CN107399613B - 一种掩膜版搬运装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种掩膜版搬运装置，掩膜版包括基层和设置在基层上的保护层，基层表面开设有镂空图案，保护层的四周延伸至临近基层四周的侧壁，掩膜版搬运装置包括：框架，包括矩形的框体部分；多个夹持机构，设置在框体部分的下方，包括端部具有凹槽的夹持部，至少两组夹持机构分别位于框体部分的两相对边所在侧，且两组夹持机构的凹槽相对设置；以及调节机构，连接框架和夹持机构，用于调节框架和夹持部之间的相对位置关系，以改变两组夹持机构的凹槽之间的间距。本发明通过设计一种专门的掩膜版搬运装置，可以仅仅夹持掩膜版上层的基层，而不会接触到下方的保护层，搬运方便，避免了人手对于掩膜版的污染，提高了作业效率。

Description

一种掩膜版搬运装置

技术领域

本发明涉及显示面板制作技术领域，尤其涉及一种掩膜版搬运装置。

背景技术

平面显示制造业在制作各类产品时，通常是利用曝光工艺将掩膜版上的图案“印刷”到玻璃上，随着产品的逐步多样化，对应的掩膜版(或名：光罩，即Mask)的规格和样式也就越来越多。

掩膜版的主体部分是由石英玻璃制作，图案(Pattern)部分由金属铬膜制作，多数光罩还会在Pattern区外部加装一层保护薄膜(Pellicle)，用来防止图案受损。然而该保护薄膜的边缘距离掩膜版的边缘很近，以G6代LCD Mask为例，Mask尺寸为：945mm*800mm(厚度为10mm)，而保护薄膜尺寸为：935mm*750mm，保护薄膜边框距Mask边缘最大也只有25mm。

掩膜版运送至工厂时是由一个专用的掩膜版储存箱包装好的，上机使用前需要将掩膜版从储存箱中取出，放入一个曝光机专用的掩膜版盒中；与之操作顺序相反地，如果一种产品近期不生产或是不会再生产，其对应的掩膜版也会从掩膜版盒取出放回储存箱中封存，因此，掩膜版的搬运在工厂是较为频繁的工作。

目前掩膜版的搬运均为人工搬运，由两人分别在掩膜版两侧，分别用双手托起掩膜版，然后两人一起平移来完成掩膜版的搬运转移。这种搬运方式存在诸多不足之处：一方面，由于保护薄膜边框距掩膜版边缘尺寸非常小，且搬运人员手指又不可触碰保护薄膜，因此只可使用手指的第一个指节来托起掩膜版，搬运速度缓慢，导致作业效率低下，且极易滑落，安全风险高；另一方面，人手直接与掩膜版接触，容易给掩膜版表面带来灰尘等颗粒，无法使用；再一方面，同样因为人手直接接触掩膜版，容易在掩膜版表面产生静电，导致灰尘等吸附在掩膜版上。

发明内容

鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了一种搬运方便、作业效率高、安全风险低的掩膜版搬运装置，并且掩膜版表面不易吸附灰尘等颗粒物。

为了实现上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：

一种掩膜版搬运装置，所述掩膜版包括基层和设置在所述基层上的保护层，所述基层表面开设有镂空图案，所述保护层的四周延伸至临近所述基层四周的侧壁，所述掩膜版搬运装置包括：

框架，包括矩形的框体部分；

多个夹持机构，设置在所述框体部分的下方，包括端部具有凹槽的夹持部，至少两组所述夹持机构分别位于所述框体部分的两相对边所在侧，且所述两组夹持机构的所述凹槽相对设置；以及

调节机构，连接所述框架和所述夹持机构，用于调节所述框架和所述夹持部之间的相对位置关系，以改变所述两组夹持机构的所述凹槽之间的间距。

作为其中一种实施方式，所述框体部分的至少两相对的边上覆盖有防滑的阻尼面。

作为其中一种实施方式，所述框架还包括分别自所述框体部分的两相对边朝底部垂直延伸的两组延伸臂，每组所述延伸臂至少包括两条所述延伸臂，每个所述延伸臂上连接有一个所述夹持机构和所述调节机构。

作为其中一种实施方式，所述调节机构为第一紧固件，所述夹持机构还包括连接臂，所述夹持部连接在所述连接臂一端，所述凹槽的深度小于所述保护层边缘到所述基层边缘的距离，所述延伸臂上开设有第一通孔，所述第一紧固件穿过所述第一通孔后将所述连接臂固定在所述延伸臂上。

作为其中一种实施方式，所述连接臂的截面为方形，所述延伸臂上还开设有方形的安装槽，所述连接臂穿设于所述安装槽内。

作为其中一种实施方式，所述调节机构还包括第一弹性压缩件，所述第一弹性压缩件套设有所述连接臂上，两端分别弹性推压所述夹持部和所述延伸臂。

或者，所述夹持机构还包括连接臂，所述调节机构包括两个平行且相对设置的支架、两根第一导杆和锁紧件，所述框体部分的两相对侧各设有一个所述支架，所述夹持机构通过所述连接臂固定在对应的所述支架的内侧；所述支架的两端、所述框架的两端分别开设有引导孔，所述第一导杆穿设于两端的所述支架的引导孔和中间的所述框架的引导孔内，所述锁紧件固定在所述第一导杆的两端。

作为其中一种实施方式，所述调节机构还包括设于所述支架和所述框架之间的第二弹性压缩件，所述第二弹性压缩件套设于所述第一导杆上，且两端分别弹性抵接所述支架和所述框架。

作为其中一种实施方式，所述调节机构还包括第二导杆，所述第二导杆一端固定在所述框架上，所述第二导杆的另一端活动穿设于所述支架上，且所述第二导杆相对于所述第一导杆更远离所述框体部分的顶面。

作为其中一种实施方式，所述调节机构还包括第二紧固件，所述连接臂的截面为方形，所述延伸臂上还开设有方形的安装槽，所述连接臂穿设于所述安装槽内；所述第二紧固件依次穿过所述支架、所述安装槽后与所述连接臂相对固定。

本发明通过设计一种专门的掩膜版搬运装置，可以仅仅夹持掩膜版上层的基层，而不会接触到下方的保护层，搬运方便，避免了人手对于掩膜版的污染，提高了作业效率。

附图说明

图1为本发明实施例1的掩膜版搬运装置的结构示意图；

图2为本发明实施例1的掩膜版搬运装置的第一使用状态示意图；

图3为本发明实施例1的掩膜版搬运装置的第二使用状态示意图；

图4为本发明实施例1的另一种掩膜版搬运装置的结构示意图；

图5为本发明实施例2的掩膜版搬运装置的结构示意图；

图6为本发明实施例2的掩膜版搬运装置的使用状态示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

通常，掩膜版为多层复合结构，包括开设有镂空图案的基层和基层底部的一层保护层，其中的镂空图案用于经过光照后在下方的基板上形成与之对应的图案，保护层为保护膜，用于防止基层上的镂空图案受损，其中，基层的主体部分由石英玻璃制作，镂空图案部分由金属铬膜制作。本发明的掩膜版搬运装置包括：框架、夹持机构和调节机构，框架具有矩形的框体部分，夹持机构为多个，通过各种连接方式直接或间接地连接在框体部分的下方，包括端部具有凹槽的夹持部，至少两组夹持机构分别位于框体部分的两相对边所在侧，且两组夹持机构的凹槽相对设置，以供掩膜版的基层***而被夹持。调节机构用于连接框架和夹持机构，可通过该调节机构调节框架和夹持部之间的相对位置关系，以改变两组夹持机构的凹槽之间的间距，从而实现夹持部的夹紧和松开动作。下面结合具体的实施方式和附图对本发明做进一步描述。

实施例1

参阅图1，掩膜版包括开设有镂空图案的基层1和基层1底部的一层保护层2，保护层2的四周延伸至临近基层1四周的侧壁。本实施例的掩膜版搬运装置包括：框架10、多个夹持机构20和调节机构(图未标)，框架10包括矩形的框体部分11和分别自框体部分11的两相对边朝底部垂直延伸的两组延伸臂12，这里，优选延伸臂12为4个，自框体部分11的每个角部垂直于框体部分11延伸形成，两条延伸臂12被划分为一组，两组延伸臂12分别位于框架10的左右两侧。夹持机构20设置在框体部分11的下方，包括端部具有凹槽22a的夹持部22，至少两组夹持机构20分别位于框体部分11的两相对边所在侧，且两组夹持机构20的凹槽22a相对设置，只要合理设置凹槽22a的深度，使凹槽22a的深度小于保护层2边缘到基层1边缘的距离，即可保证夹持机构20不会接触保护层2。

本实施例的调节机构为第一紧固件31，将框架10和夹持机构20连接在一起，用于调节框架10和夹持部22之间的相对位置关系，以改变两组夹持机构20的凹槽22a之间的间距。每个延伸臂12的末端连接有一个夹持机构20，夹持机构20通过第一紧固件31固定在延伸臂12的末端。在框体部分11的至少两相对的边上覆盖有防滑的阻尼面100，在利用掩膜版搬运装置进行搬运时，阻尼面100可以作为把手部，供工人把持，可以提高搬运的安全系数。优选框架10的材质为耐形变的塑性PVC(聚氯乙烯)，夹持部材质可选用防滑塑料，手握把手部可选用防滑的塑胶。

夹持机构20包括连接臂21和夹持部22，夹持部22连接在连接臂21一端，连接臂21的另一端通过第一紧固件31固定在延伸臂12的末端。具体地，延伸臂12上开设有第一通孔，第一紧固件31穿过该第一通孔后将连接臂21固定在延伸臂12上。结合图2和图3所示，这里，第一紧固件31与连接臂21的固定方式具体是：连接臂21上开设有贯穿的第二通孔210，该第二通孔210为轴贯穿连接臂21的周向的长条形孔，第一紧固件31为螺纹紧固件。第一紧固件31依次穿过第一通孔、第二通孔210后与螺母配合，将连接臂21夹紧在延伸臂12上。优选地，连接臂21的截面为方形，延伸臂12上还开设有方形的安装槽，连接臂21穿设于安装槽内，第二通孔210垂直于该安装槽并与其连通，方形的安装槽与方形连接臂21的配合，可以防止连接臂21转动，保证快速、准确的夹持动作。可以理解的是，第一紧固件31与连接臂21的固定方式并不限于此，在其他实施方式中，也可以利用卡箍卡持住连接臂21而不需在连接臂21上开设第二通孔210，也可以起到同样的效果。另外，夹持机构20的连接臂21或者框架10的延伸臂12可以接地，可以很好地防止掩膜版搬运装置中意外产生静电，避免灰尘等颗粒物吸附到掩膜版上。

由于第二通孔210为轴贯穿连接臂21的周向的长条形孔，连接臂21可相对于第一紧固件31滑动，从而使得连接臂21伸入框架10的长度可调，位于框架10左右两个不同侧的夹持机构20的夹持部22之间的间距可调。如图2所示，为掩膜版搬运完成后，朝两侧调松夹持部22的状态示意图，此时，只需拧松第一紧固件31，朝外拉连接臂21即可松开对基层1的夹持。如图3所示，为掩膜版搬运前，朝内侧调紧夹持部22的状态示意图，此时，只需朝内侧推动连接臂21，使其凹槽22a抵持在基层1的***，然后拧紧第一紧固件31，即可实现对基层1的夹持。

如图4所示，更进一步地，每个调节机构还具有第一弹性压缩件32，第一弹性压缩件32套设有连接臂21上，两端分别弹性推压夹持部22和延伸臂12，第一弹性压缩件32可以是例如弹簧等能够产生弹性形变的结构。当第一弹性压缩件32装入后，在夹持掩膜版时，只需朝外拉连接臂21，放入掩膜版，然后松开连接臂21，连接臂21即可在第一弹性压缩件32的推力下抵接在掩膜版的侧壁，最后只需拧紧第一紧固件31即可完成夹持动作，通过框体部分11抬起掩膜版。

实施例2

如图5和图6所示，本实施例的夹持机构20同样具有连接臂21，但调节机构具有两个平行且相对设置的支架32、两根第一导杆33和锁紧件34，框体部分11的两相对侧各设有一个支架32，该支架32大致呈U型，U型结构的两端用于固定夹持机构20，夹持机构20通过连接臂21固定在对应的支架32的内侧。

并且，支架32的两端、框架10的两端分别开设有引导孔，框体部分11的两端各穿设有一根第一导杆33，第一导杆33同时穿设于两端的支架32的引导孔和中间的框架10的引导孔内，然后锁紧件34固定在第一导杆33的两端。

优选锁紧件34为螺母，第一导杆33两端具有外螺纹，通过调节锁紧件34在第一导杆33上的位置，可以调节支架32与框架10之间的距离，即实现了两个支架32上的夹持机构20的凹槽22a的间距。

支架32的两端、框架10的两端的引导孔的孔径均大于第一导杆33的直径，可以使得只需要调节一侧支架32上的锁紧件34即可调节两侧夹持机构20的凹槽22a的间距，无需同时调节两侧的锁紧件34，可以提高作业效率。

本实施例的框架10同样可以具有框体部分11和延伸臂12，框架10上的引导孔开设在框架10的两端的延伸臂12上，支架32两端的引导孔可以开设在U型结构两端的弯折臂上。

另外，每个调节机构内还可设置有第二弹性压缩件35和第二导杆36，第二弹性压缩件35具体安装在支架32和框架10之间，套设于第一导杆33上，且两端分别弹性抵接支架32和框架10，当锁紧件34拧松后，夹持机构20自动弹开而松开对掩膜版的夹持。第二导杆36的一端固定在框架10上，其另一端活动穿设于支架32上，且第二导杆36相对于第一导杆33更远离框体部分11的顶面。通过这样的设置，可以进一步保证支架32滑动的平稳性，避免支架32在滑动过程中出现晃动，也间接保证了其上的夹持机构20的运动一致性。

在安装有夹持机构20的部位，调节机构还具有第二紧固件31＇，连接臂21的截面为方形，延伸臂12上还开设有方形的安装槽，连接臂21穿设于安装槽内；第二紧固件31＇依次穿过支架32、安装槽后与连接臂21相对固定，第二紧固件31＇的结构和功能与实施例1的第一紧固件31大致相同，方形的安装槽与方形连接臂21的配合，可以防止连接臂21转动，保证快速、准确的夹持动作。

综上所述，本发明通过设计一种专门的掩膜版搬运装置，可以仅仅夹持掩膜版上层的基层，而不会接触到下方的保护层，搬运方便，避免了人手对于掩膜版的污染，提高了作业效率。

以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (4)

1.一种掩膜版搬运装置，所述掩膜版包括基层（1）和设置在所述基层（1）上的保护层（2），所述基层（1）表面开设有镂空图案，所述保护层（2）的四周延伸至临近所述基层（1）四周的侧壁，其特征在于，所述掩膜版搬运装置包括：

框架（10），包括矩形的框体部分（11）和两组延伸臂（12）；

多个夹持机构（20），设置在所述框体部分（11）的下方，包括连接臂（21）和端部具有凹槽（22a）的夹持部（22），两组所述夹持机构（20）分别位于所述框体部分（11）的两相对边所在侧，且所述两组夹持机构（20）的所述凹槽（22a）相对设置；以及

调节机构，连接所述框架（10）和所述夹持机构（20），用于调节所述框架（10）和所述夹持部（22）之间的相对位置关系，以改变所述两组夹持机构（20）的所述凹槽（22a）之间的间距；

所述调节机构包括两个平行且相对设置的支架（32）、两根第一导杆（33）和锁紧件（34），所述框体部分（11）的两相对侧各设有一个所述支架（32），所述夹持机构（20）通过所述连接臂（21）固定在对应的所述支架（32）的内侧；所述支架（32）的两端、所述框架（10）的两端分别开设有引导孔，所述第一导杆（33）穿设于两端的所述支架（32）的引导孔和中间的所述框架（10）的引导孔内，所述锁紧件（34）固定在所述第一导杆（33）的两端；

两组所述延伸臂（12）分别自所述框体部分（11）的两相对边朝底部垂直延伸，每组所述延伸臂（12）包括两条所述延伸臂（12），每个所述延伸臂（12）上连接有一个所述夹持机构（20）和所述调节机构。

2.根据权利要求1所述的掩膜版搬运装置，其特征在于，所述框体部分（11）的至少两相对的边上覆盖有防滑的阻尼面（100）。

3.根据权利要求1或2所述的掩膜版搬运装置，其特征在于，所述调节机构还包括设于所述支架（32）和所述框架（10）之间的弹性压缩件（35），所述弹性压缩件（35）套设于所述第一导杆（33）上，且两端分别弹性抵接所述支架（32）和所述框架（10）。

4.根据权利要求1或2所述的掩膜版搬运装置，其特征在于，所述调节机构还包括第二导杆（36），所述第二导杆（36）一端固定在所述框架（10）上，所述第二导杆（36）的另一端活动穿设于所述支架（32）上，且所述第二导杆（36）相对于所述第一导杆（33）更远离所述框体部分（11）的顶面。