CN107664646A - 一种全自动外观缺陷检查装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种全自动外观缺陷检查装置及方法，该装置包括载台支架、设于所述载台支架上方的框架式载台和设于所述框架式载台上方的灯源，所述框架式载台上设有至少一组缺陷检查机构，所述缺陷检查机构包括设于所述框架式载台边缘的滑轨、垂直设于所述滑轨上的伸缩杆，以及水平设于所述伸缩杆上的摄像头组、多孔吹气管和灯管组，所述摄像头组中摄像头的角度可调。本发明无需依靠人工操作和判断，提高了生产效率，节约了人工成本，提高了产线的自动化程度和产品质量。

Description

一种全自动外观缺陷检查装置及方法

技术领域

本发明涉及平板显示领域的外观缺陷检查，具体涉及一种全自动外观缺陷检查装置及方法。

背景技术

在平板显示领域的TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)或CF(ColourFilter，彩色滤光片)制造过程中，针对每一层的工艺制作都需要进行缺陷检查。其中缺陷分为微观缺陷和外观缺陷，对于微观缺陷，产线上已采用AOI(Automatic opticinspection，自动光学检测)进行自动检查，而外观缺陷包括Mura(色不均)、裂纹以及缺角崩边等，至今仍然采用人工检查的方式。

现有的外观缺陷检查设备如图1所示，主要包括：载台支架1’、框架式载台2’、固定检查灯3’和手持检查灯4’，玻璃基板(Glass)进入设备后，载台支架1’带动框架式载台2’旋转使玻璃基板倾斜一定的角度，接着人工手动开启固定检查灯，通过人眼进行基板整面性色不均的检查，然后进行手持灯具照射的检查，分别用白光和绿光对基板的边缘和正反面进行检查，当检查到异物时，用人工持***对其进行吹扫，当检查到缺陷时采用人工进行记录，检查完毕后人工对玻璃基板进行判定，玻璃按照判定结果被送至***规定的卡夹，进行下一制程。然而采用这种检查设备需依赖人工检查和判定，而人的主观检查能力、判定能力和速度将直接影响产品质量和产率。

目前在平板显示领域的成盒和模组段已开始使用全自动检查设备来替代人对显示屏幕的检查，从而减少了因人的主观差异对产品质量的影响，同时降低了人的管理成本。同时在全自动设备中采用高分辨率摄像头对其外观缺陷进行检查的可行性得到了实际验证。但由于成盒和模组段是对显示屏幕进行检查，而TFT或CF的检查是针对玻璃大基板的检查，所以设备的结构不同，并且检查原理也因所检查产品的特征差异而有所不同，因此不能适用。

发明内容

本发明针对现有技术中存在的上述问题，提供了一种可有效降低人工成本，提高自动化程度和产品质量的全自动外观缺陷检查装置及方法。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种全自动外观缺陷检查装置，包括载台支架、设于所述载台支架上方的框架式载台和设于所述框架式载台上方的灯源，所述框架式载台上设有至少一组缺陷检查机构，所述缺陷检查机构包括设于所述框架式载台边缘的滑轨、垂直设于所述滑轨上的伸缩杆，以及水平设于所述伸缩杆上的摄像头组、多孔吹气管和灯管组，所述摄像头组中摄像头的角度可调。

进一步的，所述框架式载台设有两个，分别与两个所述载台支架对应，两个所述框架式载台之间还设有一旋转载台和与所述旋转载台对应的传送机构。

进一步的，所述缺陷检查机构中的滑轨设有两条，分设于所述框架式载台相对的两条边上，所述摄像头组和多孔吹气管设于其中一条滑轨对应的伸缩杆上，所述灯管组设于另一条滑轨对应的伸缩杆上。

进一步的，所述摄像头组和多孔吹气管设于同一根伸缩杆上。

进一步的，设置所述摄像头组和多孔吹气管的伸缩杆设有两个，分别位于设置所述灯管组的伸缩杆的两侧。。

进一步的，所述缺陷检查机构中的滑轨设有一条，设于所述框架式载台的其中一条边上。

进一步的，所述滑轨上设有两根伸缩杆，所述摄像头组和多孔吹气管设于其中一根伸缩杆上，所述灯管组设于另一根伸缩杆上。

进一步的，所述滑轨上设有三根伸缩杆，所述灯管组设于中间一根所述伸缩杆上，两侧的伸缩杆上均设有所述摄像头组和多孔吹气管。

进一步的，所述传送机构为机械手，设于所述旋转载台的一侧。

进一步的，所述载台支架和框架式载台分别设有一个，所述框架式载台上设有两组缺陷检查机构，分别设于所述框架式载台的两条相互垂直的边上。

进一步的，所述缺陷检查机构中的滑轨设有一条，所述滑轨上设有两根伸缩杆，所述摄像头组和多孔吹气管设于其中一根伸缩杆上，所述灯管组设于另一根伸缩杆上。

进一步的，所述滑轨上设有三根伸缩杆，所述灯管组设于中间一根所述伸缩杆上，两侧的伸缩杆上均设有所述摄像头组和多孔吹气管。

进一步的，与所述摄像头组和多孔吹气管对应的伸缩杆上还设有横杆，所述摄像头组和多孔吹气管分别设于所述横杆长度方向的两侧，所述摄像头组中的若干摄像头沿所述横杆的长度方向水平设置。

进一步的，所述灯管组包括至少两种颜色不同的灯管。

本发明还提供一种全自动外观缺陷检查装置的检查方法，包括以下步骤：

S1：将玻璃基板置于其中一个框架式载台上，打开框架式载台上方的灯源，载台支架带动框架式载台旋转至设定角度，开始检查工作；

S2:调整摄像头组中与玻璃基板边缘对应的摄像头的角度至与玻璃基板的边缘垂直，拍摄玻璃基板边缘的照片，对玻璃基板进行边缘的缺陷检查；

S3：调整摄像头组中摄像头的角度，按设定顺序变换灯源的灯光颜色，与此同时拍摄玻璃基板侧面不同位置处的照片，进行侧面色差检查，之后关闭灯源；

S4：打开灯管组中的其中一个灯管，调整摄像头组中摄像头的角度，使伸缩杆带动所述灯管组和摄像头组沿对应的滑轨同步运动，同时摄像头组中的摄像头连续拍摄图像对玻璃基板进行全面检查，接着关闭该灯管，打开其他灯管，调整摄像头组中摄像头的角度，重复该全面检查步骤；

S5：根据摄像头拍摄的图像判定检查结果，若结果不合格则移出检查装置，反之通过传送装置运送至旋转载台，通过旋转载台将其水平旋转90度，接着通过传动装置传送至另一个框架式载台上，并重复步骤S1～S4，以获得玻璃基板的最终检查结果。

进一步的，所述步骤S2/S3/S4中，还包括当摄像头拍摄到异物时，打开多孔吹气管进行吹扫。

进一步的，所述步骤S4中，还包括，通过所述伸缩杆调节灯管组和摄像头组的高度，同时调节摄像头的角度，直至拍摄到清晰的缺陷图像。

进一步的，所述步骤S4中，调整所述摄像头组中摄像头的角度具体为：使摄像头对准所述灯管的照明位置。

进一步的，所述步骤S4中，所述灯管和摄像头沿对应的滑轨同步运动具体为：所述摄像头组中摄像头的焦点跟随灯管发出的光线边缘进行移动。

进一步的，所述步骤S5中，判定检查结果具体为：通过对不同图像的灰度进行对比得出检查结果。

本发明还提供一种全自动外观缺陷检查装置的检查方法，包括以下步骤：

S1：将玻璃基板置于框架式载台上，打开框架式载台上方的灯源，载台支架带动框架式载台旋转至设定角度，开始检查工作；

S2:调整所述框架式载台其中一条边上的摄像头组中与玻璃基板边缘对应的摄像头的角度至与玻璃基板的边缘垂直，通过该摄像头拍摄玻璃基板边缘的照片，对玻璃基板进行边缘的缺陷检查；

S3：调整该条边上摄像头组中摄像头的角度，按设定顺序变换灯源的灯光颜色，与此同时拍摄玻璃基板侧面不同位置处的照片，进行侧面色差检查，之后关闭灯源；

S4：打开该条边上灯管组中的其中一个灯管，伸缩杆带动所述灯管组和摄像头组沿对应的滑轨同步运动，同时摄像头组中的摄像头连续拍摄图像对玻璃基板进行全面检查，接着关闭该灯管，打开其他灯管，调整摄像头组中摄像头的角度，重复该全面检查步骤；

S5：根据该条边上摄像头拍摄的图像判定检查结果，若结果不合格则移出检查装置，反之打开另一条垂直边上灯管组中的其中一个灯管，并重复步骤S4的操作，以获得玻璃基板的最终检查结果。

进一步的，所述步骤S2/S3/S4中，还包括当摄像头拍摄到异物时，打开多孔吹气管进行吹扫。

进一步的，所述步骤S4中，还包括，通过所述伸缩杆调节灯管和摄像头的高度，同时调节所述摄像头的高度，直至拍摄到的缺陷图像清晰可见。

进一步的，所述步骤S4中，调整所述摄像头组中摄像头的角度具体为：使摄像头对准所述灯管的照明位置。

进一步的，所述步骤S4中，所述灯管组和摄像头组沿对应的滑轨同步运动具体为：所述摄像头组中摄像头的焦点跟随灯管发出的光线边缘进行移动。

进一步的，所述步骤S5中，判定检查结果具体为：通过对不同图像的灰度进行对比得出检查结果。

本发明提供了一种全自动外观缺陷检查装置及方法，在框架式载台上设置缺陷检查机构，通过灯源发出不同颜色的光线，采用角度可调的摄像头对玻璃基板的边缘和侧面进行色差检查；接着通过伸缩杆带动所述灯管组和摄像头组沿对应的滑轨同步运动，在不同颜色的灯管的照射下，通过摄像头连续拍摄照片对玻璃基板进行全面检查，并通过对比图像的灰度的方法得到检查结果，稳定可靠。本发明无需依靠人工操作和判断，提高了生产效率，节约了人工成本，提高了产线的自动化程度和产品质量。

附图说明

图1是现有的外观缺陷检查设备的结构示意图；

图2是本发明实施例1中全自动外观缺陷检查装置的结构示意图；

图3是本发明实施例1中框架式载台和缺陷检查机构主视结构图；

图4是本发明实施例2中框架式载台和缺陷检查机构的结构示意图；

图5是本发明实施例5中框架式载台和缺陷检查机构的结构示意图。

图1中所示：1’、载台支架；2’、框架式载台；3’、固定检查灯；4’、手持检查灯；

图2-5中所示：1、载台支架；2、框架式载台；3、灯源；4、缺陷检查机构；41、滑轨；42、伸缩杆；43、摄像头组；44、多孔吹气管；45、灯管组；46、横杆；5、旋转载台；6、传送机构。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作详细描述。

实施例1

如图2-3所示，本发明一种全自动外观缺陷检查装置，包括载台支架1、设于所述载台支架1上方的框架式载台2和设于所述框架式载台2上方的灯源3，灯源3可按设定顺序变换灯光颜色，所述框架式载台2上设有至少一组缺陷检查机构4，所述缺陷检查机构4包括设于所述框架式载台2边缘的滑轨41、垂直设于所述滑轨41上的伸缩杆42，以及水平设于所述伸缩杆42上的摄像头组43、多孔吹气管44(图2-3中未标出)和灯管组45，所述摄像头组43中摄像头的角度可调。具体的，伸缩杆42可沿滑轨41水平运动，从而带动其上的摄像头组43、多孔吹气管44和灯管组45水平移动，摄像头组43中设有若干个摄像头，所述灯管组45包括至少两种颜色不同的灯管，本实施例中包括白光灯管和绿光灯管，相互平行设置，在灯源3和灯管组45的照射下，摄像头从不同角度对玻璃基板拍摄照片以对其进行全面检查。

优选的，所述框架式载台2设有两个，分别与两个所述载台支架1对应，即两个框架式载台2分别设于两个载台支架1上方，两个所述框架式载台2之间还设有一旋转载台5和与所述旋转载台5对应的传送机构6。优选的，所述传送机构6为机械手，设于所述旋转载台5的一侧。具体的，玻璃基板首先进入其中一个框架式载台2进行检查，在检查结束后，通过传送机构6传送至旋转载台5旋转90度之后，再通过传送机构6传送至另一个框架式载台2上进行检查，从两个垂直的方向对玻璃基板进行全面检查，提高了检查结果的可靠性。

优选的，每个所述框架式载台2上方设有一组缺陷检查机构4，所述缺陷检查机构4中的滑轨41设有两条，分设于所述框架式载台2相对的两条边上，所述摄像头组43和多孔吹气管44设于其中一条滑轨41对应的伸缩杆42上，所述灯管组45设于另一条滑轨41对应的伸缩杆42上。

优选的，所述摄像头组43和多孔吹气管44设于同一根伸缩杆42上，即两条滑轨41上的伸缩杆42均设有一根，且与所述摄像头组43和多孔吹气管44对应的伸缩杆42上还设有横杆46，所述摄像头组43和多孔吹气管44均设置在所述横杆46上，且分别设于所述横杆46长度方向的两侧，所述摄像头组43中的若干摄像头沿所述横杆46的长度方向水平设置，即摄像头沿横杆46水平设于玻璃基板上方，拍摄范围可覆盖玻璃基板的长度方向和宽度方向。

本发明还提供一种全自动外观检查方法，包括以下步骤：

S1：将玻璃基板置于其中一个框架式载台2上，打开框架式载台2上方的灯源3，载台支架1带动框架式载台2旋转至设定角度，开始检查工作；

S2:调整摄像头组43中与玻璃基板的边缘对应的摄像头的角度，使其与玻璃基板的边缘垂直，并拍摄玻璃基板边缘的照片，对玻璃基板进行边缘的缺陷检查，包括针对裂纹或缺损等严重缺陷的检查，当摄像头拍摄到异物时，打开多孔吹气管44进行吹扫，避免异物对缺陷检查造成影响。

S3：调整摄像头组43中摄像头的角度，按设定顺序变换灯源的灯光颜色，与此同时拍摄玻璃基板侧面不同位置处的照片，进行侧面色差检查，之后关闭灯源；同样当摄像头拍摄到异物时，打开多孔吹气管44进行吹扫，避免异物对缺陷检查造成影响。

S4：打开灯管组43中的其中一个灯管，调整摄像头组43中摄像头的角度，使伸缩杆42带动所述灯管组43和摄像头组沿对应的滑轨42同步运动，同时摄像头组43中的摄像头连续拍摄图像对玻璃基板进行全面检查，接着关闭该灯管，打开其他灯管，调整摄像头组43中摄像头的角度，重复该全面检查步骤；本实施例中，灯光组45包括白光灯管和绿光灯管，首先单独打开白光灯管进行一次全面检查，接着单独打开绿光灯管进行一次全面检查，保证检查结果的可靠性。其中调整所述摄像头组43中摄像头的角度具体为：使摄像头对准所述灯管的照明位置，具体为照明最亮的位置，所述灯管组45和摄像头组43沿对应的滑轨同步运动具体为：摄像头组43中摄像头的焦点跟随灯管发出的光线边缘进行移动，具体为最亮的光线。当遇到缺陷图像不清晰时，可通过所述伸缩杆42调节灯管组45和摄像头组43的高度，同时调节摄像头的角度，直至拍摄到的缺陷图像清晰可见，即伸缩杆42可以携带灯管在缺陷上方上下移动来增强和减弱光照强度，同时，摄像头在一定角度范围内旋转调整不同角度，两者连续动作配合下拍摄得到缺陷图像最清楚的图片。同样当摄像头拍摄到异物时，打开多孔吹气管44进行吹扫，避免异物对缺陷检查造成影响。

S5：根据摄像头拍摄的图像判定检查结果，具体为：通过对不同图像的灰度进行对比得出检查结果，若结果不合格则移出检查装置，反之通过传送装置6运送至旋转载台5，通过旋转载台将其水平旋转90度，接着通过传动装置6传送至另一个框架式载台2上，并重复步骤S1～S4，以获得玻璃基板的最终检查结果。所述传送机构6为机械手，设于所述旋转载台5的一侧，用于将玻璃基板从其中一个框架式载台2传送至旋转载台5进行旋转后再传送至另一个框架式载台2，实现从两个垂直的方向对玻璃基板进行全面检查，提高了检查结果的可靠性。

实施例2

如图4所示，与实施例1不同的是，本实施例中设置所述摄像头组43和多孔吹气管44的伸缩杆42设有两个，分别位于设置所述灯管组的伸缩杆42的两侧，，即与摄像头组43和多孔吹气管44对应的滑轨41上设有两根伸缩杆42，每根伸缩杆42上均设有一个摄像头组43和一个多孔吹气管44，另一条滑轨41上设有一根伸缩杆42，其上设有灯管组45，且该灯管组45对应的伸缩杆42设于对边的两根伸缩杆42的中间，从而使两组摄像头组43分别位于灯管组45的两侧，本实施例中，两个摄像头组43沿灯管组45对称设置，在调整角度后同时进行拍摄照片。

实施例3

与上述实施例1和实施例2不同的是，本实施例中每个所述框架式载台2上方设有一组缺陷检查机构4，所述缺陷检查机构4中的滑轨41设有一条，位于所述框架式载台2的其中一条边上。所述滑轨41上设有两根伸缩杆42，所述摄像头组43和多孔吹气管44设于其中一根伸缩杆42上，所述灯管组45设于另一根伸缩杆42上，即摄像头组43、多孔吹气管44和灯管组45同向设置，在伸缩杆42的带动下可同步运动。

实施例4

与上述实施例3不同的是，本实施例中所述滑轨41上设有三根伸缩杆42，所述灯管组45设于中间一根所述伸缩杆42上，两侧的伸缩杆42上均设有所述摄像头组43和多孔吹气管44。即两组摄像头组43分别位于灯管组45的两侧，本实施例中，两个摄像头组43沿灯管组45对称设置，在调整角度后同时进行拍摄照片。

实施例5

如图5所示，与上述实施例1-4不同的是，本实施例中，所述载台支架1和框架式载台2分别设有一个，所述框架式载台2上设有两组缺陷检查机构4，分别设于所述框架式载台2的两条相互垂直的边上，分别从两个垂直的方向对玻璃基板进行全面检查。本实施例中，其中框架式载台2上的缺陷检查机构4未细画出。

优选的，所述缺陷检查机构4中的滑轨41设有一条，所述滑轨41上设有两根伸缩杆42，所述摄像头组43和多孔吹气管44设于其中一根伸缩杆42上，所述灯管组设于另一根伸缩杆42上，即摄像头组43、多孔吹气管44和灯管组45同向设置，在伸缩杆42的带动下可同步运动。

优选的，所述滑轨41上设有三根伸缩杆42，所述灯管组43设于中间一根所述伸缩杆42上，两侧的伸缩杆42上均设有所述摄像头组43和多孔吹气管44。即两组摄像头组43分别位于灯管组45的两侧，本实施例中，两个摄像头组43沿灯管组45对称设置，在调整角度后同时进行拍摄照片。

本实施例还提供一种全自动外观缺陷检查方法，包括以下步骤：

S1：将玻璃基板置于框架式载台2上，打开框架式载台2上方的灯源3，载台支架1带动框架式载台2旋转至设定角度，开始检查工作；

S2:调整所述框架式载台2其中一条边上的摄像头组43中与玻璃基板的边缘对应的摄像头的角度至与玻璃基板的边缘垂直，通过该摄像头拍摄玻璃基板边缘的照片，对玻璃基板进行边缘的缺陷检查；包括针对裂纹或缺损等严重缺陷的检查，当摄像头拍摄到异物时，打开多孔吹气管44进行吹扫，避免异物对缺陷检查造成影响。

S3：调整该条边上摄像头组43中摄像头的角度，按设定顺序变换灯源3的灯光颜色，与此同时拍摄玻璃基板侧面不同位置处的照片，进行侧面色差检查，之后关闭灯源；同样当摄像头拍摄到异物时，打开多孔吹气管44进行吹扫，避免异物对缺陷检查造成影响。

S4：打开该条边上灯管组45中的其中一个灯管，伸缩杆42带动所述灯管组45和摄像头组43沿对应的滑轨41同步运动，同时摄像头组43中的摄像头连续拍摄图像对玻璃基板进行全面检查，接着关闭该灯管，打开其他灯管，调整摄像头组43中摄像头的角度，重复该全面检查步骤；本实施例中，灯光组45包括白光灯管和绿光灯管，首先单独打开白光灯管进行一次全面检查，接着单独打开绿光灯管进行一次全面检查，保证检查结果的可靠性。其中调整所述摄像头组43中摄像头的角度具体为：使摄像头对准所述灯管的照明位置，具体为照明最亮的位置，所述灯管组45和摄像头组43沿对应的滑轨同步运动具体为：摄像头组43中摄像头的焦点跟随灯管发出的光线边缘进行移动，具体为最亮的光线。当遇到缺陷图像不清晰时，可通过所述伸缩杆42调节灯管组45和摄像头组43的高度，同时调节摄像头的角度，直至拍摄到的缺陷图像清晰可见，即伸缩杆42可以携带灯管在缺陷上方上下移动来增强和减弱光照强度，同时，摄像头在一定角度范围内旋转调整不同角度，两者连续动作配合下拍摄得到缺陷图像最清楚的图片。同样当摄像头拍摄到异物时，打开多孔吹气管44进行吹扫，避免异物对缺陷检查造成影响。

S5：根据该条边上摄像头拍摄的图像判定检查结果，具体为：通过对不同图像的灰度进行对比得出检查结果，若结果不合格则移出检查装置，反之打开另一条垂直边上灯管组45中的其中一个灯管，并重复步骤S4的操作，以获得玻璃基板的最终检查结果，即从两个垂直的方向对玻璃基板进行全面检查。

综上所述，本发明提供了一种全自动外观缺陷检查装置及方法，在框架式载台2上设置缺陷检查机构4，通过灯源3发出不同颜色的光线，采用角度可调的摄像头对玻璃基板的边缘和侧面进行色差检查；接着通过伸缩杆42带动所述灯管组45和摄像头组43沿对应的滑轨41同步运动，在不同颜色的灯管的照射下，通过摄像头连续拍摄照片对玻璃基板进行全面检查，并通过对比图像的灰度的方法得到检查结果，稳定可靠。本发明无需依靠人工操作和判断，提高了生产效率，节约了人工成本，提高了产线的自动化程度和产品质量。

虽然说明书中对本发明的实施方式进行了说明，但这些实施方式只是作为提示，不应限定本发明的保护范围。在不脱离本发明宗旨的范围内进行各种省略、置换和变更均应包含在本发明的保护范围内。

Claims (26)

1.一种全自动外观缺陷检查装置，包括载台支架、设于所述载台支架上方的框架式载台和设于所述框架式载台上方的灯源，其特征在于，所述框架式载台上设有至少一组缺陷检查机构，所述缺陷检查机构包括设于所述框架式载台边缘的滑轨、垂直设于所述滑轨上的伸缩杆，以及水平设于所述伸缩杆上的摄像头组、多孔吹气管和灯管组，所述摄像头组中摄像头的角度可调。

2.根据权利要求1所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述框架式载台设有两个，分别与两个所述载台支架对应，两个所述框架式载台之间还设有一旋转载台和与所述旋转载台对应的传送机构。

3.根据权利要求2所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述缺陷检查机构中的滑轨设有两条，分设于所述框架式载台相对的两条边上，所述摄像头组和多孔吹气管设于其中一条滑轨对应的伸缩杆上，所述灯管组设于另一条滑轨对应的伸缩杆上。

4.根据权利要求3述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述摄像头组和多孔吹气管设于同一根伸缩杆上。

5.根据权利要求3述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，设置所述摄像头组和多孔吹气管的伸缩杆设有两个，分别位于设置所述灯管组的伸缩杆的两侧。

6.根据权利要求2所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述缺陷检查机构中的滑轨设有一条，设于所述框架式载台的其中一条边上。

7.根据权利要求6所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述滑轨上设有两根伸缩杆，所述摄像头组和多孔吹气管设于其中一根伸缩杆上，所述灯管组设于另一根伸缩杆上。

8.根据权利要求6所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述滑轨上设有三根伸缩杆，所述灯管组设于中间一根所述伸缩杆上，两侧的伸缩杆上均设有所述摄像头组和多孔吹气管。

9.根据权利要求2所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述传送机构为机械手，设于所述旋转载台的一侧。

10.根据权利要求1所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述载台支架和框架式载台分别设有一个，所述框架式载台上设有两组缺陷检查机构，分别设于所述框架式载台的两条相互垂直的边上。

11.根据权利要求10所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述缺陷检查机构中的滑轨设有一条，所述滑轨上设有两根伸缩杆，所述摄像头组和多孔吹气管设于其中一根伸缩杆上，所述灯管组设于另一根伸缩杆上。

12.根据权利要求10所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述滑轨上设有三根伸缩杆，所述灯管组设于中间一根所述伸缩杆上，两侧的伸缩杆上均设有所述摄像头组和多孔吹气管。

13.根据权利要求4或5或7或8或11或12所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，与所述摄像头组和多孔吹气管对应的伸缩杆上还设有横杆，所述摄像头组和多孔吹气管分别设于所述横杆长度方向的两侧，所述摄像头组中的若干摄像头沿所述横杆的长度方向水平设置。

14.根据权利要求1所述的全自动外观缺陷检查装置，其特征在于，所述灯管组包括至少两种颜色不同的灯管。

15.一种全自动外观缺陷检查方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：将玻璃基板置于其中一个框架式载台上，打开框架式载台上方的灯源，载台支架带动框架式载台旋转至设定角度，开始检查工作；

S2:调整摄像头组中与玻璃基板边缘对应的摄像头的角度至与玻璃基板的边缘垂直，拍摄玻璃基板边缘的照片，对玻璃基板进行边缘的缺陷检查；

S3：调整摄像头组中摄像头的角度，按设定顺序变换灯源的灯光颜色，与此同时拍摄玻璃基板侧面不同位置处的照片，进行侧面色差检查，之后关闭灯源；

S4：打开灯管组中的其中一个灯管，调整摄像头组中摄像头的角度，使伸缩杆带动所述灯管组和摄像头组沿对应的滑轨同步运动，同时摄像头组中的摄像头连续拍摄图像对玻璃基板进行全面检查，接着关闭该灯管，打开其他灯管，调整摄像头组中摄像头的角度，重复该全面检查步骤；

S5：根据摄像头拍摄的图像判定检查结果，若结果不合格则移出检查装置，反之通过传送装置运送至旋转载台，通过旋转载台将其水平旋转90度，接着通过传动装置传送至另一个框架式载台上，并重复步骤S1～S4，以获得玻璃基板的最终检查结果。

16.根据权利要求15所述的检查方法，其特征在于，所述步骤S2/S3/S4中，还包括当摄像头拍摄到异物时，打开多孔吹气管进行吹扫。

17.根据权利要求15所述的检查方法，其特征在于，所述步骤S4中，还包括，通过所述伸缩杆调节灯管组和摄像头组的高度，同时调节摄像头的角度，直至拍摄到清晰的缺陷图像。

18.根据权利要求17所述的检查方法，其特征在于，所述步骤S4中，调整所述摄像头组中摄像头的角度具体为：使摄像头对准所述灯管的照明位置。

19.根据权利要求15所述的检查方法，其特征在于，所述步骤S4中，所述灯管和摄像头沿对应的滑轨同步运动具体为：所述摄像头组中摄像头的焦点跟随灯管发出的光线边缘进行移动。

20.根据权利要求15所述的检查方法，其特征在于，所述步骤S5中，判定检查结果具体为：通过对不同图像的灰度进行对比得出检查结果。

21.一种全自动外观缺陷检查方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：将玻璃基板置于框架式载台上，打开框架式载台上方的灯源，载台支架带动框架式载台旋转至设定角度，开始检查工作；

S2:调整所述框架式载台其中一条边上的摄像头组中与玻璃基板边缘对应的摄像头的角度至与玻璃基板的边缘垂直，通过该摄像头拍摄玻璃基板边缘的照片，对玻璃基板进行边缘的缺陷检查；

S3：调整该条边上摄像头组中摄像头的角度，按设定顺序变换灯源的灯光颜色，与此同时拍摄玻璃基板侧面不同位置处的照片，进行侧面色差检查，之后关闭灯源；

S4：打开该条边上灯管组中的其中一个灯管，伸缩杆带动所述灯管组和摄像头组沿对应的滑轨同步运动，同时摄像头组中的摄像头连续拍摄图像对玻璃基板进行全面检查，接着关闭该灯管，打开其他灯管，调整摄像头组中摄像头的角度，重复该全面检查步骤；

S5：根据该条边上摄像头拍摄的图像判定检查结果，若结果不合格则移出检查装置，反之打开另一条垂直边上灯管组中的其中一个灯管，并重复步骤S4的操作，以获得玻璃基板的最终检查结果。

22.根据权利要求21所述的检查方法，其特征在于，所述步骤S2/S3/S4中，还包括当摄像头拍摄到异物时，打开多孔吹气管进行吹扫。

23.根据权利要求21所述的检查方法，其特征在于，所述步骤S4中，还包括，通过所述伸缩杆调节灯管和摄像头的高度，同时调节所述摄像头的高度，直至拍摄到的缺陷图像清晰可见。

24.根据权利要求23所述的检查方法，其特征在于，所述步骤S4中，调整所述摄像头组中摄像头的角度具体为：使摄像头对准所述灯管的照明位置。

25.根据权利要求21所述的检查方法，其特征在于，所述步骤S4中，所述灯管组和摄像头组沿对应的滑轨同步运动具体为：所述摄像头组中摄像头的焦点跟随灯管发出的光线边缘进行移动。

26.根据权利要求21所述的检查方法，其特征在于，所述步骤S5中，判定检查结果具体为：通过对不同图像的灰度进行对比得出检查结果。