CN107611158A - 一种柔性显示面板的制作方法 - Google Patents

一种柔性显示面板的制作方法 Download PDF

Info

Publication number
CN107611158A
CN107611158A CN201710738998.9A CN201710738998A CN107611158A CN 107611158 A CN107611158 A CN 107611158A CN 201710738998 A CN201710738998 A CN 201710738998A CN 107611158 A CN107611158 A CN 107611158A
Authority
CN
China
Prior art keywords
display panels
flexible display
groove
preparation
flexible
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201710738998.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107611158B (zh
Inventor
李想
余威
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd
Original Assignee
Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd filed Critical Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd
Priority to CN201710738998.9A priority Critical patent/CN107611158B/zh
Priority to PCT/CN2017/107995 priority patent/WO2019037234A1/zh
Priority to US15/580,815 priority patent/US10476004B2/en
Publication of CN107611158A publication Critical patent/CN107611158A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107611158B publication Critical patent/CN107611158B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K77/00—Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
    • H10K77/10—Substrates, e.g. flexible substrates
    • H10K77/111—Flexible substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
    • H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
    • H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/1201—Manufacture or treatment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

本发明公开了一种柔性显示面板的制作方法，包括以下步骤：步骤S1)提供支撑基板，在所述支撑基板的一面形成与柔性显示面板尺寸契合的凹槽；步骤S2)在所述凹槽内形成柔性基底；步骤S3)在所述柔性基底上制作薄膜晶体管、有机发光二极管功能层和封装层以形成柔性显示面板；步骤S4)将所述柔性显示面板从所述支撑基板上直接剥离。

Description

一种柔性显示面板的制作方法
技术领域
本发明涉及柔性显示面板等领域，具体为一种柔性显示面板的制作方法。
背景技术
有机发光二极管(OLED)在平板显示器、照明和背光的应用前景逐渐引起了人们的广泛关注，并且已经被逐渐应用到我们的生活中。
近几年柔性有机发光二极管(OLED)得到了快速的发展，由此带动柔性可弯曲变形的显示器从屏幕尺寸到显示质量的大大提升。无论是濒临消失的阴极射线显像管显示器(CRT)还是现在主流的液晶显示屏，亦或是目前玻璃基板的有机发光二极管(OLED)屏幕，从本质上来讲都是刚性屏幕，都有会受到硬力的损伤的可能，而柔性有机发光二极管(OLED)的屏幕的可卷曲，耐冲击，抗震力强，重量轻，便携等优势凸显出来挠性有机发光二极管(FOLED)的柔性基底采用的是聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚苯乙烯(PS)、聚对苯二甲酸乙二醇(PET)、聚对萘二甲酸乙二醇脂(PEN)。
而目前的主流的柔性OLED器件的制程方式为将柔性基底的材料整面覆盖在载体玻璃上，然后在柔性基底上做薄膜晶体管、有机发光二极管功能层和封装层，然后用镭射切割机(laser cutting)将整片载体玻璃连同柔性基底层切成面板初始样板，最后用激光剥离机(LLO)将柔性显示面板从载体玻璃上剥离下来，形成我们所要的柔性有机发光二极管(OLED)器件。
发明内容
本发明的目的是：提供一种柔性显示面板的制作方法，能够直接在柔性基底上制作柔性显示面板，并将该柔性显示面板直接支撑基板上剥离即可，无需切割。
实现上述目的的技术方案是：一种柔性显示面板的制作方法，包括以下步骤：步骤S1)提供支撑基板，在所述支撑基板的一面形成与柔性显示面板尺寸契合的凹槽；步骤S2)在所述凹槽内形成柔性基底；步骤S3)在所述柔性基底上制作薄膜晶体管、有机发光二极管功能层和封装层以形成柔性显示面板；步骤S4)将所述柔性显示面板从所述支撑基板上直接剥离。
在本发明一较佳的实施例中，在所述步骤S1)中，所述支撑基板为玻璃基板。
在本发明一较佳的实施例中，所述步骤S1)包括用蚀刻法蚀刻出所述凹槽。
在本发明一较佳的实施例中，所述凹槽为梯形槽，所述凹槽的槽口的面积小于所述凹槽的底面的面积。
在本发明一较佳的实施例中，在所述步骤S2)中，所述柔性基底的材料为聚酰亚胺材料。
在本发明一较佳的实施例中，所述步骤S2)包括以下步骤：步骤S21)将所述聚酰亚胺材料涂覆至所述支撑基板具有凹槽的一面，使部分所述聚酰亚胺材料缓慢流入所述凹槽中，形成聚酰亚胺层；步骤S22)由所述聚酰亚胺层图案化形成所述柔性基底。
在本发明一较佳的实施例中，在所述步骤S22)中，所述柔性基底与所述支撑
基板表面的聚酰亚胺层互不连接。
在本发明一较佳的实施例中，所述凹槽设有多个。
在本发明一较佳的实施例中，所述凹槽成阵列排布。
在本发明一较佳的实施例中，所述步骤S3)中，所述有机发光二极管功能层设于所述薄膜晶体管和封装层之间。
本发明的优点是：本发明的柔性显示面板的制作方法，能够直接在玻璃基板上形成单独的柔性显示面板模块(初始样板)，并能够直接用激光剥离机将单独的初始样板剥离，形成单独的柔性显示面板，从而节省了镭射切割步骤，减少了制程步骤以及生产成本。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明作进一步解释。
图1是本发明实施例的带有凹槽的支撑基板的俯视图。
图2是图1的一剖面图。
图3是柔性基底在支撑基板成形结构示意图。
图4是其他器件在柔性基底上的成形结构示意图。
图5是本发明实施例的柔性显示面板的制作方法的步骤流程图。
图6是图5中步骤S2)的具体步骤流程图。
其中，
1 支撑基板； 2 凹槽；
3 柔性基底； 4 薄膜晶体管；
5 有机发光二极管功能层； 6 封装层；
11 柔性层。
具体实施方式
以下实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「顶」、「底」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。
实施例，如图5所示，一种柔性显示面板的制作方法，包括以下步骤。
如图1、图2所示，步骤S1)提供支撑基板1，在所述支撑基板1的一面形成与柔性显示面板尺寸契合的凹槽2。一般情况下，由于玻璃基板具有较多的优良性，如具有较好的刚性、价格低廉、利于切割等等，因此都是采用玻璃基板作为支撑基板1。在所述玻璃基板上用蚀刻法蚀刻出所述凹槽2，蚀刻法蚀刻出的凹槽2具有较高的精度，便于控制凹槽2的形状，而且在形成凹槽2的过程中不易使玻璃破碎，影响制作工序。
需要说明的是，本实施例中，该凹槽2的形状需要契合柔性显示面板尺寸，如果尺寸过大，则在后期修整时，工序较为繁杂，过小则形成的柔性显示面板尺寸不符合要求，只能作为次品或废品处理。
本实施例中，所述凹槽2为梯形槽，当然根据柔性显示面板的形状要求，也可以设计成其他形状，如圆台状等等。所述凹槽2的槽口的面积小于所述凹槽2的底面的面积，这种设计有利于步骤S2)中的柔性基底3的形成。
为了提高生产效率，一块玻璃基板上可以形成多个凹槽2，为了方便凹槽2的方便制作成型，提高凹槽2的制作效率和后期的处理工序的效率，本实施例中，所述凹槽2成阵列分布。
如图3所示，步骤S2)在所述凹槽2内形成所述柔性基底3。
本实施例中的所述柔性基底3的材料采用聚酰亚胺材料，由于聚酰亚胺材料在一定温度下具有流动性且由于玻璃基板的表面光滑，为了使聚酰亚胺材料在凹槽2内以及玻璃基板的表面分布均匀，因此，可以利用聚酰亚胺材料涂布机(IP coater)或者其他设备将所述聚酰亚胺材料涂覆至所述支撑基板1具有凹槽2的一面。
具体的，如图6所示，所述步骤S2)中包括以下的步骤。
步骤S21)将所述聚酰亚胺材料涂覆至所述支撑基板具有凹槽2的一面，使部分所述聚酰亚胺材料缓慢流入所述凹槽2中，形成聚酰亚胺层，该聚酰亚胺层为柔性层11。
步骤S22)由所述聚酰亚胺层图案化形成所述柔性基底3。由所述聚酰亚胺层图案化形成的所述柔性基底和位于所述支撑基板1表面的柔性层11之间相互无连接，即柔性基底3与位于所述支撑基板1表面的柔性层11之间相互分离。
由于一块玻璃基板上具有多个凹槽2，为了区分不同凹槽2中的柔性基底3以及标示凹槽2的的槽口形状、大小，因此，聚酰亚胺材料也会在凹槽2的槽口周边的玻璃基板的表面形成一柔性层11，该柔性层11与所述柔性基底3不相互关联。同时，该柔性层11在制作柔性显示面板时，具有保护作用，以防加工器件与玻璃基板硬性接触，从而损坏玻璃基板。
当然，本发明还可以采用其他的柔性材料形成柔性基底3，如现有技术中的聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚苯乙烯(PS)、聚对苯二甲酸乙二醇(PET)、聚对萘二甲酸乙二醇脂(PEN)等等。
如图4所示，步骤S3)在所述柔性基底上制作薄膜晶体管4、有机发光二极管功能层5和封装层6以形成柔性显示面板。
本步骤中，所述薄膜晶体管4位于柔性基底3上，所述封装层6位于所述薄膜晶体管4上，所述有机发光二极管功能层5位于所述薄膜晶体管4和所述封装层6之间。
步骤S4)将所述柔性显示面板从所述支撑基板1上直接剥离。在本步骤中，直接用激光剥离机将柔性显示面板整体从支撑基板1上的凹槽2中剥离即可，从而节省了镭射切割的步骤。
以上仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种柔性显示面板的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤S1)提供支撑基板，在所述支撑基板的一面形成与柔性显示面板尺寸契合的凹槽；
步骤S2)在所述凹槽内形成柔性基底；
步骤S3)在所述柔性基底上制作薄膜晶体管、有机发光二极管功能层和封装层以形成柔性显示面板；
步骤S4)将所述柔性显示面板从所述支撑基板上直接剥离。
2.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法，其特征在于，在所述步骤S1)中，所述支撑基板为玻璃基板。
3.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法，其特征在于，所述步骤S1)包括用蚀刻法蚀刻出所述凹槽。
4.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法，其特征在于，所述凹槽为梯形槽，所述凹槽的槽口的面积小于所述凹槽的底面的面积。
5.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法，其特征在于，在所述步骤S2)中，所述柔性基底的材料为聚酰亚胺材料。
6.根据权利要求5所述的柔性显示面板的制作方法，其特征在于，所述步骤S2)包括以下步骤：
步骤S21)将所述聚酰亚胺材料涂覆至所述支撑基板具有凹槽的一面，使部分所述聚酰亚胺材料缓慢流入所述凹槽中，形成聚酰亚胺层；
步骤S22)由所述聚酰亚胺层图案化形成所述柔性基底。
7.根据权利要求6所述的柔性显示面板的制作方法，其特征在于，在所述步骤S22)中，所述柔性基底与所述支撑基板表面的聚酰亚胺层互不连接。
8.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法，其特征在于，所述凹槽设有多个。
9.根据权利要求8所述的柔性显示面板的制作方法，其特征在于，所述凹槽成阵列排布。
10.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法，其特征在于，所述步骤S3)中，所述有机发光二极管功能层设于所述薄膜晶体管和封装层之间。
CN201710738998.9A 2017-08-25 2017-08-25 一种柔性显示面板的制作方法 Active CN107611158B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710738998.9A CN107611158B (zh) 2017-08-25 2017-08-25 一种柔性显示面板的制作方法
PCT/CN2017/107995 WO2019037234A1 (zh) 2017-08-25 2017-10-27 一种柔性显示面板的制作方法
US15/580,815 US10476004B2 (en) 2017-08-25 2017-10-27 Method of manufacturing flexible display panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710738998.9A CN107611158B (zh) 2017-08-25 2017-08-25 一种柔性显示面板的制作方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107611158A true CN107611158A (zh) 2018-01-19
CN107611158B CN107611158B (zh) 2019-09-24

Family

ID=61065920

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710738998.9A Active CN107611158B (zh) 2017-08-25 2017-08-25 一种柔性显示面板的制作方法

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN107611158B (zh)
WO (1) WO2019037234A1 (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109980123A (zh) * 2019-03-19 2019-07-05 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 刚性oled显示面板的制备方法及显示面板
CN110441933A (zh) * 2019-07-19 2019-11-12 武汉华星光电技术有限公司 显示面板的制造方法及使用该方法所制造的显示面板
CN111312722A (zh) * 2019-11-13 2020-06-19 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及其制造方法
CN114283681A (zh) * 2021-12-15 2022-04-05 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及其制备方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106229421A (zh) * 2016-08-24 2016-12-14 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 柔性基板制作方法和柔性基板
CN106653812A (zh) * 2016-12-20 2017-05-10 武汉华星光电技术有限公司 柔性显示面板的制作方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015169711A (ja) * 2014-03-05 2015-09-28 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置、及びその製造方法
CN205752173U (zh) * 2016-01-15 2016-11-30 广州奥翼电子科技股份有限公司 柔性显示器
CN106057864B (zh) * 2016-08-23 2019-11-05 武汉华星光电技术有限公司 一种柔性显示面板及其制备方法
CN106449711B (zh) * 2016-10-24 2019-10-18 武汉华星光电技术有限公司 柔性amoled显示器的制作方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106229421A (zh) * 2016-08-24 2016-12-14 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 柔性基板制作方法和柔性基板
CN106653812A (zh) * 2016-12-20 2017-05-10 武汉华星光电技术有限公司 柔性显示面板的制作方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109980123A (zh) * 2019-03-19 2019-07-05 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 刚性oled显示面板的制备方法及显示面板
US11233221B2 (en) 2019-03-19 2022-01-25 Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. Manufacturing method of a rigid organic light-emitting diode (OLED) display panel and a display panel
CN110441933A (zh) * 2019-07-19 2019-11-12 武汉华星光电技术有限公司 显示面板的制造方法及使用该方法所制造的显示面板
CN111312722A (zh) * 2019-11-13 2020-06-19 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及其制造方法
CN114283681A (zh) * 2021-12-15 2022-04-05 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2019037234A1 (zh) 2019-02-28
CN107611158B (zh) 2019-09-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106773206B (zh) 显示面板的制造方法
CN107611158A (zh) 一种柔性显示面板的制作方法
US10593898B2 (en) Base carrier, flexible display panel and manufacturing method thereof, flexible display device
US9622343B2 (en) Flexible display and method for preparing the same
CN106541310B (zh) 显示面板的切割方法
US11251392B2 (en) Display substrate and preparation method thereof, display device and preparation method thereof and display apparatus
EP2894689B1 (en) Method for manufacturing flexible display device
US10504872B2 (en) Method of batch transferring micro semiconductor structures
CN106653812A (zh) 柔性显示面板的制作方法
CN109377877A (zh) 显示模组及电子装置
CN107768413B (zh) 一种柔性显示基板、显示装置及其制作方法
CN107706305A (zh) 柔性显示装置及其制备方法
CN105551377A (zh) 一种柔性显示面板及其制造方法、显示设备
CN105137634A (zh) 柔性显示面板的制作方法以及用于其制作的基板组件
TW200935134A (en) Flat display panel cutting apparatus and cutting method using the same
CN107931845A (zh) 切割方法
CN107610597A (zh) 显示面板母板及显示面板母板的切割方法
CN102863147A (zh) 对基板进行烤焙处理的装置及方法
CN106328575A (zh) 一种柔性显示面板的剥离方法和装置
WO2019100414A1 (zh) 柔性oled显示面板的制备方法
US20180219175A9 (en) Packaging adhesive, packaging method, display panel and display device
US11018328B2 (en) Method and apparatus for manufacturing display substrate
CN108922402B (zh) 分离柔性电路板与oled显示面板的方法
TWI680390B (zh) 觸控模組及其製作方法
CN104465528A (zh) 柔性基板的制备方法和柔性基板预制组件

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant