CN108287086B - 一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法，根据AOI设备检测微米级颗粒物坐标位置、大小尺寸等特征信息，根据该检测信息，使用量具在平板玻璃确定颗粒物的初步位置，采用强光LED灯侧光斜照射该初步位置，确定颗粒物的准确位置，同时观测颗粒物影像，由颗粒物影像亮暗程度及重影特征判定颗粒物属性，然后对颗粒物的准确位置进行切割，并用PE保护专用膜或培养皿包装裁切玻璃平板样品，解决了平板玻璃颗粒物取样易被各种污染物干扰的问题，该方法具有较高的使用价值和推广价值。

Description

一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法

技术领域

本发明涉及平板玻璃缺陷的检测领域，具体为一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法，在无污染条件下能够快速准确的对平板玻璃的微米级颗粒物进行取样。

背景技术

平板玻璃板常用于平板显示领域的基板，如液晶玻璃基板和有机发光二极管玻璃基板，其中TFT-LCD面板使用二片液晶玻璃基板，分别用来制作底层薄膜晶体管阵列的基板和上层彩色滤波薄膜的基板，两种产品在LCD制程中需要多次精密光刻加工，要求液晶玻璃基板制作表面颗粒物和内部夹杂物，应控制在20um以内。

在实际生产质量管理中，通常需要取样分析20um以内微米级颗粒物，进行质量改善对策。但是在颗粒物取样操作过程，存在空气尘埃、扰动浮灰、裁切玻璃粉等污染，造成取到虚假颗粒物样品，误导质量分析对策方向和思路。

针对以上的技术问题，实有必要设计一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法，解决取样困难的问题。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明提供了一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法，符合平板玻璃板质量评定标准，在实际生产中提供分析平板玻璃板质量可靠的方法和途径。

本发明是通过以下技术方案来实现：

一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法，包括以下步骤：

S1、将平板玻璃固定在检查台，采用AOI设备检测平板玻璃上的颗粒物，根据AOI设备检测的图像中颗粒物的坐标，在平板玻璃上确定颗粒物的初步位置；

S2、在暗场条件下采用光源倾斜照射所述初步位置，寻找初步位置的颗粒物，所述颗粒物为对比度小于1000的亮点；

S3、对步骤S2中的颗粒物进行位置标定；

S4、将所述步骤S3中的标定的位置进行切割，提取平板玻璃样品。

进一步，在步骤S1中所述初步位置的确定方法为，采用量具在平板玻璃上确定所述坐标的位置，并以该坐标位置为中心在平板玻璃的表面标定一个直径为10mm的圆。

进一步，所述光源为15-20K Lux LED灯。

进一步，所述光源倾斜照射的角度为5°～70°。

进一步，在所述步骤S2中进一步移动光源的照射角度，根据颗粒物影子的尺寸以及颗粒物影子与颗粒物是否重合，确定颗粒物位于平板玻璃的下表面或上表面；

若颗粒物影子的尺寸大于颗粒物，且与颗粒物部分重合，则颗粒物接***板玻璃的下表面；

若颗粒物无影子或影子小于颗粒物且与颗粒物不重合，则颗粒物接近玻璃板上表面。

进一步，在所述步骤S3中，位置标定的方法为以颗粒物为中心标定一个直径为0.5mm的圆。

进一步，在所述步骤S4中，切割取样时，直接切割或在平板玻璃的颗粒物位置的两侧贴附PE膜后进行切割。

进一步，所述平板玻璃样品的尺寸为(20～30)mm×(20～30)mm。

与现有技术相比，本发明具有以下有益的技术效果：

本发明提供了一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法，根据AOI设备检测微米级颗粒物坐标位置、大小尺寸等特征信息，把抽取玻璃板放置在专用检查台上，用量具测量颗粒物坐标位置，以此位置为中心确定确定颗粒物的初步位置，采用光源侧光斜照射圆面上，目视观测颗粒物影像，由颗粒物影像亮暗程度及重影特征判定颗粒物属性，并用PE保护专用膜或培养皿包装裁切玻璃片，能取到微米级颗粒物样品，有效解决平板玻璃制成颗粒物取样易被各种污染物干扰的问题。

同时根据颗粒物影子的尺寸以及颗粒物影子与颗粒物是否重合，确定颗粒物位于平板玻璃的下表面或上表面，为平板玻璃的质量分析提供可靠的数据。

附图说明

图1为本发明平板玻璃固定在检测平台的示意图；

图2为本发明颗粒物的影像图；

图3为本发明光源照射平板玻璃的示意图；

图4为本发明光源照射下颗粒物位于平板玻璃下表面的影像图；

图5为本发明光源照射下颗粒物位于平板玻璃上表面的影像图；

图6为本发明平板玻璃取样位置贴附PE膜的示意图；

图7为本发明取样玻璃在培养皿中的示意图。

图中：1、检测平台；2、固定线；3、颗粒物；4、检测平台固定底座；5、固定圆片；6、PE膜；7、培养皿；8、平板玻璃样品。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步的详细说明，所述是对本发明的解释而不是限定。

术语定义

用在本发明说明书和权利要求中的如下术语，具体如下含义：

“平板玻璃”表示用于液晶显示、有机发光二极管显示等平板显示用的玻璃基板。

“颗粒物”表示平板玻璃表面和内部的20um以内瑕疵。

“AOI”指平板玻璃生产线使用在线自动光学检测设备。

本发明一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法，在制造平板玻璃的过程中对平板玻璃进行颗粒物取样检测分析。

如图1和2所示，检测平台1安装在检测平台固定底座4上，检测平台1配置有X、Y坐标刻度标识。将平板玻璃平稳的放置在检测平台1的固定线2上，采用固定圆片5对平板玻璃进行固定，保证平板玻璃水平平稳固定在检测平台1上。

AOI设备检测平板玻璃上的颗粒物3，并测量颗粒物3的X坐标、Y坐标及尺寸特征和平板玻璃板ID号；由于平板玻璃安装在检测平台1上存在安装误差，该坐标位置不能准确反映颗粒物在平板玻璃上的位置，因此智能根据该坐标位置对颗粒物3的位置进行初步确认。

以平板玻璃的基准角为原点，结合AOI设备测量的颗粒物3坐标，采用卷尺测量出该坐标在平板玻璃上的坐标位置，并以该坐标位置为中心，使用记号笔标定一个直径为10mm的圆，该标定圆即为颗粒物3的初步位置。

如图3所示，采用15-20K Lux强光LED灯，在暗场条件下倾斜照射在标定的颗粒物3的初步位置上，该初步位置如有亮点出现，当亮点的对比度小于1000，则该亮点为颗粒物3；当该亮点的不必度大于1000，则亮点为浮灰。

倾斜照射的角度为5°～70°，角度优选40°。

使用ALL LIGHT 0.05mm菲林笔，以该亮点为中心标定一个直径为0.5mm的圆，确定颗粒物3的精确位置。

移动LED灯光源的照射角度，根据颗粒物影子的尺寸以及颗粒物影子与颗粒物3是否重合，确定颗粒物3位于平板玻璃的正面或背面；

如图4所示，若颗粒物影子的尺寸大于颗粒物3，且与颗粒物3重合或部分重合，则颗粒物3接***板玻璃的下表面；

如图5所示，若颗粒物无影子或影子小于颗粒物3且与颗粒物3不重合，则颗粒物3接近玻璃板上表面。

如图6所示，在平板玻璃的颗粒物3位置的上表面和下表面贴附PE膜6，PE膜6具有真空静电吸附能力，在平板玻璃上能粘附浮灰、脏污等污染物，不会在玻璃板上有残留落下物。

在精确标定的颗粒物3位置进行切割平板玻璃样品，在PE膜6保护下可以确保在裁切和包装玻璃的操作过程，避免划伤、脏污和玻璃粉等污染微米级颗粒物3，切割的平板玻璃样品8的尺寸为20mm×20mm。

当颗粒物3为多个时，分别在对应位置上下面贴上PE膜6，并标注颗粒物编号如：1、2、3…11、12以此类推，该编号与AOI检测颗粒物编号相互对应。

切割时采用玻璃刀裁切平板玻璃样品8，用间隔纸包裹平板玻璃样品8，明确标注玻璃板ID号、取样日期等信息。

如图7所示，在不使用PE膜6情况下切割时，精确标定的圆与颗粒物内切，用玻璃刀在干净工作台上裁切样品，使用强光LED灯确认圈定颗粒物3是否被污染，若被污染就丢弃；将平板玻璃样品8放置在酒精消毒后培养皿7中，任选2个对角，使用胶带固定。

本发明提供了一种用于取样平板玻璃板颗粒物的方法。根据AOI设备检测微米级颗粒物坐标位置、大小尺寸等特征信息，把抽取玻璃板放置在专用检查台上，用卷尺测量颗粒物坐标位置，以此位置为中心确定局域小圆面，用强光LED灯侧光斜照射圆面上，目视观测颗粒物影像，由颗粒物影像亮暗程度及重影特征判定颗粒物属性，并用PE保护专用膜或培养皿7包装平板玻璃样品8，有效解决平板玻璃制成颗粒物取样易被各种污染物干扰的问题。

以上内容仅为说明本发明的技术思想，不能以此限定本发明的保护范围，凡是按照本发明提出的技术思想，在技术方案基础上所做的任何改动，均落入本发明权利要求书的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法,其特征在于，包括以下步骤：

S1、将平板玻璃固定在检查台，采用AOI设备检测平板玻璃上的颗粒物(3)，根据AOI设备检测的图像中颗粒物(3)的坐标，在平板玻璃上确定颗粒物(3)的初步位置；

S2、在暗场条件下采用光源倾斜照射所述初步位置，寻找初步位置的颗粒物(3)，所述颗粒物(3)为对比度小于1000的亮点；

移动光源的照射角度，根据颗粒物影子的尺寸以及颗粒物影子与颗粒物(3)是否重合，确定颗粒物(3)位于平板玻璃的下表面或上表面；

若颗粒物影子的尺寸大于颗粒物(3)，且与颗粒物(3)部分重合，则颗粒物(3)接***板玻璃的下表面；

若颗粒物无影子或影子小于颗粒物(3)且与颗粒物(3)不重合，则颗粒物(3)接***板玻璃上表面；

所述光源倾斜照射的角度为5°～70°；

S3、对步骤S2中的颗粒物(3)进行位置标定；

S4、将所述步骤S3中的标定的位置进行切割，切割取样时，在平板玻璃的颗粒物(3)位置的两侧贴附PE膜(6)后进行切割，提取平板玻璃样品(8)。

2.根据权利要求1所述一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法,其特征在于，在步骤S1中所述初步位置的确定方法为，采用量具在平板玻璃上确定所述坐标的位置，并以该坐标位置为中心在平板玻璃的表面标定一个直径为10mm的圆。

3.根据权利要求1所述一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法,其特征在于，所述光源为15-20K Lux LED灯。

4.根据权利要求1所述一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法,其特征在于，在所述步骤S3中，位置标定的方法为以颗粒物(3)为中心标定一个直径为0.5mm的圆。

5.根据权利要求1所述一种平板玻璃板微米级颗粒物取样方法,其特征在于，所述平板玻璃样品(8)的尺寸为(20～30)mm×(20～30)mm。

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