CN107958859A - 一种摆动装置 - Google Patents

一种摆动装置 Download PDF

Info

Publication number
CN107958859A
CN107958859A CN201711233983.3A CN201711233983A CN107958859A CN 107958859 A CN107958859 A CN 107958859A CN 201711233983 A CN201711233983 A CN 201711233983A CN 107958859 A CN107958859 A CN 107958859A
Authority
CN
China
Prior art keywords
pendulous device
wabbler mechanism
plane
fixed
deflection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201711233983.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107958859B (zh
Inventor
袁丁
陈荣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yangzhou Hy Technology Development Co Ltd
Original Assignee
Yangzhou Hy Technology Development Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yangzhou Hy Technology Development Co Ltd filed Critical Yangzhou Hy Technology Development Co Ltd
Priority to CN201711233983.3A priority Critical patent/CN107958859B/zh
Publication of CN107958859A publication Critical patent/CN107958859A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107958859B publication Critical patent/CN107958859B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67333Trays for chips

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Toys (AREA)

Abstract

本发明公开一种摆动装置,包括底座和支撑板,底座内部设置有平面摇摆机构和偏转摇摆机构,偏转摇摆机构位于平面摇摆机构上方,支撑板安装在偏转摇摆机构上方,且支撑板的四周安装有限位柱,限位柱的内侧开设有安装槽,本发明解决了现有技术中摆动效率差,只能在单方向摆动的技术问题。

Description

一种摆动装置
技术领域
本发明涉及电子器件技术领域,尤其涉及一种摆动装置。
背景技术
目前在生产方桥生产线上,传统工艺通常是用人工将连接片和端子一颗颗的摆放进焊接模内,既耗时又需要大量的操作人员;芯片通常是采用筛盘与吸盘设计,每次人工筛得一盘,再用吸盘吸上芯片转换装填到焊接模内,使得若干芯片规整地入槽,但是这样的速度严重影响了加工效率;而采用摆动装置及配套治具完成方桥焊接端子、芯片的自动转换装填,初步测算产能可提升70%,节约了人力,提高了效率,打破了传统的全部由人工装填的方式,申请号为CN201210393280.8的专利,一种实现新型叠片二极管制造工艺的芯片筛盘,芯片筛盘采用真空吸住芯片,其上表面开有吸盘型孔,吸盘型孔的深度H小于芯片的厚度;吸盘型孔的形状与芯片相配,吸盘型孔的尺寸B略大于芯片大面,芯片大面占到整个型孔底面积的90%以上;吸盘型孔背面设置真空通道,真空通道在与吸盘型孔连接处尺寸A小于吸盘型孔的尺寸B,该专利并没有交代如何将连接片和端子装入筛盘中。
发明内容
本发明的目的是提供一种摆动装置,解决了现有技术中的摆动效率差,只能在单方向摆动的技术问题。
一种摆动装置,包括底座和支撑板,所述底座内部设置有平面摇摆机构和偏转摇摆机构,所述偏转摇摆机构位于所述平面摇摆机构上方,所述支撑板安装在偏转摇摆机构上方,且支撑板的四周安装有限位柱,所述限位柱的内侧开设有安装槽。
在上述技术方案的基础上,本发明还可以做如下改进:
进一步地,它还包括固定柱,所述固定柱间隔设置,且固定柱上方安装有装夹钳,采用本步的有益效果在使用时,在限位柱之间放置有筛盘,通过装夹钳来将筛盘压紧。
进一步地,所述偏转摇摆机构包括固定板、偏转驱动电机、主动盘、从动盘和托盘,所述固定板上方间隔安装有固定轴和偏转驱动电机,所述偏转驱动电机上安装有主动盘,所述从动盘安装在固定轴上,且从动盘与主动盘啮合,所述固定轴上端安装有关节铰链,所述关节铰链末端与所述托盘连接,所述托盘固定在支撑板下方,采用本步的有益效果是通过偏转摇摆机构来实现上下摆动。
进一步地,所述从动盘沿周向间隔开设有凹槽,所述凹槽内部设置有滚珠,所述从动盘上方设置凸轮,所述托盘下表面间隔设置有凸起面。
进一步地,所述凸起面为弧形面,采用本步的有益效果是通过弧形面保证摆动的稳定性。
进一步地,所述滚珠上端的切线低于所述凸轮上端的切线,采用本步的有益效果是便于实现上、下摆动。
进一步地,所述平面摇摆机构包括平移辅助机构、两个平面驱动电机、两个偏心轮和两个开有滑动槽的固定块,所述平面驱动电机间隔设置,且平面驱动电机上方安装有偏心轮,所述固定块间隔安装在固定板下方,且固定块的滑动槽相互垂直,所述偏心轮与所述滑动槽相对应,所述平移辅助机构安装在底座上,且平移辅助机构与所述固定板连接,采用本步的有益效果是利用平面摇摆机构实现水平方向的摆动。
进一步地,所述偏心轮包括转轮和导柱,所述转轮安装在平面驱动电机上,所述导柱安装在转轮的偏心位置上,且导柱位于所述滑动槽内部,采用本步的有益效果是通过转轮的转动,实现导柱的偏心转动,从而推动固定块运动。
进一步地,所述平移辅助机构包括多个滑动轴和多个滑块,所述滑动轴间隔安装在底座上,且滑动轴围成矩形框架,所述滑块内部设置有通孔,且所述滑块与所述固定板螺纹连接,所述滑动轴穿设在通孔内,所述通孔内壁与滑动轴的外壁之间留有间隙,采用本步的有益效果是保证运动的稳定性。
进一步地,它还包括控制器,所述控制器分别与所述偏转驱动电机、平面驱动电机连接,采用本步的有益效果是便于实现自动化控制。
本发明的有益效果:
本发明为一种摆动装置,包括两个摇摆机构,一个是水平方向的摆动(X,Y方向),另一个是Z方向;这样能够保证连接片、芯片充分进入筛盘中;本发明中的偏转摇摆机构采用凸轮和弧形面相互配合,这样托盘就会产生倾斜,然后再启动平面驱动电机,这样托盘就能在倾斜方向摇摆,即实现了Z方向的运动;本发明的滚珠起到支撑作用,用于限制摇摆的幅度,这样托盘运动的幅度就会稳定;本发明中的平面摇摆机构,是利用电机驱动偏心轮转动,从而带动固定板运动,通过平移辅助机构限制固定板的运动方向,这样保证平移的稳定性;本发明结构简单,操作方便,且维护方便。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明具体实施例所述的一种摆动装置的结构示意图;
图2为本发明具体实施例所述的一种摆动装置的平面摇摆机构局部俯视图;
图3为本发明具体实施例所述的一种摆动装置的固定板仰视图;
图4为本发明具体实施例所述的一种摆动装置的偏转摇摆机构局部俯视图;
图5为本发明具体实施例所述的一种摆动装置的托盘仰视图;
图6为本发明具体实施例所述的一种摆动装置的滑块与滑动轴装配的主视图;
图7为本发明具体实施例所述的一种摆动装置的支撑板俯视图;
附图标记:
1-底座;2-支撑板;3-平面摇摆机构;4-偏转摇摆机构;5-限位柱;6-安装槽;7-固定柱;8-装夹钳;9-固定板;10-偏转驱动电机;11-主动盘;12-从动盘;13-托盘;14-固定轴;15-关节铰链;16-凹槽;17-滚珠;18-凸轮;19-凸起面;20-平面驱动电机;21-偏心轮;22-滑动槽;23-固定块;24-转轮;25-导柱;26-滑动轴;27-滑块;28-控制器;29-平移辅助机构;30-通孔。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案,因此只作为示例,而不能以此来限制本发明的保护范围。
需要注意的是,除非另有说明,本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域技术人员所理解的通常意义。
在本申请的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。在本发明的描述中,“多个”的含义是两个以上,除非另有明确具体的限定。
在本申请中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本申请中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
实施例
如图1所示,本发明所提供的一种摆动装置,包括底座1和支撑板2,所述底座1内部设置有平面摇摆机构3和偏转摇摆机构4,偏转摇摆机构4是用于实现上、下角度调节,平面摇摆机构3用于实现平面摆动,也能带动偏转摇摆机构4平面摆动;所述偏转摇摆机构4位于所述平面摇摆机构3上方,所述支撑板2安装在偏转摇摆机构4上方,且支撑板2的四周安装有限位柱5,所述限位柱5的内侧开设有安装槽6,限位柱5内侧的安装槽6为直角三角形,是用来安装筛盘,筛盘可以是多层,因为有限位柱固定,这样可以一次筛几盘,提高工作效率,筛盘表面设置有多个连接片槽,在偏转摇摆机构4和平面摇摆机构3工作时,支撑板2发生摇摆,这样筛盘就发生摇摆,部分连接片就会进入连接片槽中,便于进行下一步操作。
其中,如图7所示,它还包括固定柱7,所述固定柱7间隔设置,且固定柱7上方安装有装夹钳8,在使用时,在限位柱5之间放置有筛盘,通过装夹钳8来将筛盘压紧,因为偏转摇摆机构4会调节角度,然后平面摇摆机构3进行摆动,筛盘整体就会倾斜摆动,装夹钳8能够将筛盘固定住,不会因为摆动而脱离。
其中,所述偏转摇摆机构4包括固定板9、偏转驱动电机10、主动盘11、从动盘12和托盘13,所述固定板9上方间隔安装有固定轴14和偏转驱动电机10,所述偏转驱动电机10上安装有主动盘11,所述从动盘12安装在固定轴14上,且从动盘12与主动盘11啮合,所述固定轴14上端安装有关节铰链15,所述关节铰链15末端与所述托盘13连接,所述托盘13固定在支撑板2下方;偏转驱动电机10带动主动盘11转动,因为主动盘11与从动盘12啮合,以此可以带动从动盘12转动。
其中,所述从动盘12沿周向间隔开设有凹槽16,所述凹槽16内部设置有滚珠17,所述从动盘12上方设置凸轮18,所述托盘13下表面间隔设置有凸起面19,托盘13的底面有多个凸起面19,这样托盘13底面和从动盘12上表面之间的间隙是变化的,而且本发明在从动盘12表面还设置有滚珠17和凸轮18,从动盘12转动时,凸轮18就会与凸起面19接触,这样托盘13就会产生倾斜,而从动盘12不停的转动,凸轮18的位置就会发生变化,并且与不同位置的凸起面19接触,从而托盘13实现不同方向的倾斜;本发明还设置有滚珠17,这样可以保证倾斜后能够稳定;本发明利用偏转摇摆机构4可以将反向的连接片在摇摆过程从连接片槽处滑出,提高摇摆的效率,最后进入连接片槽中。
其中,所述凸起面19为弧形面,利用弧形面进行过渡,可以保证摆动的稳定性。
其中,所述滚珠17上端的切线低于所述凸轮18上端的切线,这样凸轮18的高度高于滚珠17的高度,这样能够能够方便托盘产生不同方向的倾斜。
其中,所述平面摇摆机构3包括平移辅助机构29、两个平面驱动电机20、两个偏心轮21和两个开有滑动槽22的固定块23,所述平面驱动电机20间隔设置,且平面驱动电机20上方安装有偏心轮21,所述固定块23间隔安装在固定板9下方,且固定块23的滑动槽22相互垂直,所述偏心轮21与所述滑动槽22相对应,每个偏心轮与每个滑动槽相对应,实际操作时,先启动一个偏心轮,这样一个偏心轮运动就能带动一个方向的(比如X轴)运动,然后关闭这个偏心轮,启动另一个偏心轮,这样就能带动另一个方向(比如Y轴)的运动,所述平移辅助机构29安装在底座1上,且平移辅助机构29与所述固定板9连接,平面驱动电机20驱动偏心轮21转动;偏心轮21在滑动槽22内部转动,从而推动固定块23移动;而固定板9与平移辅助机构3连接,这样固定板9可以在平移辅助机构3的辅助下,在平面上运动。
其中,所述偏心轮21包括转轮24和导柱25,所述转轮24安装在平面驱动电机20上,所述导柱25安装在转轮24的偏心位置上,且导柱25位于所述滑动槽22内部,导柱25位于偏心位置,这样导柱25就会产生一定运动轨迹,从而可以推动固定块23在不同的方向运动;而且固定块23的滑动槽22相互垂直,每个平面驱动电机20对应一个固定块23,这样一个固定块就能在X轴方向运动,另一个固定块就能在Y轴方向运动,加上前述的偏转摇摆机构4是类似Z轴方向运动,这样就能够实现全方位的运动,从而能够提高工作效率。
其中,所述平移辅助机构29包括多个滑动轴26和滑块27,所述滑动轴26间隔安装在底座1上,且滑动轴26围成矩形框架,所述滑块27内部设置有通孔30,且所述滑块27与所述固定板9螺纹连接,所述滑动轴26穿设在通孔30内,且每根滑动轴26上至少有两个滑块27,所述通孔30内壁与滑动轴26的外壁之间留有间隙,滑块27在滑动轴26上运动,这样运动方向就能限制住,固定板9的运动方向也能够限制住,同时通孔30与滑动轴26之间留有空隙,这样滑块沿X轴运动时,Y方向不会被限制住;沿Y轴方向运动时,X方向不会被限制住。
其中,它还包括控制器28,所述控制器28分别与所述偏转驱动电机10、平面驱动电机20连接,利用控制器28可以控制平面驱动电机20和偏转驱动电机10的工作频率,提高工作效率。
本发明的工作原理:
在使用时,先将筛盘安装在限位柱5的安装槽6中,利用装夹钳8对筛盘进行固定,启动控制器28,控制器28先启动其中一个平面驱动电机20,平面驱动电机20驱动偏心轮21转动,使得固定板9往固定的一个方向运动,这样支撑板2也能够往一定的方向运动,从而筛盘也能够往固定的方向运动;然后另一个平面驱动电机20启动,带动固定板9往另一个方向运动,实现水平方向的摇摆,此时有可能连接片的脚会在相反方向;随后启动偏转驱动电机10,带动主动盘11运动,从而带动从动盘12运动,从动盘12转动后,凸轮18就能够与凸起面19接触,从而完成托盘13往不同方向倾斜,然后启动一个平面驱动电机20,这样筛盘就能在倾斜方向摇摆,转换装填到焊接模中,这样方桥焊接端子、芯片的就能够自动转换装填,提高工作效率。
本发明的说明书中,说明了大量具体细节。然而,能够理解,本发明的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中,并未详细示出公知的方法、结构和技术,以便不模糊对本说明书的理解。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围,其均应涵盖在本发明的权利要求和说明书的范围当中。

Claims (10)

1.一种摆动装置,其特征在于,包括底座和支撑板,所述底座内部设置有平面摇摆机构和偏转摇摆机构,所述偏转摇摆机构位于所述平面摇摆机构上方,所述支撑板安装在偏转摇摆机构上方,且支撑板的四周安装有限位柱,所述限位柱的内侧开设有安装槽。
2.根据权利要求1所述的一种摆动装置,其特征在于,它还包括固定柱,所述固定柱间隔设置,且固定柱上方安装有装夹钳。
3.根据权利要求2所述的一种摆动装置,其特征在于,所述偏转摇摆机构包括固定板、偏转驱动电机、主动盘、从动盘和托盘,所述固定板上方间隔安装有固定轴和偏转驱动电机,所述偏转驱动电机上安装有主动盘,所述从动盘安装在固定轴上,且从动盘与主动盘啮合,所述固定轴上端安装有关节铰链,所述关节铰链末端与所述托盘连接,所述托盘固定在支撑板下方。
4.根据权利要求3所述的一种摆动装置,其特征在于,所述从动盘沿周向间隔开设有凹槽,所述凹槽内部设置有滚珠,所述从动盘上方设置凸轮,所述托盘下表面间隔设置有凸起面。
5.根据权利要求4所述的一种摆动装置,其特征在于,所述凸起面为弧形面。
6.根据权利要求5所述的一种摆动装置,其特征在于,所述滚珠上端的切线低于所述凸轮上端的切线。
7.根据权利要求6所述的一种摆动装置,其特征在于,所述平面摇摆机构包括平移辅助机构、两个平面驱动电机、两个偏心轮和两个开有滑动槽的固定块,所述平面驱动电机间隔设置,且平面驱动电机上方安装有偏心轮,所述固定块间隔安装在固定板下方,且固定块的滑动槽相互垂直,所述偏心轮与所述滑动槽相对应,所述平移辅助机构安装在底座上,且平移辅助机构与所述固定板连接。
8.根据权利要求7所述的一种摆动装置,其特征在于,所述偏心轮包括转轮和导柱,所述转轮安装在平面驱动电机上,所述导柱安装在转轮的偏心位置上,且导柱位于所述滑动槽内部。
9.根据权利要求8所述的一种摆动装置,其特征在于,所述平移辅助机构包括多个滑动轴和多个滑块,所述滑动轴间隔安装在底座上,且滑动轴围成矩形框架,所述滑块内部设置有通孔,且所述滑块与所述固定板螺纹连接,所述滑动轴穿设在通孔内,所述通孔内壁与滑动轴的外壁之间留有间隙。
10.根据权利要求9所述的一种摆动装置,其特征在于,它还包括控制器,所述控制器分别与所述偏转驱动电机、平面驱动电机连接。
CN201711233983.3A 2017-11-30 2017-11-30 一种摆动装置 Active CN107958859B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711233983.3A CN107958859B (zh) 2017-11-30 2017-11-30 一种摆动装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711233983.3A CN107958859B (zh) 2017-11-30 2017-11-30 一种摆动装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107958859A true CN107958859A (zh) 2018-04-24
CN107958859B CN107958859B (zh) 2023-08-15

Family

ID=61962557

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201711233983.3A Active CN107958859B (zh) 2017-11-30 2017-11-30 一种摆动装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107958859B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108565234A (zh) * 2018-05-29 2018-09-21 上海科发电子产品有限公司 一种用于半导体器件倒装装配的基板整理装置
CN115259883A (zh) * 2022-09-01 2022-11-01 浙江新纳陶瓷新材有限公司 装环用摇摆机、装环设备及装环方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005107931A1 (de) * 2004-05-03 2005-11-17 Thermo Electron (Oberschleissheim) Gmbh Schüttelgerät für probengefässe
CN101030551A (zh) * 2006-03-02 2007-09-05 住友重机械工业株式会社 载物台装置
WO2014049696A1 (ja) * 2012-09-26 2014-04-03 三菱電機株式会社 半導体装置の製造方法、半導体製造装置
CN203820006U (zh) * 2014-05-09 2014-09-10 扬州虹扬科技发展有限公司 一种摇摆排料装置
CN207558762U (zh) * 2017-11-30 2018-06-29 扬州虹扬科技发展有限公司 一种摆动装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005107931A1 (de) * 2004-05-03 2005-11-17 Thermo Electron (Oberschleissheim) Gmbh Schüttelgerät für probengefässe
CN101030551A (zh) * 2006-03-02 2007-09-05 住友重机械工业株式会社 载物台装置
WO2014049696A1 (ja) * 2012-09-26 2014-04-03 三菱電機株式会社 半導体装置の製造方法、半導体製造装置
CN203820006U (zh) * 2014-05-09 2014-09-10 扬州虹扬科技发展有限公司 一种摇摆排料装置
CN207558762U (zh) * 2017-11-30 2018-06-29 扬州虹扬科技发展有限公司 一种摆动装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108565234A (zh) * 2018-05-29 2018-09-21 上海科发电子产品有限公司 一种用于半导体器件倒装装配的基板整理装置
CN108565234B (zh) * 2018-05-29 2024-06-21 上海科发电子产品有限公司 一种用于半导体器件倒装装配的基板整理装置
CN115259883A (zh) * 2022-09-01 2022-11-01 浙江新纳陶瓷新材有限公司 装环用摇摆机、装环设备及装环方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN107958859B (zh) 2023-08-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107958859A (zh) 一种摆动装置
EP3831587B1 (en) Trimming device for an electrode film of a secondary battery
CN206536457U (zh) 一种基板搬送机器人
CN207558762U (zh) 一种摆动装置
CN110217589A (zh) 电极上料装置及电池生产线
CN104714615B (zh) 一种平板电脑贴屏治具
CN109176116A (zh) 一种用于钣金加工的自动装夹装置
CN206114238U (zh) 非线性弹性辅助振动装置及振动摇摆台
CN203415805U (zh) 全自动双层旋转式安装胶暗箱铁件的设备
CN109693048A (zh) 一种晶圆片的激光切割装置
CN207281417U (zh) 导光板组装治具
CN205701433U (zh) 防泄漏型三次元旋振筛
CN205496413U (zh) 一种定位冲压装配装置
CN103978729B (zh) 焊条盒成型机
CN212544437U (zh) 一种电子元器件辅助散热装置
CN209072275U (zh) 一种铁心输送机构
CN206631915U (zh) 一种土建工程用振动筛
CN205873224U (zh) 一种胶板输送机构
CN210412948U (zh) 自动沾锡机
CN207357867U (zh) 一种翻边机
CN111069730A (zh) 焊带跟随装置及串焊机
CN206223932U (zh) 高密度电路板测试微调机构
CN211297174U (zh) Fpc焊接装置
CN213125793U (zh) 一种马达组装机构
CN216464705U (zh) 一种gis巡检机器人动态重心调节机构

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant