CN108141916B - 加热装置及板状部件的制造方法 - Google Patents

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Abstract

提供一种能够将加热对象物均匀地加热的加热装置及板状部件的制造方法。加热装置(1)具备发出向加热对象部件(W)赋予的热的加热器(10)、和设在加热器(10)的表面(11f)上而支承加热对象部件(W)的面(Wf)的支承部件(20)。支承部件(20)支承加热对象部件(W)，以使加热对象部件(W)的面(Wf)和支承部件(20)间不产生直接性的热传递、而将表面(11f)与加热对象部件(W)的面(Wf)之间保持为存在流体且流体不对流的预定的间隔(S)。板状部件的制造方法用支承部件(20)支承加热对象部件(W)，用加热器(10)将加热对象部件(W)加热而制造板状部件。

Description

加热装置及板状部件的制造方法
技术领域
本发明涉及加热装置及板状部件的制造方法，特别涉及能够将加热对象物均匀地加热的加热装置及板状部件的制造方法。
背景技术
在进行工件的焊接的焊接装置那样的加热接合装置中，进行加热接合的对象物的加热。作为将加热接合的对象物加热的加热接合装置，有具备以该对象物的一面整体接触的方式载置该对象物的载置台、和从该对象物的相反侧将载置台加热的热放射加热器、经由从热放射加热器受热而温度上升的载置台将该对象物加热的装置(例如，参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2014－143304号公报
但是，如果使加热对象物的一面整体接触在载置台上而将该对象物加热，则有不能均匀地进行从载置台向该对象物的热传递、不能将该对象物均匀地加热的情况。
发明内容
发明要解决的课题
本发明鉴于上述问题，目的是提供一种能够将加热对象物均匀地加热的加热装置及板状部件的制造方法。
用来解决课题的手段
为了达到上述目的，有关本发明的第1技术方案的加热装置例如如图1所示，是将板状的加热对象部件W加热的装置1；具备：加热器10，形成有具有包含加热对象部件W的面Wf的大小的表面11f，发出给予加热对象部件的热；支承部件20，是支承加热对象部件W的面Wf的支承部件20，当加热对象部件W被支承着时，不使加热对象部件W的面Wf和支承部件20产生直接的热传递，以将表面11f与加热对象部件W的面Wf之间保持为存在流体且流体不对流的预定的间隔S的方式，支承加热对象部件W。这里，关于支承部件，所谓不产生直接性的热传递，是实质上不产生直接性的热传递，典型的是不产生在加热对象部件上发生温度不匀那样的热传递。此外，所谓流体不对流，是流体实质上不对流，典型的是不发生载置在支承部件上的加热对象部件被流体煽动那样的对流。
如果这样构成，则通过支承部件在加热器的表面与加热对象部件的面之间形成存在流体的预定的间隔，能够从加热器经由流体向加热对象部件热传递，能够将加热对象部件的面均匀地加热。
此外，有关本发明的第2技术方案的加热装置例如如图1所示，上述有关本发明的第1技术方案的加热装置1中，支承部件20被设置在加热器10的表面11f上。
如果这样构成，则能够用简单的结构支承加热对象部件。
此外，有关本发明的第3技术方案的加热装置例如图1所示，在上述有关本发明的第1技术方案或第2技术方案的加热装置1中，加热器10具有：加热源13，输入外部能量而变换为热；夹具11，是形成有表面11f的夹具11，从加热源13受热而向存在于预定的间隔S中的流体传递热。
如果这样构成，则能够使加热源与夹具分离，能够提高加热源及夹具的结构的自由度。另外，夹具也可以是避免成为发热原因的电磁波被直接照射在加热对象部件上的结构。
此外，有关本发明的第4技术方案的加热装置例如如图4所示，在上述有关本发明的第3技术方案的加热装置1A中，夹具11构成为，能够在处于与加热源13对置的对置位置的状态和不处于对置位置的状态(在图4中用虚线表示)之间移动。
如果这样构成，则由于能够使夹具移动到不处于对置位置的状态，所以(挥发物清洗等的)维护变得容易，并且通过在使加热对象部件被设在夹具的表面上的支承部件支承的原状下使夹具移动，能够使夹具及加热对象部件从周围环境温度升温，容易推测温度变化。
此外，有关本发明的第5技术方案的加热装置例如如图4所示，在上述有关本发明的第4技术方案的加热装置1A中，具备在夹具11不处于对置位置的状态下、将加热对象部件W在能够从加热源13受热的位置(在图4中用双点划线表示)保持的保持工具38。
如果这样构成，则能够不经由夹具而将加热对象部件从加热源直接加热，包括经由夹具的加热对象部件的加热而能够选择加热方式，能够得到与状况对应的使用的多样性。
此外，有关本发明的第6技术方案的加热装置例如如图1所示，在上述有关本发明的第1技术方案至第5技术方案的任一个技术方案的加热装置1中，具备：腔室30，容纳夹具11及支承部件20；气体供给部40，向腔室30内供给惰性气体或还原性气体；存在于预定的间隔S中的流体是惰性气体或还原性气体。
如果这样构成，则即使是在加热对象部件上有容易氧化的部分的情况，也能够抑制该部分的氧化。
此外，有关本发明的第7技术方案的加热装置例如如图1所示，在上述有关本发明的第3技术方案至第6技术方案的任一个技术方案的加热装置1中，加热源13由被配置在腔室30的外侧的红外线灯构成。
如果这样构成，则能够实现腔室内的结构的简洁化，能够简便地进行腔室内的维护。
此外，有关本发明的第8技术方案的加热装置例如如图1所示，在上述有关本发明的第1技术方案至第7技术方案的任一个技术方案的加热装置1中，具备控制装置60，是控制来自加热器10的发热量的控制装置60，构成为，根据加热对象部件W的温度控制来自加热器10的发热量。
如果这样构成，则能够不使加热对象部件过热而适当地加热。
此外，有关本发明的第9技术方案的板状部件的制造方法如果参照例如图1及图3表示，则具备：加热对象部件提供工序(S1)，向上述有关本发明的第1技术方案至第8技术方案的任一个技术方案的加热装置1提供板状的加热对象部件W；支承工序(S2)，由支承部件20支承加热对象部件W；加热工序(S3)，由加热器10将加热对象部件W加热而制造板状部件。
如果这样构成，则能够从发热部经由流体向加热对象部件热传递，将加热对象部件的面均匀地加热而制造板状部件。
为了达到上述目的，有关本发明的第10技术方案的板状部件的制造方法如果参照例如图1及图3表示，则是将板状的加热对象部件W加热来制造板状的部件的方法；具备：支承工序(S2)，以将发出向加热对象部件W给予的热的发热部10与加热对象部件W的面Wf之间保持为存在流体且流体不对流的预定的间隔S、并且不发生从发热部10向加热对象部件W的面Wf的直接性的热传递的方式，支承加热对象部件W；加热工序(S3)，将由发热部10产生的热经由流体向加热对象部件W传递，制造板状部件。在加热工序中，也可以同时避免由发热部产生的热成为作为发热原因的电磁波直接照射到加热对象部件上。
如果这样构成，则能够从发热部经由流体向加热对象部件热传递，将加热对象部件的面均匀地加热来制造板状部件。
发明效果
根据本发明，能够从加热器或发热部经由流体向加热对象部件热传递，能够将加热对象部件的面均匀地加热。
附图说明
图1是表示有关本发明的实施方式的加热装置的概略结构的剖视图。
图2(A)是表示有关本发明的实施方式的加热装置的支承部件的立体图，图2(B)是表示支承部件的第1变形例的平面图，图2(C)是表示支承部件的第2变形例的平面图。
图3是说明有关本发明的实施方式的板状部件的制造方法的流程图。
图4是表示有关本发明的实施方式的变形例的加热装置的概略结构的剖视图。
具体实施方式
本申请基于2016年9月21日在日本提出的特愿2016－183949号主张优先权，这里引用其全部内容。
此外，本发明根据以下的详细的说明应该能够更完全地理解。本发明的进一步的应用范围根据以下的详细的说明会变得清楚。但是，详细的说明及特定的实例是本发明的优选的实施方式，是仅为了说明的目的而记载的。这是因为，根据该详细的说明，对于本领域技术人员而言，各种各样的变更、改变在本发明的主旨和范围内是显而易见的。
申请人并不是要将记载的实施方式全部献诸于公众，在所公开的改变、代替案中的、或许在权利要求书内未在语言上包含者，也为等价理论下的发明的一部分。
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。另外，在各图中对于相同或相当的部件赋予相同或类似的标号，重复的说明省略。
首先，参照图1说明有关本发明的实施方式的加热装置1。图1是表示加热装置1的概略结构的剖视图。加热装置1是将作为加热对象部件的基板W加热的装置，具备对基板W赋予热的加热器10、支承基板W的支承部件20、腔室30、向腔室30内供给处理用气体G的气体供给部40和控制装置60。
被加热装置1加热的基板W在本实施方式中为具有平坦的面Wf的薄型基板。面Wf在本实施方式中被形成为60mm×90mm的矩形，但短边也可以是40mm、50mm、70mm等60mm以外，长边也可以是80mm、100mm、110mm等90mm以外。基板W的厚度是约1mm以下，例如也有使用0.4mm、0.8mm或接近于它们的任意的厚度者。这样的薄型基板如果周围的气体的流动较强则有被煽动的情况，如果被加热则有翘曲的情况。基板W的面Wf有根据抗蚀剂的有无等而在面Wf内存在辐射率不同的部分的情况。基板W在本实施方式中，在一方的面上被载置钎焊(未图示)，被加热以使钎焊熔融。为了使钎焊的熔化状况变好，优选的是将基板W均匀地加热。
加热器10具有夹具11和作为加热源的红外线灯13(以下称作“IR灯13”)。IR灯13是输入作为外部能量的一种的电能而变换为热的红外线灯加热器。IR灯13通过使输入的电能变化，能够响应性良好地使输出的热能变化，温度灵敏度较好。夹具11接受由IR灯13产生的热，朝向配置在从IR灯13受到热的一侧的相反侧的基板W释放热，作为温度调节用的部件发挥功能。通过设有夹具11，能够避免IR灯13的光被直接照射在基板W上。因而，即使在基板W是高反射的部件的情况下，也能够避免IR灯13的光在基板W上反射而加热效率下降。夹具11在本实施方式中被形成为矩形的板状部件。夹具11被形成为作为设有支承部件20的面的表面11f能够包含基板W的面Wf的大小及形状。夹具11典型的是将铝或石墨加工而形成，也可以由它们以外的材料形成，但优选的是使用热传导率较高的材料。夹具11也可以由黑体形成。IR灯13与夹具11的表面11f的背侧的面11r邻接、从夹具11离开而配置。即，在本实施方式中，夹具11和热源(IR灯13)分离而(分体地)构成。如果这样构成，则能够提高夹具及加热源的结构的自由度(作为夹具及加热源而采用什么)。IR灯13相对于背面11r展开大致同样的面积而配置，以便能够对背面11r的整体尽可能均匀地赋予热。背面11r优选的是放射率较高。夹具11从使热响应性提高的观点，为了使热容尽可能变小，在本实施方式中被形成为厚度2mm左右的矩形板状。
支承部件20在本实施方式中由设在夹具11的表面11f上的多个突起21构成。构成支承部件20h的各突起21在本实施方式中被固定在表面11f上，与夹具11一体地构成。支承部件20构成为，通过在多个突起21之上载置基板W，能够支承基板W。基板W典型的是以面Wf与突起21接触的方式被载置到支承部件20上。构成支承部件20的各突起21形成为当基板W被载置在支承部件20上时夹具11的表面11f与基板W的面Wf之间成为预定的间隔S那样的高度。预定的间隔S是不发生存在于夹具11的表面11f与基板W的面Wf之间的流体(在本实施方式中是处理用气体G)的对流的间隔。这里所述的不发生流体的对流，只要是实质上不发生对流就足够，典型的是指不发生载置在支承部件20上的基板W被流体煽动之程度的对流。预定的间隔S也可以是约0.5mm。构成支承部件20的突起21的前端(与接触在表面11f上的一侧相反侧)被形成为尽可能小的面积，以使得在突起21与基板W之间不发生直接性的热传递。假如在突起21与基板W之间发生直接性的热传递的情况下，难以使热遍及基板W的面Wf整体均匀地传递，有可能带来在基板W的面Wf内发生温度不匀、发生载置在基板W上的钎焊(未图示)的熔融不匀等的不良影响。因而，这里所述的在突起21与基板W之间不发生直接性的热传递，只要是实质上不发生直接性的热传递就足够，典型的是指不发生当用加热器10将基板W加热时在基板W上发生温度不匀那样的热传递，作为具体的结构例可以举出以线或点支承基板W。所谓以线或点支承基板W，是指以防止带来载置在基板W上的钎焊(未图示)的熔融不匀等的不良影响那样的不均匀的热传递(接触不匀)发生的方式支承。在本实施方式中，在垂直截面中，突起21的前端较尖。
如图2(A)的立体图所示，在本实施方式中，支承部件20是将较短的直线状的突起21整齐排列配置而构成的。各突起21与基板W的面Wf接触的部分被形成为直线状，为通过用多个线支承基板W、在突起21与基板W之间不发生直接性的热传递的结构。另外，除了图2(A)所示的结构以外，也可以是如图2(B)所示那样在夹具11B的表面上配置多个点状的突起21B而用多个点支承基板W的结构，也可以是如图2(C)所示那样在夹具11C的表面上配置1个漩涡的线状的突起21C而用1条曲线(或折线)支承基板W的结构。此外，虽然图示省略，但支承部件也可以不是设置在夹具的表面上，而由安装在腔室30(参照图1)的上部的吊挂部件等构成，将基板W从上部悬挂。
再次回到图1，继续加热装置1的结构的说明。腔室30构成为，收容夹具11及支承部件20，能够将内部密闭。腔室30典型的是形成为长方体状。腔室30在侧面上形成有能够进行基板W的进出的开口30h，并且设有能够将开口30h开闭的开闭器33。在腔室30的底上配置有夹具11。构成加热器10的要素中的夹具11被配置在腔室30内，另一方面，IR灯13被配置在腔室30的外侧。通过IR灯13被配置在腔室30的外侧，能够实现腔室30内的结构的简洁化，并且能够简便地进行腔室30内的维护。腔室30的配置夹具11的部分、换言之夹具11与IR灯13之间的腔室30的部分由石英玻璃30Q构成。通过这样构成，从IR灯13照射的红外线能够透过腔室30的地板(划分面)而到达夹具11。另外，也可以由石英玻璃30Q以外的、使作为发热原因的电磁波透过的材料构成。
气体供给部40是将成为在将基板W加热时优选的环境气体的处理用气体G向腔室30内供给的。气体供给部40具有气体供给管41和气体供给阀42。气体供给管41是构成将处理用气体G向腔室30内引导的流路的管。气体供给管41其一端被连接在腔室30上，另一端被连接在外部的处理用气体供给源(未图示)上。气体供给阀42被配设在气体供给管41中，是许可或切断处理用气体G在气体供给管41内流动的阀。气体供给阀42典型的是使用能够进行流量调节的控制阀。处理用气体G典型的是根据基板W的种类而使用氮或氩等的惰性气体、或蚁酸等的羧酸的还原性气体。
控制装置60是掌控加热装置1的动作的设备。控制装置60构成为，通过向IR灯13以有线或无线发送控制信号，能够使IR灯13的输出变化。此外，控制装置60以有线或无线与气体供给阀42电气地连接，构成为，通过发送控制信号而能够调节气体供给阀42的开度。
接着，参照图3说明有关本发明的实施方式的板状部件的制造方法。图3是表示板状部件的制造过程的流程图。以下，说明使用到此为止说明的加热装置1(参照图1)的板状部件的制造方法，但也可以不使用加热装置1而制造板状部件。以下的使用加热装置1的板状部件的制造方法的说明兼作为加热装置1的作用的说明。在以下的说明中，当言及加热装置1的结构时，适当参照图1。
在开始板状部件的制造后，将腔室30的开闭器33打开，将在面Wf的背侧载置有钎焊(未图示)的基板W向腔室30内运入(加热对象部件提供工序：S1)。接着，在基板W的面Wf与夹具11的表面11f对置的状态下，将基板W载置到支承部件20上，使基板W支承在支承部件20上(支承工序：S2)。接着，控制装置60通过对IR灯13通电而使其输出红外线，开始经由夹具11的基板W的加热(加热工序：S3)。基板W的加热通过以下的要领进行。从IR灯13照射的红外线透过石英玻璃30Q而到达夹具11的背面11r，使夹具11及支承部件20升温。夹具11由于热传导率比较高、热容比较小，所以整体迅速地升温。这样夹具11的表面11f的温度上升后，夹具11的热传递给基板W。此时，基板W虽然接触在支承部件20上，但由于被支承部件20以线支承，所以实质上不发生从支承部件20的直接性的热传递。结果，从夹具11向基板W的热传递以经由处理用气体G的热传递为主，即使有对流热传递，也比经由处理用气体G的热传递小。即，从夹具11向基板W的热传递专门经由存在于夹具11与基板W之间的处理用气体G进行。因而，能够以简单的结构均匀地将基板W加热。此外，夹具11的温度优选的是例如与基板W的温度差为50℃左右以下。
开始基板W的加热后，控制装置60将气体供给阀42打开，向腔室30内导入处理用气体G(S4)。当向腔室30内导入处理用气体G时，优选的是通过起因于导入的处理用气体G的对流，以支承在支承部件20上的基板W不会被煽动的流速，将处理用气体G向腔室30内导入。通过使腔室30内成为处理用气体G的环境，当之后将基板W加热时，即使是在基板W上有金属膜等的容易氧化的部分的情况，也能够抑制该部分的氧化。如果包括夹具11与基板W的间隙S、腔室30内充满了处理用气体G，则将开闭器33关闭而将腔室30密闭，控制装置60将气体供给阀42关闭。或者，在腔室30上设有空气排空部(未图示)的情况下，也可以在向腔室30内的基板W的运入后迅速地将开闭器33关闭，一边从气体供给部40对腔室30内供给处理用气体G一边从空气排空部(未图示)将空气排空。
如果在腔室30内充满了处理用气体G，则控制装置60判断板状部件是否完成(S5)。板状部件是载置在基板W上的钎焊(未图示)熔融的状态的、作为中间件希望的部件。因而，板状部件是否完成，与基板W是否上升到钎焊(未图示)的熔融温度有关联。在本实施方式中，预先掌握IR灯13的输出与基板W的温度上升的关系，存储到控制装置60中，基于存储在控制装置60中的关系，通过观察从IR灯13照射红外线的时间是否经过了不使基板W过热、而足够对基板W赋予载置在基板W上的钎焊(未图示)熔融所需要的热量的量，来判断板状部件是否完成。在判断板状部件是否完成的工序(S5)中，在没有完成的情况下再次向判断板状部件是否完成的工序(S5)返回。另一方面，在完成的情况下，控制装置60使IR灯13停止，将基板W的加热停止(S6)。另外，从开始基板W的加热(S3)到将基板W的加热停止(S6)之前，相当于加热工序。停止基板W的加热后，将腔室30的开闭器33打开，将制造出的板状部件从腔室30取出(S7)。这样制造出板状部件。另外，开闭器33的开闭也可以以手动进行，也可以使控制装置60动作。
如以上说明，根据有关本实施方式的加热装置1，通过制造板状部件的对象的基板W被设在夹具11的表面11f上的支承部件20以多个线支承，由于在将面Wf与表面11f之间保持为预定的间隔S的状态下，通过经由夹在夹具11与基板W之间的处理用气体G的热传递进行加热，所以能够不产生从夹具11向基板W的直接性的热传递，而用简单的结构将基板W均匀地加热。假如在夹具11与基板W之间没有形成预定的间隔S，而以基板W的面Wf整体接触在夹具11的表面11f上的状态进行基板W的加热的情况下，即，在以发生由起因于基板W与夹具11的接触的热传导带来的热传递的方式进行基板W的加热的情况下，如果在基板W上发生翘曲，则部分性地存在基板W与夹具11的接触面，难以将基板W整体均匀地加热。关于这一点，如果如有关本实施方式的加热装置1那样，在将基板W的面Wf与夹具11的表面11f之间保持为预定的间隔S的状态下通过经由夹在夹具11与基板W之间的处理用气体G的热传递进行加热，则从夹具11向基板W的热传递实质上通过经由处理用气体G的热传导来进行。此时，经由处理用气体G的热传导不会因预定的间隔S的一些不均匀而大幅变化。
接着，参照图4，说明有关本发明的实施方式的变形例的加热装置1A。图4是表示加热装置1A的概略结构的剖视图。加热装置1A与加热装置1(参照图1)相比，主要在以下的点上不同。加热装置1A其在表面11f上设有支承部件20的夹具11(以下称作“载体板1120”)不会被固定在腔室30内。并且，在夹着开口30h的腔室30的内侧和外侧排列有多个辊35，构成为，载体板1120通过各辊35的旋转而能够向腔室30的内外进出。另外，也可以代替多个辊35而在腔室30的内外设置带式输送机。加热装置1A当载体板1120处于腔室30内时成为夹具11处于与IR灯13对置的位置的状态(在图4中用实线表示)，当载体板1120处于腔室30外时成为夹具11不在与IR灯13对置的位置的状态(在图4中用虚线表示)。此外，加热装置1A在载置有基板W的载体板1120被置于腔室30内的辊35之上的状态下，在比基板W靠上方的位置设置有保持工具38。保持工具38设置有多个，以便能够在基板W为水平的状态下支撑基板W的端部。加热装置1A构成为，在载体板1120不处于与IR灯13对置的位置的状态下，通过各保持工具38支撑基板W，基板W能够接受来自IR灯13的红外线，换言之，基板W能够从IR灯13直接受热。加热装置1A的上述以外的结构在图4中虽然省略了气体供给部40及控制装置60的图示，但与加热装置1(参照图1)是同样的。
在如上述那样构成的加热装置1A中，当在腔室30内经由夹具11将基板W加热而制造板状部件时，除了向腔室30内的基板W的运入方式以外，与加热装置1(参照图1)同样地作用。在加热装置1A中，在载体板1120处于腔室30之外的状态下将基板W载置到支承部件20之上(支承工序)，在此状态下，将基板W和载体板1120同时向腔室30内运入。另外，在加热装置1A中，当将基板W载置在支承部件20上时将基板W提供给加热装置1A，所以在支承工序之前或与支承工序同时进行加热对象部件提供工序。然后，将IR灯13起动而开始基板W的加热，向腔室30内导入处理用气体G，板状部件完成后，将IR灯13停止而将基板W的加热停止，这与加热装置1(参照图1)是同样的。在加热装置1A中，在将基板W的加热停止后，当从腔室30内将板状部件运出时，在板状部件被载置在载体板1120上的状态下按照载体板1120从腔室30内运出。加热装置1A在不进行板状部件的制造(基板W的加热)时，将载体板1120向腔室30外运出，所以将在基板W的加热时发生的挥发物清洗等的维护变得容易。此外，在向腔室30内的基板W的运入时，由于将处于腔室30之外的基板W和载体板1120同时向腔室30内运入，所以能够从在运入前在腔室30外都接近于周围环境温度的状态，在腔室30内使温度上升，容易推测基板W的温度变化。
此外，在加热装置1A中，也可以当将基板W加热时，不使用载体板1120，而将载置着钎焊的基板W向腔室30内运入，在载置在保持工具38上的状态(在图4中用双点划线表示)下，向腔室30内导入处理用气体G，将IR灯13起动而开始基板W的加热，在板状部件完成后，将IR灯13停止而将基板W的加热停止。在此情况下，基板W主要被由来自IR灯13的红外线带来的辐射热加热。在基板W不通过由辐射热带来的加热而发生不良影响的情况下，通过不经由夹具11而基板W从IR灯13直接受热，能够加快基板W的升温速度，进而能够缩短板状部件的制造所需要的时间。另外，在加热装置1A中不进行不使用载体板1120的基板W的加热的情况下，也可以不设置保持工具38。
在以上的说明中，假设加热源是IR灯13，但也可以是热板(能够温度上升的板状部件)或产生焦耳热的电气设备等IR灯13以外的加热源。但是，如果设为IR灯13，则容易进行温度控制，所以是优选的。此外，在以上的说明中，假设加热器10具有夹具11和加热源(IR灯13)，两者分离而构成，但也可以将夹具11和加热源一体地构成。
在以上的说明中，假设在开始基板W的加热(S3)后向腔室30内导入处理用气体G(S4)，但也可以在将处理用气体G导入到腔室30内的后开始基板W的加热，也可以同时进行基板W的加热的开始和向腔室30内的处理用气体G的导入。
在以上的说明中，当进行基板W的加热时，使腔室30内成为使用惰性气体或还原性气体的处理用气体G的环境，但在基板W的氧化不成为问题的情况下，也可以不使用处理用气体G而在空气环境下进行基板W的加热。在空气环境下进行基板W的加热的情况下，也可以不设置腔室30。
在以上的说明中，来自IR灯13的发热量的控制以基于预先掌握的IR灯13的输出与基板W的温度上升的关系的时间进行(开环控制)，但也可以将基板W或夹具11的温度用热电偶或放射温度计检测，将其返回给IR灯13的输出调节来进行(闭环控制)。在检测基板W的温度的情况下，也可以邻接于基板W而将假基板载置在支承部件20上，检测假基板的温度。
实施例
以下，表示验证基于基板W的加热方式的差异带来的温度分布的离差的结果。作为验证对象的基板W，使用在60mm×90mm的矩形、厚度0.8mm的玻璃环氧基板的两面上粘贴着35μm的铜箔的结构。将该基板W分别载置到配置在图1所示的夹具11的表面11f上的支承部件20上(实施例)，从图1所示的结构将支承部件20省略而直接载置在夹具11的表面11f上(比较例1)，载置到图4所示的保持工具38上(比较例2)，将基板W加热，检测基板W的温度上升过程。在比较例1中，以基板W的面整体与夹具11的表面11f接触的方式将基板W载置到表面11f上，为了在基板W通过加热而要翘曲时尽量使基板W为接触在表面11f上的原状而用销推压。基板W的温度在连结从矩形的基板W的面Wf的1个角到重心的假想直线上以等间隔设置6点的热电偶而检测。基板W的加热方式是，控制IR灯13的输出以使基板W的温度大致每1秒上升2℃。
在实施例中，在加热开始时，相对于夹具11的温度上升，基板W的温度上升为比较平缓，在从加热开始起经过大约250秒后，夹具11与基板W的温度上升率成为相同。在此期间中，6点检测的温度的离差是3～4℃。另外，在实施例中，不进行比较例1那样的用销的推压。
在比较例1中，从加热开始时起，基板W的温度上升追随于夹具11的温度上升，有基板W的温度变化急剧地进行的部分。6点检测的温度的离差是3～6℃。在比较例1中，温度的离差比较小，但这也是通过进行用销的推压以使得在基板W上不发生翘曲、使基板W的面Wf整体强制地接触在夹具11上的影响。如果设置基板W推压用的销，则存在使销驱动的驱动部，不仅构造变得复杂，在基板W的加热时发生的挥发物进入到复杂的构造中时的清扫等的维护也变得困难。
在比较例2中，在加热开始后，从大约经过150秒时到260秒左右，在6点的检测到的温度中能看到较大的离差，其差最大达到了45℃。在比较例2中，可看到由气体的对流带来的传热的离差较大。
以上的结果可以确认，在实施例中，即使不使用在比较例1中使用的推压销，也能够将基板W均匀地加热。
将在本说明书中引用的刊物、包括专利申请及专利的全部的文献分别具体地表示各文献并参照而列入，此外以与将其内容的全部在这里叙述者相同的限度在这里参照而列入。
与本发明的说明关联(特别是与以下的权利要求关联)而使用的名词及同样的指示语的使用，只要在本说明书中没有特别指出、或没有明显与上下文矛盾，就应解释为涉及单个及多个的两方面。语句“具备”、“具有”、“包括”及“包含”只要没有特别否定，就解释为开放式术语(即“包含但不限于～”的意义)。本说明书中的数值范围的详细叙述只要在本说明书中没有特别指出，就仅意味着起到作为用来分别言及与该范围内相符的各值的略记法的作用，各值如在本说明书中分别列举那样被列入到说明书中。在本说明书中说明的全部方法只要在本说明书中没有特别指出、或不明显与上下文矛盾，就能够以所有的适当的顺序进行。在本说明书中使用的所有的例子或例示性的措辞(例如“等”)只要没有特别主张，就仅意味着更好地说明本发明，不是设置对于本发明的范围的限制。说明书中的任何措辞，都不应被解释为将权利要求书中没有记载的要素表示为对于本发明的实施是不可或缺的。
在本说明书中，包括为了实施本发明而本发明者知道的最优的形态，对本发明的优选的实施方式进行了说明。对于本领域技术人员而言，只要阅读上述说明，这些优选的实施方式的变形就显而易见。本发明者期待熟练者适当应用这样的变形，预计会用在本说明书中具体说明以外的方法实施本发明。因而，本发明如由管辖法律许可那样，包括在本说明书中附带的权利要求书中记载的内容的修正及等价物的全部。进而，只要在本说明书中没有特别指出、或不明显与上下文矛盾，全部的变形中的上述要素的哪种组合都包含在本发明中。
附图说明
1 加热装置
10 加热器
11 夹具
11f 表面
13 IR灯
20 支承部件
30 腔室
38 保持工具
40 气体供给部
60 控制装置
S 预定的间隔
W 加热对象部件
Wf 面

Claims (10)

1.一种加热装置，是将板状的加热对象部件加热的装置，其特征在于，
具备：
加热器，形成有具有包含上述加热对象部件的面的大小的表面，发出给予上述加热对象部件的热；以及
支承部件，是支承上述加热对象部件的面的支承部件，当上述加热对象部件被支承着时，不使上述加热对象部件的面和上述支承部件产生直接的热传递，以将上述表面与上述加热对象部件的面之间保持为存在流体且上述流体不对流的预定间隔的方式，支承上述加热对象部件；
上述加热器具有：
加热源，输入外部能量而变换为热；以及
夹具，是形成有上述表面的夹具，在避免成为发热原因的电磁波被直接照射在上述加热对象部件上的同时，从上述加热源受热而将热向存在于上述预定的间隔中的上述流体传递，
上述加热源和上述夹具是分离的。
2.如权利要求1所述的加热装置，其特征在于，
上述夹具构成为，能够在处于与上述加热源对置的对置位置的状态与不在上述对置位置的状态之间移动。
3.一种加热装置，是将板状的加热对象部件加热的装置，其特征在于，
具备：
加热器，形成有具有包含上述加热对象部件的面的大小的表面，发出给予上述加热对象部件的热；以及
支承部件，是支承上述加热对象部件的面的支承部件，当上述加热对象部件被支承着时，不使上述加热对象部件的面和上述支承部件产生直接的热传递，以将上述表面与上述加热对象部件的面之间保持为存在流体且上述流体不对流的预定的间隔的方式，支承上述加热对象部件；
上述加热器具有：
加热源，输入外部能量而变换为热；以及
夹具，是形成有上述表面的夹具，从上述加热源受热而将热向存在于上述预定的间隔中的上述流体传递；
上述夹具构成为，能够在处于与上述加热源对置的对置位置的状态与不处于上述对置位置的状态之间移动，
上述加热源和上述夹具是分离的。
4.如权利要求2或3所述的加热装置，其特征在于，
具备在上述夹具不处于上述对置位置的状态下、将上述加热对象部件在能够从上述加热源受热的位置保持的保持工具。
5.如权利要求1或3所述的加热装置，其特征在于，
上述支承部件被设置在上述加热器的上述表面上。
6.如权利要求1或3所述的加热装置，其特征在于，
具备：
腔室，容纳上述夹具及上述支承部件；以及
气体供给部，向上述腔室内供给惰性气体或还原性气体；
存在于上述预定的间隔中的上述流体是上述惰性气体或上述还原性气体。
7.如权利要求1或3所述的加热装置，其特征在于，
上述加热源由配置在容纳上述夹具及上述支承部件的腔室的外侧的红外线灯构成。
8.如权利要求1或3所述的加热装置，其特征在于，
具备控制装置，是控制来自上述加热器的发热量的控制装置，构成为，根据上述加热对象部件的温度控制来自上述加热器的发热量。
9.一种板状部件的制造方法，其特征在于，
具备：
加热对象部件提供工序，向权利要求1～8中任一项所述的加热装置提供板状的加热对象部件；
支承工序，用上述支承部件支承上述加热对象部件；以及
加热工序，用上述加热器将上述加热对象部件加热，制造板状部件。
10.一种板状部件的制造方法，是将板状的加热对象部件加热来制造板状的部件的方法，其特征在于，具备：
支承工序，以将发出给予上述加热对象部件的热的发热部与上述加热对象部件的面之间保持为存在流体且上述流体不对流的预定的间隔、并且不发生从上述发热部向上述加热对象部件的面的直接的热传递的方式，支承上述加热对象部件；以及
加热工序，将由上述发热部发出的热在避免作为成为发热原因的电磁波直接照射到上述加热对象部件上的同时，经由上述流体向上述加热对象部件传递，制造板状部件。
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