CN108356432A - 光学扫描和激光钻孔设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种光学扫描和激光钻孔设备，其采用机械手进行自动上下料工作，使用机器视觉检测芯片上铜柱坐标位置，并记录，然后待该芯片铸模（molding）之后进行钻孔，用以保证钻孔位置精度，整个扫描检测和钻孔过程是在一台机器上同步完成且均是全自动操作，以达到提高钻孔的质量和精度的同时极大节省人力的效果。

Description

光学扫描和激光钻孔设备

技术领域

本发明属于半导体领域，具体涉及一种半导体芯片的激光微加工设备。

背景技术

在采用fan-out工艺进行芯片封装过程中，需要先贴装芯片，然后再铸模（molding）一层材料，为了实现每层铸模（molding）材料之间的导通，又需要在相对芯片上铜柱的位置开孔。由于铸模（molding）之后就观测不到铜柱的位置了，所以需要在铸模（molding）之前做芯片上铜柱位置的扫描记录，待工件铸模（molding）之后，再采用激光依据之前的扫描信息进行钻孔。现有工艺只能分两次实现“扫描”和“钻孔”工序，效率不高且易出错。

发明内容

根据以上需求，本发明提供一种光学扫描和激光钻孔设备，其采用机械手进行自动上下料工作，使用机器视觉检测芯片上铜柱坐标位置，并记录，然后待该芯片铸模（molding）之后进行钻孔，用以保证钻孔位置精度，整个扫描检测和钻孔过程是在一台机器上同步完成且均是全自动操作，以达到提高钻孔的质量和精度的同时极大节省人力的效果。

其具体技术方案如下：

一种光学扫描和激光钻孔设备，包括机架（1）、操作基台（2）、运动模块（3）、光路***（4），其特征在于：所述机架（1）为承载和固定操作基台（2）的钢架结构；所述操作基台（2）上设置有吸附平台（22）、暂存台（23）、吸尘盒（24）和机械手（26）；所述吸附平台（22）活动的设置在操作基台（2）上用于吸附、固定待加工的片材；所述暂存台（23）固定在所述操作基台（2）上，位于所述吸附平台（22）同一条直线位置的一端，用于存放由所述机械手（26）传递的片材并将片材转移到所述吸附平台（22）上；所述吸尘盒（24）位于所述吸附平台（22）同一条直线位置的另一端，用于吸取片材在钻孔时产生的尘屑。所述运动模块（3）包括横梁（31）、主轴（34）、副轴（35）；所述主轴（34）和副轴（35）活动的设置在所述横梁（31）上，并可在所述横梁（31）上进行X轴及Z轴方向的运动；所述主轴（34）用于片材的钻孔；所述副轴（35）用于片材的扫描检测；所述运动模块（3）通过横梁（31）固定的设置在所述操作基台（2）；所述光路***（4）固定的设置在所述操作基台（2），提供片材钻孔时需要的激光。

进一步，所述暂存台（23）包括一个矩形框架（231）和四组气缸组件，四组气缸组件分别为气缸组件1（235）、气缸组件2（236）、气缸组件3（237）、气缸组件4（238），其中每组气缸组件都包括活动端和固定端；所述气缸组件1（235）的固定端通过固定板（232）竖直的固定在所述矩形框架（231）的顶部，所述气缸组件2（236）的固定端则通过安装板（233）水平的固定在所述气缸组件1（235）的活动端，所述气缸组件2（236）的活动端上则固定有片材托架（239）；另外所述气缸组件3（237）的固定端竖直的固定在所述矩形框架（231）的侧面，所述气缸组件4（238）的固定端则水平的固定在所述气缸组件3（237）的活动端，所述气缸组件4（238）的活动端上则固定有片材托架（239）；所述片材托架（239）用于承托片材。

进一步，所述吸尘盒（24）包括吸尘窗口（241）和吸尘罩（242），所述吸尘窗口（241）为矩形框，中间具有矩形窗口；所述吸尘罩（242）的一端与所述吸尘窗口（241）的一边联通固定，所述吸尘罩（242）的另一端连接气管进行抽气操作；所述吸尘盒（24）通过连接在所述吸尘窗口（241）两侧边的固定座（243）固定在所述操作基台（2），且使所述吸尘窗口（241）位于所述吸附平台（22）的上方。

进一步，所述吸附平台（22）通过Y轴导轨（21）活动的设置在所述操作基台（2）上，并可在所述矩形框架（231）和所述吸尘窗口（241）下方的Y轴导轨（21）上进行Y轴方向的运动；所述吸附平台（22）包括吸附板和底板，其中所述吸附板上具有若干吸附孔，且位于底板的上方；所述吸附板和所述底板中间形成腔室，该腔室与固定在所述操作基台（2）上的真空软管（223）相连，通过所述真空软管（223）实现所述吸附平台（22）内腔室中气体的输送和抽出，以此调整所述吸附平台（22）对片材的吸附力强度。

进一步，所述吸附平台（22）上还设置有定位块（221）、气缸（222）和调速阀（224）；在所述吸附板其中相邻两边内各固定有两个所述定位块（221），所述定位块（221）用来确定片材放置位置；所述气缸（222）固定在所述吸附板另外相邻两边上，用于将片材顶紧在所述定位块（221）位置上，从而固定片材在所述吸附平台（22）上的位置；所述调速阀（224）固定在所述吸附平台上，用于调节所述真空软管（223）对所述吸附平台（22）内气体输送和抽出的速度。

进一步，所述横梁（31）通过垫块（25）固定的设置在所述操作基台（2）；所述横梁（31上设置有X轴导轨（32）、X轴电机（33），所述主轴（34）和所述副轴（35）通过X轴动板（37）活动的设置在所述X轴导轨（32）上，并可随所述X轴动板（37）在所述X轴导轨（32）上进行X轴方向的运动，所述X轴电机（33）为所述X轴动板（37）的运动提供动力；所述横梁（31）上还设置有X轴拖链（36），用于走线。

进一步，所述主轴（34）通过Z主轴基板（341）固定在所述X轴动板（37）上，所述主轴（34）包括电机1（342）、Z主轴动板（348）、反射镜1（345）、反射镜2（346）、振镜（343）、场镜（344）、激光位移传感器1（349）和相机1（347），所述Z主轴动板（348）通过Z主轴导轨（3411）活动的设置在所述Z主轴基板（341）上，并在所述Z主轴导轨（3411）上进行Z轴方向的运动，所述电机1（342）为所述Z主轴动板（348）的运动提供动力；所述反射镜1（345）通过反射镜固定板（3451）固定的设置在所述Z主轴基板（341）上，用来接收所述光路***（4）提供的激光并将激光反射到所述反射镜2（346）上；所述振镜（343）、激光位移传感器1（349）和所述相机1（347）平行的固定在所述Z主轴动板（348）上；所述振镜（343）下端连接所述场镜（344），以此实现片材的钻孔操作；所述反射镜2（346）通过反射镜固定模块（3461）固定的设置在所述振镜（343），并将从所述反射镜1（345）接收到的激光反射、输送到所述振镜（343）中；所述激光位移传感器1（349）用于测量并控制主轴（34）距离片材的高度；所述相机1（347）下方链接镜头1（3471），用于检测片材表面及钻孔质量。

进一步，所述副轴（35）通过Z副轴基板（352）固定在所述X轴动板（37）上，所述副轴（35）包括电机2（351）、Z副轴动板（353）、激光位移传感器2（355）和相机2（356），所述Z副轴动板（353）通过Z副轴导轨（3522）活动的设置在所述Z副轴基板（352）上，并在所述Z副轴导轨（3522）上进行Z轴方向的运动，所述电机2（351）为所述Z副轴动板（353）的运动提供动力；激光位移传感器2（355）和所述相机2（356）平行的固定在所述Z副轴动板（353）上；所述激光位移传感器2（349）用于测量并控制副轴（35）距离片材的高度；所述相机2（356）下方链接镜头2（357），用于扫描、检测片材表面质量。

进一步，所述光路***（4）包括激光器（41）、光路1（42）和光路2（43）；所述激光器（41）和所述光路1（42）通过激光器放置座（44）固定在所述操作基台（2）上，所述光路2（43）通过光学元件放置座（45）固定在所述操作基台（2）上；所述激光器（41）发出的激光通过所述光路1（42）进入所述光路2（43），经所述光路2（44）直角反射改变方向后由所述光路2（44）射出到所述反射镜1（345）上。

进一步，所述光路1（42）中包括光闸、扩束镜、分光镜和反射镜；所述光路2（43）中包括反射镜、整形镜和光阑。

本发明的光学扫描和激光钻孔设备，由单驱移动Y轴带动吸附平台做Y方向的运动，由两个单驱移动X轴分别带动激光钻孔组件和相机组件做X方向运动，由两套滚珠丝杠结构分别带动激光钻孔组件和相机组件做Z方向的运动，X1/Y/Z2和X2/Y/Z2两个三轴的合成运动完成空间三维运动。吸附平台由带吸附孔的铝板组成，可以用来吸附工件，保证在扫描和钻孔时工件既能保持不动又能确保工件的平整度。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1所示为光学扫描和激光钻孔设备整体示意图；

图2所示为暂存台整体示意图；

图3所示为暂存台左视图；

图4所示为吸附平台与吸尘盒位置关系示意图；

图5所示为吸附平台设置在操作基台上的位置关系示意图；

图6所示为运动模块整体示意图；

图7所示为主轴主视图；

图8所示为副轴主视图；

图9所示为光路***整体示意图；

其中，1为机架，2为操作基台，3为运动模块，4为光路***；

21为Y轴导轨，22为吸附平台，23为暂存台，24为吸尘盒，25为垫块，26为机械手，27为基座；

221为定位块，222为气缸，223为真空软管，224为调速阀；231为框架组件，232为固定板，233为安装板，234为接头，235为气缸组件1,236为气缸组件2,237为气缸组件3,238为气缸组件4,239为片材托架；

241为吸尘窗口，242为吸尘罩，243为固定座；

31为横梁，32为X轴导轨，33为X轴电机，34为主轴，35为副轴，36为X轴拖链，37为X轴动板；

341为Z主轴基板，342为电机1,343为振镜，344为场镜，345为反射镜1,346为反射镜2，347为相机1,348为Z主轴动板，349为激光位移传感器1；3411为Z主轴导轨，3451为反射镜固定板，3461为反射镜固定模块，3471为镜头1；

351为电机2,352为Z副轴基板，353为Z副轴动板，354为相机座安装板，355为激光位移传感器2,356为相机2,357为镜头2,3522为Z副轴导轨；

41为激光器，42为光路1,43为光路2,44为激光器放置座，45为光学元件放置座。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“底”、“顶”、“前”、“后”、“内”、“外”、“横”、“竖”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

图1所示为光学扫描和激光钻孔设备整体图，包括机架1、操作基台2、运动模块3、光路***4，机架1为承载和固定操作基台2的钢架结构，其内部需要进行相关控制线路和气管的布置，作为设备正常运行所隐含的内部公知条件，此处不做详细说明，并不影响整个设备的结构功能；操作基台2包括基座27、吸附平台22、暂存台23、吸尘盒24和机械手26；吸附平台22活动的设置在基座27上用于吸附、固定待加工的片材；暂存台23固定在所述基座27上，位于所述吸附平台22同一条直线位置的一端，用于存放由所述机械手26传递的片材并将片材转移到所述吸附平台22上；所述吸尘盒24位于所述吸附平台22同一条直线位置的另一端，用于吸取片材在钻孔时产生的尘屑。所述运动模块3包括横梁31、主轴34、副轴35；所述主轴34和副轴35活动的设置在所述横梁31上，并可在所述横梁31上进行X轴及Z轴方向的运动；所述主轴34用于片材的钻孔；所述副轴35用于片材的扫描检测；所述运动模块3通过横梁31固定的设置在所述基座27；所述光路***4固定的设置在所述基座27，提供片材钻孔时需要的激光。

本发明更为具体的实现方式以下作具体展开：

结合图2暂存台整体示意图和图3暂存台左视图所示，暂存台23包括一个矩形框架231和四组气缸组件，四组气缸组件分别为气缸组件1（235）、气缸组件2（236）、气缸组件3（237）、气缸组件4（238），其中每组气缸组件都包括两个规格相同的气缸，每组气缸组件包括的活动端和固定端即为气缸组件中气缸的活塞端和缸体；所述气缸组件1（235）的固定端通过固定板232竖直的固定在所述矩形框架231的顶部，所述气缸组件2（236）的固定端则通过安装板233水平的固定在所述气缸组件1（235）的活动端，所述气缸组件2（236）的活动端上则固定有片材托架239；另外所述气缸组件3（237）的固定端竖直的固定在所述矩形框架231的侧面，所述气缸组件4（238）的固定端则水平的固定在所述气缸组件3（237）的活动端，所述气缸组件4（238）的活动端上则固定有片材托架239；所述片材托架239用于承托片材。

设备工作开始时，由机械手26将待加工的片材传递至气缸组件2和气缸组件4上的片材托架239，然后气缸组件3的活塞端伸出带动气缸组件4下移至吸附平台22的上方，气缸组件4的活塞端收缩使片材从其片材托架239上落在吸附平台22上被吸附平整，然后气缸组件3的活塞端收缩带动气缸组件4上升至气缸组件2下方，气缸组件2的活塞端伸出使其片材托架239上的片材落至气缸组件4上的片材托架239上，气缸组件3带动气缸组件4回落，机械手26重新将待片材传递、装填到气缸组件2上的片材托架239上，以此循环上述过程，暂存台23就实现了待加工片材的暂存和传递功能。

图4所示为吸附平台与吸尘盒位置关系示意图，其中吸尘盒24包括吸尘窗口241和吸尘罩242，所述吸尘窗口241为矩形框，中间具有矩形窗口；所述吸尘罩242的一端与所述吸尘窗口241的一边联通固定，所述吸尘罩242的另一端连接气管进行抽气操作；所述吸尘盒24通过连接在所述吸尘窗口241两侧边的固定座243固定在所述基座27上，且使所述吸尘窗口241位于所述吸附平台22的上方。

如图4、5所示。吸附平台22通过Y轴导轨21活动的设置在所述基座27上，并可在所述矩形框架231和所述吸尘窗口241下方的Y轴导轨21上进行Y轴方向的运动；所述吸附平台22包括吸附板和底板，其中所述吸附板上具有若干吸附孔，且位于底板的上方；所述吸附板和所述底板中间形成腔室，该腔室与固定在所述基座27上的真空软管223相连，通过所述真空软管223实现所述吸附平台22内腔室中气体的输送和抽出，以此调整所述吸附平台22对片材的吸附力强度。

另外所述吸附平台22上还设置有定位块221、气缸222和调速阀224；在所述吸附板其中相邻两边内各固定有两个所述定位块221，所述定位块221用来确定片材放置位置；所述气缸222固定在所述吸附板另外相邻两边上，用于将片材顶紧在所述定位块221位置上，从而固定片材在所述吸附平台22上的位置；所述调速阀224固定在所述吸附平台上，用于调节所述真空软管223对所述吸附平台22内气体输送和抽出的速度。

其中主轴34和副轴35要在吸尘盒24的所述吸尘窗口241中对吸附平台22上的片材进行操作，在主轴34对片材进行钻孔时，吸尘盒24作为强力吸尘装置，可以把加工过程中产生的粉尘去除干净，防止粉尘对产品加工产生影响，另外吸尘盒24中还可以设有离子风棒，进一步消除静电和灰尘。

如图6所示，所述横梁31通过垫块25固定的设置在所述基座27；所述横梁31上设置有X轴导轨32、X轴电机33，所述主轴34和所述副轴35通过X轴动板37活动的设置在所述X轴导轨32上，并可随所述X轴动板37在所述X轴导轨32上进行X轴方向的运动，所述X轴电机33为所述X轴动板37的运动提供动力；所述横梁31上还设置有X轴拖链36，用于走线。

进一步如图7，所述主轴34通过Z主轴基板341固定在所述X轴动板37上，所述主轴34包括电机1（342）、Z主轴动板348、反射镜1（345）、反射镜2（346）、振镜343、场镜344、激光位移传感器1（349）和相机1（347），所述Z主轴动板348通过Z主轴导轨3411活动的设置在所述Z主轴基板341上，并在所述Z主轴导轨3411上进行Z轴方向的运动，所述电机1（342）为所述Z主轴动板348的运动提供动力；所述反射镜1（345）通过反射镜固定板3451固定的设置在所述Z主轴基板341上，用来接收所述光路***4提供的激光并将激光反射到所述反射镜2（346）上；所述振镜343、激光位移传感器1（349）和所述相机1（347）平行的固定在所述Z主轴动板348上；所述振镜343下端连接所述场镜344，以此实现片材的钻孔操作；所述反射镜2（346）通过反射镜固定模块3461固定的设置在所述振镜343，并将从所述反射镜1（345）接收到的激光反射、输送到所述振镜343中；所述激光位移传感器1（349）用于测量并控制主轴34距离片材的高度，以实现场镜344距片材的最优距离；所述相机1（347）下方链接镜头1（3471），用于检测片材表面及钻孔质量。

进一步如图8，所述副轴35通过Z副轴基板352固定在所述X轴动板37上，所述副轴35包括电机2（351）、Z副轴动板353、激光位移传感器2（355）和相机2（356），所述Z副轴动板353通过Z副轴导轨3522活动的设置在所述Z副轴基板352上，并在所述Z副轴导轨3522上进行Z轴方向的运动，所述电机2（351）为所述Z副轴动板353的运动提供动力；激光位移传感器2（355）和所述相机2（356）平行的固定在所述Z副轴动板353上；所述激光位移传感器2（349）用于测量并控制副轴35距离片材的高度；所述相机2（356）下方链接镜头2（357），用于扫描、检测片材表面质量。

需要明确的是，相机2（356）的靶面尺寸大于相机1（347）的、像素高于相机1（347）的，同时镜头2（357）的倍率也高于镜头1（3471）的。相机1（347）的功能是针对加工钻孔过程中的对位，而相机2（356）是针对加工完成后位置精度检测的，总体来说，相机2（356）的检测范围比相机1（347）的要大，精度也要高，从而更精确的实现扫描检测和钻孔的双加工。

进一步如图9，光路***4包括激光器41、光路1（42）和光路2（43）；所述激光器41和所述光路1（42）通过激光器放置座44固定在所述基座27上，所述光路2（43）通过光学元件放置座45固定在所述基座27上；所述激光器41发出的激光通过所述光路1（42）进入所述光路2（43），经所述光路2（44）直角反射改变方向后由所述光路2（44）射出到所述反射镜1（345）上。需要明确的是，在光路1（42）、2（43）中包括形成激光路径的光闸、扩束镜、分光镜、反射镜和光阑外，为了保证钻孔质量及光斑大小，本实施例中，光路2（43）中还具有用于切换光型的π-sharper镜（整形镜）。

另外需要说明的是，本发明中并未对设备中的控制线路的走向做相应的展示与介绍，可以理解的是该部分可由技术人员自行控制无需做具体的说明，并不影响本申请中各部分结构的功能。

本发明中任何提及“实施例”的意指结合该实施例描述的具体构件、结构或者特点包含于本发明的至少一个实施例中。在本说明书各处的该示意性表述不一定指的是相同的实施例。而且，当结合任何实施例描述具体构件、结构或者特点时，所主张的是，结合其他的实施例实现这样的构件、结构或者特点均落在本领域技术人员的范围之内。

尽管参照本发明的示意性实施例对本发明的具体实施方式进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本发明原理的精神和范围之内。具体而言，在前述公开、附图以及权利要求的范围之内，可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进，而不会脱离本发明的精神。除了零部件和/或布局方面的变型和改进，其范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种光学扫描和激光钻孔设备，包括机架（1）、操作基台（2）、运动模块（3）、光路***（4），其特征在于：

所述机架（1）为承载和固定操作基台（2）的钢架结构；

所述操作基台（2）包括基座（27）、吸附平台（22）、暂存台（23）、吸尘盒（24）和机械手（26）；所述吸附平台（22）活动的设置在所述基座（27）上用于吸附、固定待加工的片材；所述暂存台（23）固定在所述基座（27）上，位于所述吸附平台（22）同一条直线位置的一端，用于存放由所述机械手（26）传递的片材并将片材转移到所述吸附平台（22）上；所述吸尘盒（24）位于所述吸附平台（22）同一条直线位置的另一端，用于吸取片材在钻孔时产生的尘屑；

所述运动模块（3）包括横梁（31）、主轴（34）、副轴（35）；所述主轴（34）和副轴（35）活动的设置在所述横梁（31）上，并可在所述横梁（31）上进行X轴及Z轴方向的运动；所述主轴（34）用于片材的钻孔；所述副轴（35）用于片材的扫描检测；所述运动模块（3）通过横梁（31）固定的设置在所述基座（27）上；

所述光路***（4）固定的设置在所述基座（27）上，提供片材钻孔时需要的激光。

2.根据权利要求1所述的光学扫描和激光钻孔设备，其特征在于，所述暂存台（23）包括一个矩形框架（231）和四组气缸组件，四组气缸组件分别为气缸组件1（235）、气缸组件2（236）、气缸组件3（237）、气缸组件4（238），其中每组气缸组件都包括活动端和固定端；所述气缸组件1（235）的固定端通过固定板（232）竖直的固定在所述矩形框架（231）的顶部，所述气缸组件2（236）的固定端则通过安装板（233）水平的固定在所述气缸组件1（235）的活动端，所述气缸组件2（236）的活动端上则固定有片材托架（239）；另外所述气缸组件3（237）的固定端竖直的固定在所述矩形框架（231）的侧面，所述气缸组件4（238）的固定端则水平的固定在所述气缸组件3（237）的活动端，所述气缸组件4（238）的活动端上则固定有片材托架（239）；所述片材托架（239）用于承托片材。

3.根据权利要求2所述的光学扫描和激光钻孔设备，其特征在于，所述吸尘盒（24）包括吸尘窗口（241）和吸尘罩（242），所述吸尘窗口（241）为矩形框，中间具有矩形窗口；所述吸尘罩（242）的一端与所述吸尘窗口（241）的一边联通固定，所述吸尘罩（242）的另一端连接气管进行抽气操作；所述吸尘盒（24）通过连接在所述吸尘窗口（241）两侧边的固定座（243）固定在所述基座（27）上，且使所述吸尘窗口（241）位于所述吸附平台（22）的上方。

4.根据权利要求3所述的光学扫描和激光钻孔设备，其特征在于，所述吸附平台（22）通过Y轴导轨（21）活动的设置在所述操作基座（27）上，并可在所述矩形框架（231）和所述吸尘窗口（241）下方的Y轴导轨（21）上进行Y轴方向的运动；所述吸附平台（22）包括吸附板和底板，其中所述吸附板上具有若干吸附孔，且位于底板的上方；所述吸附板和所述底板中间形成腔室，该腔室与固定在所述基座（27）上的真空软管（223）相连，通过所述真空软管（223）实现所述吸附平台（22）内腔室中气体的输送和抽出，以此调整所述吸附平台（22）对片材的吸附力强度。

5.根据权利要求4所述的光学扫描和激光钻孔设备，其特征在于，所述吸附平台（22）上还设置有定位块（221）、气缸（222）和调速阀（224）；在所述吸附板其中相邻两边内各固定有两个所述定位块（221），所述定位块（221）用来确定片材放置位置；所述气缸（222）固定在所述吸附板另外相邻两边上，用于将片材顶紧在所述定位块（221）位置上，从而固定片材在所述吸附平台（22）上的位置；所述调速阀（224）固定在所述吸附平台上，用于调节所述真空软管（223）对所述吸附平台（22）内气体输送和抽出的速度。

6.根据权利要求1所述的光学扫描和激光钻孔设备，其特征在于，所述横梁（31）通过垫块（25）固定的设置在所述基座（27）上；所述横梁（31）上设置有X轴导轨（32）、X轴电机（33），所述主轴（34）和所述副轴（35）通过X轴动板（37）活动的设置在所述X轴导轨（32）上，并可随所述X轴动板（37）在所述X轴导轨（32）上进行X轴方向的运动，所述X轴电机（33）为所述X轴动板（37）的运动提供动力；所述横梁（31）上还设置有X轴拖链（36），用于走线。

7.根据权利要求6所述的光学扫描和激光钻孔设备，其特征在于，所述主轴（34）通过Z主轴基板（341）固定在所述X轴动板（37）上，所述主轴（34）包括电机1（342）、Z主轴动板（348）、反射镜1（345）、反射镜2（346）、振镜（343）、场镜（344）、激光位移传感器1（349）和相机1（347），所述Z主轴动板（348）通过Z主轴导轨（3411）活动的设置在所述Z主轴基板（341）上，并在所述Z主轴导轨（3411）上进行Z轴方向的运动，所述电机1（342）为所述Z主轴动板（348）的运动提供动力；所述反射镜1（345）通过反射镜固定板（3451）固定的设置在所述Z主轴基板（341）上，用来接收所述光路***（4）提供的激光并将激光反射到所述反射镜2（346）上；所述振镜（343）、激光位移传感器1（349）和所述相机1（347）平行的固定在所述Z主轴动板（348）上；所述振镜（343）下端连接所述场镜（344），以此实现片材的钻孔操作；所述反射镜2（346）通过反射镜固定模块（3461）固定的设置在所述振镜（343）上，并将从所述反射镜1（345）接收到的激光反射、输送到所述振镜（343）中；所述激光位移传感器1（349）用于测量并控制主轴（34）距离片材的高度；所述相机1（347）下方链接镜头1（3471），用于检测片材表面及钻孔质量。

8.根据权利要求6所述的光学扫描和激光钻孔设备，其特征在于，所述副轴（35）通过Z副轴基板（352）固定在所述X轴动板（37）上，所述副轴（35）包括电机2（351）、Z副轴动板（353）、激光位移传感器2（355）和相机2（356），所述Z副轴动板（353）通过Z副轴导轨（3522）活动的设置在所述Z副轴基板（352）上，并在所述Z副轴导轨（3522）上进行Z轴方向的运动，所述电机2（351）为所述Z副轴动板（353）的运动提供动力；激光位移传感器2（355）和所述相机2（356）平行的固定在所述Z副轴动板（353）上；所述激光位移传感器2（349）用于测量并控制副轴（35）距离片材的高度；所述相机2（356）下方链接镜头2（357），用于扫描、检测片材表面质量。

9.根据权利要求7所述的光学扫描和激光钻孔设备，其特征在于，所述光路***（4）包括激光器（41）、光路1（42）和光路2（43）；所述激光器（41）和所述光路1（42）通过激光器放置座（44）固定在所述基座（27）上，所述光路2（43）通过光学元件放置座（45）固定在所述基座（27）上；所述激光器（41）发出的激光通过所述光路1（42）进入所述光路2（43），经所述光路2（44）直角反射改变方向后由所述光路2（44）射出到所述反射镜1（345）上。

10.根据权利要求9所述的光学扫描和激光钻孔设备，其特征在于，所述光路1（42）中包括光闸、扩束镜、分光镜和反射镜；所述光路2（43）中包括反射镜、整形镜和光阑。