CN108321260A - Led外延片研磨砂轮及其制备方法 - Google Patents
Led外延片研磨砂轮及其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108321260A CN108321260A CN201711492489.9A CN201711492489A CN108321260A CN 108321260 A CN108321260 A CN 108321260A CN 201711492489 A CN201711492489 A CN 201711492489A CN 108321260 A CN108321260 A CN 108321260A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- grinding wheel
- abrasive material
- epitaxial wafer
- led epitaxial
- carbon fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000227 grinding Methods 0.000 title claims abstract description 53
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims description 13
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 claims abstract description 43
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 claims description 29
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 claims description 29
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 23
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 22
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 22
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 22
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 22
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 claims description 21
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 claims description 20
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 20
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 20
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 19
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 11
- 238000010792 warming Methods 0.000 claims description 11
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims description 6
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 6
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229920001342 Bakelite® Polymers 0.000 claims description 2
- 239000004637 bakelite Substances 0.000 claims description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 claims 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000013467 fragmentation Methods 0.000 description 3
- 238000006062 fragmentation reaction Methods 0.000 description 3
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[La+3].[La+3] MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005864 Sulphur Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006477 desulfuration reaction Methods 0.000 description 1
- 230000023556 desulfurization Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 238000010406 interfacial reaction Methods 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000011946 reduction process Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/005—Processes
- H01L33/0095—Post-treatment of devices, e.g. annealing, recrystallisation or short-circuit elimination
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/52—Encapsulations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
本发明公开了一种LED外延片研磨砂轮，包括轮体与磨料；所述轮体设有复数个倾斜的卡槽；所述磨料位于卡槽内；所述磨料为金属结合剂磨料，在保证品质的同时又具有较长的寿命。
Description
技术领域
本发明属于砂轮技术，具体涉及一种LED外延片研磨砂轮及其制备方法。
背景技术
LED外延片是指在一块加热至适当温度的衬底基片（主要有蓝宝石、SiC、Si等）上所生长出的特定单晶薄膜。外延片处于LED产业链中的上游环节，是半导体照明产业技术含量最高、对最终产品品质、成本控制影响最大的环节。近年来，下游应用市场的繁荣带动我国LED产业迅猛发展，外延片市场也迎来发展良机。国内LED外延片产能快速提升，技术水平不断进步，产品已开始进入中高档次。在芯片市场供货偏紧和各地政策支持力度加大的背景下，2011年我国LED外延片产能继续扩张。在区域分布上，我国LED外延片企业主要集中在闽三角地区、环渤海湾地区和珠三角地区。外延片是LED核心器件中的前端高技术产品，我国在这一领域的企业竞争目前仍处于“蓝海”阶段。国内外延片市场的基本格局是外资企业产品技术占据主导，本土厂商逐步崛起。
外延片的加工必不可少的要经过减薄工艺，由于其莫氏硬度达7.0，为满足划片、裂片等后续工艺的要求，同样需要将衬底厚度减薄至一定程度。现有技术减薄后的衬底背面存在表面损伤，同时如果残余应力过大，也会导致后续裂片时容易发生碎裂，从而影响成品率，因此对于减薄机配套的研磨砂轮要求极高。
发明内容
本发明公开了一种LED外延片研磨砂轮及其制备方法，得到的LED外延片研磨砂轮解决了现有研磨砂轮存在的加工应力过大问题。
本发明采用如下技术方案：
一种LED外延片研磨砂轮，包括轮体与磨料；所述轮体设有复数个倾斜的卡槽；所述磨料位于卡槽内；所述磨料为金属结合剂磨料，在保证品质的同时又具有较长的寿命。
上述技术方案中，所述轮体优选为圆形；所述卡槽为36个；所述卡槽的倾斜角为10°，倾斜角定义为任一开槽长边与所对应的轮体直径夹角。
上述技术方案中，所述轮体采用高密度铝合金加工而成，具有较高的精度和光洁度，还可以采用胶木材料。
上述技术方案中，磨料为金属结合剂磨料块，被固定于轮体的卡槽内，磨料块优选配方，不但具有很好的锋利性，而且具有较长的寿命。优选的，所述磨料的制备方法包括以下步骤：
（1）将钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧放入三维混料机内，预混合2.5小时后再加入金刚石，混合6小时后过60目网，得到混合料；
（2）将混合料过200目筛网，然后于室温下以3.5吨/cm2的压力保压25分钟制得冷压坯体；
（3）将冷压坯体连同模具一同放置入烧结炉内，升温速率25℃/min，升温至最终烧结温度700℃保温0.5小时，随炉冷却至室温取出，去毛刺后得到磨料。
一种LED外延片研磨砂轮的制备方法，包括以下步骤：
（1）将钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧放入三维混料机内，预混合2.5小时后再加入金刚石，混合6小时后过60目网，得到混合料；
（2）将混合料过200目筛网，筛分4次，确保物料不结团，然后缓慢投入模具，转动模具并用刮刀刮平，放上上压环，连同模具放置于砂轮液压机的压制平台上，室温下施加压力3.5吨/cm2，保压25分钟从而制得冷压坯体；
（3）将冷压坯体连同模具一同放置入烧结炉内，升温速率25℃/min，升温至最终烧结温度700℃保温0.5小时，随炉冷却至室温取出，去毛刺后得到磨料；
（4）在基体上开设卡槽，得到轮体；
（5）将磨料用胶粘接固定在轮体卡槽内，得到预制件；
（6）将预制件内外圆加工后置于平面磨床，加工至图纸要求尺寸精度，得到LED外延片研磨砂轮。
本发明还公开了一种磨料及其制备方法，包括以下步骤：
（1）将钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧放入三维混料机内，预混合2.5小时后再加入金刚石，混合6小时后过60目网，得到混合料；
（2）将混合料过200目筛网，然后于室温下以3.5吨/cm2的压力保压25分钟制得冷压坯体；
（3）将冷压坯体连同模具一同放置入烧结炉内，升温速率25℃/min，升温至最终烧结温度700℃保温0.5小时，随炉冷却至室温取出，去毛刺后得到磨料。
上述技术方案中，钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧、金刚石的质量比为6∶2.5∶1.8∶0.7∶2.5；浓度过低会造成切割刀切削力不足，浓度过高会造成切割背崩过大，该浓度范围保证刀片具有很好的自锐性并兼具较长的寿命，钛和铝的联合加入，为钛与金刚石的界面反应提供足够的能量，可以强化胎体，同时还可以改善胎体对金刚石的润湿和粘接；特别是稀土元素的加入，可以有效降低合金的熔点，同时稀土元素也具有很强的脱氧、脱硫、脱氮作用，有抑制氧、硫、偏析的作用。
上述技术方案中，碳纤维的长度为8～10微米，直径为300纳米，可以提供优异 耐磨性，又避免对砂轮致密性的影响。
本发明创造性的设计倾斜的卡槽，同时优化金属磨料块设计，可以有效降低加工应力，减少后续工序裂片碎裂不良，利用金属间的联合作用可以提高切割刀的强度与硬度，结合稀土元素的加入避免金属元素析出，尤其是在制备坯体时加入碳纤维，可以提高最终产品的耐磨性，更主要是抑制金属镧的氧化，配合烧结参数，防止金属镧过度氧化，同时少量存在的氧化镧可以提供高的强度；而且具有较长的使用寿命，同时其独特的卡槽设计，可以很好的固定磨料块，防止其加工断裂。
附图说明
图1为实施例一LED外延片研磨砂轮的结构示意图；
其中，1为轮体，2为磨料，3为卡槽。
具体实施方式
实施例一
一种LED外延片研磨砂轮，包括轮体1与磨料2；所述轮体设有复数个倾斜的卡槽3，所述轮体为圆形；所述卡槽为36个；所述卡槽的倾斜角为10°，倾斜角定义为任一开槽长边与所对应的轮体直径夹角，见附图角度的标记，左边一根线指示开槽长边，右边一根线指示该开槽对应的轮体直径；所述磨料位于卡槽内。
磨料的制备包括以下步骤：
（1）将钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧放入三维混料机内，预混合2.5小时后再加入金刚石，混合6小时后过60目网，得到混合料；钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧、金刚石的质量比为6∶2.5∶1.8∶0.7∶2.5；碳纤维的长度为8～10微米，直径为300纳米；
（2）将混合料过200目筛网，筛分4次，确保物料不结团，然后缓慢投入模具，转动模具并用刮刀刮平，放上上压环，连同模具放置于砂轮液压机的压制平台上，室温下施加压力3.5吨/cm2，保压25分钟从而制得冷压坯体；
（3）将冷压坯体连同模具一同放置入烧结炉内，升温速率25℃/min，升温至最终烧结温度700℃保温0.5小时，随炉冷却至室温取出，去毛刺后得到磨料。
LED外延片研磨砂轮的制备方法包括以下步骤：
（1）将钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧放入三维混料机内，预混合2.5小时后再加入金刚石，混合6小时后过60目网，得到混合料；钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧、金刚石的质量比为6∶2.5∶1.8∶0.7∶2.5；碳纤维的长度为8～10微米，直径为300纳米；
（2）将混合料过200目筛网，筛分4次，确保物料不结团，然后缓慢投入模具，转动模具并用刮刀刮平，放上上压环，连同模具放置于砂轮液压机的压制平台上，室温下施加压力3.5吨/cm2，保压25分钟从而制得冷压坯体；
（3）将冷压坯体连同模具一同放置入烧结炉内，升温速率25℃/min，升温至最终烧结温度700℃保温0.5小时，随炉冷却至室温取出，去毛刺后得到磨料；
（4）在基体上利用常规技术开设卡槽，得到轮体；
（5）将磨料用胶粘接固定在轮体卡槽内，得到预制件；
（6）将预制件内外圆加工后置于平面磨床，加工至图纸要求尺寸精度，得到LED外延片研磨砂轮。
该LED外延片研磨砂轮可以用于LED外延片的减薄磨削，具有自锐性强和寿命长的特点，常规加工负载小于22，可以有效避免破片，可精加工660μm厚度的4吋片，一般寿命约为3500片，高于现有常见进口产品。
对比例一
（1）将钛粉、铝粉、碳纤维放入三维混料机内，预混合2.5小时后再加入金刚石，混合6小时后过60目网，得到混合料；钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧、金刚石的质量比为6∶2.5∶2∶2.5；碳纤维的长度为8～10微米，直径为300纳米；
（2）将混合料过200目筛网，筛分4次，确保物料不结团，然后缓慢投入模具，转动模具并用刮刀刮平，放上上压环，连同模具放置于砂轮液压机的压制平台上，室温下施加压力3.5吨/cm2，保压25分钟从而制得冷压坯体；
（3）将冷压坯体连同模具一同放置入烧结炉内，升温速率25℃/min，升温至最终烧结温度700℃保温0.5小时，随炉冷却至室温取出，去毛刺后得到磨料；
（4）在基体上利用常规技术开设卡槽，得到轮体；
（5）将磨料用胶粘接固定在轮体卡槽内，得到预制件；
（6）将预制件内外圆加工后置于平面磨床，加工至图纸要求尺寸精度，得到LED外延片研磨砂轮。该减薄砂轮用于LED外延片的减薄磨削，常规加工负载小于22，可精加工660μm厚度的4吋片，寿命约为2600片，高于现有常见进口产品。
对比例二
（1）将钛粉、铝粉、金属镧放入三维混料机内，预混合2.5小时后再加入金刚石，混合6小时后过60目网，得到混合料；钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧、金刚石的质量比为6∶2.5∶1.5∶2.5；碳纤维的长度为8～10微米，直径为300纳米；
（2）将混合料过200目筛网，筛分4次，确保物料不结团，然后缓慢投入模具，转动模具并用刮刀刮平，放上上压环，连同模具放置于砂轮液压机的压制平台上，室温下施加压力3.5吨/cm2，保压25分钟从而制得冷压坯体；
（3）将冷压坯体连同模具一同放置入烧结炉内，升温速率25℃/min，升温至最终烧结温度700℃保温0.5小时，随炉冷却至室温取出，去毛刺后得到磨料；
（4）在基体上利用常规技术开设卡槽，得到轮体；
（5）将磨料用胶粘接固定在轮体卡槽内，得到预制件；
（6）将预制件内外圆加工后置于平面磨床，加工至图纸要求尺寸精度，得到LED外延片研磨砂轮。该减薄砂轮用于LED外延片的减薄磨削，常规加工负载小于22，可精加工660μm厚度的4吋片，寿命约为2700片，高于现有常见进口产品。
对比例三
（1）将钛粉、碳纤维、金属镧放入三维混料机内，预混合2.5小时后再加入金刚石，混合6小时后过60目网，得到混合料；钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧、金刚石的质量比为6∶2∶0.8∶2.5；碳纤维的长度为8～10微米，直径为300纳米；
（2）将混合料过200目筛网，筛分4次，确保物料不结团，然后缓慢投入模具，转动模具并用刮刀刮平，放上上压环，连同模具放置于砂轮液压机的压制平台上，室温下施加压力3.5吨/cm2，保压25分钟从而制得冷压坯体；
（3）将冷压坯体连同模具一同放置入烧结炉内，升温速率25℃/min，升温至最终烧结温度700℃保温0.5小时，随炉冷却至室温取出，去毛刺后得到磨料；
（4）在基体上利用常规技术开设卡槽，得到轮体；
（5）将磨料用胶粘接固定在轮体卡槽内，得到预制件；
（6）将预制件内外圆加工后置于平面磨床，加工至图纸要求尺寸精度，得到LED外延片研磨砂轮。该减薄砂轮用于LED外延片的减薄磨削，常规加工负载25，可精加工660μm厚度的4吋片，寿命约为2500片，高于现有常见进口产品。
Claims (10)
1.一种LED外延片研磨砂轮，包括轮体与磨料；所述轮体设有复数个倾斜的卡槽；所述磨料位于卡槽内；所述磨料为金属结合剂磨料。
2.根据权利要求1所述LED外延片研磨砂轮，其特征在于，所述轮体为圆形；所述卡槽为36个；所述卡槽的倾斜角为10°。
3.根据权利要求1所述LED外延片研磨砂轮，其特征在于，所述轮体采用高密度铝合金或者胶木加工而成。
4.根据权利要求1所述LED外延片研磨砂轮，其特征在于，所述磨料的制备方法包括以下步骤：
（1）将钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧放入三维混料机内，预混合2.5小时后再加入金刚石，混合6小时后过60目网，得到混合料；
（2）将混合料过200目筛网，然后于室温下以3.5吨/cm2的压力保压25分钟制得冷压坯体；
（3）将冷压坯体连同模具一同放置入烧结炉内，升温速率25℃/min，升温至最终烧结温度700℃保温0.5小时，随炉冷却至室温取出，去毛刺后得到磨料。
5. 根据权利要求4所述LED外延片研磨砂轮，其特征在于，钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧、金刚石的质量比为6∶2.5∶1.8∶0.7∶2.5；所述碳纤维的长度为8～10微米，直径为300纳米，可以提供优异 耐磨性，又避免对砂轮致密性的影响。
6.权利要求1所述LED外延片研磨砂轮的制备方法，包括以下步骤：
将钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧放入三维混料机内，预混合2.5小时后再加入金刚石，混合6小时后过60目网，得到混合料；
（2）将混合料过200目筛网，筛分4次，确保物料不结团，然后缓慢投入模具，转动模具并用刮刀刮平，放上上压环，连同模具放置于砂轮液压机的压制平台上，室温下施加压力3.5吨/cm2，保压25分钟从而制得冷压坯体；
（3）将冷压坯体连同模具一同放置入烧结炉内，升温速率25℃/min，升温至最终烧结温度700℃保温0.5小时，随炉冷却至室温取出，去毛刺后得到磨料；
（4）在基体上开设卡槽，得到轮体；
（5）将磨料用胶粘接固定在轮体卡槽内，得到预制件；
（6）将预制件内外圆加工后置于平面磨床，加工至图纸要求尺寸精度，得到LED外延片研磨砂轮。
7. 根据权利要求6所述LED外延片研磨砂轮的制备方法，其特征在于，钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧、金刚石的质量比为6∶2.5∶1.8∶0.7∶2.5；所述碳纤维的长度为8～10微米，直径为300纳米，可以提供优异 耐磨性，又避免对砂轮致密性的影响。
8.一种磨料，其特征在于，所述磨料的制备方法包括以下步骤：
（1）将钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧放入三维混料机内，预混合2.5小时后再加入金刚石，混合6小时后过60目网，得到混合料；
（2）将混合料过200目筛网，然后于室温下以3.5吨/cm2的压力保压25分钟制得冷压坯体；
（3）将冷压坯体连同模具一同放置入烧结炉内，升温速率25℃/min，升温至最终烧结温度700℃保温0.5小时，随炉冷却至室温取出，去毛刺后得到磨料。
9. 根据权利要求8所述磨料，其特征在于，钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧、金刚石的质量比为6∶2.5∶1.8∶0.7∶2.5；所述碳纤维的长度为8～10微米，直径为300纳米，可以提供优异耐磨性，又避免对砂轮致密性的影响。
10.权利要求8所述磨料在制备LED外延片研磨砂轮中的应用。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711492489.9A CN108321260B (zh) | 2017-12-30 | 2017-12-30 | Led外延片研磨砂轮及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711492489.9A CN108321260B (zh) | 2017-12-30 | 2017-12-30 | Led外延片研磨砂轮及其制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108321260A true CN108321260A (zh) | 2018-07-24 |
| CN108321260B CN108321260B (zh) | 2020-02-14 |
Family
ID=62893647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201711492489.9A Active CN108321260B (zh) | 2017-12-30 | 2017-12-30 | Led外延片研磨砂轮及其制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108321260B (zh) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN203418448U (zh) * | 2013-08-26 | 2014-02-05 | 河南万克钻石工具有限公司 | 一种斜边树脂结合剂金刚石砂轮 |
| CN104128897A (zh) * | 2014-08-11 | 2014-11-05 | 中原工学院 | 一种采用湿化学方法成型微波烧结制备陶瓷cBN砂轮的方法 |
| CN104400672A (zh) * | 2014-10-29 | 2015-03-11 | 杨祝华 | 金属结合剂金刚石砂轮 |
| CN104829255A (zh) * | 2015-04-20 | 2015-08-12 | 凤阳徽亨商贸有限公司 | 一种含有碳增强纤维的陶瓷碳化硅砂轮 |
| CN106863152A (zh) * | 2016-12-28 | 2017-06-20 | 北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司 | 金属结合剂、采用该结合剂制备的金刚石砂轮及其制造方法 |
-
2017
- 2017-12-30 CN CN201711492489.9A patent/CN108321260B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN203418448U (zh) * | 2013-08-26 | 2014-02-05 | 河南万克钻石工具有限公司 | 一种斜边树脂结合剂金刚石砂轮 |
| CN104128897A (zh) * | 2014-08-11 | 2014-11-05 | 中原工学院 | 一种采用湿化学方法成型微波烧结制备陶瓷cBN砂轮的方法 |
| CN104400672A (zh) * | 2014-10-29 | 2015-03-11 | 杨祝华 | 金属结合剂金刚石砂轮 |
| CN104829255A (zh) * | 2015-04-20 | 2015-08-12 | 凤阳徽亨商贸有限公司 | 一种含有碳增强纤维的陶瓷碳化硅砂轮 |
| CN106863152A (zh) * | 2016-12-28 | 2017-06-20 | 北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司 | 金属结合剂、采用该结合剂制备的金刚石砂轮及其制造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN108321260B (zh) | 2020-02-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101905449B (zh) | 多孔金属结合剂钎焊金刚石砂轮的制备方法 | |
| CN108326280A (zh) | 一种超薄蓝宝石玻璃切割用金刚石切割刀及其制备方法 | |
| CN105563363B (zh) | 一种离心干燥造粒技术制备陶瓷结合剂堆积磨料的方法 | |
| CN102229122A (zh) | 陶瓷结合剂磨钻石专用金刚石砂轮 | |
| CN105856089A (zh) | 一种研磨复合体及其制备方法 | |
| US11179828B2 (en) | Additive raw material composition and additive for superhard material product, preparation method of the additive, composite binding agent and superhard material product, self-sharpening diamond grinding wheel and preparation method of the same | |
| CN105583743B (zh) | 一种金刚石砂轮及其制备方法 | |
| CN103395009B (zh) | 一种陶瓷空心球多层钎焊金刚石节块及其制作方法 | |
| CN101121253A (zh) | 一种新型铝基金属结合剂金刚石工具及其制备方法 | |
| CN102218537A (zh) | 一种粉末冶金制备预变形线金刚石线据的方法 | |
| CN106753241B (zh) | 磁性磨料及其制备方法 | |
| CN109848426A (zh) | 金刚石套料钻制备方法及金刚石套料钻材质 | |
| CN110340345A (zh) | 一种纳米相增强铜基金刚石工具胎体粉及胎体制备方法 | |
| CN106566968A (zh) | 一种滤光片玻璃切割用金刚石划片刀及其制备方法 | |
| CN104944956B (zh) | 一种基于凝胶反应的多晶纳米金刚石磨具制备方法 | |
| CN106041764A (zh) | 一种复合结合剂金刚石砂轮 | |
| CN100446928C (zh) | 金刚石布拉磨具及其生产方法 | |
| CN110900472A (zh) | 氧化物基金属陶瓷结合剂超硬砂轮及其制备方法 | |
| CN113894711A (zh) | 一种用于汽车玻璃磨削的金刚石砂轮及其制备方法 | |
| CN109702188A (zh) | 一种金刚石工具用铜基预合金粉添加剂及其制备方法 | |
| CN109227411A (zh) | 一种环保树脂钹型砂轮 | |
| CN108321260A (zh) | Led外延片研磨砂轮及其制备方法 | |
| CN106216660B (zh) | 一种耐磨性好的金刚石磨具用胎体材料及制备方法 | |
| CN104175237A (zh) | 稀土改性钨基结合剂金刚石磨轮及其制造方法 | |
| CN108943424B (zh) | 超薄陶瓷波纹锯片工具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |