CN107621245B - 一种量测机点位自动补正方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种量测机点位自动补正方法及装置。所述方法包括：使待测产品进入量测机机台；调用产品参数文件，以量测产品；完成产品量测，以获取最新点位信息；判定点位差异是否满足补正条件；以及如果点位差异满足补正条件，则备份参数文件并且补正点位信息；如果点位差异不满足补正条件，则使产品退出量测机机台。

Description

一种量测机点位自动补正方法及装置

技术领域

本发明涉及测量技术领域，具体地涉及一种量测机点位自动补正方法及装置。

背景技术

量测点位是量测机台能够正确量测以获取数据的关键。量测点位即量测的坐标信息，包括至少X、Y、Z三个移动轴的信息。量测点位会随着时间而变化，因为机构、制程等变化因素的影响，会出现坐标偏移的情况，坐标偏移的情况会导致量测时间延长，甚至会导致量测错误，提供错误的参数文件监控信息，导致产品异常。

目前主流的点位补正技术依赖于人员手动校正，属于纯手动或半自动状态，没有实现全自动化。图1示出目前实现点位补正的流程图。如图1所示，在确认需要进行点位补正时，首先需要制造借机、借物料，即因为点位补正需要时间，所以需要借用机台，而机台被借用则不能监控产品的品质，并且需要确认点位校正的效果，所以需要借用物料来确认效果。在物料进入机台后，手动确认每点变异，更新点位信息并且保存参数文件(recipe)，开始自动量测并且确认点位信息是否正确，如果不正确，则更新点位信息并且保存参数文件，如果正确，则完成手动补正，其中参数文件是用于监控产品品质的文件，其包含量测点位等信息。

依赖于操作人员手动校正的点位补正技术存在以下缺陷：

1)操作人员需要停机确认点位差异后进行补正，此期间设备不可使用，无法获得参数文件监控数据。

2)操作人员需要花费时间去确认点位变化量，重新校正点位。

3)操作人员会出现点位补正错误，引发监控异常。

因此，需要一种自动补正量测机点位的技术。

发明内容

鉴于以上问题，本发明提供了一种量测机点位自动补正方法，包括：

使待测产品进入量测机机台；

调用产品参数文件，以量测产品；

完成产品量测，以获取最新点位信息；

判定点位差异是否满足补正条件；以及

如果点位差异满足补正条件，则备份参数文件并且补正点位信息；如果点位差异不满足补正条件，则使产品退出量测机机台。

在一实施例中，完成产品量测以获取最新点位信息包括：

获取产品的几何特征的点位信息。

在一实施例中，判定点位差异是否满足补正条件包括：

判定产品的几何特征的点位信息的差异是否大于阈值。

在一实施例中，所述产品的几何特征包括产品在所述量测机的一个轴向方向上的两个边。

在一实施例中，判定产品的几何特征的点位信息的差异是否满足补正条件包括：

判定所述两个边中的至少一个边的当前点位信息与前次点位信息之间的差异是否大于阈值。

本发明还提供了一种量测机点位自动补正装置，包括：

点位信息获取模块，用于在量测机量测产品时获取最新点位信息；

判定模块，用于判定点位差异是否满足补正条件；以及

补正模块，用于在点位差异满足补正条件时补正点位信息，以及在点位差异不满足补正条件时，则通知产品退出量测机机台。

在一实施例中，所述点位信息获取模块具体用于在量测机量测产品时获取产品的几何特征的点位信息。

在一实施例中，所述判定模块具体用于判定产品的几何特征的点位信息的差异是否大于阈值。

在一实施例中，所述产品的几何特征包括产品在所述量测机的一个轴向方向上的两个边。

在一实施例中，所述判定模块具体用于：判定所述两个边中的至少一个边的当前点位信息与前次点位信息之间的差异是否大于阈值。

与现有技术相比，基于本发明的方法以及装置可以在产品量测过程中自动补正量测机的点位信息而不需要额外制备参考物。

本发明的其它特征或优点将在随后的说明书中阐述。并且，本发明的部分特征或优点将通过说明书而变得显而易见，或者通过实施本发明而被了解。本发明的目的和部分优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的步骤来实现或获得。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例共同用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是现有技术的量测机点位补正流程图。

图2是根据本发明实施例的量测机点位自动补正方法的流程图。

图3至6是根据本发明实施例的点位自动补正方法应用于探针式膜厚测量机的原理图。

图7是根据本发明实施例的量测机点位自动补正装置的结构图。

具体实施方式

以下将结合附图及实施例来详细说明本发明的实施方式，借此本发明的实施人员可以充分理解本发明如何应用技术手段来解决技术问题，并达成技术效果的实现过程并依据上述实现过程具体实施本发明。需要说明的是，只要不构成冲突，本发明中的各个实施例以及各实施例中的各个特征可以相互结合，所形成的技术方案均在本发明的保护范围之内。

如上所述，在图1示出的现有技术的量测机点位补正方法中，需要借助参考物，并且手动确认每点变异。因此，增加了制造成本、人力成本以及低产能。

本发明提供了一种量测机点位自动补正方法及装置，其能够在产品量测的过程中无需借助其他参考物来实现点位自动补正，从而能够提升产能、节约人力并且杜绝人为操作错误。

图2示出根据本发明实施例的量测机点位自动补正方法的流程。如图2所示，本发明的量测机点位自动补正方法首先执行步骤S201使被测产品进入量测机机台。如上所述，本发明的点位自动补正方法可以在产品量测的过程中自动补正点位信息，而现有的量测机点位补正技术在产品量测过程中发现点位偏差，则需要停机以便进行点位补正。

如图2所示，在步骤S201之后，执行步骤S202调用产品参数文件，量测产品以及S203完成产品量测，以获取最新点位信息。

在获取当前以及先前的最新点位信息之后，需要判定点位差异是否满足补正条件S204。如果点位差异满足补正条件，则备份参数文件并且补正点位信息S205；如果点位差异不满足补正条件，则使产品退出量测机机台S206。

如上所述，本发明的量测机点位自动补正方法不需要制备额外的参考物，在产品量测的过程中即可完成点位自动补正，其关键的步骤在于判定点位差异是否满足补正条件。

以下，具体参照图3至6，结合探针式膜厚测量机来说明如何判定点位差异是否满足补正条件。

探针式膜厚测量机是一种机械式接触量测设备，核心部件为探针测定机构，在TFT-LCD行业中，一般用来量测TFT或彩色滤色片的膜厚值。为了准确测量被测产品，探针式膜厚测量机需要确保量测过程中测量头和探针的点位不改变，然而在实际使用过程中，测量头和探针的点位很容易发生偏移，例如:编码器在跳电时易造成数据流失，而失去原点位的位置，即有可能造成点位偏移；对探针进行保养擦拭或更换或者人为误操作等时，也会造成探针位置偏移。

对此，如图3所示，探针在膜厚测量机的一个轴向方向上从左往右经过1至5的位置以测量被测产品P，从而得到波形图。波形图的长度为例如800μm，其可以作为标准波形图。如图3所示，波形图记录有被测产品P在该轴向方向上的两个边A和B的位置，即150μm和650μm，将它们设定为两个边A和B的标准位置。此时，即获取最新点位为a1。

在实际测量过程中，如果出现探针的位置偏移，则在继续量测被测产品时被测产品的两个边A和B的位置可能发生如图4所示的变异，即A和B的位置在在50μm和550μm，此时获取到新的点位为a2。由于与A或B的标准位置偏移100μm，大于设定的阈值例如10μm，则需要进行补正，即更新a2的点位为a2＝a2+100μm。

如图5所示，在探针的位置发生偏移的情况下，被测产品的两个边A和B的位置还可能发生A边的点位不存在，而仅仅B边的点位存在的情况，此时获取到B边的点位为490μm，则与B边的标准点位650μm相比偏移了160μm，大于设定的阈值，此时对新的点位a3进行补正，即更新a3的点位为a3＝a3-160μm。

如图6所示，在探针的位置发生偏移的情况下，被测产品的两个边A和B的位置还可能发生A边的点位存在，而B边的点位不存在的情况，此时获取到A边的点位为330μm，则与A边的标准点位150μm偏移180μm，大于设定的阈值，此时对新的点位a4进行补正，即更新a4的点位为a4＝a4+180μm。

在实践中，可以根据测量机的种类不同以及测量要求，来设定所需的阈值。

由上述可知，本发明的量测机点位自动补正方法是利用被测产品的几何特征的点位差异来校正量测机的测量头或探针等测定机构的位置偏差，这一方法在量测产品的过程中实施，无需额外的参考器具。在自动校正的过程中，设备自动存储参数文件并备份原有参数文件，可有效防止异常错误导致不可恢复的现象。

虽然以上实施例将被测产品在量测机的一个轴向方向上的两个边作为几何特征，但是本发明不限于此，可以根据不同被测产品的不同几何特征以及被测产品在量测机的多个轴向方向上的几何特征的差异来校正点位。并且，虽然以上实施例以探针式膜厚测量机作为示例，但是应理解，本发明的点位自动补正方法可以应用于任何量测设备。

图7示出根据本发明实施例的量测机点位自动补正装置的结构图。如图7所示，根据本发明实施例的量测机点位自动补正装置包括点位信息获取模块701，用于在量测机704量测产品时获取最新点位信息；判定模块702，用于判定点位差异是否满足补正条件；以及补正模块703，用于在点位差异满足补正条件时补正点位信息，以及在点位差异不满足补正条件时，则通知产品退出量测机机台。

综上所述，本发明提供了一种量测机点位自动补正方法及装置，其能够在产品量测的过程中无需借助其他参考物来实现点位自动补正，由于点位补正在量测产品的过程中完成，不需要停机处理，从而提高了产能。并且，操作人员不需要再花费时间去确认点位的偏移，节省了人力成本。另外，点位自动补正省去了人工操作的环节，杜绝了操作人员错误。

虽然本发明所公开的实施方式如上，但所述的内容只是为了便于理解本发明而采用的实施方式，并非用以限定本发明。本发明所述的方法还可有其他多种实施例。在不背离本发明实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变或变形，但这些相应的改变或变形都应属于本发明的权利要求的保护范围。

Claims (2)

1.一种量测机点位自动补正方法，其特征在于，包括：

使待测产品进入量测机机台；

调用产品参数文件，以量测产品；

完成产品量测，以获取最新点位信息，所述获取的最新点位信息包括产品的几何特征的点位信息，所述产品的几何特征包括产品在所述量测机的一个轴向方向上的两个边；

判定点位差异是否满足补正条件；其中判定点位差异是否满足补正条件包括：判定产品的几何特征的点位信息的差异是否大于阈值；判定产品的几何特征的点位信息的差异是否满足补正条件包括：判定所述两个边中的至少一个边的当前点位信息与前次点位信息之间的差异是否大于阈值；以及

如果点位差异满足补正条件，则备份参数文件并且补正点位信息；如果点位差异不满足补正条件，则使产品退出量测机机台。

2.一种量测机点位自动补正装置，其特征在于，包括：

点位信息获取模块，用于在量测机量测产品时获取最新点位信息，所述点位信息获取模块具体用于在量测机量测产品时获取产品的几何特征的点位信息，所述产品的几何特征包括产品在所述量测机的一个轴向方向上的两个边；

判定模块，用于判定点位差异是否满足补正条件，所述判定模块具体用于判定产品的几何特征的点位信息的差异是否大于阈值；所述判定模块具体用于：判定所述两个边中的至少一个边的当前点位信息与前次点位信息之间的差异是否大于阈值；以及

补正模块，用于在点位差异满足补正条件时补正点位信息，以及在点位差异不满足补正条件时，则通知产品退出量测机机台。