CN107490937A - 一种涂光刻胶***及其胶黏度的在线测量方法 - Google Patents

一种涂光刻胶***及其胶黏度的在线测量方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及半导体制作工艺技术领域，尤其涉及一种涂光刻胶***及其胶黏度的在线测量方法。涂光刻胶***包括由胶管顺序连接的涂胶罐、排气罐、过滤器以及涂胶头，在所述的涂胶罐和排气罐之间的胶管上设置有三向开关控制阀，所述的三向开关控制阀两端通过胶管分别连接涂胶罐和排气罐，三向开关控制阀的第三端连接有在线黏度测试仪。三向开关控制阀导通涂胶罐和排气罐之间的光刻胶，打开通向光刻胶黏度测试仪的开关，在线测量胶黏度。涂光刻胶***还设有流量计，所述的流量计与三向开关控制阀电连接。该涂光刻胶***的胶黏度的在线测量方法尤其适用于工业化大批量半导体工艺的生产，其在线测量方法简单，可行性好。

Description

一种涂光刻胶***及其胶黏度的在线测量方法
技术领域
本发明涉及半导体制作工艺技术领域，尤其涉及一种涂光刻胶***及其胶黏度的在线测量方法。
背景技术
随着集成电路器件的蓬勃发展，半导体制作工艺和生产规模也越来越大；其中，涂光刻胶是半导体制作过程中一道非常重要的工艺工序，因为产品制作过程中要求光刻后需得到均匀的线宽，尤其是现在基板尺寸的增大，对光刻效果的要求会更加严格，这样对光刻胶的涂覆工艺要求也会越来越严格；特别是对光刻胶本身特性的要求，其中黏度是光刻胶的特性之一，它是衡量光刻胶流动特性的重要参数，光刻胶黏度对光刻胶膜层厚度和均匀性影响很大，其随着光刻胶中的溶剂的减少而增加；高的黏度会产生比较厚的光刻胶膜层；小的黏度,则胶的流动性就比较快，也就越容易得到均匀的光刻胶厚度。目前，半导体制作过程中光刻胶黏度的测量都是离线测量，即在使用此光刻胶前从其容器内倒出或取出一些进行测量，这样的做法往往会污染此光刻胶，造成涂覆膜层异常，进而影响产品的光刻效果，造成产品的不良；而且在产品生产的过程中，产线上一般是没有对光刻胶黏度进行测量的，这样就会给生产产品带来一定的良率风险。
发明内容
针对上述光刻胶黏度离线测量的诸多问题，本发明提了一种涂光刻胶***及其胶黏度的在线测量方法。
为解决上述技术问题，本发明提供的技术方案是：一种涂光刻胶***，包括由胶管顺序连接的涂胶罐、排气罐、过滤器以及涂胶头，在所述的涂胶罐和排气罐之间的胶管上设置有三向开关控制阀，所述的三向开关控制阀两端通过胶管分别连接涂胶罐和排气罐，三向开关控制阀的第三端连接有在线黏度测试仪。胶黏度的在线测量方法为：三向开关控制阀导通涂胶罐和排气罐之间的光刻胶，打开通向光刻胶黏度测试仪的开关，在线测量胶黏度。
进一步：在上述涂光刻胶***中，它还包括控制***，所述的在线黏度测试仪与控制***连接。所述的过滤器上还通过胶管连接有废液罐，所述的控制***控制涂胶罐、排气罐、废液罐、过滤器以及涂胶头。胶黏度的在线测量方法为：所述的控制***根据预订参数，控制三向开关控制阀导通涂胶罐和排气罐之间的光刻胶，打开通向光刻胶黏度测试仪的开关，在线测量胶黏度。
再进一步：在上述涂光刻胶***中，所述的过滤器以及涂胶头之间通过胶管连接有流量计，所述的流量计与三向开关控制阀电连接。所述的流量计与控制***连接。
胶黏度的在线测量方法为：
A、所述的控制***根据预订参数，控制三向开关控制阀导通涂胶罐和排气罐之间的光刻胶，打开通向光刻胶黏度测试仪的开关，在线测量胶黏度；
B、控制***读取步骤A的数据显示为“正常”时，关闭通向光刻胶黏度测试仪的开关；并反馈信息给流量计；
C、控制***随时读取流量计中胶的流量数据；
D、控制***读取步骤C的数据显示为“否”时，调整参数或者换掉光刻胶。
与现有技术相比，本发明在涂胶***中的涂胶罐和排气罐的胶管之间增加一个三向开关控制阀，其中一路通向光刻胶黏度测试仪，这样在产品生产的过程中，在一定的时间内打开此路胶管向黏度测试仪器中通入一定量的光刻胶进行测量；另外，在涂胶刀头附件安装一个可控制的流量计，此流量计一方面确保合格的黏度范围内的光刻胶到涂胶刀头的胶量是一定的；另一面，其流量的变化会反馈给光刻胶黏度测试仪，根据流量计监控的胶量范围来决定是否测试光刻胶黏度，进而判定光刻胶黏度是否变化以及变化的大小，这样在线就可以决定对涂胶参数进行改进还是更换新的光刻胶，保证了在产品生产过程中涂胶刀头的胶量一定，确保了涂覆的光刻胶膜厚的一致性和均匀性，进而保证了产品的光刻效果。此种做法尤其适用于工业化大批量半导体工艺的生产，方法简单，可行性高。
附图说明：
图1是实施方式一的结构原理图；
图2是实施方式二的结构原理图；
图3是实施方式三的结构原理图；
其中 1涂胶罐、2排气罐、3过滤器、4涂胶头、5三向开关控制阀、6黏度测试仪、7废液罐、8流量计。
具体实施方式：
下述实施方式更详细地说明了本发明。
实施方式一
一种涂光刻胶***，包括由胶管顺序连接的涂胶罐1、排气罐2、过滤器3以及涂胶头4，在所述的涂胶罐1和排气罐2之间的胶管上设置有三向开关控制阀5，所述的三向开关控制阀两端通过胶管分别连接涂胶罐1和排气罐2，三向开关控制阀5的第三端连接有在线黏度测试仪6。胶黏度的在线测量方法为：三向开关控制阀5导通涂胶罐1和排气罐2之间的光刻胶，打开通向光刻胶黏度测试仪6的开关，在线测量胶黏度。
实施方式二
在实施方式一的基础上，还包括控制***，所述的在线黏度测试仪6与控制***连接。所述的过滤器3上还通过胶管连接有废液罐7，所述的控制***控制涂胶罐1、排气罐2、废液罐7、过滤器3以及涂胶头4。胶黏度的在线测量方法为：所述的控制***根据预订参数，控制三向开关控制阀导通涂胶罐和排气罐之间的光刻胶，打开通向光刻胶黏度测试仪的开关，在线测量胶黏度。
实施方式三
在实施方式二的基础上，所述的过滤器3以及涂胶头4之间通过胶管连接有流量计8，所述的流量计8与三向开关控制阀5电连接。所述的流量计8与控制***连接。胶黏度的在线测量方法为：A、所述的控制***根据预订参数，控制三向开关控制阀导通涂胶罐和排气罐之间的光刻胶，打开通向光刻胶黏度测试仪的开关，在线测量胶黏度；
B、控制***读取步骤A的数据显示为“正常”时，关闭通向光刻胶黏度测试仪的开关；并反馈信息给流量计；
C、控制***随时读取流量计中光刻胶的流量数据；
D、控制***读取步骤C的数据显示为“否”时，调整参数或者换掉光刻胶。
上面结合附图对本发明的实施方式作了详细说明，但是本发明并不限于上述实施方式，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下做出各种变化。

Claims (10)

1.一种涂光刻胶***，包括由胶管顺序连接的涂胶罐（1）、排气罐（2）、过滤器（3）以及涂胶头（4），其特征在于：在所述的涂胶罐（1）和排气罐（2）之间的胶管上设置有三向开关控制阀（5），所述的三向开关控制阀两端通过胶管分别连接涂胶罐（1）和排气罐（2），三向开关控制阀的第三端连接有在线黏度测试仪（6）。
2.根据权利要求1所述的涂光刻胶***，其特征在于：还包括控制***，所述的在线黏度测试仪（6）与控制***连接。
3.根据权利要求2所述的涂光刻胶***，其特征在于：所述的过滤器（3）上还通过胶管连接有废液罐（7），所述控制***控制涂胶罐（1）、排气罐（2）、废液罐（7）、过滤器（3）以及涂胶头（4）。
4.根据权利要求2所述的涂光刻胶***，其特征在于：所述的过滤器（3）以及涂胶头（4）之间通过胶管连接有流量计（8），所述的流量计（8）与三向开关控制阀（5）电连接。
5.根据权利要求4所述的涂光刻胶***，其特征在于：所述的流量计（8）与控制***连接。
6.一种权利要求1所述的涂光刻胶***的胶黏度在线测量方法，其特征在于：三向开关控制阀导通涂胶罐和排气罐之间的光刻胶，打开通向光刻胶黏度测试仪的开关，在线测量胶黏度。
7.根据权利要求6所述的在线测量方法，其特征在于：还包括控制***，所述的在线黏度测试仪（6）与控制***连接；
所述的控制***控制涂胶罐（1）、排气罐（2）、废液罐（7）、过滤器（3）以及涂胶头（4）；
所述的过滤器（3）以及涂胶头（4）之间设有流量计（8），所述的流量计（8）与三向开关控制阀（5）电连接。
8.根据权利要求7所述的在线测量方法，其特征在于：所述的控制***根据预订参数，控制三向开关控制阀导通涂胶罐和排气罐之间的光刻胶，打开通向光刻胶黏度测试仪的开关，在线测量胶黏度。
9.根据权利要求6所述的在线测量方法，其特征在于：所述的过滤器（3）以及涂胶头（4）之间的胶管上设有流量计（8），所述的流量计（8）与三向开关控制阀（5）电连接；所述的流量计（8）与控制***连接。
10.根据权利要求9所述的在线测量方法，其步骤为：
A、所述的控制***根据预订参数，控制三向开关控制阀导通涂胶罐和排气罐之间的光刻胶，打开通向光刻胶黏度测试仪的开关，在线测量胶黏度；
B、控制***读取步骤A的数据显示为“正常”时，关闭通向光刻胶黏度测试仪的开关；并反馈信息给流量计；
C、控制***随时读取流量计中光刻胶的流量数据；
D、控制***读取步骤C的数据显示为“否”时，调整参数或者换掉光刻胶。
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