CN107367976B - 一种工艺顺序控制方法和装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种工艺顺序控制方法和装置。所述方法包括：对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别，比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别，若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别，则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用，若是，则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用。本发明实现了对急需处理的第二工艺的插队处理，克服了常用方法必须等到当前处理的第一工艺结束后，才能使用被所述第一工艺当前使用的第一加工设备对急需处理的第二工艺进行处理的缺陷，保证了急需处理的第二工艺的处理进度。

Description

一种工艺顺序控制方法和装置

技术领域

本发明涉及工艺控制技术领域，特别是涉及一种工艺顺序控制方法和一种工艺顺序控制装置。

背景技术

对于应用于生产线的生产线设备，一般是由设备控制***和硬件设备共同进行控制操作，设备控制***接收到操作人员的指令后依据指令内容控制硬件设备完成工艺处理，得到产品。在实际生产中，待处理工艺的数目为多个时，生产线设备会根据设备控制***接收到的工艺顺序完成多个工艺的处理。

目前，生产线设备通常按照接收的工艺顺序依次对多个工艺进行处理。在使用生产线设备进行某些工艺实验时，如果处理该实验工艺所需的硬件设备未被生产线设备当前处理的生产工艺使用，那么可以同时对包括实验工艺在内的多个工艺进行处理；如果处理该实验工艺所需的硬件设备正被生产线设备当前处理的生产工艺使用，那么只有待当前处理的生产工艺结束后才能对实验工艺进行处理。

但是，实际生产中的工艺处理时间往往需要几个小时或更长时间，针对急需处理的实验工艺，若处理实验工艺所需的硬件设备正被生产线设备当前处理的生产工艺使用，则采用常用的工艺处理方法需要耗费较多的等待时间，造成实验进度的延误以及实验效率的降低。

发明内容

鉴于上述问题，提出了本发明以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的工艺顺序控制方法和相应的工艺顺序控制装置。

依据本发明的一个方面，提供了一种工艺顺序控制方法，所述方法包括：

对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别；

比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别；

若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别，则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用；

若是，则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用。

可选地，若当前处理的第一工艺未设置有执行属性的属性级别，则在所述对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别之后，所述方法还包括：

直接判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用；

若是，则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用。

可选地，所述从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用包括：

暂停向所述第二工艺所需的目标加工设备传输属于所述第一工艺的新增物料；

待所述目标加工设备完成对属于所述第一工艺的当前物料的处理后，释放所述目标加工设备供所述第二工艺使用。

可选地，若从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用后，所述第一加工设备有剩余，则所述方法还包括：

继续使用剩余的第一加工设备处理所述第一工艺。

可选地，若释放的目标加工设备为所述第二工艺所需的一部分，则在所述从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用同时，所述方法还包括：

发放所述第二工艺所需的其他目标加工设备供所述第二工艺使用。

可选地，所述方法还包括：

待所述第二工艺处理结束后，若所述第一工艺尚未处理结束，则归还释放的目标加工设备给所述第一工艺继续使用。

依据本发明的另一个方面，还提供了一种工艺顺序控制装置，所述装置包括：

属性级别设置模块，用于对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别；

属性级别比较模块，用于比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别；

第二加工设备判断模块，用于若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别，则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用；

目标加工设备释放模块，用于若是，则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用。

可选地，若当前处理的第一工艺未设置有执行属性的属性级别，则所述装置还包括：

第二加工设备直接判断模块，用于在所述对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别之后，直接判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用；

目标加工设备释开模块，用于若是，则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用。

可选地，所述目标加工设备释放模块包括：

物料传输暂停子模块，用于暂停向所述第二工艺所需的目标加工设备传输属于所述第一工艺的新增物料；

目标加工设备解释子模块，用于待所述目标加工设备完成对属于所述第一工艺的当前物料的处理后，释放所述目标加工设备供所述第二工艺使用。

可选地，所述装置还包括：

第一工艺继续处理模块，用于若从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用后，所述第一加工设备有剩余，则继续使用剩余的第一加工设备处理所述第一工艺。

可选地，所述装置还包括：

其他目标加工设备发放模块，用于若释放的目标加工设备为所述第二工艺所需的一部分，则在所述从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用同时，发放所述第二工艺所需的其他目标加工设备供所述第二工艺使用。

可选地，所述装置还包括：

目标加工设备归还模块，用于待所述第二工艺处理结束后，若所述第一工艺尚未处理结束，则归还释放的目标加工设备给所述第一工艺继续使用。

与现有技术相比，本发明实施例对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别，比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别，若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别，则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用，若是，则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用，实现了对急需处理的第二工艺的插队处理，克服了常用方法必须等到当前处理的第一工艺结束后，才能使用被所述第一工艺当前使用的第一加工设备对急需处理的第二工艺进行处理的缺陷，缩短了处理所述第二工艺的等待时间，保证了急需处理的第二工艺的处理进度。

另外，当释放被所述第一工艺当前使用的第一加工设备给所述第二工艺使用后，处理所述第一工艺的第一加工设备还有剩余时，可以继续使用剩余的第一加工设备继续处理所述第一工艺，实现了第一工艺和第二工艺的并行处理。因此，相对传统的工艺顺序控制方法，本发明实施例的方案在插队处理第二工艺的同时保证了第一工艺的处理进度，提高了实验效率。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本发明的具体实施方式。

附图说明

通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本发明的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：

图1示出了根据本发明实施例1的一种工艺顺序控制方法流程图；

图2示出了根据本发明实施例2的一种工艺顺序控制方法流程图；

图3示出了本发明实施例的一个示例的应用于硅片刻蚀机的结构示意图；

图4示出了本发明实施例的一个示例的应用于硅片刻蚀机的工艺顺序控制方法流程图；

图5示出了根据本发明实施例1的一种工艺顺序控制装置结构框图；

图6示出了根据本发明实施例2的一种工艺顺序控制装置结构框图。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

参照图1，示出了根据本发明实施例1的一种工艺顺序控制方法流程图，所述方法具体可以包括：

步骤101、对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别。

本发明实施例可以应用于生产线，但不限制于生产线。

生产线可以包括一个或多个加工设备，每个工艺可以使用生产线中的一个或多个加工设备进行工艺处理。本实施例将生产线当前处理的生产工艺成为第一工艺，将急需使用生产线中的第二加工设备插队处理的实验工艺成为第二工艺。

执行属性可以为预置的工艺优先级这一属性，属性级别可以为优先级别，具有较高优先级的工艺可以先于具有较低优先级的工艺处理，可以依照优先级别的高低顺序完成对多个工艺的加工处理。在具体实现中，可以预先对不同类型的工艺的优先级别进行统一设置，使同一类型的工艺具有相同的优先级别；也可以分别对多个工艺的优先级别进行设置。

向生产线添加工艺时，可以根据添加工艺是否急需处理，对添加工艺设置相应的属性级别。当添加工艺为急需处理的工艺时，可对该工艺设置较高的属性级别，以使该工艺通过插队方式尽快处理。对于添加至生产线的首个工艺，由于生产线当前处于闲置状态，因此无需对其进行属性级别设置也可被立即加工。

例如，若生产线安装有3个加工设备，在向生产线中添加工艺时设置每个工艺的优先级别。所述生产线按顺序添加了五个工艺，每个工艺均需使用3个加工设备，当前处理的工艺为工艺1，现预插队处理一实验工艺4，可以设置该实验工艺4相对于其它五个工艺具有最高优先级别，以实现该实验工艺4的优先处理。

本实施例中的第二工艺为非首个工艺。针对预插队处理的第二工艺，可以预先编辑第二工艺具有较高的优先级别，以使所述第二工艺可以被优先处理。

步骤102、比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别。

完成对第二工艺的执行属性的属性级别设置以后，需要对生产线当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的预设执行属性的属性级别进行比较，根据属性级别比较结果，判断是否可以对第二工艺进行优选处理。

实际中，当生产线当前处理的工艺为首个工艺时，由于首个工艺未设置有执行属性的属性信息，因此无需执行比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别之一步骤，在对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别之后，直接进行下一步，判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用，若是，则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用。

步骤103、若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别，则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用。

当判定第二工艺的第二属性级别高于第一工艺的第一属性级别后，可以通过比较当前处理第一工艺的第一加工设备与处理第二工艺所需的第二加工设备的关系，判断处理预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用。

具体地，若当前处理第一工艺的第一加工设备部分或全部包含处理第二工艺所需的第二加工设备，则判定处理所述第二工艺的第二加工设备正被当前处理的第一工艺使用；若当前处理第一工艺的第一加工设备不包括处理第二工艺所需的第二加工设备，则判定处理第二工艺的第二加工设备未被当前处理的第一工艺使用。

在具体实现中，可以预先设置加工各个工艺所需的加工设备。例如，可以对生产线中的各个加工设备进行编号，在对某个工艺的传输路径进行编写时，可以通过选择加工设备的编号的方式选定处理所述工艺所需的加工设备。

步骤104、若是，则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用。

目标加工设备为处理第二工艺所需的、同时被第一工艺当前使用的部分或全部第一加工设备。

比较所述生产线当前处理的第一工艺的优先级别和预插队处理的第二工艺的优先级别，判断所述第二工艺的优先级别高于所述第一工艺的优先级别后，从第一加工设备中释放第二工艺所需的目标加工设备给第二工艺使用。

具体地，若全部第一加工设备均属于第二加工设备，则释放全部第一加工设备给第二工艺使用；若部分第一加工设备属于第二加工设备，部分第一加工设备不属于第二加工设备，则释放部分第一交工设备给第二工艺使用。

依据本发明实施例，对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别，比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别，若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别，则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用，若是，则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用，实现了对急需处理的第二工艺的插队处理，克服了常用方法必须等到当前处理的第一工艺结束后，才能使用被所述第一工艺当前使用的第一加工设备对急需处理的第二工艺进行处理的缺陷，缩短了处理所述第二工艺的等待时间，保证了急需处理的第二工艺的处理进度。

参照图2，示出了根据本发明实施例2的一种工艺顺序控制方法流程图，所述方法具体可以包括：

步骤201、对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别。

步骤202、比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别。

步骤203、若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别，则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用。

步骤204、若预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备被当前处理的第一工艺使用，则暂停向所述第二工艺所需的目标加工设备传输属于所述第一工艺的新增物料。

第二工艺所需的目标加工设备可以包括部分或全部的第一加工设备。在判定预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备被当前处理的第一工艺使用后，停止向第二工艺所需的部分或全部第一加工设备传输第一工艺的新增物料。

具体地，若第二工艺所需的目标加工设备包括部分第一加工设备，则暂停处理部分第一加工设备，释放部分第一加工设备给第二工艺使用；若第二工艺所需的目标加工设备包括全部第一加工设备，则暂停处理全部第一加工设备，释放全部第一加工设备给第二工艺使用。

步骤205、待所述目标加工设备完成对属于所述第一工艺的当前物料的处理后，释放所述目标加工设备供所述第二工艺使用。

当前物料为设备内部的现有物料，第一工艺的当前物料为第一加工设备内部的现有物料。

暂停向第二工艺所需的目标加工设备传输属于第一工艺的新增物料，目标加工设备继续处理内部的属于第一工艺的现有物料，当完成对内部现有物料的处理后，释放目标加工设备供第二工艺使用。

优选地，若第一加工设备释放第二工艺所需的目标加工设备给第二工艺使用后，第一加工设备有剩余，则所述方法还包括：

继续使用剩余的第一加工设备处理第一工艺。

本发明优选实施例中，当第一工艺使用的第一加工设备部分属于第二工艺所需的第二加工设备，部分不属于第二加工设备时，可以在释放目标加工设备供第二工艺使用后，发放不属于第二加工设备的剩余的第一加工设备继续处理第一工艺。

优选地，若释放的目标加工设备为第二工艺所需的一部分，则在从第一加工设备中释放第二工艺所需的目标加工设备给第二工艺使用同时，所述方法还包括：

发放第二工艺所需的其他目标加工设备供第二工艺使用。

本发明优选实施例中，当释放的目标加工设备仅为第二工艺所需的第二加工设备的一部分时，判断是否存在第二工艺所需的其他目标加工设备处于空闲状态，若存在，则在从第一加工设备中释放目标加工设备给第二工艺使用同时，发放所需的其他目标加工设备给第二工艺使用。

例如，第二工艺所需的第二加工设备的数目为4台，其中1台被所述第一工艺使用，在释放被第一工艺使用的该台加工设备给所述第二工艺使用同时，判第二工艺所需的其他3台加工设备是否处于空闲状态，若存在，则发放第二工艺所需的其他3台加工设备给所述第二工艺使用；若不存在，则继续等待，当所需的其他3台加工设备依次或同时处于空闲状态时，依次发放或同时发放第二工艺所需的其他3台加工设备给所述第二工艺使用。

优选地，待所述第二工艺处理结束后，若所述第一工艺尚未处理结束，则归还释放的目标加工设备给所述第一工艺继续使用。

依据本发明实施例，对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别，比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别，若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别，则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用，若是，则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用，实现了对急需处理的第二工艺的插队处理，克服了常用方法必须等到当前处理的第一工艺结束后，才能使用被所述第一工艺当前使用的第一加工设备对急需处理的第二工艺进行处理的缺陷，缩短了处理所述第二工艺的等待时间，保证了急需处理的第二工艺的处理进度。

另外，当释放被所述第一工艺当前使用的第一加工设备给所述第二工艺使用后，处理所述第一工艺的第一加工设备还有剩余时，可以继续使用剩余的第一加工设备继续处理所述第一工艺，实现了第一工艺和第二工艺的并行处理。因此，相对传统的工艺顺序控制方法，本发明实施例的方案在插队处理第二工艺的同时保证了第一工艺的处理进度，提高了实验效率。

为使本领域技术人员更清楚地理解本发明，下面对列举的示例中的应用于硅片刻蚀机的工艺顺序控制方法进行详细的说明。

示例1

参照图3，示出了本发明实施例的一个示例的应用于硅片刻蚀机的结构示意图。由图3可知，所述硅片刻蚀机包括多个加工设备，主要包括：

3个硅片装在容器(Load Port)：每个硅片装在容器包括多个容器槽，每个容器槽可以装载一片硅片；

1个大气机械手(ATM Robot)：负责从Load Port和Load Lock之前传送硅片的装置；

2个硅片缓存腔室(Load Lock)：负责缓存从Load Port传送的硅片的装置，其中2个Load Lock为并行装置，可以同时对其内置的硅片进行缓存；

1个真空机械手(VAC Robt)：负责从Load Lock和Process Module之前传送硅片的装置；

4个硅片加工腔室(Process Module)；负责对硅片进行加工处理的加工设备，其中，4个Process Module为并行设备，可以同时对其内置的硅片进行处理。

本示例中，将装载硅片的晶圆盒(Foup)中的硅片在刻蚀机中根据设定路径进行传输并完成硅片刻蚀的过程定义为Job。对Job设置一hotLot属性，并且设置该hotLot属性具有True和False两个属性级别，若某一Job的hotLot属性的级别为True，则表示该Job的优先级较高，需要马上处理。

参考图4，示出了本发明实施例的一个示例的应用于硅片刻蚀机的工艺顺序控制方法流程图。图4所示的方法应用于图3所示的硅片刻蚀机，从图4可知，所述工艺顺序控制方法可以包括以下步骤：

步骤S1、预插队处理一Job时，将该Job的hotLot属性的属性级别设置为True。

将预插队处理的Job的属性级别设置为True，表示该预插队处理的Job具有较高的优先级，需要立即处理。若生产线处于空闲状态，则开始对预插队处理的Job进行处理；否则执行以下步骤。

步骤S2，比较预插队处理的Job的hotLot属性的属性级别和当前处理的Job的hotLot属性的属性级别，判定预插队处理的Job的属性级别(True)高于当前处理的Job的属性级别(False)。

实际中，若当前处理的Job的hotLot属性的属性级别也为True，则预插队处理的Job与当前处理的Job按照智能(Smart)模式并行处理，在完成对当前处理的Job后开始对预插队处理的Job进行处理，按照各个Job的接收顺序依次进行处理。

现以本示例的正在使用硅片刻蚀机处理的Job1和预插队处理的Job2为例进行说明，步骤S2中Smart模式的实现机制可以为：

按Job接收顺序分别将两个Job命名为Job1和Job2，每个Job可应用1个或多个PM进行工艺；

Job1为当前处理的Job，若处理Job2所需要用到的PM未被Job1占用，则Job2开始处理；

若处理Job2所需的PM部分被Job1占用，部分未被占用，则刻蚀机释放未被Job1使用的处理Job2所需的PM给Job2使用，Job2开始处理，Job1继续处理；待Job1结束后，判断Job2是否结束，若Job2未结束处理，则释放被Job1使用的Job2所需的PM给Job2使用；

若处理Job2所需的PM全部被Job1占用，则Job2等待处理，待Job1处理结束后，释放PM给Job2使用，Job2开始处理。

步骤S3，判断处理预插队处理的Job所需的第二加工设备是否被当前处理的Job使用，若否，则立即使用所需的第二加工设备处理预插队处理的Job；若是，则执行步骤S4。

步骤S4，判定处理预插队处理的Job所需的第二加工设备正被当前处理的Job使用后，按照相关的执行方法将预插队处理的Job插队到当前处理的Job之前进行处理。

其中步骤S4所述的相关的执行方法可以包括：

如果，判定处理预插队处理的Job所需的PM被全部占用，需要进一步判断当前处理的Job在释放PM后是否存在剩余的PM；

若当前处理的Job在释放PM后不存在剩余的PM，则暂停处理全部当前处理的Job，开始处理预插队处理的Job，待预插队处理的Job处理结束后，归还当前处理的Job释放的PM给当前处理的Job继续使用；

若当前处理的Job在释放PM后存在剩余的PM，则暂停处理部分当前处理的Job，如果刻蚀机的当前PM中有硅片(wafer)正在进行工艺处理，则在工艺完成并从PM中取出刻蚀后的硅片后，不再往PM里放置属于当前处理的Job的硅片，将刚工艺结束的wafer送回LoadPort，并不再从LoadPort中调取属于当前处理的Job的硅片，释放当前处理的Job使用的PM给预插队处理的Job使用，同时继续使用剩余的PM继续处理当前处理的Job，若预插队处理的Job早于当前处理的Job结束，则将当前处理的Job释放的PM归还给当前处理的Job继续使用，通过重新计算当前处理的Job的wafer传输路径，使当前处理的Job继续使用释放的PM进行工艺处理。

如果，判定预插队处理的Job所需的PM被部分占用，则需要发放其他所需的PM给预插队处理的Job使用，同时进一步判断当前处理的Job在释放PM后是否存在剩余的PM；

若判定当前处理的Job在释放PM后不存在剩余的PM，则暂停处理全部当前处理的Job，释放当前处理的Job使用的全部PM给预插队处理的Job使用，待预插队处理的Job处理结束后，归还当前处理的Job释放的PM给当前处理的Job继续使用；

若判定当前处理的Job在释放PM后存在剩余的PM，则暂停处理部分当前处理的Job，释放当前处理的Job使用的部分PM给预插队处理的Job使用，当前处理的Job使用剩余的PM继续进行处理。若预插队处理的Job早于当前处理的Job结束，则将当前处理的Job释放的PM归还给当前处理的Job继续使用。

基于上述方法实施例的说明，本发明还提供了相应的工艺顺序控制装置实施例，来实现上述方法实施例所述的内容。

参照图5，示出了根据本发明实施例1的一种工艺顺序控制装置结构框图，所述装置可以包括：

属性级别设置模块301，用于对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别。

属性级别比较模块302，用于比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别。

第二加工设备判断模块303，用于若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别，则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用。

目标加工设备释放模块304，用于若是，则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用。

本发明实施例中，优选地，若当前处理的第一工艺未设置有执行属性的属性级别，则所述装置还包括：

第二加工设备直接判断模块，用于在所述对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别之后，直接判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用；

目标加工设备释开模块，用于若是，则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用。

依据本发明实施例，对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别，比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别，若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别，则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用，若是，则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用，实现了对急需处理的第二工艺的插队处理，克服了常用方法必须等到当前处理的第一工艺结束后，才能使用被所述第一工艺当前使用的第一加工设备对急需处理的第二工艺进行处理的缺陷，缩短了处理所述第二工艺的等待时间，保证了急需处理的第二工艺的处理进度。

参照图6，示出了根据本发明实施例2的一种工艺顺序控制装置结构框图，所述装置可以包括：

属性级别设置模块401，用于对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别。

属性级别比较模块402，用于比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别。

第二加工设备判断模块403，用于若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别，则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用。

目标加工设备释放模块404，用于若是，则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用。

所述目标加工设备释放模块404包括：

物料传输暂停子模块4041，用于暂停向所述第二工艺所需的目标加工设备传输属于所述第一工艺的新增物料；

目标加工设备解释子模块4042，用于待所述目标加工设备完成对属于所述第一工艺的当前物料的处理后，释放所述目标加工设备供所述第二工艺使用。

本发明实施例中，优选地，所述装置还包括：

第一工艺继续处理模块，用于若从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用后，所述第一加工设备有剩余，则继续使用剩余的第一加工设备处理所述第一工艺。

本发明实施例中，优选地，所述装置还包括：

其他目标加工设备发放模块，用于若释放的目标加工设备为所述第二工艺所需的一部分，则在所述从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用同时，发放所述第二工艺所需的其他目标加工设备供所述第二工艺使用。

本发明实施例中，优选地，所述装置还包括：

目标加工设备归还模块，用于待所述第二工艺处理结束后，若所述第一工艺尚未处理结束，则归还释放的目标加工设备给所述第一工艺继续使用。

依据本发明实施例，对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别，比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别，若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别，则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用，若是，则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用，实现了对急需处理的第二工艺的插队处理，克服了常用方法必须等到当前处理的第一工艺结束后，才能使用被所述第一工艺当前使用的第一加工设备对急需处理的第二工艺进行处理的缺陷，缩短了处理所述第二工艺的等待时间，保证了急需处理的第二工艺的处理进度。

另外，当释放被所述第一工艺当前使用的第一加工设备给所述第二工艺使用后，处理所述第一工艺的第一加工设备还有剩余时，可以继续使用剩余的第一加工设备继续处理所述第一工艺，实现了第一工艺和第二工艺的并行处理。因此，相对传统的工艺顺序控制方法，本发明实施例的方案在插队处理第二工艺的同时保证了第一工艺的处理进度，提高了实验效率。

对于上述应用于生产线的工艺顺序控制装置实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见图1-图4所示方法实施例的部分说明即可。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。

本领域技术人员易于想到的是：上述各个实施例的任意组合应用都是可行的，故上述各个实施例之间的任意组合都是本发明的实施方案，但是由于篇幅限制，本说明书在此就不一一详述了。

在此提供的算法和显示不与任何特定计算机、虚拟***或者其它设备固有相关。各种通用***也可以与基于在此的示教一起使用。根据上面的描述，构造这类***所要求的结构是显而易见的。此外，本发明也不针对任何特定编程语言。应当明白，可以利用各种编程语言实现在此描述的本发明的内容，并且上面对特定语言所做的描述是为了披露本发明的最佳实施方式。

在此处所提供的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本发明的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

类似地，应当理解，为了精简本公开并帮助理解各个发明方面中的一个或多个，在上面对本发明的示例性实施例的描述中，本发明的各个特征有时被一起分组到单个实施例、图、或者对其的描述中。然而，并不应将该公开的方法解释成反映如下意图：即所要求保护的本发明要求比在每个权利要求中所明确记载的特征更多的特征。更确切地说，如下面的权利要求书所反映的那样，发明方面在于少于前面公开的单个实施例的所有特征。因此，遵循具体实施方式的权利要求书由此明确地并入该具体实施方式，其中每个权利要求本身都作为本发明的单独实施例。

本领域那些技术人员可以理解，可以对实施例中的设备中的模块进行自适应性地改变并且把它们设置在与该实施例不同的一个或多个设备中。可以把实施例中的模块或单元或组件组合成一个模块或单元或组件，以及此外可以把它们分成多个子模块或子单元或子组件。除了这样的特征和/或过程或者单元中的至少一些是相互排斥之外，可以采用任何组合对本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的所有特征以及如此公开的任何方法或者设备的所有过程或单元进行组合。除非另外明确陈述，本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的每个特征可以由提供相同、等同或相似目的的替代特征来代替。

此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本发明的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在下面的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。

本发明的各个部件实施例可以以硬件实现，或者以在一个或者多个处理器上运行的软件模块实现，或者以它们的组合实现。本领域的技术人员应当理解，可以在实践中使用微处理器或者数字信号处理器(DSP)来实现根据本发明实施例的工艺顺序控制设备中的一些或者全部部件的一些或者全部功能。本发明还可以实现为用于执行这里所描述的方法的一部分或者全部的设备或者装置程序(例如，计算机程序和计算机程序产品)。这样的实现本发明的程序可以存储在计算机可读介质上，或者可以具有一个或者多个信号的形式。这样的信号可以从因特网网站上下载得到，或者在载体信号上提供，或者以任何其他形式提供。

应该注意的是上述实施例对本发明进行说明而不是对本发明进行限制，并且本领域技术人员在不脱离所附权利要求的范围的情况下可设计出替换实施例。在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的元件。本发明可以借助于包括有若干不同元件的硬件以及借助于适当编程的计算机来实现。在列举了若干装置的单元权利要求中，这些装置中的若干个可以是通过同一个硬件项来具体体现。单词第一、第二、以及第三等的使用不表示任何顺序。可将这些单词解释为名称。

Claims (8)

1.一种工艺顺序控制方法，其特征在于，所述方法包括：

对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别；

比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别；

若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别，则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用；

若是，则从第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用；

待所述第二工艺处理结束后，若所述第一工艺尚未处理结束，则归还释放的目标加工设备给所述第一工艺继续使用；

其中，所述从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用，包括：

暂停向所述第二工艺所需的目标加工设备传输属于所述第一工艺的新增物料；待所述目标加工设备完成对属于所述第一工艺的当前物料的处理后，释放所述目标加工设备供所述第二工艺使用。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，若当前处理的第一工艺未设置有执行属性的属性级别，则在所述对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别之后，所述方法还包括：

直接判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用；

若是，则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，若从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用后，所述第一加工设备有剩余，则所述方法还包括：

继续使用剩余的第一加工设备处理所述第一工艺。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，若释放的目标加工设备为所述第二工艺所需的一部分，则在所述从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用同时，所述方法还包括：

发放所述第二工艺所需的其他目标加工设备供所述第二工艺使用。

5.一种工艺顺序控制装置，其特征在于，所述装置包括：

属性级别设置模块，用于对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别；

属性级别比较模块，用于比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别；

第二加工设备判断模块，用于若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别，则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用；

目标加工设备释放模块，用于若是，则从第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用；

目标加工设备归还模块，用于待所述第二工艺处理结束后，若所述第一工艺尚未处理结束，则归还释放的目标加工设备给所述第一工艺继续使用；

其中，所述目标加工设备释放模块，包括：

物料传输暂停子模块，用于暂停向所述第二工艺所需的目标加工设备传输属于所述第一工艺的新增物料；

目标加工设备解释子模块，用于待所述目标加工设备完成对属于所述第一工艺的当前物料的处理后，释放所述目标加工设备供所述第二工艺使用。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，若当前处理的第一工艺未设置有执行属性的属性级别，则所述装置还包括：

第二加工设备直接判断模块，用于在所述对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别之后，直接判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用；

目标加工设备释开模块，用于若是，则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用。

7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

第一工艺继续处理模块，用于若从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用后，所述第一加工设备有剩余，则继续使用剩余的第一加工设备处理所述第一工艺。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

其他目标加工设备发放模块，用于若释放的目标加工设备为所述第二工艺所需的一部分，则在所述从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用同时，发放所述第二工艺所需的其他目标加工设备供所述第二工艺使用。

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