CN107884861B - 主模、线栅偏振器及其制造方法以及显示装置 - Google Patents

主模、线栅偏振器及其制造方法以及显示装置 Download PDF

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Abstract

提供了主模、线栅偏振器及其制造方法以及显示装置。用于制造线栅偏振器的主模包括模基底以及设置在模基底上的模部，其中，模部包括：多个凸起部分，基本彼此平行地在第一方向上延伸；多个凹陷部分，所述多个凹陷部分中的至少一些凹陷部分设置在相邻的凸起部分之间，在第一方向上延伸，并且将相邻的凸起部分分离；以及凸起桥接部分，布置在与第一方向相交的第二方向上，并且连接被凹陷部分分离的多个凸起部分。

Description

主模、线栅偏振器及其制造方法以及显示装置
本申请要求于2016年9月29日提交的第10-2016-0125667号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请通过引用为了所有目的而包含于此，就像在这里被充分地阐述一样。
技术领域
本发明总体上涉及电子显示装置中使用的线栅偏振器，更具体地，涉及减少可能造成包含线栅偏振器的显示装置的光学特性劣化的缺陷的用于制造线栅偏振器的主模、线栅偏振器以及其制造方法。
背景技术
偏振器是将根据特定振动方向而具有偏振特性的光与诸如自然光的具有各种方向的非偏振光分离的光学元件。偏振器具有间距小于待分离的光的波长的线栅形状或条状结构，以将其分离成具有偏振特性的光。
通常，偏振器具有波长的大约20％的间距，以便用于具有在400nm至700nm范围内的波长的可见光区域。因此，具有至少100nm或更小的间距的偏振器可以用于可见光区域中。
然而，在偏振器具有这种间距范围的情况下，因为间距间隔非常小，所以在制造工艺过程中出现缺陷的可能性很高。制造工艺中的缺陷使产品产率劣化，从而降低生产率并降低经济效益。
在该背景技术部分中公开的上述信息仅用于增强对本发明构思的背景的理解，因此，它可以包括不构成这个国家中的本领域普通技术人员已经了解的现有技术的信息。
发明内容
申请人已经发现，需要一种防止在具有精细间距的偏振器的制造工艺中出现缺陷的技术。
根据本发明的原理构造的用于制造线栅偏振器的主模、线栅偏振器及其制造方法以及显示装置具有凸起桥接部分，凸起桥接部分通过减少在制造工艺过程中产生的缺陷的可能性来提高生产率。
将在下面的详细描述中部分地阐述附加的方面，并且部分地通过本公开而明显，或可以通过实施本发明构思来获知。
根据本发明的一方面，用于制造线栅偏振器的主模包括模基底以及设置在模基底上的模部。模部包括：多个凸起部分，基本彼此平行地在第一方向上延伸；多个凹陷部分，多个凹陷部分中的至少一些凹陷部分设置在相邻的凸起部分之间，在第一方向上延伸，并且将相邻的凸起部分分离；以及凸起桥接部分，布置在与第一方向相交的第二方向上，并且连接被凹陷部分分离的多个凸起部分。
多个凸起桥接部分可以与相邻的凸起桥接部分连接。
多个凸起桥接部分可以偏离相邻的凸起桥接部分。
两个或更多个凸起桥接部分可以设置在一个凹陷部分中。
第一方向和第二方向可以基本彼此垂直。
模部可以包括具有至少部分地通过多个凸起部分、多个凹陷部分和多个凸起桥接部分限定的各种高度的凹凸部。
根据本发明的另一方面，制造线栅偏振器的方法包括：设置具有模部的第一模，所述模部以被多个凸起部分、多个凹陷部分和多个凸起桥接部分限定的图案而形成在第一基底上，多个凸起部分基本彼此平行地在第一方向上延伸，多个凹陷部分在多个凸起部分之间沿第一方向延伸并且将多个凸起部分分离，多个凸起桥接部分在与第一方向相交的第二方向上延伸并连接多个凸起部分；通过将第一模的图案转印到树脂来形成第二模；在第二基底上涂覆液态树脂并利用第二模进行压印；通过使压印的液态树脂固化来形成掩模；以及对与掩模的一个表面接触的第二基底进行蚀刻。
形成第二模的步骤可以包括形成具有多个凹陷压印部分、多个凸起压印部分和多个凹陷压印桥接部分的第二模，多个凹陷压印部分对应于多个凸起部分，多个凸起压印部分对应于多个凹陷部分，多个凹陷压印桥接部分对应于多个凸起桥接部分，使得填充在凹陷压印部分中的树脂流入多个凹陷压印桥接部分中。
设置具有模部的第一模的步骤可以包括在光致抗蚀工艺中形成模部。
涂覆液态树脂的步骤可以包括利用喷墨方法。
第二基底可以包括金属层和抗金属氧化层。对第二基底进行蚀刻的步骤可以包括：利用掩模对抗金属氧化层进行蚀刻；以及利用被蚀刻的抗金属氧化层对金属层进行蚀刻。
设置具有模部的第一模的步骤可以包括设置具有各种高度的凹凸部，所述各种高度至少部分地通过多个凸起部分、多个凹陷部分和多个凸起桥接部分来限定。
根据本发明的另一方面，线栅偏振器包括：多个凸起栅格部分，基本彼此平行地在第一方向上延伸；以及多个凸起栅格桥接部分，在多个凸起栅格部分之间沿与第一方向相交的第二方向延伸，并且将多个凸起栅格部分中的被多个凹陷栅格部分分离的至少一些凸起栅格部分彼此连接。
多个凸起栅格桥接部分可以与相邻的凸起栅格桥接部分连接。
多个凸起栅格桥接部分可以偏离相邻的凸起栅格桥接部分。
两个或更多个凸起栅格桥接部分可以连接一对凸起栅格部分。
第一方向和第二方向可以基本彼此垂直。
根据本发明的另一方面，显示装置包括包括线栅偏振器的显示面板以及设置在显示面板上的颜色转换面板。线栅偏振器包括：多个凸起栅格部分，基本彼此平行地在第一方向上延伸；以及多个凸起栅格桥接部分，在多个凸起栅格部分之间沿与第一方向相交的第二方向延伸，并且将多个凸起栅格部分中的被多个凹陷栅格部分分离的至少一些凸起栅格部分彼此连接。
颜色转换面板可以包括：多个颜色转换层，被构造为改变穿过显示面板的光的波长；以及光阻挡构件，设置在多个颜色转换层之间。多个凸起栅格桥接部分可以与光阻挡构件接触并叠置。
所述多个颜色转换层可以包括量子点。
因此，根据本发明的原理构造的用于制造线栅偏振器的主模、线栅偏振器以及显示装置能够防止由可能会在线栅偏振器的制造工艺中产生的缺陷造成的光学特性的劣化，并从而提高产品质量。例如，尽管液态树脂通过凸起压印部分和凹陷压印部分涂覆，以便在与线栅偏振器的凸起栅格部分所延伸的第一方向相交的第二方向上形成凸起栅格桥接部分，但能够防止毛细现象和液态树脂的扩散各向异性造成的缺陷。
以上总体性描述和以下详细的描述是示例性和说明性的，并且旨在提供对所要求保护的主题的进一步说明。
附图说明
附图示出了本发明构思的示例性实施例，并且与描述一起用来解释本发明构思的原理，其中，包括附图以提供对本发明构思的进一步理解，并且将附图并入本说明书中且构成本说明书的一部分。
图1是用于制造根据本发明的原理构造的线栅偏振器的主模(master mold)的实施例的示意性透视图。
图2是用于制造根据本发明的原理构造的线栅偏振器的主模的另一实施例的透视图。
图3是用于制造根据本发明的原理构造的线栅偏振器的主模的又一实施例的透视图。
图4是图1的主模和通过主模产生的压印模的示意性透视图。
图5是示出用于在线栅偏振器基底上形成掩模的示例性压印工艺的图4的压印模和涂覆在线栅偏振器基底上的掩模树脂的示意性透视图。
图6是示出掩模树脂如何填充在压印模中的图5的压印模的一部分的示意性平面图。
图7是示出掩模树脂完全地填充压印模的状况的图5的压印模的一部分的示意性平面图。
图8是图5的压印模和在图5的线栅偏振器基底上制造的掩模的示意性透视图。
图9至图14是顺序地示出根据本发明的原理的线栅偏振器的制造方法的线栅偏振器基底、压印模和掩模的示意性侧视图。
图15是利用图9至图14中示出的制造方法制造的线栅偏振器的示意性透视图。
图16是根据本发明的原理构造的显示装置的实施例的示意性剖视图。
图17是图15的线栅偏振器以及图16的颜色转换面板的一部分的示意性透视图。
图18是图17的显示装置的部分A的放大的俯视图。
具体实施方式
在下面的描述中，为了解释的目的，阐述了许多具体细节，以便提供对各种示例性实施例的透彻理解。然而，明显的是，可以在没有这些具体细节或利用一个或更多个等同布置的情况下，实施各种示例性实施例。在其它情况下，为避免不必要地模糊各种示例性实施例，以框图形式示出了熟知的结构和装置。
在附图中，为了清楚和描述目的，可夸大层、膜、面板、区域等的尺寸和相对尺寸。此外，同样的附图标记指示同样的元件。
当元件或层被称作为“在”另一元件或层“上”或者“连接到”或“结合到”另一元件或层时，该元件或层可以直接在所述另一元件或层上、直接连接到或直接结合到所述另一元件或层，或者可以存在中间元件或中间层。然而，当元件或层被称作为“直接在”另一元件或层“上”或者“直接连接到”或“直接结合到”另一元件或层时，不存在中间元件或中间层。为了本公开的目的，“X、Y和Z中的至少一个/种”和“从由X、Y和Z组成的组选择的至少一个/种”可以被理解为仅X、仅Y、仅Z或者X、Y和Z中的两个/种或更多个/种的任意组合(例如，以XYZ、XYY、YZ和ZZ为例)。同样的标记始终指示同样的元件。如在这里使用的，术语“和/或”包括一个或更多个相关所列项目的任意组合和所有组合。
尽管在这里可以使用术语第一、第二等来描述各种元件、组件、区域、层和/或部分，但是这些元件、组件、区域、层和/或部分不应受这些术语的限制。这些术语是用来将一个元件、组件、区域、层和/或部分与另一元件、组件、区域、层和/或部分区分开来。因此，在不脱离本公开的教导的情况下，下面讨论的第一元件、组件、区域、层和/或部分可以被命名为第二元件、组件、区域、层和/或部分。
出于描述性目的，在这里可以使用诸如“在……下面”、“在……下方”、“下”、“在……上方”、“上”等空间相对术语从而来描述如附图中所示的一个元件或特征与其它元件或特征的关系。空间相对术语意在包含除了在附图中描述的方位之外的装置在使用、操作和/或制造中的不同方位。例如，如果附图中的装置被翻转，则描述为“在”其它元件或特征“下方”或“下面”的元件随后将被定位为“在”其它元件或特征“上方”。因此，示例性术语“在……下方”可以包括上方和下方两种方位。此外，所述装置可被另外定位(例如，旋转90度或者在其它方位)，并因此相应地解释这里使用的空间相对描述语。
这里使用的术语是为了描述具体实施例的目的，而不意图进行限制。如这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式的“一个(种/者)”和“所述(该)”也意图包括复数形式。此外，当在本说明书中使用术语“包含”、“包括”和/或其变形时，说明存在所述特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组，但不排除存在或附加一个或更多个其它特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。
这里参照作为理想示例性实施例和/或中间结构的示意图的剖视图来描述各种示例性实施例。这样，例如由制造技术和/或公差引起的图示的形状的变化是预期的。因此，这里公开的示例性实施例不应该被理解为受限于区域的具体示出的形状，而将包括诸如由制造导致的形状上的偏差。例如，示出为矩形的注入区域在其边缘将通常具有圆形或弯曲的特征和/或注入浓度的梯度，而不是从注入区域到非注入区域的二元变化。同样，通过注入形成的埋区会导致在埋区和通过其发生注入的表面之间的区域中的一些注入。因此，在附图中示出的区域实际上是示意性的，它们的形状并不意图示出装置的区域的实际形状并且不意图进行限制。
除非另外定义，否则这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本公开作为其一部分的领域中的普通技术人员所通常理解的意思相同的意思。除非这里明确这样定义，否则术语(例如，在通用的字典中定义的术语)应该被解释为具有与相关领域的环境中它们的意思一致的意思，而将不以理想的或过于形式化的含义来解释。
图1是用于制造根据本发明的原理构造的线栅偏振器的主模(master mold)的实施例的示意性透视图。如图1中示出的，根据示例性实施例的用于制造线栅偏振器的主模100包括模基底110和模凹凸部120。
模基底110可以用作制造主模100的基底，并且可以由本领域中已知的包括金属的任意材料形成。模凹凸部120通过对模基底110的表面进行处理而具有突起和凹陷来形成。根据示例性实施例，模凹凸部120可以利用通过激光切割工艺而具有精确图案的主模制造掩模并且利用光致抗蚀工艺来形成，但是本发明构思不限于此。
根据示例性实施例，模凹凸部120包括凸起(凸出)部分122、凹陷(凹入)部分124以及可连接相邻的凸起部分122的凸起(凸出)桥接部分126。换言之，模凹凸部120是具有至少部分地通过凸起部分122、凹陷部分124和凸起桥接部分126限定的各种高度的模具的一部分。凸起部分122具有第一高度，凹陷部分124具有第二高度，凸起桥接部分126具有与第一高度相同的第三高度。
凸起部分122设置为在第一方向上彼此平行，以具有条状图案。与凸起部分122类似，凹陷部分124设置为在第一方向上彼此平行，每个凹陷部分124设置在对应的相邻的凸起部分122之间，以将相邻的凸起部分122分离。根据示例性实施例，凹陷部分124可以通过由激光切割工艺部分地去除模基底110来形成。但本发明构思不限于此。
主模100在模基底110的较长侧处具有壁。壁是凸起部分122中的一个。主模100可以通过壁与外部分离开。主模100在模基底110的较短侧处也具有开放部分。开放部分通过凹陷部分124形成。
凸起桥接部分126在与第一方向相交的第二方向上延伸为与凹陷部分124交叉。根据示例性实施例，凸起桥接部分126与被凹陷部分124分离的凸起部分122连接。在这种情况下，如图1中示出的，凸起桥接部分126可以与相邻于该凸起桥接部分126的其它凸起桥接部分126连接。
图2和图3中示出了主模100的示例性修改。图2是用于制造根据本发明的原理构造的线栅偏振器的主模的另一实施例的透视图，其中，凸起桥接部分126与其相邻的其它凸起桥接部分126偏离或未对准。如图2中示出的，偏离意味着每个凸起桥接部分126单独地布置，不与相邻的凸起桥接部分126连续地布置。图3是用于制造根据本发明的原理构造的线栅偏振器的主模的又一实施例的透视图，其中，两个或更多个凸起桥接部分126包括在一个凹陷部分124中，使得一对凸起部分122通过两个或更多个凸起桥接部分126来彼此连接。
如图1至图3中示出的，主模100的凸起部分122和凹陷部分124延伸所沿的第一方向可以垂直于凸起桥接部分126延伸所沿的第二方向。然而，这仅是示例。可以采用第一方向和第二方向彼此相交的任意情况。
在图1至图3中，主模100包括用于连接凸起部分122的凸起桥接部分126。主模100可以经受通过在成型操作中转印其图案来制造压印模200的工艺。制造的压印模200可以用于制造线栅偏振器，其中，利用通过喷墨法涂覆的液态树脂来制造线栅偏振器。随后将结合图9至图14中示出的示例性线栅制造方法来描述详细的制造方法。
液态树脂具有由毛细现象引起的扩散各向异性。因此，液态树脂容易在形成有凹陷部分124的第一方向上扩散，同时液态树脂不容易在与第一方向交叉的第二方向上扩散。因此，会出现在凹陷部分124之间未完全填充液体树脂的缺陷。
这种缺陷会使线栅偏振器的光学特性劣化，这种劣化会不利地影响包括线栅偏振器的显示装置。
然而，图1至图3中示出的主模100包括可克服这种缺陷的凸起桥接部分126，其中，通过形成液态树脂可在第二方向上流动的路径来克服这种缺陷。
因为凸起桥接部分126连接凸起部分122，所以液态树脂可以如随后参照图4至图8描述的在凹陷压印部分之间流动。因此，可以防止由于线栅偏振器的制造工艺过程中可能产生的缺陷引起的光学特性劣化，从而提高产品质量。
随后将参照图4至图8关于利用上述主模的线栅偏振器的制造方法来更详细地描述凹陷压印部分。
根据示例性实施例，线栅偏振器的制造方法可以总体上包括以下步骤：提供用于制造线栅偏振器的主模、形成压印模、压印、形成掩模以及制造线栅偏振器。
如上所述，在提供主模100的步骤中，主模100可以包括凸起部分122、凹陷部分124以及设置在凹陷部分124中以连接凸起部分122的凸起桥接部分126。
根据示例性实施例，可以使用激光切割方法在主模100中形成凸起部分122、凹陷部分124和凸起桥接部分126。具体地，可以通过由激光切割在与凹陷部分124对应的区域处去除模基底110的一些来形成凹陷部分124，以形成凸起部分122和凸起桥接部分126。
在该步骤中关于制造主模100的详细描述与上面描述的主模100的制造步骤基本相同。因此，在很大程度上省略重复的描述以避免冗余。
在形成压印模的步骤中，通过利用成型树脂转印主模100的图案来形成压印模。根据示例性实施例，可以用液体涂覆成型树脂，以通过压印方法转印主模100的图案。可以在液态成型树脂上压印主模100之后通过光或热使成型树脂固化来形成压印模。
图4是图1的主模和通过主模产生的压印模的示意性透视图。如图4中示出的，根据示例性实施例，通过主模100产生的压印模200包括凹陷压印部分210、凸起压印部分220和凹陷压印桥接部分230。
凹陷压印部分210对应于主模100的凸起部分122，凸起压印部分220对应于主模100的凹陷部分124。因为压印模200通过压印经转印主模100的图案而形成，所以主模100的凸起部分和凹陷部分与压印模200的凹陷部分和凸起部分相反地形成，如本领域已知的，像正图像和负图像一样。
因此，压印模200的凹陷压印桥接部分230对应于主模100的凸起桥接部分126。在这种情况下，压印模200的桥接图案是凹陷的。因此，当液态掩模树脂被涂覆到压印模上时，液态掩模树脂可以通过凹陷压印桥接部分230在凹陷压印部分210之间流动。
压印模200也分别具有在压印模200的较长侧处的侧壁以及在其较短侧处的开放部分。侧壁是凸起压印部分220中的一个，开放部分通过凹陷压印部分210来形成。
随后将参照图5至图7详细地描述利用掩模树脂压印的步骤。
图5是示出示例性压印工艺的图4的压印模和涂覆在线栅偏振器基底上的掩模树脂的示意性透视图，其中，示例性压印工艺用于在线栅偏振器基底上形成掩模，图6是示出掩模树脂如何填充在压印模中的图5的压印模的一部分的示意性平面图，图7是示出掩模树脂完全地填充压印模的状况的图5的压印模的一部分的示意性平面图。
根据示例性实施例，在压印的步骤中，涂覆液态掩模树脂330，利用压印模200对涂覆的掩模树脂330执行压印工艺。图5至图7示意性示出将要填充在凹陷压印部分210中的掩模树脂330的填充操作，以便于理解由设置在凹陷压印部分210的内壁之间的狭窄空间中的液态掩模树脂330造成的毛细现象。
如图5中示出的，当靠近压印模200的边缘时，液态掩模树脂330首先沿凹陷压印部分210的内壁运动。沿凹陷压印部分210的内壁运动的液态掩模树脂330逐渐地填充凹陷压印部分210内部的空间。如图6中示出的，随着液态掩模树脂从凹陷压印部分210的边缘朝向内部运动，液态掩模树脂330可以顺序地填充凹陷压印部分210内部的空间。
因为液态掩模树脂330具有扩散各向异性，所以液态掩模树脂330可以容易在第一方向上流动，但是可能不容易在第二方向上流动。因此，当凹陷压印部分210在第一方向上延伸长距离时，可能出现液态掩模树脂330未完全填充在凹陷压印部分210内的缺陷。
然而，根据示例性实施例，压印模200包括形成在第二方向上的凹陷压印桥接部分230，因此，液态掩模树脂330可以通过凹陷压印桥接部分230流到与之相邻的凹陷压印部分210。当运动完成时，如图7中示出的，液态掩模树脂330可以完全地填充在压印模200的凹陷压印部分210和凹陷压印桥接部分230中。
因此，液态掩模树脂330可以经由凹陷压印桥接部分230流到相邻的凹陷压印部分210，从而减小由掩模树脂330形成的掩模中的产生缺陷率。
图8是图5的压印模和在图5的线栅偏振器基底上制造的掩模的示意性透视图。可以通过光或热对填充在图7中的压印模200的突起图案之间的掩模树脂330进行固化并且将其与压印模200分离来获得图8中示出的掩模340。
图9至图14是顺序地示出根据本发明的原理的线栅偏振器的制造方法的线栅偏振器基底、压印模和掩模的示意性侧视图。图9至图14示意性示出从第一方向上的一侧观察的线栅偏振器基底300和压印模200的一部分。在这种情况下，省略了在第二方向上的形成在压印模200中的凹陷压印桥接部分230和形成在掩模340中的与凹陷压印桥接部分230对应的凸起图案的说明。
图9示出了根据示例性实施例的制造包括金属层310和抗金属氧化层320的线栅偏振器基底300的步骤。金属层310可以包括铝(Al)，抗金属氧化层320可以包括以下材料中的至少一种：用于防止包括铝的金属的氧化的诸如钛(Ti)的金属、这样的金属的氧化物、诸如氧化硅(SiOx)和氮化硅(SiNx)的无机材料、以及与氧或湿气具有这种低反应性以防止金属层310的氧化的有机材料。
根据示例性实施例，金属层310可以通过蚀刻形成到线栅偏振器的凸起栅格部分中。这将在稍后参照图14进行详细地描述。
图10示出液态掩模树脂330涂覆在线栅偏振器基底300上并且经受利用压印模200的压印工艺。可以利用压印模200对掩模树脂330进行压印，并且如图8中示出的，可以通过利用光或热对掩模树脂330进行固化以分离。
然而，本发明构思不限于此。例如，在使用具有在与压印模200分离之后足以保持压印结构的粘度或强度的掩模树脂330的情况下，压印模200可以在与掩模树脂330分离之后通过光或热进行固化。结果，如图11中示出的，制造了凸起部分和凹陷部分形成为与压印模200的凹陷部分和凸起部分相反的掩模340。
图10示出了根据示例性实施例的液态掩模树脂330涂覆在线栅偏振器基底300上以对液态掩模树脂330执行压印工艺的步骤，但是本发明构思不限于此。例如，压印工艺可以按如下顺序形成：将掩模树脂330涂覆在压印模200上，随后将线栅偏振器基底300附着到涂覆有掩模树脂330的压印模200。因此，在不脱离本发明构思的范围的情况下，可以改变附着线栅偏振器基底300和形成掩模340的顺序。
图11示出掩模340如何形成在线栅偏振器基底300上。尽管图8中未示出，但是在第一方向上观看，线栅偏振器基底300设置在如图8中示出的掩模340的一个表面处的状态可以与图11中示出的状态基本相同。
图12示出了对线栅偏振器基底300上的抗金属氧化层320进行蚀刻的第一蚀刻步骤。根据示例性实施例，线栅偏振器基底300包括在金属层310的一个表面上的抗金属氧化层320，因此难以对具有涂覆有抗金属氧化层320的表面的金属层310进行蚀刻。因此，可以在对金属层310进行蚀刻之前执行用于去除抗金属氧化层320的第一蚀刻步骤。
根据示例性实施例，可以利用干蚀刻来执行第一蚀刻步骤，但是本发明构思不限于此。可以利用用于去除抗金属氧化层320的任意工艺，其中，所述抗金属氧化层320包括金属、金属氧化物、无机材料和有机材料中的至少一种。
接下来，如图13中示出的，可以执行对金属层310进行蚀刻的第二蚀刻步骤。金属层310被完全地蚀刻以延伸穿过其中，使得没有材料剩余。金属层310的在第二蚀刻步骤之后剩余的部分用作下面将要描述的线栅偏振器400。具体地说，金属层310的剩余部分可以用作线栅偏振器400的凸起栅格部分410。
根据示例性实施例，第二蚀刻步骤可以采用用于对金属层310进行蚀刻的湿蚀刻方法，但是本发明构思不限于此。可选择地，可以采用用于对金属层310进行蚀刻的各种方法。能够去除金属层310的未被掩模340覆盖的部分的任意方法或工艺可以包括在本发明构思的范围中。
当完成蚀刻时，如图14中示出的，执行去除在线栅偏振器400的凸起栅格部分410上剩余的抗金属氧化层320和掩模340的步骤。
接下来，如果需要，可以利用溅射方法或化学气相沉积(CVD)方法在线栅偏振器400上沉积金属材料。结果，可以完全地制造线栅偏振器400。
在下文中，将描述通过图9至图14中示出的制造方法制造的线栅偏振器400。图15是利用图9至图14中示出的制造方法制造的线栅偏振器的示意性透视图。
图15中示出的线栅偏振器400通过利用图8中示出的掩模340的蚀刻工艺来制造，因此具有与图8中示出的掩模340的形状相同的形状。因此，根据示例性实施例，如图15中示出的，线栅偏振器400包括凸起栅格部分410和凸起栅格桥接部分420。
凸起栅格部分410在第一方向上基本彼此平行地布置，凸起栅格桥接部分420在与第一方向相交的第二方向上设置在凸起栅格部分410之间。凸起栅格桥接部分420连接两个相邻的凸起栅格部分410。
根据示例性实施例，通过通过以下步骤来获得线栅偏振器400的结构：利用图1中示出的主模100形成压印模200，利用压印模200在线栅偏振器基底300上形成掩模340，对线栅偏振器基底300进行部分地蚀刻以与掩模340对应，因此，完成的线栅偏振器400具有与图1中示出的主模100的凹凸部相同的凹凸部。如图15中示出的，凸起栅格桥接部分420可以与其相邻的其它的凸起栅格桥接部分420连接。
根据示例性实施例的修改，线栅偏振器400也可以对应于图2和图3中示出的主模100的结构。结果，尽管没有和图2中示出的主模100一样进行单独示出，但是凸起栅格桥接部分420也可以被设置成与其相邻的凸起栅格桥接部分420偏离或未对准。另外，与图3中示出的主模100一样，两个或更多个凸起栅格桥接部分420可以设置在一对凸起栅格部分410之间，以连接一对凸起栅格部分410。
与对主模100的描述类似，凸起栅格部分410延伸所沿的第一方向可以垂直于凸起栅格桥接部分420延伸所沿的第二方向。此外，与对主模100的描述类似，线栅偏振器400分别具有在线栅偏振器400的较长侧处的侧壁以及在其较短侧处的开放部分。侧壁是凸起栅格部分410中的一个，并且开放部分形成在凸起栅格部分410之间。
根据示例性实施例，显示装置包括显示面板，显示面板包括线栅偏振器400和颜色转换面板600。图16是根据本发明的原理构造的显示装置的实施例的示意性剖视图，图17是图15的线栅偏振器以及图16的颜色转换面板的一部分的示意性透视图，图18是图17的显示装置的部分A的放大的俯视图。
如图16中示出的，显示装置1000包括颜色转换面板600、接触颜色转换面板600的显示面板500以及光组件700。
根据示例性实施例，颜色转换面板600包括颜色转换面板基底630、设置在颜色转换面板基底630上的颜色转换层620、设置在颜色转换层620之间的光阻挡构件610。具体地，颜色转换面板600包括设置在颜色转换面板基底630的面对显示面板500的表面上的多个颜色转换层622和624、透射层626以及设置在多个颜色转换层622和624与透射层626之间的光阻挡构件610，颜色转换面板基底630可以是如稍后讨论的液晶面板基底。
颜色转换层620可以将入射光转换成不同颜色的光，并且可以包括例如红色转换层622和绿色转换层624。透射层626可以在不进行颜色转换的情况下发射入射光。透射层626可以接收蓝色光并发射蓝色光。
根据示例性实施例，颜色转换层620可以包括量子点628。量子点628可以用于改变穿过颜色转换层620的光的波长，并且可以通过在各个方向上发射穿过量子点628的光来改善光视角。光阻挡构件610可以限定相邻的颜色转换层620之间的设置有红色转换层622、绿色转换层624和透射层626的区域。根据制造过程，颜色转换层620和相邻的光阻挡构件610可以部分地彼此叠置。
显示面板500可以包括产生垂直电场的液晶面板，但本发明构思不限于此。例如，显示面板可以包括液晶面板、等离子体显示面板(PDP)、有机发光二极管显示器(OLED)、表面传导电子发射显示器(SED)、场发射显示器(FED)、真空荧光显示器(VFD)或电子纸。
显示面板500可以包括用于显示图像的液晶面板510以及设置在液晶面板510的一个表面或两个表面上以使从光组件700发射的光偏振的线栅偏振器400。
液晶面板510包括用于显示图像的包含薄膜晶体管的下显示面板512和设置在下显示面板512上的液晶层514。
多个像素电极以矩阵形式设置在下显示面板512中包括的液晶面板基底513a上。栅极线(未示出)、栅极绝缘层513b、半导体层(未示出)、数据线513c、漏电极(未示出)、钝化层513d和像素电极513e设置在液晶面板基底513a上。栅极线包括栅电极(未示出)并且在行方向上延伸。栅极绝缘层513b设置在栅极线上。半导体层设置在栅极绝缘层513b上。数据线513c和漏电极包括源电极(未示出)，设置在半导体层上，并且在列方向上延伸。钝化层513d设置在数据线513c和漏电极上。像素电极513e通过接触孔(未示出)物理连接且电连接到漏电极。
设置在栅电极上的半导体层(未示出)在被源电极和漏电极暴露的区域中形成沟道层，栅电极、半导体层、源电极和漏电极构成一个薄膜晶体管。
接收共电压的共电极513f设置为面对像素电极513e，并且液晶层514置于共电极513f和像素电极513e之间。共电极513f可以与像素电极513e一起产生电场，使得液晶层514的液晶分子515可以根据产生的电场来布置。
液晶层514包括液晶分子515，液晶分子515的取向方向被像素电极513e和共电极513f之间的电场控制。能够通过根据液晶分子的取向控制从光组件700接收的光的透射率来显示图像。
尽管未示出，但是还可以包括设置在像素电极513e和液晶层514之间的第一取向层以及设置在共电极513f和液晶层514之间的第二取向层。
光组件700可以包括设置在显示面板500下方的用于产生光的光源、以及用于接收光并在朝向显示面板500和颜色转换面板600的方向上引导光的导光板(未示出)。当显示面板500是自发射显示装置时，可以省略光组件700。
作为本发明构思的示例，光组件700可以包括至少一个发光二极管(LED)，例如，蓝色发光二极管。光源可以是设置在导光板的一个侧表面上的边缘式光组件，或者可以是直接地设置在导光板下方的直接式光组件700。
偏振器520可以设置在与光组件700相邻的液晶面板基底513a的下方，以使从光组件700产生并供应到液晶面板基底513a的光偏振。可以采用涂覆式偏振器和根据本发明的示例性实施例的线栅偏振器中的至少一种作为偏振器520。偏振器520可以以诸如膜形式、涂覆的形式和附着的形式的各种形式来设置在显示面板500的一个表面处。然而，该描述是一个示例，本发明构思不限于此。
如图16中示出的，显示装置1000包括线栅偏振器400和显示面板500。此外，尽管未示出，但是显示装置1000还可以包括用于接收从外部输入的信号的信号输入单元(未示出)以及用于保护显示面板500和信号输入单元的窗(未示出)。
显示面板500的包括设置在子颜色转换构件622、624和626的各个边缘处的光阻挡构件610的部分示出在图16至图18中。子颜色转换构件622、624和626中的每个可以分别对应于红色、绿色、蓝色和白色中的一种，但是本发明构思不限于此。另外，用于显示各种颜色的任意颜色基本单元可以包括在本发明构思的范围内。
如上所述，光阻挡构件610围绕子颜色转换构件622、624和626的各个边缘设置。通过从由显示面板500传播并具有由颜色转换层620改变的波长的光中部分地吸收朝向光阻挡构件610发射的光，光阻挡构件610可以防止子颜色转换构件622、624和626之间的颜色干扰，从而更清楚地实现光的颜色范围。
如上所述，凸起栅格部分410在线栅偏振器400中沿第一方向形成，以使从显示面板500发射的光偏振。形成在与第一方向相交的第二方向上的凸起栅格桥接部分420可以具有与用于使光偏振的第一方向不同的方向，从而使显示装置1000的光学特性劣化。
因此，根据本发明的原理，凸起栅格桥接部分420可以设置在吸收光的光阻挡构件610上，以便防止由于凸起栅格桥接部分420造成的显示装置1000的光学特性的劣化。
图18是图17的部分A的放大图，其示意性地示出设置在光阻挡构件610上的桥接图案。图18示出了凸起栅格桥接部分420以直线形式设置在光阻挡构件610上的示例，使得凸起栅格桥接部分420与相邻于它的其它的凸起栅格桥接部分420连接。
然而，本发明构思不限于此。例如，当凸起栅格桥接部分420与其相邻的其它的凸起栅格桥接部分420偏离或未对准时，凸起栅格桥接部分420可以设置在光阻挡构件610上。尽管未示出，但是光阻挡构件610可以设置在显示面板500的像素的边缘处。因此，尽管彼此偏离，但是凸起栅格桥接部分420可以被设计为对应于像素的边缘，从而保持其光学特性。
在上文中，已经描述了用于制造线栅偏振器的主模、利用主模100制造的线栅偏振器、线栅偏振器的制造方法和包括线栅偏振器的显示装置。
根据示例性实施例，尽管液态树脂涂覆在线栅偏振器基底上，但是由于线栅偏振器的凸起栅格桥接部分的存在，能够防止由毛细现象以及液态树脂的扩展各向异性造成的缺陷。结果，能够防止由线栅偏振器的制造工艺中的缺陷引起的光学特性的劣化并且提高产品质量。
尽管这里已经描述了某些示例性实施例和实施方式，但是其它实施例和修改通过该描述将是清楚的。因此，本发明构思并不仅限于这样的实施例，而是所提出的权利要求以及各种明显的修改和等同布置的较宽范围。

Claims (21)

1.一种用于制造线栅偏振器的主模，所述主模包括：
模基底；以及
模部，设置在所述模基底上，
其中，所述模部包括：
多个凸起部分，基本彼此平行地在第一方向上延伸，所述多个凸起部分中的每个凸起部分具有细长形状，所述细长形状的每个凸起部分具有相对的端部和在所述相对的端部之间延伸的中间部分，并且所述多个凸起部分限定条纹图案；
多个凹陷部分，所述多个凹陷部分中的至少一些凹陷部分设置在相邻的凸起部分之间，在所述第一方向上延伸，并且将相邻的凸起部分分离；以及
多个凸起桥接部分，布置在与所述第一方向相交的第二方向上，并且连接被所述凹陷部分分离的所述多个凸起部分的所述中间部分。
2.根据权利要求1所述的主模，其中，所述多个凸起桥接部分与相邻的凸起桥接部分连接。
3.根据权利要求1所述的主模，其中，所述多个凸起桥接部分与相邻的凸起桥接部分连续地布置。
4.根据权利要求1所述的主模，其中，所述多个凸起桥接部分偏离相邻的凸起桥接部分。
5.根据权利要求1所述的主模，其中，所述多个凸起桥接部分中的两个或更多个凸起桥接部分设置在一个凹陷部分中。
6.根据权利要求1所述的主模，其中，所述第一方向和所述第二方向基本彼此垂直。
7.根据权利要求1所述的主模，其中，所述模部包括具有至少部分地通过所述多个凸起部分、所述多个凹陷部分和所述多个凸起桥接部分限定的各种高度的凹凸部。
8.一种制造线栅偏振器的方法，所述方法包括以下步骤：
设置具有模部的第一模，所述模部以被多个凸起部分、多个凹陷部分和多个凸起桥接部分限定的图案而形成在第一基底上，所述多个凸起部分基本彼此平行地在第一方向上延伸，其中，所述多个凸起部分中的每个凸起部分具有细长形状，所述细长形状的每个凸起部分具有相对的端部和在所述相对的端部之间延伸的中间部分，并且所述多个凸起部分限定条纹图案，所述多个凹陷部分在所述多个凸起部分之间沿所述第一方向延伸并且将所述多个凸起部分分离，所述多个凸起桥接部分在与所述第一方向相交的第二方向上延伸并连接所述多个凸起部分的所述中间部分；
通过将所述第一模的所述图案转印到树脂来形成第二模；
在第二基底上涂覆液态树脂并利用所述第二模进行压印；
通过使压印的液态树脂固化来形成掩模；以及
对与所述掩模的一个表面接触的所述第二基底进行蚀刻。
9.根据权利要求8所述的方法，其中，形成所述第二模的步骤包括形成具有多个凹陷压印部分、多个凸起压印部分和多个凹陷压印桥接部分的所述第二模，所述多个凹陷压印部分对应于所述多个凸起部分，所述多个凸起压印部分对应于所述多个凹陷部分，所述多个凹陷压印桥接部分对应于所述多个凸起桥接部分，使得填充在所述凹陷压印部分中的所述树脂流入所述多个凹陷压印桥接部分中。
10.根据权利要求8所述的方法，其中，设置具有所述模部的所述第一模的步骤包括在光致抗蚀工艺中形成所述模部。
11.根据权利要求8所述的方法，其中，涂覆所述液态树脂的步骤包括利用喷墨方法。
12.根据权利要求8所述的方法，其中，所述第二基底包括金属层和抗金属氧化层，
其中，对所述第二基底进行蚀刻的步骤包括：
利用所述掩模对所述抗金属氧化层进行蚀刻；以及
利用被蚀刻的抗金属氧化层对所述金属层进行蚀刻。
13.根据权利要求8所述的方法，其中，设置具有所述模部的所述第一模的步骤包括设置具有各种高度的凹凸部，所述各种高度至少部分地通过所述多个凸起部分、所述多个凹陷部分和所述多个凸起桥接部分来限定。
14.一种线栅偏振器，所述线栅偏振器包括：
多个凸起栅格部分，基本彼此平行地在第一方向上延伸，所述多个凸起栅格部分中的每个凸起栅格部分具有细长形状，所述细长形状的每个凸起栅格部分具有相对的端部和在所述相对的端部之间延伸的中间部分，并且所述多个凸起栅格部分限定条纹图案；以及
多个凸起栅格桥接部分，在所述多个凸起栅格部分之间沿与所述第一方向相交的第二方向延伸，并且将所述多个凸起栅格部分中的被多个凹陷栅格部分分离的至少一些凸起栅格部分的所述中间部分彼此连接。
15.根据权利要求14所述的线栅偏振器，其中，所述多个凸起栅格桥接部分与相邻的凸起栅格桥接部分连接。
16.根据权利要求14所述的线栅偏振器，其中，所述多个凸起栅格桥接部分偏离相邻的凸起栅格桥接部分。
17.根据权利要求14所述的线栅偏振器，其中，所述多个凸起栅格桥接部分中的两个或更多个凸起栅格桥接部分连接一对凸起栅格部分。
18.根据权利要求14所述的线栅偏振器，其中，所述第一方向和所述第二方向基本彼此垂直。
19.一种显示装置，所述显示装置包括：
显示面板，包括线栅偏振器；以及
颜色转换面板，设置在所述显示面板上，
其中，所述线栅偏振器包括：
多个凸起栅格部分，基本彼此平行地在第一方向上延伸，所述多个凸起栅格部分中的每个凸起栅格部分具有细长形状，所述细长形状的每个凸起栅格部分具有相对的端部和在所述相对的端部之间延伸的中间部分，并且所述多个凸起栅格部分限定条纹图案；以及
多个凸起栅格桥接部分，在所述多个凸起栅格部分之间沿与所述第一方向相交的第二方向延伸，并且将所述多个凸起栅格部分中的被多个凹陷栅格部分分离的至少一些凸起栅格部分的所述中间部分彼此连接。
20.根据权利要求19所述的显示装置，其中，所述颜色转换面板包括：
多个颜色转换层，被构造为改变穿过所述显示面板的光的波长；以及
光阻挡构件，设置在所述多个颜色转换层之间，
其中，所述多个凸起栅格桥接部分与所述光阻挡构件接触并叠置。
21.根据权利要求20所述的显示装置，其中，所述多个颜色转换层包括量子点。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102665342B1 (ko) * 2016-09-29 2024-05-14 삼성디스플레이 주식회사 와이어 그리드 편광자용 기판, 와이어 그리드 편광자 및 이를 제조하는 방법, 및 와이어 그리드 편광자를 포함하는 표시 장치
JP7210904B2 (ja) * 2018-05-28 2023-01-24 大日本印刷株式会社 ワイヤグリッド偏光子及び表示装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104076425A (zh) * 2013-03-28 2014-10-01 日立麦克赛尔株式会社 光学元件和光学装置
CN105607174A (zh) * 2014-11-18 2016-05-25 三星显示有限公司 线栅偏振片、包括其的显示装置和制造显示装置的方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070041540A (ko) * 2004-06-30 2007-04-18 니폰 제온 가부시키가이샤 전자파 차폐성 그리드 편광자 및 그 제조방법, 및 그리드편광자의 제조방법
TW200932662A (en) * 2008-01-18 2009-08-01 Univ Nat Taiwan Roller with microstructure, mold and manufacturing method thereof
US8248696B2 (en) * 2009-06-25 2012-08-21 Moxtek, Inc. Nano fractal diffuser
JP2012099178A (ja) * 2010-11-02 2012-05-24 Hoya Corp ビットパターンドメディア製造用のインプリントモールド及びその製造方法
KR20130020425A (ko) * 2011-08-19 2013-02-27 삼성전자주식회사 스탬프와 그 제조방법 및 스탬프를 이용한 임프린트 방법
JP6248296B2 (ja) * 2012-06-21 2017-12-20 マクセル株式会社 光学素子、光学素子の製造方法および光学装置
KR102070219B1 (ko) 2013-05-27 2020-01-29 삼성디스플레이 주식회사 프린팅 마스크 및 유기 발광층 프린팅 장치
KR102069179B1 (ko) 2013-06-26 2020-02-12 삼성디스플레이 주식회사 편광 소자, 이를 포함하는 표시 패널 및 이의 제조 방법
KR102214830B1 (ko) * 2014-05-02 2021-02-10 삼성전자주식회사 마스터 몰드 제조 방법
KR102219703B1 (ko) * 2014-05-07 2021-02-24 삼성전자주식회사 임프린트를 이용한 패터닝 방법, 이를 이용하여 제작된 패턴 구조체 및 임프린팅 시스템
KR102336499B1 (ko) * 2014-08-04 2021-12-07 삼성전자주식회사 패턴 구조체 및 그 제조방법과, 금속 와이어 그리드 편광판을 채용한 액정 표시장치
JP6076946B2 (ja) * 2014-08-04 2017-02-08 大日本印刷株式会社 ローラーインプリント用モールドとインプリント方法およびワイヤーグリッド偏光子とその製造方法
JP6471447B2 (ja) 2014-10-02 2019-02-20 大日本印刷株式会社 ワイヤーグリッド偏光子の製造用部材の修正方法とワイヤーグリッド偏光子の製造方法および露光方法
KR20160053073A (ko) * 2014-10-30 2016-05-13 삼성디스플레이 주식회사 편광자, 편광자의 제조 방법 및 표시 패널
KR102305200B1 (ko) * 2014-12-05 2021-09-27 삼성디스플레이 주식회사 와이어 그리드 편광자, 이를 포함하는 표시 장치 및 이의 제조방법
KR20160085949A (ko) * 2015-01-08 2016-07-19 삼성디스플레이 주식회사 마스터 몰드 제조 방법 및 이를 이용한 와이어 그리드 편광자 제조 방법
JP2016142894A (ja) * 2015-02-02 2016-08-08 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
KR20180023102A (ko) * 2016-08-23 2018-03-07 삼성디스플레이 주식회사 와이어 그리드 패턴 및 이의 제조방법
KR102665342B1 (ko) * 2016-09-29 2024-05-14 삼성디스플레이 주식회사 와이어 그리드 편광자용 기판, 와이어 그리드 편광자 및 이를 제조하는 방법, 및 와이어 그리드 편광자를 포함하는 표시 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104076425A (zh) * 2013-03-28 2014-10-01 日立麦克赛尔株式会社 光学元件和光学装置
CN105607174A (zh) * 2014-11-18 2016-05-25 三星显示有限公司 线栅偏振片、包括其的显示装置和制造显示装置的方法

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