CN108288638A - 一种触控基板及其制备方法、触控显示装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的实施例提供一种触控基板及其制备方法、触控显示装置，涉及触控技术领域，可无需采用曝光工艺形成触控电极。一种触控基板，包括衬底、设置于所述衬底上的第一基层、设置于所述第一基层远离所述衬底一侧的多个第一触控电极；所述第一基层包括与多个第一触控电极分别对应的多个第一凹槽，第一触控电极位于第一凹槽内。

Description

一种触控基板及其制备方法、触控显示装置
技术领域
本发明涉及触控技术领域，尤其涉及一种触控基板及其制备方法、触控显示装置。
背景技术
随着显示技术的飞速发展，TP(Touch Panel，触控屏)的诞生使人们的生活更加便捷。
传统的TP中，触控电极采用ITO(氧化铟锡)制成，且一般通过曝光工艺进行图案化。然而，由于曝光工艺大部分材料会被刻蚀，会存在材料严重浪费的问题。
发明内容
本发明的实施例提供一种触控基板及其制备方法、触控显示装置，可无需采用曝光工艺形成触控电极。
为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
第一方面，提供一种触控基板，包括衬底、设置于所述衬底上的第一基层、设置于所述第一基层远离所述衬底一侧的多个第一触控电极；所述第一基层包括与多个所述第一触控电极分别对应的多个第一凹槽，所述第一触控电极位于所述第一凹槽内。
可选的，所述第一触控电极与所述第一凹槽一一对应。
进一步的，一一对应的所述第一凹槽和第一触控电极在所述衬底上的正投影完全重合。
可选的，所述第一触控电极的材料包括纳米银。
可选的，所述第一基层的材料包括聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、环烯烃共聚物、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯中的至少一种。
可选的，所述第一基层的厚度在3～20μm范围内。
可选的，所述第一触控电极呈块状，且多个所述第一触控电极呈阵列排布。
或者，可选的，所述第一触控电极沿第一方向延伸；在此基础上，所述触控基板还包括设置于所述衬底上的第二基层、设置于所述第二基层远离所述衬底一侧的多个第二触控电极；所述第二基层包括与多个所述第二触控电极分别对应的多个第二凹槽，所述第二触控电极位于所述第二凹槽内；所述第二触控电极沿第二方向延伸；所述第一方向与所述第二方向交叉；所述第二触控电极的材料与所述第一触控电极的相同。
第二方面，提供一种触控显示装置，包括第一方面所述的触控基板。
可选的，所述触控显示装置还包括显示面板，所述触控基板设置于所述显示面板的出光侧。
可选的，所述显示面板为OLED显示面板或柔性LCD显示面板。
第三方面，提供一种触控基板的制备方法，包括：在衬底上形成绝缘薄膜；在所述绝缘薄膜表面压制与待形成的多个第一触控电极分别对应的多个凹槽，形成第一基层中间体；对所述第一基层中间体进行固化，使所述凹槽形成为第一凹槽，得到第一基层；在所述第一基层的所述第一凹槽内形成第一触控电极。
可选的，所述第一触控电极与所述第一凹槽一一对应。
可选的，所述第一触控电极的材料包括纳米银。
可选的，在衬底上形成绝缘薄膜，在所述绝缘薄膜表面压制与待形成的多个第一触控电极分别对应的多个凹槽，形成第一基层中间体，包括：在衬底上通过涂布工艺形成绝缘薄膜；蒸发去除所述绝缘薄膜中40～80％的溶剂；在所述绝缘薄膜表面压制与待形成的多个第一触控电极分别对应的多个凹槽，形成所述第一基层中间体。
可选的，对所述第一基层中间体进行固化，包括：蒸发去除所述第一基层中间体中90％及以上的溶剂。
可选的，在所述第一基层的所述第一凹槽内形成所述第一触控电极，包括：在所述第一基层的所述第一凹槽内通过溶液制程，形成所述第一触控电极。
进一步可选的，所述溶液制程包括打印工艺或印刷工艺。
可选的，所述制备方法还包括：采用形成所述第一基层和所述第一触控电极的方法，在所述衬底上形成第二基层和多个第二触控电极；所述第二基层包括与多个所述第二触控电极分别对应的多个第二凹槽，所述第二触控电极位于所述第二凹槽内；所述第二触控电极的材料与所述第一触控电极的相同。
本发明的实施例提供一种触控基板及其制备方法、触控显示装置，通过触控基板上形成具有多个第一凹槽的第一基层，并使多个第一凹槽与待形成的多个第一触控电极分别对应，可结合相应的工艺(例如打印、印刷等)，在无需采用曝光工艺的前提下将第一触控电极形成在第一凹槽内，从而可降低成本。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1a为本发明提供的一种触控基板上第一基层和第一触控电极的示意图；
图1b为图1a中AA′向剖视示意图；
图2a为本发明提供的一种触控基板上第一基层、第一触控电极、第二基层和第二触控电极的示意图；
图2b为图2a中BB′向剖视示意图；
图3为本发明提供的一种触控基板制备方法的流程示意图一；
图4a为在衬底上形成绝缘薄膜的示意图；
图4b为图4a中CC′向剖视示意图；
图5a为在图4a基础上形成第一凹槽的示意图一；
图5b为图5a中DD′向剖视示意图；
图6a为在图4a基础上形成第一凹槽的示意图二；
图6b为图6a中EE′向剖视示意图；
图7a为在图6a基础上在第一凹槽内形成第一触控电极的示意图；
图7b为图7a中FF′向剖视示意图；
图8a为在图5a基础上在第一基层的第一凹槽一侧形成纳米银层的俯视示意图；
图8b为图8a中GG′向剖视示意图；
图9为本发明提供的一种触控基板制备方法的流程示意图二；
图10为本发明提供的一种触控基板制备方法的流程示意图三。
附图标记：
10-绝缘薄膜；11-第一凹槽；12-第一基层；20-纳米银层；21-第一触控电极；22-第二触控电极；31-第二凹槽；32-第二基层。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提供一种触控基板，如图1a和图1b，或者，图2a和图2b所示，包括衬底、设置于衬底上的第一基层12、设置于第一基层12远离衬底一侧的多个第一触控电极21；第一基层12包括与所述多个第一触控电极21分别对应的多个第一凹槽11，第一触控电极21位于第一凹槽11内。
需要说明的是，第一触控电极21的形状可根据具体的触控方式而定，触控方式包括自容和互容。相应的，第一凹槽11的形状可根据其所对应的第一触控电极21的形状而定。
此外，衬底可以是玻璃衬底、塑料衬底等。在此基础上，在形成第一基层12前，衬底上可以形成有其他膜层或图案，也可以未形成其他膜层或图案。
本发明实施例提供一种触控基板，通过设置具有多个第一凹槽11的第一基层12，并使多个第一凹槽11与待形成的多个第一触控电极21分别对应，可结合相应的工艺(例如打印、印刷等)，在无需采用曝光工艺的前提下将第一触控电极21形成在第一凹槽11内，从而可降低成本。
可选的，如图1a和图1b，或者，图2a和图2b所示，第一触控电极21与第一凹槽11一一对应。进一步的，一一对应的第一凹槽11和第一触控电极21在衬底上的正投影完全重合。
这样，根据第一触控电极21的形状和尺寸，仅需控制第一凹槽11形状与尺寸，便可形成相应形状和尺寸的第一触控电极21。
在此基础上，为保证表面平坦，还可使第一触控电极21的厚度与第一凹槽11的深度相等。
可选的，第一触控电极21的材料包括纳米银。通过将纳米银材料用于第一触控电极21，可取代ITO，从而满足曲面或柔性产品的需求。
当然，第一触控电极21的材料也可以为石墨烯、碳纳米管等。
可选的，第一基层12的材料包括聚酰亚胺(PI)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、环烯烃共聚物(COP)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚碳酸酯(PC)中的至少一种。其中，由于PI的性能稳定且耐高温，因此，优选第一基层12的材料采用PI。
这样，可采用涂布工艺来形成绝缘薄膜，从而在工艺上可较容易的在绝缘薄膜表面形成第一凹槽11，从而形成第一基层12。
可选的，第一基层12的厚度在3～20μm范围内。在保证能形成第一凹槽11的基础上，可避免由于太厚而影响出光率。
可选的，第一凹槽11的深度可以在1～5μm范围内。
可选的，如图1a和图1b所示，第一触控电极21呈块状，且多个第一触控电极21呈阵列排布。即，第一触控电极21基于自容方式进行触控识别。
或者，可选的，如图2a和图2b所示，第一触控电极21沿第一方向延伸；所述触控基板还包括设置于所述衬底上的第二基层32、设置于第二基层32远离衬底一侧的多个第二触控电极22；第二基层32包括与所述多个第二触控电极22分别对应的多个第二凹槽31，第二触控电极22位于第二凹槽31内；第二触控电极22沿第二方向延伸；第一方向与第二方向交叉；第二触控电极22的材料与第一触控电极21的相同。
其中，第一触控电极21和第二触控电极22的形状，可以如图2a所示为条形，也可以为网格形。当然，第一触控电极21和第二触控电极22的形状还可以是其他形状，只有能准确识别触控位置即可。
基于此，第一触控电极21和第二触控电极22基于互容方式进行触控识别。
其中，第二基层32的材料包括PI、PET、COP、PMMA、PC中的至少一种。
第二基层32的厚度在3～20μm范围内。第二凹槽31的深度可以在1～5μm范围内。
本发明实施例还提供一种触控显示装置，包括上述的触控基板。具有与所述触控基板相同的有益效果。
可选的，所述触控显示装置还包括显示面板，显示面板可以为OLED显示面板或者柔性LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)显示面板。更有利于触控显示装置实现柔性、曲面等。
其中，所述触控基板可设置于显示面板的出光侧。这样，在制作触控基板时，可无需考虑工艺温度对显示面板中的结构的影响。
本发明实施例还提供一种触控基板的制备方法，如图3所示，包括：
S11、如图4a和图4b所示，在衬底上形成绝缘薄膜10。
其中，该绝缘薄膜为透明绝缘薄膜。此处透明可以理解为透过率在60％～100％之间。绝缘薄膜10的材料可以是有机树脂。
需要说明的是，在选择绝缘薄膜10的材料时，应结合形成绝缘薄膜10的工艺，在不影响其他结构的前提下，在S12中能通过模具压制出所需的凹槽的图案。
此外，衬底可以是玻璃衬底、塑料衬底等。在此基础上，在形成绝缘薄膜10前，衬底上可以形成有其他膜层或图案，也可以未形成其他膜层或图案。
S12、在所述绝缘薄膜10表面压制与待形成的多个第一触控电极分别对应的多个凹槽，形成第一基层中间体。
具体的，可使用模具在绝缘薄膜10表面压制与待形成的多个第一触控电极分别对应的多个凹槽，形成第一基层中间体。
其中，所述模具可以具有与该凹槽一一对应的凸起，通过将模具的凸起靠近绝缘薄膜10，并按压在绝缘薄膜10上，形成位于预定位置的凹槽，从而使绝缘薄膜10形成为第一基层中间体。
S13、如图5a和图5b或者如图6a和图6b所示，对所述第一基层中间体进行固化，使所述凹槽形成为第一凹槽11，得到第一基层12。
需要说明的是，本领域技术人员明白，第一基层中间体和第一基层12的不同在于，经过固化后，第一基层12以及第一凹槽11的形状被完全固定下来。其中，相对第一基层中间体上的凹槽，固化后得到的第一凹槽11的尺寸可能略小于凹槽的尺寸，但凹槽与第一凹槽11的形状基本不会发生变化。
其中，根据绝缘薄膜10所采用的材料，如果使用的是可溶型材料，如可溶性的PI，那么固化过程并未发生化学反应，仅仅是蒸发去除溶剂。而如果绝缘薄膜10的材料使用的是不可以直接溶解的材料，例如PI的前驱体聚酰胺酸，那么固化过程会发生化学反应，即蒸发溶剂过程中和蒸发溶剂后，聚酰胺酸会脱水缩合发生化学反应，形成聚酰亚胺。
S14、如图1a和图1b或者如图7a和图7b所示，在第一基层12的第一凹槽11内形成第一触控电极21。
可选的，第一触控电极21与第一凹槽11一一对应。
其中，第一触控电极21的形状可根据具体的触控方式而定，触控方式包括自容和互容。基于此，根据第一触控电极21的形状，设计相应的模具的凸起，以使得形成于第一凹槽11中的第一触控电极21的形状就是期望的形状。
本发明实施例提供一种触控基板的制备方法，通过形成具有多个第一凹槽11的第一基层12，并使多个第一凹槽11与待形成的多个第一触控电极21分别对应，可结合相应的工艺(例如打印、印刷等)，在无需采用曝光工艺的前提下将第一触控电极21形成在第一凹槽11内，从而可降低成本。
可选的，第一触控电极21的材料包括纳米银。通过将纳米银材料用于第一触控电极21，可取代ITO，从而满足曲面或柔性产品的需求。
可选的，上述S11和S12可具体通过如下步骤实现：
S111、在衬底上通过涂布工艺形成绝缘薄膜10。
本领域技术人员应该明白，通过涂布工艺形成绝缘薄膜10，即，在衬底上涂布包括绝缘材料的溶液，而形成绝缘薄膜10。
其中，绝缘薄膜10的材料可包括PI、聚酰胺酸、PET、COP、PMMA、PC中的至少一种。绝缘薄膜10的厚度可以在3～20μm范围内。
S121、蒸发去除所述绝缘薄膜10中40～80％的溶剂。
具体的，可将形成有绝缘薄膜10的基板置于干燥设备中，蒸发去除所述绝缘薄膜10中40～80％的溶剂。其中，所述干燥设备具体可以是高热减压干燥设备。
当所述绝缘薄膜10中40～80％的溶剂被去除后，绝缘薄膜10的表面已经完全干燥。其中，选取40～80％的范围，是考虑到大于80％，绝缘薄膜10太硬后续不好压制形成凹槽，如果低于40％，在压制凹槽后，可能存在凹槽的形状不好固定的问题。
S122、在绝缘薄膜10表面压制与待形成的多个第一触控电极21分别对应的多个凹槽，形成第一基层中间体。
本发明实施例中，通过涂布工艺形成绝缘薄膜10，并对绝缘薄膜10进行一定程度的干燥后，通过模具压制可较容易的形成凹槽，而且可使凹槽的形状能定形。
在此基础上，S13中对所述第一基层中间体进行固化，可具体通过如下方式实现，包括：蒸发去除所述第一基层中间体中90％及以上的溶剂。
其中，在蒸发去除第一基层中间体中90％及以上的溶剂时，可以将形成有第一基层中间体的基板置于干燥设备中或者烘箱中，以蒸发去除第一基层中间体中的溶剂。
可选的，上述S14可通过如下几种方式实现：
方式一：在第一基层12的第一凹槽11内通过打印工艺，形成第一触控电极21。
具体的，可在第一基层12的第一凹槽11内，打印纳米银浆，形成第一触控电极21。
方式二：在第一基层12的第一凹槽11内通过印刷工艺，形成第一触控电极21。
具体的，可在第一基层12的第一凹槽11内，将含有纳米银的油墨通过印刷，填到第一凹槽11内，固化成型后形成第一触控电极21。
其中，方式一和方式二属于溶液制程。
方式三：在第一基层12表面形成整面的纳米银层，刻蚀去除一定厚度的纳米银层后，露出第一凹槽11内的纳米银层，形成第一触控电极21。
具体的，在第一基层12的具有第一凹槽11的表面涂布纳米银的溶液，干燥固化后，形成纳米银层20(如图8a和图8b所示)。之后，进行灰化，整面刻蚀掉一定厚度的纳米银层20，露出第一凹槽11内的纳米银层20，形成第一触控电极21(参考图1a和图1b)。
其中，由于第一凹槽11位置的纳米银层20相对其他位置的厚度更厚，因此，通过选择合适的刻蚀深度就可以将位于非第一凹槽11中的银浆全部都刻蚀掉，而仅保留第一凹槽11内的纳米银层20，形成第一触控电极21。第一触控电极21的厚度优选与第一凹槽11的厚度相等。
示例的，若第一凹槽11位置的纳米银层20厚度为A+B，其他位置的纳米银层20厚度为A，通过刻蚀，可将厚度A的纳米银层20刻蚀掉，从而保留第一凹槽11内的B厚度的纳米银层20；可以理解的是，第一凹槽11的厚度为B。
对于上述的方式一、方式二和方式三，都无需采用曝光工艺，工艺都较为简单。其中，方式一和方式二，相对传统的曝光工艺，可大幅提高材料的利用率，从而可进一步降低成本。
基于上述描述，可选的，如图1a和图1b所示，第一触控电极21呈块状，且多个第一触控电极21呈阵列排布。即，第一触控电极21基于自容方式进行触控识别。
或者，可选的，如图2a和图2b所示，所述制备方法还包括：采用形成所述第一基层12和第一触控电极21的方法，在衬底上形成第二基层32和多个第二触控电极22；第二基层32包括与所述多个第二触控电极22分别对应的多个第二凹槽31，第二触控电极22位于第二凹槽31内；第二触控电极22的材料与第一触控电极21的相同。
具体的，第一触控电极21可沿第一方向延伸；第二触控电极沿第二方向延伸；第一方向与第二方向交叉。
第一触控电极21和第二触控电极22的形状，可以为条形，也可以为网格形。
基于此，第一触控电极21和第二触控电极22基于互容方式进行触控识别。
需要说明的是，可采用上述任一种形成第一基层12以及第一触控电极21的方法，来形成第二基层32，并在第二基层32的第二凹槽31内形成第二触控电极22。
此外，图2a～图2b以第一基层12和第二基层32接触进行示意，但本发明并不限于此。
下面提供两个实施例具体说明两种触控基板的制备方法。
实施例一
提供一种基于自容方式的触控基板的制备方法，如图9所示，包括如下步骤：
S21、如图4a和图4b所示，在衬底上通过涂布工艺形成绝缘薄膜10。
其中，绝缘薄膜10的材料可以采用PI。
S22、将形成有绝缘薄膜10的基板置于高热减压干燥设备中，去除所述绝缘薄膜10中40～80％的溶剂。
S23、使用模具在绝缘薄膜10表面压制与待形成的多个第一触控电极21分别对应的多个凹槽，形成第一基层中间体。
其中，凹槽的形状为块状，且所有凹槽呈阵列排布。
S24、将形成有第一基层中间体的基板再次置于高热减压干燥设备中，去除第一基层中间体中90％及以上的溶剂，使所述凹槽形成为第一凹槽11，得到如图5a和图5b所示的第一基层12。
S25、如图1a和图1b所示，在第一基层12的第一凹槽11内打印纳米银浆，形成第一触控电极21。
实施例二
提供一种基于互容方式的触控基板的制备方法，如图10所示，包括如下步骤：
S31、如图4a和图4b所示，在衬底上通过涂布工艺形成绝缘薄膜10。
其中，绝缘薄膜10的材料可以采用PI。
S32、将形成有绝缘薄膜10的基板置于高热减压干燥设备中，去除所述绝缘薄膜10中40～80％的溶剂。
S33、使用模具在绝缘薄膜10表面压制与待形成的多个第一触控电极21分别对应的多个凹槽，形成第一基层中间体。
其中，凹槽的形状为条形，所有凹槽平行排布，且沿第一方向延伸。
S34、将形成有第一基层中间体的基板再次置于高热减压干燥设备中，去除第一基层中间体中90％及以上的溶剂，使所述凹槽形成为第一凹槽11，得到如图6a和图6b所示的第一基层12。
S35、如图7a和图7b所示，在第一基层12的第一凹槽11内打印纳米银浆，形成第一触控电极21。
S36、重复S31-S33，形成第二基层中间体，第二基层中间体包括的多个凹槽与待形成的多个第二触控电极分别对应。
其中，第二基层中间体的凹槽的形状为条形，沿第二方向延伸，且平行排布。
S37、重复S34-S35，形成第二基层32，并在第二基层32的第二凹槽31内形成如图2a和图2b所示的第二触控电极22。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (17)

1.一种触控基板，其特征在于，包括衬底、设置于所述衬底上的第一基层、设置于所述第一基层远离所述衬底一侧的多个第一触控电极；
所述第一基层包括与多个所述第一触控电极分别对应的多个第一凹槽，所述第一触控电极位于所述第一凹槽内。
2.根据权利要求1所述的触控基板，其特征在于，所述第一触控电极与所述第一凹槽一一对应。
3.根据权利要求2所述的触控基板，其特征在于，一一对应的所述第一凹槽和所述第一触控电极在所述衬底上的正投影完全重合。
4.根据权利要求1所述的触控基板，其特征在于，所述第一触控电极的材料包括纳米银。
5.根据权利要求1所述的触控基板，其特征在于，所述第一基层的材料包括聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、环烯烃共聚物、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯中的至少一种。
6.根据权利要求1所述的触控基板，其特征在于，所述第一基层的厚度在3～20μm范围内。
7.根据权利要求1-6任一项所述的触控基板，其特征在于，所述第一触控电极呈块状，且多个所述第一触控电极呈阵列排布；或者，
所述第一触控电极沿第一方向延伸；
所述触控基板还包括设置于所述衬底上的第二基层、设置于所述第二基层远离所述衬底一侧的多个第二触控电极；
所述第二基层包括与多个所述第二触控电极分别对应的多个第二凹槽，所述第二触控电极位于所述第二凹槽内；所述第二触控电极沿第二方向延伸；所述第一方向与所述第二方向交叉；
所述第二触控电极的材料与所述第一触控电极的相同。
8.一种触控显示装置，其特征在于，包括权利要求1-7任一项所述的触控基板。
9.根据权利要求8所述的触控显示装置，其特征在于，还包括显示面板，所述显示面板为OLED显示面板或柔性LCD显示面板。
10.一种触控基板的制备方法，其特征在于，包括：
在衬底上形成绝缘薄膜；
在所述绝缘薄膜表面压制与待形成的多个第一触控电极分别对应的多个凹槽，形成第一基层中间体；
对所述第一基层中间体进行固化，使所述凹槽形成为第一凹槽，得到第一基层；
在所述第一基层的所述第一凹槽内形成所述第一触控电极。
11.根据权利要求10所述的制备方法，其特征在于，所述第一触控电极与所述第一凹槽一一对应。
12.根据权利要求10所述的制备方法，其特征在于，所述第一触控电极的材料包括纳米银。
13.根据权利要求10所述的制备方法，其特征在于，在衬底上形成绝缘薄膜，在所述绝缘薄膜表面压制与待形成的多个第一触控电极分别对应的多个凹槽，形成第一基层中间体，包括：
在衬底上通过涂布工艺形成绝缘薄膜；
蒸发去除所述绝缘薄膜中40～80％的溶剂；
在所述绝缘薄膜表面压制与待形成的多个第一触控电极分别对应的多个凹槽，形成所述第一基层中间体。
14.根据权利要求10所述的制备方法，其特征在于，对所述第一基层中间体进行固化，包括：
蒸发去除所述第一基层中间体中90％及以上的溶剂。
15.根据权利要求10所述的制备方法，其特征在于，在所述第一基层的所述第一凹槽内形成所述第一触控电极，包括：
在所述第一基层的所述第一凹槽内通过溶液制程，形成所述第一触控电极。
16.根据权利要求15所述的制备方法，其特征在于，所述溶液制程包括打印工艺或印刷工艺。
17.根据权利要求10-16任一项所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法还包括：采用形成所述第一基层和所述第一触控电极的方法，在所述衬底上形成第二基层和多个第二触控电极；所述第二基层包括与多个所述第二触控电极分别对应的多个第二凹槽，所述第二触控电极位于所述第二凹槽内；
所述第二触控电极的材料与所述第一触控电极的相同。
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