料后，再将配合料加入球磨机中，再向球磨机中加入蒸馏水，放入与配合料等重量的球石球磨40-50h，将料浆从球磨机中倒出，并过120-150目标准筛，得石英坩埚用石英砂泥浆；
（2）、将上述石英砂泥浆原料加入真空度为0.01-0.1pa 的金属合金模具内旋转成型；
（3）、真空电弧高温熔制模具内的原料，控制熔制温度为2500-2800ºC，电极棒起弧电压140-160V；
（4）、将熔制好的石英坩埚自然冷却至室温进行脱模；
（5）、对石英坩埚进行酸洗、高压冲洗、超声和高压喷淋；
（6）、清洗后的石英坩埚先后进行烘干、涂层处理；
（7）、涂层处理后的石英坩埚进行冷却至室温，检验包装入库。
前述的一种石英坩埚的制备工艺，其特征在于，所述步骤（1）中，球磨时间为40h，并过150目标准筛。
前述的一种石英坩埚的制备工艺，其特征在于，所述步骤（3）中，控制熔制温度为2600ºC，电极棒起弧电压150V。
本发明的有益效果：生产成本低、周期短，节约能耗，而且产品气泡数量少、使用寿命长，拉制单晶硅成功率高。
具体实施方式
下面实施例对本发明作进一步的说明，但并不作为对本发明限制的依据。
实施例：一种石英坩埚的制备工艺，包括以下步骤：
（1）、按质量百分比取石英砂95-96%，碳酸钙0.5-1%，聚乙烯醇0.5-2%，高岭土2-5%，硅酸钠1-2%混合均匀形成配合料后，再将配合料加入球磨机中，再向球磨机中加入蒸馏水，放入与配合料等重量的球石球磨40-50h，将料浆从球磨机中倒出，并过120-150目标准筛，得石英坩埚用石英砂泥浆；
（2）、将上述石英砂泥浆原料加入真空度为0.01-0.1pa 的金属合金模具内旋转成型；
（3）、真空电弧高温熔制模具内的原料，控制熔制温度为2500-2800ºC，电极棒起弧电压140-160V；
（4）、将熔制好的石英坩埚自然冷却至室温进行脱模；
（5）、对石英坩埚进行酸洗、高压冲洗、超声和高压喷淋；
（6）、清洗后的石英坩埚先后进行烘干、涂层处理；
（7）、涂层处理后的石英坩埚进行冷却至室温，检验包装入库。
所述步骤（1）中，球磨时间为40h，并过150目标准筛。
所述步骤（3）中，控制熔制温度为2600ºC，电极棒起弧电压150V。

Claims (3)

1.一种石英坩埚的制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：
（1）、按质量百分比取石英砂95-96%，碳酸钙0.5-1%，聚乙烯醇0.5-2%，高岭土2-5%，硅酸钠1-2%混合均匀形成配合料后，再将配合料加入球磨机中，再向球磨机中加入蒸馏水，放入与配合料等重量的球石球磨40-50h，将料浆从球磨机中倒出，并过120-150目标准筛，得石英坩埚用石英砂泥浆；
（2）、将上述石英砂泥浆原料加入真空度为0.01-0.1pa 的金属合金模具内旋转成型；
（3）、真空电弧高温熔制模具内的原料，控制熔制温度为2500-2800ºC，电极棒起弧电压140-160V；
（4）、将熔制好的石英坩埚自然冷却至室温进行脱模；
（5）、对石英坩埚进行酸洗、高压冲洗、超声和高压喷淋；
（6）、清洗后的石英坩埚先后进行烘干、涂层处理；
（7）、涂层处理后的石英坩埚进行冷却至室温，检验包装入库。
2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚的制备工艺，其特征在于，所述步骤（1）中，球磨时间为40h，并过150目标准筛。
3.根据权利要求1所述的一种石英坩埚的制备工艺，其特征在于，所述步骤（3）中，控制熔制温度为2600ºC，电极棒起弧电压150V。
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CN117123286A (zh) * 2023-09-01 2023-11-28 东海县浩远石英制品有限公司 测定废水总氮含量的密闭石英消解管及其制备工艺

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