CN107462401B - 检测任意波长光学***的透射波前的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种检测任意波长光学***的透射波前的方法,具有这样的特征,包括以下步骤:步骤一,利用R种波长为λ1~λm的激光干涉仪分别对光学***进行检测,分别得到光学***在波长为λ1~λm的Zernike多项式Z1(λ1)、Z2(λ1)、……Zk(λ1),……,以及Z1(λ2)、Z2(λ2)、……Zk(λ2);步骤二,将步骤一得到的Zernike多项式代入公式:式中,i=1,2,3,…,k,k≤37,m=1,2,3,…,R,R≥2,2R‑1≤XR‑1≤2R,计算参数A1i、A2i…ARi的值;步骤三,将计算得到的A1i、A2i…ARi的值代入公式中,计算波长为λn的光学***的Zernike多项式Zk(λn);步骤四,根据Zk(λn)拟合波长为λn的光学***的透射波前,其中,200nm≤λ1≠…≠λm≠λn≤2000nm。
Description
技术领域
本发明涉及一种检测透射波前的方法,具体涉及一种检测任意波长光学***的透射波前的方法。
背景技术
光学***透射波前通常使用激光干涉仪检测,激光干涉仪可以准确检测特定波长光学***(光学***设计波长与干涉仪光源波长一致),根据检测需要,目前有不同类型波长的激光干涉仪,用于检测不同类型的光学***的透射波前。例如,248nm和363nm激光干涉仪用于检测紫外透镜***,405nm激光干涉仪用于检测DVD光学存储和视听设备的透镜,1053nm激光干涉仪用于研究激光熔合、聚变等。
现有技术中,仅有上述几种特定波长的激光干涉仪,因此,其他波段的光学***无法使用激光干涉仪检测,导致激光干涉仪的应用范围较小。
另外,激光干涉仪的研发难度较大,且特殊波长激光干涉仪的造价昂贵,因此,现有的特殊波长的激光干涉仪的种类较少。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而进行的,目的在于提供一种检测任意波长光学***的透射波前的方法。
本发明提供了一种检测任意波长光学***的透射波前的方法,具有这样的特征,包括以下步骤:步骤一,利用R种波长为λ1~λm的激光干涉仪分别对光学***进行检测,分别得到光学***在波长为λ1~λm的Zernike多项式Z1(λ1)、Z2(λ1)、……Zk(λ1),……,以及Z1(λm)、Z2(λm)、……Zk(λm);
步骤二,将步骤一得到的Zernike多项式代入公式:
式中,i=1,2,3,…,k,k≤37,m=1,2,3,…,R,R≥2,2R-3≤XR-1≤2R-2,计算参数A1i、A2i…ARi的值;
步骤三,将计算得到的A1i、A2i…ARi的值代入公式中,计算波长为λn的光学***的Zernike多项式Zk(λn);
步骤四,根据Zk(λn)拟合波长为λn的光学***的透射波前,其中,200nm≤λ1≠…≠λm≠λn≤2000nm。
在本发明提供的检测任意波长光学***的透射波前的方法中,还可以具有这样的特征:其中,300nm≤λ1≠…≠λm≠λn≤1600nm。
在本发明提供的检测任意波长光学***的透射波前的方法中,还可以具有这样的特征:其中,,当R=2时,公式为:
式中,i=1,2,3,…,k,k≤37,m=1或2,1≤X1≤2。
在本发明提供的检测任意波长光学***的透射波前的方法中,还可以具有这样的特征:其中,当R=3时,公式为:
式中,i=1,2,3,…,k,k≤37,m=1或2或3,1≤X1≤2,3≤X2≤4。
在本发明提供的检测任意波长光学***的透射波前的方法中,还可以具有这样的特征:其中,当R=4时,公式为:
式中,i=1,2,3,…,k,k≤37,m=1或2或3或4,1≤X1≤2,3≤X2≤4,5≤X3≤6。
在本发明提供的检测任意波长光学***的透射波前的方法中,还可以具有这样的特征:其中,激光干涉仪为斐索干涉仪或剪切干涉仪。
在本发明提供的检测任意波长光学***的透射波前的方法中,还可以具有这样的特征:其中,Zernike多项式为Fringe Zernike多项式或StandardZernike多项式。
在本发明提供的检测任意波长光学***的透射波前的方法中,还可以具有这样的特征:其中,光学***为单波长***或消色差***。
发明的作用与效果
根据本发明所涉及的检测任意波长光学***的透射波前的方法,因为采用了R种波长为λ1~λm的激光干涉仪对光学***进行检测,得到光学***在波长为λ1以及λ2的激光干涉仪的Zernike多项式Z1(λ1)、Z2(λ1)、……Zk(λ1)以及Z1(λ2)、Z2(λ2)、……Zk(λ2);然后将得到的Zernike多项式代入公式:计算参数A1i、A2i…ARi的值;再根据公式计算任意波长λn的Zernike多项式Zk(λn),根据该Zernike多项式Zk(λn)拟合波长为λn的光学***的透射波前。所以,本发明的检测任意波长光学***的透射波前的方法不仅使得特殊波长的激光干涉仪的检测范围变大,具有广泛适用性,而且当需要检测一些特殊的光学***时,也不需要使用造价昂贵的特殊波长的激光干涉仪进行检测,节约了检测成本。
附图说明
图1是本发明的实施例一中检测任意波长光学***的透射波前的检测装置示意图;
图2是本发明的实施例二中检测任意波长光学***的透射波前的检测装置示意图;以及
图3是本发明的实施例三中检测任意波长光学***的透射波前的检测装置示意图。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,以下结合实施例对本发明的检测任意波长光学***的透射波前的方法作具体阐述。
本发明的检测任意波长光学***的透射波前的方法中使用的激光干涉仪为索菲干涉仪或剪切干涉仪,光学***为单波长***或消色差***。在以下各实施例中,检测任意波长光学***的透射波前的检测装置中激光干涉仪采用的均为索菲干涉仪,检测的光学***均为消色差***。
<实施例一>
图1是本发明的实施例一中检测任意波长光学***的透射波前的检测装置示意图。
如图1所示,检测任意波长光学***的透射波前的检测装置100包括两个激光干涉仪10、标准平面镜11、无穷共轭光学***12以及反射球面镜13,激光干涉仪为索菲干涉仪或剪切干涉仪,光学***为单波长***或消色差***。在本实施例中,两个激光干涉仪10均为索菲干涉仪,无穷共轭光学***12为消色差***,两个激光干涉仪10对无穷共轭光学***12的检测光路以及方法相同,以其中一个为例做详细阐述。
用特定波长激光干涉仪10对无穷共轭光学***12进行检测,激光干涉仪10发出平行光,经过标准平面镜11得到无穷共轭光学***12在特定波长激光干涉仪10的波长下的波前数据,拟合为无穷共轭光学***12在特定波长激光干涉仪10的波长时的Zernike系数。
步骤一,利用波长分别为λ1以及λ2的两种激光干涉仪对光学***进行检测,分别得到光学***在波长为λ1以及λ2的Zernike多项式Z1(λ1)、Z2(λ1)、……Zk(λ1)以及Z1(λ2)、Z2(λ2)、……Zk(λ2)。采用的激光干涉仪为为斐索干涉仪,Zernike多项式为Fringe Zernike多项式或Standard Zernike多项式。在本实施例中,Zernike多项式为Fringe Zernike多项式。
步骤二,将步骤一得到的光学***在波长为λ1以及λ2的Zernike多项式代入公式:
式中,i=1,2,3,…,k,k≤37,m=1或2,1≤X1≤2。
计算参数A1i、A2i的值。
步骤三,将得到的A1i、A2i再次代入上述公式中,计算波长为λn的光学***的Zernike多项式Zk(λn)。其中,200nm≤λ1≠λ2≠λn≤2000nm。在本实施例中,300nm≤λ1≠λ2≠λn≤1600nm。
步骤四,根据步骤三得到的λn的光学***的Zernike多项式Zk(λn)拟合波长为λn的光学***的透射波前。
<实施例二>
图2是本发明的实施例二中检测任意波长光学***的透射波前的检测装置示意图。
如图2所示,检测任意波长光学***的透射波前的检测装置200包括三个激光干涉仪20、标准球面镜21、无穷共轭光学***22以及反射平面镜23。激光干涉仪为索菲干涉仪或剪切干涉仪,光学***为单波长***或消色差***。在本实施例中,三个激光干涉仪20均为索菲干涉仪,无穷共轭光学***22为消色差***,三个激光干涉仪20对无穷共轭光学***22的检测光路以及方法相同,在本实施例中,以其中一个为例做详细阐述。
用特定波长激光干涉仪20对无穷共轭光学***22进行检测,激光干涉仪20发出平行光,经过标准球面镜21得到无穷共轭光学***22在特定波长激光干涉仪20的波长下的波前数据,拟合为无穷共轭光学***22在特定波长激光干涉仪20的波长时的Zernike系数。
步骤一,利用波长分别为λ1、λ2以及λ3的三种激光干涉仪对光学***进行检测,分别得到光学***在波长为λ1、λ2以及λ3的Zernike多项式Z1(λ1)、Z2(λ1)、……Zk(λ1)、Z1(λ2)、Z2(λ2)、……Zk(λ2)以及Z1(λ3)、Z2(λ3)、……Zk(λ3)。采用的激光干涉仪为为斐索干涉仪,Zernike多项式为Fringe Zernike多项式或StandardZernike多项式。在本实施例中,Zernike多项式为Fringe Zernike多项式。
步骤二,将步骤一得到的光学***在波长为λ1、λ2以及λ3的Zernike多项式代入公式:
式中,i=1,2,3,…,k,k≤37,m=1或2或3,1≤X1≤2,3≤X2≤4。
计算参数A1i、A2i以及A3i的值。
步骤三,将得到的A1i、A2i以及A3i再次代入上述公式中,计算波长为λn的光学***的Zernike多项式Zk(λn)。其中,200nm≤λ1≠λ2≠λ3≠λn≤2000nm。在本实施例中,300nm≤λ1≠λ2≠λn≤1600nm。
步骤四,根据步骤三得到的λn的光学***的Zernike多项式Zk(λn)拟合波长为λn的光学***的透射波前。
<实施例三>
图3是本发明的实施例三中检测任意波长光学***的透射波前的检测装置示意图。
如图3所示,检测任意波长光学***的透射波前的检测装置200包括四个激光干涉仪30、标准球面镜31、有限共轭光学***32以及反射球面镜33。激光干涉仪为索菲干涉仪或剪切干涉仪,光学***为单波长***或消色差***。在本实施例中,四个激光干涉仪30均为索菲干涉仪,有限共轭光学***32为消色差***,四个激光干涉仪30对有限共轭光学***32的检测光路以及方法相同,在本实施例中,以其中一个为例做详细阐述。
用特定波长激光干涉仪30对有限共轭光学***32进行检测,激光干涉仪30发出平行光,经过标准球面镜31得到有限共轭光学***32在特定波长激光干涉仪30的波长下的波前数据,拟合为有限共轭光学***32在特定波长激光干涉仪30的波长时的Zernike系数。
步骤一,利用波长分别为λ1、λ2、λ3以及λ4的四种激光干涉仪对光学***进行检测,分别得到光学***在波长为λ1、λ2、λ3以及λ4的Zernike多项式Z1(λ1)、Z2(λ1)、……Zk(λ1)与Z1(λ2)、Z2(λ2)、……Zk(λ2)与Z1(λ3)、Z2(λ3)、……Zk(λ3)以及Z1(λ4)、Z2(λ4)、……Zk(λ4)。采用的激光干涉仪为为斐索干涉仪,Zernike多项式为Fringe Zernike多项式或StandardZernike多项式。在本实施例中,Zernike多项式为Fringe Zernike多项式。
步骤二,将步骤一得到的光学***在波长为λ1、λ2、λ3以及λ4的Zernike多项式代入公式:
式中,i=1,2,3,…,k,k≤37,m=1或2或3或4,1≤X1≤2,3≤X2≤4,5≤X3≤6。
计算参数A1i、A2i、A3i以及A4i的值。
步骤三,将得到的A1i、A2i、A3i以及A4i再次代入上述公式中,计算波长为λn的光学***的Zernike多项式Zk(λn)。其中,200nm≤λ1≠λ2≠λ3≠λ4≠λn≤2000nm。在本实施例中,300nm≤λ1≠λ2≠λ3≠λ4≠λn≤1600nm。
步骤四,根据步骤三得到的λn的光学***的Zernike多项式Zk(λn)拟合波长为λn的光学***的透射波前。
实施例的作用与效果
根据上述实施例中所涉及的检测任意波长光学***的透射波前的方法,根据本发明所涉及的检测任意波长光学***的透射波前的方法,因为采用了R种波长为λ1~λm的激光干涉仪对光学***进行检测,得到光学***在波长为λ1以及λ2的激光干涉仪的Zernike多项式Z1(λ1)、Z2(λ1)、……Zk(λ1)以及Z1(λ2)、Z2(λ2)、……Zk(λ2);然后将得到的Zernike多项式代入公式:计算参数A1i、A2i…ARi的值;再根据公式计算任意波长λn的Zernike多项式Zk(λn),根据该Zernike多项式Zk(λn)拟合波长为λn的光学***的透射波前。所以,本发明的检测任意波长光学***的透射波前的方法不仅使得特殊波长的激光干涉仪的检测范围变大,具有广泛适用性,而且当需要检测一些特殊的光学***时,也不需要使用造价昂贵的特殊波长的激光干涉仪进行检测,节约了检测成本。
另外,上述实施例中还讲述了当激光干涉仪的种数为3或多种的时具体的计算公式,提高了整个检测方法检测光学***的透射波前的精度。
上述实施方式为本发明的优选案例,并不用来限制本发明的保护范围。
Claims (8)
1.一种检测任意波长光学***的透射波前的方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一,利用R种波长为λ1~λm的激光干涉仪分别对光学***进行检测,分别得到所述光学***在波长为λ1~λm的Zernike多项式Z1(λ1)、Z2(λ1)、……Zk(λ1),……,以及Z1(λm)、Z2(λm)、……Zk(λm);
步骤二,将步骤一得到的Zernike多项式代入公式:
式中,i=1,2,3,…,k,k≤37,
m=1,2,3,…,R,R≥2,
2R-3≤XR-1≤2R-2,
计算参数A1i、A2i…ARi的值;
步骤三,将计算得到的A1i、A2i…ARi的值代入所述公式中,计算波长为λn的光学***的Zernike多项式Zk(λn);以及
步骤四,根据Zk(λn)拟合波长为λn的光学***的透射波前,
其中,200nm≤λ1≠…≠λm≠λn≤2000nm。
2.根据权利要求1所述的检测任意波长光学***的透射波前的方法,其特征在于:
其中,300nm≤λ1≠…≠λm≠λn≤1600nm。
3.根据权利要求1所述的检测任意波长光学***的透射波前的方法,其特征在于:
其中,当R=2时,所述公式为:
式中,i=1,2,3,…,k,k≤37,
m=1或2,
1≤X1≤2。
4.根据权利要求1所述的检测任意波长光学***的透射波前的方法,其特征在于:
其中,当R=3时,所述公式为:
式中,i=1,2,3,…,k,k≤37,
m=1或2或3,
1≤X1≤2,3≤X2≤4。
5.根据权利要求1所述的检测任意波长光学***的透射波前的方法,其特征在于:
其中,当R=4时,所述公式为:
式中,i=1,2,3,…,k,k≤37,
m=1或2或3或4,
1≤X1≤2,3≤X2≤4,5≤X3≤6。
6.根据权利要求1所述的检测任意波长光学***的透射波前的方法,其特征在于:
其中,所述激光干涉仪为斐索干涉仪或剪切干涉仪。
7.根据权利要求1所述的检测任意波长光学***的透射波前的方法,其特征在于:
其中,所述Zernike多项式为FringeZernike多项式或StandardZernike多项式。
8.根据权利要求1所述的检测任意波长光学***的透射波前的方法,其特征在于:
其中,所述光学***为单波长***或消色差***。
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
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