CN107877536B - 移载单元、移载装置以及保持单元 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种移载单元、移载装置以及保持单元。移载单元具备保持单元和能够使所述保持单元在上下方向上移动的驱动单元。所述保持单元具备：保持部，其能够保持工件；可动部，其支承所述保持部；支承部，其将所述可动部支承为在上下方向上位移自如；以及施力部，其相对于所述支承部向下方对所述可动部进行施力。所述支承部具有引导所述可动部的位移的引导面，所述可动部具有与所述引导面抵接的抵接面。所述引导面和所述抵接面分别是向上方或下方逐渐变细的面。

Description

移载单元、移载装置以及保持单元

技术领域

本发明涉及移载单元、移载装置以及保持单元。

背景技术

在对小型电子零件等工件进行操作的设备中，存在以将同种的多个工件载置于收容器的状态对它们进行搬运的情况。当在收容器间、或在收容器与组装装置、处理装置之间移载工件时，使用单独地保持并移载工件的装置。

在移载工件时，进行使保持工件的保持部移动到预先设定的取出位置的位置控制，并从上方对工件进行保持。在工件与保持部接触时，若冲击作用于工件，则工件有时会破损。为了缓冲接触时的冲击，赋予保持部上下方向上的缓冲功能(例如，日本特开2002-200585号公报以及日本特开2002-079484号公报)。

即使是同种工件，载置于收容器的工件的姿势也未必全部一定。另外，由于制造误差，工件的尺寸有时不同。若保持工件的保持部无法与每个这样的工件的状态相适应，则在保持工件时，有时会损伤工件。但是，若保持部的位置与每个工件的状态相适应地偏移，则移载目标位置的载置位置的位置精度会降低。

发明内容

本发明的目的在于缓冲保持工件时的冲击并防止保持的工件的位置精度降低。

根据本发明的一方面，提供一种移载单元，其特征在于，具备：

保持单元，所述保持单元能够保持工件；以及

驱动单元，所述驱动单元能够使所述保持单元在上下方向上移动，

所述保持单元具备：

保持部，所述保持部能够保持工件；

可动部，所述可动部支承所述保持部；

支承部，所述支承部将所述可动部支承为在上下方向上位移自如；以及

施力部，所述施力部相对于所述支承部向下方对所述可动部进行施力，

所述支承部具有引导所述可动部的位移的第一引导面，

所述可动部具有与所述第一引导面抵接的第一抵接面，

所述第一引导面以及所述第一抵接面分别是向上方或下方逐渐变细的面，以便在使所述可动部相对于所述支承部向下方位移时，所述第一引导面以及所述第一抵接面相互抵接而进行定位。

另外，根据本发明的另一方面，提供一种移载装置，其特征在于，具备：

所述移载单元；

驱动单元，所述驱动单元使所述移载单元从工件的移载初始位置向移载目标位置移动；以及

摄像单元，所述摄像单元从下方对被所述保持部保持的工件进行摄像。

另外，根据本发明的又一方面，提供一种保持单元，其特征在于，具备：

保持部，所述保持部能够保持工件；

可动部，所述可动部支承所述保持部；

支承部，所述支承部将所述可动部支承为在第一方向以及与所述第一方向相反的第二方向上位移自如；以及

施力部，所述施力部相对于所述支承部在所述第一方向上对所述可动部进行施力，

所述第一方向是使所述保持部从所述支承部分离的方向，

所述支承部具有引导所述可动部的位移的引导面，

所述可动部具有与所述引导面抵接的抵接面，

所述引导面以及所述抵接面分别是沿所述第一方向或所述第二方向逐渐变细的面。

从以下对示例性的实施例的描述(参照附图)，可以明确本发明的进一步特征。

附图说明

图1是移载装置的立体图。

图2是图1的移载装置所具备的移载单元的立体图。

图3是图2的移载单元所具备的保持单元的立体图。

图4是图3的保持单元的分解立体图。

图5是图3的保持单元的一部分的结构的分解立体图。

图6是图3的保持单元的一部分的结构的分解立体图。

图7是图3的保持单元的一部分的结构的分解立体图。

图8是图3的保持单元的剖视图。

图9是图3的保持单元的剖视图。

图10是图2的移载单元的一部分的结构的剖视图。

图11是图3的保持单元的一部分的结构的分解立体图。

图12是图3的保持单元的一部分的结构的分解立体图。

图13是图3的保持单元的剖视图。

图14是图3的保持单元的剖视图。

图15是图3的保持单元的剖视图。

图16是图3的保持单元的剖视图。

图17是图3的保持单元的动作说明图以及局部放大图。

图18是图3的保持单元的动作说明图。

具体实施方式

＜装置的概要>

图1是本发明的一实施方式的移载装置1的立体图。移载装置1是对电子零件等工件进行移载的装置。在图中，箭头X、Y、Z表示相互正交的方向，箭头Z表示作为第一方向的上下方向，箭头X以及箭头Y表示作为与第一方向正交且彼此正交的第二方向以及第三方向的水平方向。

移载装置1具备移载单元2、驱动单元3、搬运单元4、搬运单元5以及摄像单元6。搬运单元4以及搬运单元5是搬运工件的机构。搬运单元4是在X方向上延伸设置的带式输送机等输送机，并在X方向上对搬运对象物41进行搬运。搬运对象物41在搬运单元4的预定的位置由未图示的工件定位机构定位。搬运对象物41是收容有多个工件的托盘、或电路基板等。搬运单元5是在Y方向上延伸设置的带式输送机等输送机，并在Y方向上对托盘P进行搬运。在搬运单元5的预定的位置利用未图示的托盘定位机构对托盘P进行定位。工件的收容部呈矩阵状地配置于托盘P，工件载置于各收容部。

移载单元2是保持工件的机构，驱动单元3是使移载单元2移动的机构。在本实施方式的情况下，在搬运单元4与搬运单元5之间对工件进行移载。驱动单元3使移载单元2在X方向以及Y方向上移动，使工件从搬运单元4和搬运单元5中的作为工件的移载初始位置的一方向搬运单元5和搬运单元4中的作为工件的移载目标位置的另一方移动。在本实施方式的情况下，驱动单元3是龙门型(日文：ガントリ型)的机构，并具备在Y方向上延伸的梁部31以及在X方向上延伸的相互平行的一对梁部32。梁部31架设于一对梁部32之间。梁部31具备滑块31a和将马达31b作为驱动源并使滑块31a在Y方向上移动的机构。移载单元2支承于滑块31a。各梁部32具备滑块32a和将马达32b作为驱动源并使滑块32a在X方向上移动的机构。梁部31的各端部支承于各滑块32a，通过同步地控制一对梁部32的各马达32b，从而使各滑块32a在X方向上平行移动，并使梁部31在X方向上移动。

移载单元2具备：多个保持单元21，所述多个保持单元21能够单独地保持工件；以及驱动单元22，所述驱动单元22能够使保持单元21在上下方向上移动并绕Z轴旋转。在本实施方式的情况下，多个保持单元21总计设置有7个，并在Y方向上排列成一列。通过利用驱动单元3使移载单元2在X方向以及Y方向上移动并利用驱动单元22使保持单元21在Z方向上升降，从而被保持单元21保持的工件能够三维地移动。

摄像装置6配置于搬运单元4与搬运单元5之间，并能够从工件的下方(与保持单元21相反的一侧)对由保持单元21保持的工件进行拍摄。摄像装置6例如是在X方向上延伸设置的线传感器(日文：ラインセンサ)。通过对由摄像装置6拍摄的工件的图像进行解析，从而能够检测工件相对于保持单元21的中心轴的位置偏移、被保持单元21保持的工件的朝向等，通过调节移载目标位置处的工件的释放位置，能够进行更准确的工件的移载。例如，将保持单元21的中心轴(升降轴22a：参照图2)设为位置的基准，将从下方对该中心轴(中心轴线L：参照图10)进行摄像时的中心点设为基准点，能够根据工件的多个部位的位置和基准点，算出工件的保持位置。

＜移载单元>

进一步对移载单元2进行说明。图2是移载单元2的立体图。驱动单元2具备针对每个保持单元21的升降轴22a。升降轴22a是安装于保持单元21并上下延伸的中空的安装部件，在本实施方式的情况下，是以Z方向为轴向的轴。保持单元21安装于升降轴22a的下端部。驱动单元22具有针对每个升降轴22a的马达22b以及马达22c。马达22b是使升降轴22a以其中心轴线(图10的单点划线L)为旋转中心而进行旋转的旋转机构的驱动源。通过使升降轴22a旋转，能够使保持单元21绕中心轴线转动，能够使被保持的工件旋转而使工件的姿势(朝向)变化。马达22c是使升降轴22a升降的升降机构的驱动源。在图2中，仅图示了一个马达22c，但马达22c是按照每个升降轴22a而进行设置的。升降轴22a的旋转机构例如也可以是具有与升降轴22a花键结合的驱动轴并利用马达22b使驱动轴旋转的机构。通过设为花键结合，从而容许升降轴22a在Z方向上移动。升降机构例如也可以是滚珠丝杠机构。升降机构也可以是容许升降轴22a旋转并在上下方向上与升降轴22a卡合的机构。

在本实施方式的情况下，保持单元21利用负压吸引来吸附并保持工件。因此，在移载单元2上设置有针对每个保持单元21的连接部23。连接部23经由未图示的配管而与泵等未图示的负压源连接。在本实施方式中，升降轴22a是中空的圆筒体，在其内部设置有与连接部23连通的通路形成部件22a1(图10)。通路形成部件22a1如后述那样与保持单元21连通。此外，工件的保持方式不限于负压吸引，例如也可以利用磁力进行吸附，另外，还可以由开闭驱动机构进行把持。

＜保持单元>

参照图3～图5，对保持单元21进行说明。图3是保持单元21的立体图，图4是保持单元21的分解立体图。图5是保持单元21的上部的分解立体图。

保持单元21具备：保持部24，所述保持部24保持工件；可动部25，所述可动部25支承保持部24；支承部26，所述支承部26将可动部25支承为在上下方向上位移自如；以及施力部27，所述施力部27相对于支承部26向下方对可动部25进行施力。在本实施方式的情况下，支承部26是筒状的部件，可动部25以及施力部27收容在支承部26的内部。保持部24在上下方向上装卸自如地安装于可动部25，由此，保持部24能够与工件的种类相应地进行更换。

在本实施方式的情况下，支承部26由主体部261和安装部262构成。图6是支承部26的分解立体图。主体部261作为整体上下开放，且具有与中心轴线L同轴的圆筒形，作为其内部孔的内部空间S1为可动部25及施力部27的收容空间或动作空间。另外，在主体部261的周壁上形成有与内部空间S1连通并在上下方向上延伸的椭圆形的窗部(长孔)。

安装部262用于向升降轴22a进行安装。安装部262是安装于主体部261的盖体，以便封闭主体部261的上侧的开口，在其下部设置有与主体部261固定的固定部262e。固定部262e***于主体部261，两者通过嵌合、粘接、螺钉等进行固定。

在安装部262的中央形成有供升降轴22a***的与中心轴线L同轴的开口部262a。在开口部262a形成有键槽262a1，在与该键槽262a1大致相向的位置形成有切槽(日文：割り溝)262b。该切槽262b不是遍及安装部262的直径全长地形成，而是仅遍及其半径地形成。在安装部262的周面以横穿切槽262b的方式贯通形成有横孔262c，螺栓262d***于该横孔262c。在横孔262c的一部分形成有与螺栓262c螺合的内螺纹。在将升降轴22a***于开口部262a的状态下，通过将螺栓262d紧固，使开口部262a缩径，从而将安装部262固定于升降轴22a。另外，在升降轴22a上设置有未图示的键，该键嵌合于键槽262a1。由此，安装部262与升降轴22a之间在周向上进行卡合。

参照图5，可动部25具备主体部251和圆筒部252。主体部251具有与中心轴线L同轴且作为整体向下方逐渐变细的圆锥形(更具体而言，为圆锥台形)。在主体部251的周面，抵接面251a和安装部251b在周向上交替地形成。在本实施方式的情况下，抵接面251a是与中心轴线L同轴且向下方逐渐变细的圆锥面。在安装部251b安装有与保持部24卡合的保持部件253，在本实施方式的情况下，安装部251b是平坦面，至少上部与抵接面251a的上部外周面相比凹陷地形成。换言之，安装部251b通过在与Z轴平行的平面将抵接面251a开切口而形成。在本实施方式的情况下，利用多个保持部件253装卸自如地对保持部24进行保持。在本实施方式的情况下，保持部件253通过将板弹簧弯折而形成，并利用其弹性变形将保持部24保持为保持/保持解除自如。形成于主体部251的上部的上表面251c作为施力部27的支承面发挥功能。在本实施方式的情况下，施力部27是螺旋弹簧，但也可以是橡胶等其他种类的弹性部件。圆筒部252是直径比设置于主体部251的上表面251c的直径小的圆筒部，并且与中心轴线L同轴且从上表面251c向上方延伸。升降轴22a***于圆筒部252的中心孔252a。

图7是保持部24的分解立体图。保持部24具备主体(241、242)和多个工具246，所述多个工具246设置于主体的下部，并对工件进行保持。主体具备基部241和从基部241的中央部向上方延伸的被保持部242。基部241形成为方形的板状，供工具246安装的安装孔241a在上下方向上贯通地形成于基部241的四角。另外，与安装孔241c连通地形成有流体通路241a。

被保持部242与基部241一体地形成，作为整体形成为与中心轴线L同轴的筒状。在被保持部242的根部形成有多个卡合槽243。在本实施方式的情况下，卡合槽243在被保持部242的周向上等间隔(120°间隔)地形成有3个。保持部件253解除自如地卡合于卡合槽243。通过该卡合，将保持部24保持于可动部25。通过在周向上等间隔地设置多个卡合槽243和保持部件253，从而能够均衡地支承保持部24，且容易将保持部24支承在与中心轴线L1相同的轴上。

在被保持部242的周面形成有被转动限制部244。被转动限制部244与可动部25的转动限制部件251e(图16)一起构成限制保持部24相对于可动部25绕中心轴线L的转动的转动限制机构。在本实施方式的情况下，被转动限制部244是在上下方向上延伸且向上方开放的槽，通过使转动限制部件251e与槽的内侧壁卡合，从而限制保持部24相对于可动部25的转动。

被保持部242的上部具有与中心轴线L同轴且向上方逐渐变细的圆锥形(更具体而言，为圆锥台形)，其周面形成有与可动部25抵接的抵接面242b。在本实施方式的情况下，抵接面242b是与中心轴线L同轴且向上方逐渐变细的圆锥面。设置在升降轴22a内的通路形成部件22a1(图10)***于被保持部242的中心孔245。

工具246是具备工具主体246a和波纹状的吸附垫246b的吸附工具。工具主体246a的上部嵌合于安装孔241a，在工具主体246a的下部嵌合有吸附垫246b。工具主体246a具有与流体通路241a连通的流体通路246c(图10)。流体通路246c具备设置在工具主体246a的内部并在上下方向上延伸的中心孔、和设置在工具主体246a的上部并使中心孔与外部连通的水平孔。吸附垫246b与流体通路246c连通并向下方开放。通过从吸附垫246b的下部吸引空气，从而将工件吸附保持于吸附垫246b。吸附垫246b通过在吸附工件时使波纹部收缩变形，从而使吸附的工件的吸附保持面与工具主体246的下端部(中心孔的下端)抵接。由此，限定了吸附工件时的工件的上下方向上的移动，将工件定位并稳定地保持于工具246。

图8以及图9是保持单元21的垂直剖视图，图8是切断面通过基部241的四边中的相向边的中点的剖视图，图9是切断面通过基部241的对角线的剖视图。

可动部25能够在中心轴线L方向(上下方向)上移动地***或收容于支承部26的内部空间S1。施力部27配置于可动部25的上表面251c与支承部26的安装部262之间，并向下方对可动部25进行施力。

划定主体部261的内部空间S1的内壁具有引导可动部25的上下方向上的位移的部分。划定内部空间S1的内壁的上部具有圆筒形状，下部形成与中心轴线L同轴且作为整体向下方逐渐变细的漏斗状的面(换言之，为圆锥形(更具体而言，为圆锥台形)的面)。图13以及图14是可动部25的圆筒部252的水平剖视图，图13表示立体图，图14表示俯视图。根据图13以及图14来理解内部空间S1的内壁的上部的形状。图15以及图16是可动部25的主体部251的水平剖视图，图15表示立体图，图16表示俯视图。根据图15以及图16来理解内部空间S1的内壁的下部的形状。

划定内部空间S1的内壁在周向上交替地形成引导面261a和凹部261b。在本实施方式的情况下，引导面261a形成于与可动部25的抵接面251a相向的位置，凹部261b形成于与安装部251b相向的位置。根据图15以及图16来理解引导面261a与抵接面251a的位置关系以及凹部261b与安装部251b的位置关系。通过设置凹部261b，从而能够避免安装部251b中的保持部件253与支承部26的干涉，并能够由主体部261的引导面261a引导可动部25的抵接面251a。

引导面261a是与中心轴线L同轴且向下方逐渐变细的漏斗状的面(圆锥面)。可动部25的抵接面251a通过施力部27的施力而向支承部26的引导面261a按压并与支承部26的引导面261a抵接。使抵接面251a与引导面261a为相同斜度的斜面。虽然可动部25在上下方向上位移自如，但是当通过施力部27的施力而从上侧向下方位移时，抵接面251a与引导面261a抵接。支承部26以使中心轴线L与支承部26的中心轴一致的方式利用安装部262安装于升降轴，所以通过该抵接，将可动部25的中心引导(定心)到与中心轴线L相同的轴上而进行定位。

可动部25具有作为供保持部24(尤其是被保持部242)***的内部空间S2的孔。内部空间S2在其上部与中心孔252a连通，其下部向下方开放。划定内部空间S2的内壁的下部具有圆筒形状，上部形成与中心轴线L同轴且作为整体向上方逐渐变细的漏斗状的面(换言之，为圆锥形(更具体而言，为圆锥台形)的面)。

内部空间S2的上部的内壁具有供保持部24安装的引导面251d。图11是卸下保持部24的状态下的可动部25以及支承部26的垂直剖视图，根据图11来理解内部空间S2的内壁的形状。

引导面251d形成于与被保持部242的抵接面242b相向的位置。引导面251d是与中心轴线L同轴且向上方逐渐变细的漏斗状的面(圆锥面)。使抵接面242b与引导面251d为相同斜度的斜面。在将保持部24安装于可动部25时，若将被保持部242从下方向上方***于内部空间S2，则抵接面242b与引导面251d抵接。由此，将保持部24的中心引导(定心)到与中心轴线L相同的轴上而进行定位。然后，通过使保持部件253与卡合槽243卡合，将保持部24安装于可动部25。

通过将保持部24安装于可动部25，被转动限制部244与可动部25的转动限制部件251e成为卡合状态。在本实施方式的情况下，如图15以及图16所示，转动限制部件251e是从可动部25的内部空间S2的内壁向径向内侧突出设置的销状的部件。在本实施方式的情况下，转动限制部件251e和被转动限制部244设置有两组，并在周向上分开120°地进行设置，在将保持部24安装于可动部25时，两组转动限制部件251e和被转动限制部244也用于使保持部24相对于可动部25在周向上对位(相位匹配)。

由于被转动限制部244是上部开放的上下方向的槽，所以在将保持部24安装于可动部25时，使转动限制部件251e从被转动限制部244的上开放端进入到被转动限制部244内，且不在保持部24的插拔方向上卡合，而在周向上卡合。由此，限制了保持部24相对于可动部25的转动，防止被保持的工件的姿势未预期地变化。

如图8、图9或图12所示，设置于保持部24的中心孔245的下部242a与流体通路241b连通，形成流体通路。图12是保持部24的垂直剖视图。流体通路241b交叉地形成在基部241的对角线上，下部242a与该交叉点连接。流体通路241b还与流体通路246c连通。

在中心孔245的上部嵌合有密封部件245b以及封闭部件245a，所述封闭部件245a将密封部件245b封闭在中心孔245中。如图10所示，通路形成部件22a1的下端部***于中心孔245，并利用密封部件245b将其周围气密地密封而与保持部24连结。通路形成部件22a1是与升降轴22a同轴的筒部件，并被设置成能够在升降轴22a内上下移动，从而形成空气的流通路。在图10的状态下，连接部23(图2)、通路形成部件22a1、流体通路241b以及流体通路246c成为连通的状态。由于通路形成部件22a1能够在升降轴22a的内部沿上下方向移动，所以保持部24能够在维持气密性的状态下相对于升降轴22a沿上下方向位移。

＜保持单元的功能>

参照图17，对保持单元21的动作例进行说明。该图示出了保持工件时的动作。

状态ST1表示为了将未图示的工件向上方拿起而使保持单元21下降的状态。利用施力部27的施力，将可动部25向下方按压，使引导面261a与抵接面251a处于抵接的状态。即，可动部25以及支承于可动部25的保持部24被定位在与升降轴22a相同的轴上。

状态ST2表示使保持部24从上方与未图示的工件抵接的状态。此时，通过吸附垫246b的弹性变形和浮动(日文：フローティング)功能来缓冲保持单元21与工件抵接时的冲击。浮动功能是如下功能：使可动部25以及保持部24抵抗施力部27的施力而相对于支承部26向上方位移。

如图17的放大图所示，当可动部25相对于支承部26相对地向上方(箭头Z1方向))位移时，引导面261a与抵接面251a分离。可动部25的水平方向上的定位被解除，在箭头D方向上能够位移与间隙G相应的量。箭头D是任意的水平方向。即，成为如下状态：虽然可动部25以及保持部24的水平方向上的定位被解除，但容许其姿势变化。并且，越向上方移动，该间隙G越大。因此，即使拿起的工件的姿势(此处为水平姿势)存在误差(例如取出前的工件相对于水平面的斜度)，可动部25以及保持部24也会与工件的姿势(斜度)相适应地位移或它们的姿势也会与工件的姿势(斜度)相适应地变化。由此，防止过大的力施加于工件，并且使各个吸附垫246b分别切实地与工件保持面抵接，从而能够精度良好且切实地对工件进行吸附保持。

在状态ST2下，当开始负压吸引时，工件保持于保持部24。其后，当使保持单元21上升时，将工件向上方拿起。当使保持单元21上升时，利用施力部27的施力，将可动部25向下方按压，抵接面251a被引导面261a引导，返回到各个引导面261a与抵接面251a在周向上再次抵接的状态。即，返回到与状态ST1同样地将可动部25以及支承于可动部25的保持部24定位在与升降轴22a相同的轴上的状态。另外，在移载目标位置，在释放保持的工件时，能够维持可动部25以及保持部24被定位的状态地释放工件，能够防止工件的位置精度降低。

图18的状态ST11、ST12表示装卸了保持部24的状态。在本实施方式的情况下，由于保持部件253由板弹簧形成，所以当从状态ST11的状态将保持部24强力地向下方拉拽时，双方的卡合被解除，保持部24从可动部25分离。

在重新安装保持部24时，将保持部24的被保持部242从下方向上方***于可动部25的内部空间S2。通过使抵接面242b与引导面251d抵接而被引导面251d引导，从而对保持部24的中心轴和可动部25的中心轴进行定心，将它们定位在相同的轴上。在此，在本实施方式的情况下，抵接面251a和引导面261a是一组向下方逐渐变细的面，抵接面242b和引导面251d是一组向上方逐渐变细的面。即，逐渐变细的方向互为反向。另外，与图17的例子同样地，在向可动部25安装保持部24时，可动部25向上方位移。当完成安装时，利用施力部27的施力将可动部25向下方按压，抵接面251a被引导面261a引导，返回到各个引导面261a与抵接面251a在周向上再次抵接的状态。即，成为可动部25的中心轴以及保持部24的中心轴被定心而被定位在与升降轴22a相同的轴上的状态。因此，即使将某一保持部24从可动部25卸下并将新的保持部24重新安装于可动部25，也能够将该新的保持部24精度良好且再现性良好地重新安装于可动部25。其结果是，不会伴随着保持部24的卸装而对工件的定位精度产生影响。

尤其是，在与工件的种类相应地准备多种保持部24的情况下，只要使被安装部242的规格通用，即使在使用任意的保持部24的情况下，也均能够使各个保持部24的中心轴与中心轴线L一致地将各个保持部24安装于可动部25。其结果是，在利用摄像装置6对保持于保持部24的工件进行摄像并进行相对于保持部24的工件保持位置的算出时，由于作为算出基准的基准点为中心轴线L，所以能够准确地算出工件的保持位置。因此，能够精度良好地将保持的工件移载到移载目标位置的移载位置。

另外，即使在使保持的工件的姿势(朝向)变更而将其移载到移载目标位置的情况下，作为旋转的中心，中心轴线L与保持部24的中心轴也一致。因此，即便使保持的工件旋转，也能够容易地算出旋转的工件的保持位置，能够精度良好地将姿势变更的工件移载到移载目标位置。

＜其他实施方式>

在上述实施方式中，抵接面251a、242b以及引导面261a、251d均为曲面，但也可以是平坦的倾斜面。即，逐渐变细的形状也可以不是圆锥形，而是角锥形。

在上述实施方式中，抵接面251a和引导面261a为向下方逐渐变细的面，但也可以是向上方逐渐变细的面。同样地，抵接面242b以及引导面251d是向上方逐渐变细的面，但也可以是向下方逐渐变细的面。

在上述实施方式中，是将可动部25收容于支承部26的结构，但相反地，也可以是将支承部26的一部分***于可动部25的结构。同样地，是将保持部24的一部分***于可动部25的结构，但相反地，也可以是将可动部25的一部分***于保持部24的结构。

虽然已经参照示例性的实施例对本发明进行了说明，但应当理解为本发明不限于所公开的示例性的实施例。所附的权利要求的范围将被赋予最广泛的解释，以便包含所有这些修改及等效的结构和功能。

Claims (10)

1.一种移载单元，其特征在于，具备：

保持单元，所述保持单元能够保持工件；以及

驱动单元，所述驱动单元能够使所述保持单元在上下方向上移动，

所述保持单元具备：

保持部，所述保持部能够保持工件；

可动部，所述可动部支承所述保持部；

支承部，所述支承部将所述可动部支承为在上下方向上位移自如；以及

施力部，所述施力部相对于所述支承部向下方对所述可动部进行施力，

所述支承部具有引导所述可动部的位移的第一引导面，

所述可动部具有与所述第一引导面抵接的第一抵接面，

所述第一引导面以及所述第一抵接面分别是向上方逐渐变细的面，或者分别是向下方逐渐变细的面，以便在使所述可动部相对于所述支承部向下方位移时，所述第一引导面以及所述第一抵接面相互抵接而进行定位。

2.根据权利要求1所述的移载单元，其特征在于，

所述保持部在上下方向上装卸自如地安装于所述可动部，

所述可动部具有引导所述保持部的安装的第二引导面，

所述保持部具有与所述第二引导面抵接的第二抵接面，

所述第二引导面以及所述第二抵接面分别是向上方逐渐变细的面，或者分别是向下方逐渐变细的面，以便在将所述保持部安装于所述可动部时，所述第二引导面以及所述第二抵接面相互抵接而进行定位。

3.根据权利要求1所述的移载单元，其特征在于，

所述支承部是筒状部件，

所述可动部在所述筒状部件的轴向上能够移动地设置于所述筒状部件的内部空间，

所述第一引导面是形成所述内部空间的内壁的一部分的圆锥形的面，

所述第一抵接面是形成所述可动部的外周面的一部分的圆锥形的面。

4.根据权利要求2所述的移载单元，其特征在于，

所述驱动单元能够使所述保持单元绕上下方向的轴转动，

所述第一引导面是形成与所述轴同轴的第一孔的内壁的一部分的第一漏斗状的面，所述第一孔供所述可动部***，并形成于所述支承部，

所述第二引导面是形成与所述轴同轴的第二孔的内壁的一部分的第二漏斗状的面，所述第二孔供所述保持部***，并形成于所述可动部，

所述第一抵接面以及所述第二抵接面分别是与所述轴同轴的圆锥形的面。

5.根据权利要求3所述的移载单元，其特征在于，

所述可动部包括将所述保持部装卸自如地保持的保持部件，

所述保持部包括由所述保持部件保持的被保持部。

6.根据权利要求5所述的移载单元，其特征在于，

所述第一引导面和收容有所述保持部件的凹部沿周向形成于所述支承部的所述内壁，

所述第一抵接面和所述保持部件的安装部沿周向形成于所述可动部的所述外周面。

7.根据权利要求4所述的移载单元，其特征在于，

所述移载单元还具备转动限制机构，所述转动限制机构限制所述保持部相对于所述可动部绕所述轴的转动，

所述转动限制机构包括：

转动限制部件，所述转动限制部件从所述可动部的所述第二孔的内壁突出地设置；以及

被转动限制部，所述被转动限制部设置于所述保持部，并在所述轴的周向上与所述转动限制部件卡合，在所述保持部的插拔方向上不与所述转动限制部件卡合。

8.根据权利要求4所述的移载单元，其特征在于，

所述保持部具备：

主体，所述主体具有被***到所述第二孔中的部分；以及

工具，所述工具设置于所述主体的下部，对工件进行保持，

所述工具是吸附工件的吸附工具，

所述驱动单元具有安装有所述保持单元并上下延伸的中空的安装部件，

形成空气的流通路的通路形成部件在所述安装部件内能够上下移动地设置于所述安装部件的内部，

所述通路形成部件连接于所述保持部。

9.一种移载装置，其特征在于，具备：

权利要求1所述的移载单元；

第二驱动单元，所述第二驱动单元使所述移载单元从工件的移载初始位置向移载目标位置移动；以及

摄像单元，所述摄像单元从下方对被权利要求1所述的保持部保持的工件进行摄像。

10.一种保持单元，其特征在于，具备：

保持部，所述保持部能够保持工件；

可动部，所述可动部支承所述保持部；

支承部，所述支承部将所述可动部支承为在第一方向以及与所述第一方向相反的第二方向上位移自如；以及

施力部，所述施力部相对于所述支承部在所述第一方向上对所述可动部进行施力，

所述第一方向是使所述保持部从所述支承部分离的方向，

所述支承部具有引导所述可动部的位移的引导面，

所述可动部具有与所述引导面抵接的抵接面，

所述引导面以及所述抵接面分别是沿所述第一方向逐渐变细的面，或者分别是沿所述第二方向逐渐变细的面。

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