CN107356189B - 一种时栅直线位移传感器 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种时栅直线位移传感器，包括定尺和动尺，定尺由导磁的定尺基体和设置在定尺基体上的励磁单元组成，励磁单元包括绝缘层和励磁线圈层，励磁线圈层由两个励磁线圈线阵构成，励磁线圈线阵由m个相同的导线组沿测量方向依次串联排列构成，导线组内的正向、反向导线单元都由n根直线导线段按照一定规则并联构成；动尺由导磁的动尺基体和设置在动尺基体上的感应单元组成，感应单元包括绝缘层和感应线圈层，感应线圈层由满足一定布线规则的矩形线圈构成。该传感器能在保证高分辨力的情况下，简化传感器结构、使传感器易于产品化。
Description
技术领域
本发明属于精密位移测量领域，具体涉及一种时栅直线位移传感器。
背景技术
直线位移测量是最基本的几何量测量，精密直线位移测量主要采用直线位移传感器，如光栅、磁栅、容栅等等，它们通过对按空间均分的栅线进行计数得到位移量，其共同特点是利用栅线的空间超精密刻线来满足微小位移的分辨力要求，而为了再进一步提高分辨力，只能依靠复杂的电子细分，从而使***结构复杂，成本居高不下，且抗干扰能力差，极易受到污染。
时栅直线位移传感器是一种基于电磁感应原理的传感器，采用时钟脉冲作为测量基准，其分辨力一方面取决于传感器的空间极距，另一方面取决于插补时钟脉冲的空间当量；由于插补时钟脉冲的空间当量可以取极小，故时栅直线位移传感器在较大的空间极距下也能实现高分辨力位移测量。但是现有的几类时栅直线位移传感器的励磁线圈和感应线圈所采用的绕线方式复杂，从而使得传感器的结构复杂，不易于实现；并且，传感器的励磁线圈和感应线圈相对排布的精度、匝数以及导磁体的性能一致性也会直接影响传感器的测量精度。
发明内容
本发明的目的是提供一种时栅直线位移传感器，在保证高分辨力的情况下，简化传感器结构。
本发明所述的一种时栅直线位移传感器，包括定尺和动尺，动尺与定尺正对平行，且留有间隙；所述定尺由导磁的定尺基体和设置在定尺基体上的励磁单元组成，所述励磁单元包括绝缘层和励磁线圈层；所述动尺由导磁的动尺基体和设置在动尺基体上的感应单元组成，所述感应单元包括绝缘层和感应线圈层。
所述励磁线圈层由并排布置于同一层上的两个相同且相互平行的励磁线圈线阵构成，两个励磁线圈线阵之间互不干扰，且起始位置沿测量方向(即动尺的运动方向)错开W/4(W表示传感器的周期、极距)、在垂直于测量方向上相差L+b(b表示微小间距)；所述励磁线圈线阵由m个相同的导线组沿测量方向依次串联排列构成，相邻两个导线组的中心距为W，一个导线组由一个正向导线单元与一个反向导线单元串联构成，所述正向、反向导线单元都由n根长度为L的导线并联构成，一个导线组内的各根导线之间满足如下关系：
以正向导线单元的起始点为坐标原点，测量方向为x方向，导线长度方向(即垂直于测量方向的方向)为y方向；
所述正向导线单元中各根导线的x轴坐标表示为:
所述反向导线单元中各根导线的x轴坐标表示为:
式中，i依次取值1至n的所有正整数，li表示正向导线单元中第i根导线的x轴坐标，di表示反向导线单元中第i根导线的x轴坐标，正向、反向导线单元中，相邻两根导线之间的间距远小于导线长度L；正向导线单元的终止点与反向导线单元的起始点重合，其坐标为(W/2，L)；反向导线单元的终止点的坐标为(W，0)。当通入激励电流时，在同一时刻，正向导线单元中各根导线的电流方向与反向导线单元中各根导线的电流方向相反。
所述感应线圈层由一个第一矩形线圈构成或者由一个第一感应线圈线阵构成，所述第一矩形线圈沿测量方向的宽度为W/2、垂直于测量方向的长度为2L+b，所述第一感应线圈线阵由P个相同的第二矩形线圈沿测量方向依次串联构成，每个第二矩形线圈沿测量方向的宽度为W/2-c、垂直于测量方向的长度为2L+b，相邻两个第二矩形线圈的绕线方向相反、中心距为W/2，其中，c表示相邻两个第二矩形线圈之间的微小间距，P为整数，且1＜P＜2m。
两个所述的励磁线圈线阵中分别通入两相对称激励电流(即幅值大小相等、相位相差90°的交变激励信号)，在各自激励电流作用下沿测量方向产生按正弦规律变化的磁场。当动尺与定尺沿测量方向发生相对运动时，第一矩形线圈或者第一感应线圈线阵内的磁通量将会发生周期性变化，第一矩形线圈或者第一感应线圈线阵输出幅值恒定、相位变化的感应信号，将该感应信号与激励信号进行鉴相处理，相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示，经换算后得到动尺相对定尺的直线位移。
本发明所述的另一种时栅直线位移传感器，包括定尺和动尺，动尺与定尺正对平行，且留有间隙；所述定尺由导磁的定尺基体和设置在定尺基体上的励磁单元组成，所述励磁单元包括绝缘层和励磁线圈层；所述动尺由导磁的动尺基体和设置在动尺基体上的感应单元组成，所述感应单元包括绝缘层和感应线圈层。
所述励磁线圈层由并排布置于同一层上的两个相同且相互平行的励磁线圈线阵构成，两个励磁线圈线阵之间互不干扰，且起始位置沿测量方向对齐、在垂直于测量方向上相差L+b；所述励磁线圈线阵由m个相同的导线组沿测量方向依次串联排列构成，相邻两个导线组的中心距为W，一个导线组由一个正向导线单元与一个反向导线单元串联构成，所述正向、反向导线单元都由n根长度为L的导线并联构成，一个导线组内的各根导线之间满足如下关系：
以正向导线单元的起始点为坐标原点，测量方向为x方向，导线长度方向为y方向；
所述正向导线单元中各根导线的x轴坐标表示为:
所述反向导线单元中各根导线的x轴坐标表示为:
式中，i依次取值1至n的所有正整数，li表示正向导线单元中第i根导线的x轴坐标，di表示反向导线单元中第i根导线的x轴坐标，正向、反向导线单元中，相邻两根导线之间的间距远小于导线长度L；正向导线单元的终止点与反向导线单元的起始点重合，其坐标为(W/2，L)；反向导线单元的终止点的坐标为(W，0)。当通入激励电流时，在同一时刻，正向导线单元中各根导线的电流方向与反向导线单元中各根导线的电流方向相反。
所述感应线圈层由并排布置的两个相同且相互平行的第三矩形线圈构成或者由并排布置的两个相同且相互平行的第二感应线圈线阵构成；两个所述的第三矩形线圈的起始位置沿测量方向错开W/4、中心点在垂直于测量方向上相差L+b，每个第三矩形线圈沿测量方向的宽度为W/2、垂直于测量方向的长度为L；两个所述的第二感应线圈线阵的起始位置沿测量方向错开W/4、中心点在垂直于测量方向上相差L+b，每个第二感应线圈线阵都由P个相同的第四矩形线圈沿测量方向依次串联构成，每个第四矩形线圈沿测量方向的宽度为W/2-c、垂直于测量方向的长度为L，相邻两个第四矩形线圈的绕线方向相反、中心距为W/2，其中，c表示相邻两个第四矩形线圈之间的微小间距，P为整数，且1＜P＜2m。
两个所述的励磁线圈线阵中分别通入两相对称激励电流(即幅值大小相等、相位相差90°的交变激励信号)，在各自激励电流作用下沿测量方向产生按正弦规律变化的磁场。当动尺与定尺沿测量方向发生相对运动时，两个第三矩形线圈或者两个第二感应线圈线阵内的磁通量将会发生周期性变化，两个第三矩形线圈分别输出幅值恒定、相位变化的感应信号，经叠加后与激励信号进行鉴相处理，或者两个第二感应线圈线阵分别输出幅值恒定、相位变化的感应信号，经叠加后与激励信号进行鉴相处理，相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示，经换算后得到动尺相对定尺的直线位移。
为了提高定尺的磁场强度，所述励磁单元可以由多个绝缘层与多个所述励磁线圈层沿垂直于定尺基体表面方向依次间隔布置构成，各个励磁线圈层之间相互并联。
为提高感应信号强度，所述感应单元可以由多个绝缘层与多个所述感应线圈层沿垂直于动尺基体表面方向依次间隔布置构成，各个感应线圈层之间相互串联。
本发明具有如下效果：
(1)由于采用了上述结构形式的定尺和动尺，当动尺与定尺在测量方向上相对运动一个极距W时，感应信号的初相角变化一个周期，通过高频时钟插补，换算得到相对位移，可实现高分辨力测量。
(2)励磁线圈层上的两个励磁线圈线阵都由m个相同的导线组沿测量方向依次串联排列构成，导线组内的正向、反向导线单元都由n根直线导线段(即长度为L的导线)按照一定规则并联构成，其布线方便，且在单个平面内完成了布线(即励磁线圈层为单层结构)，因此传感器结构简单、成本低，易于产品化。
(3)励磁线圈层的两个励磁线圈线阵采用并排排列的方式布置在同一布线层上，而非布置在上下两层布线层上，可使两相感应信号的幅值基本一致，抑制了极距内二次测量误差。
附图说明
图1为实施例1的结构示意图。
图2为实施例1中的励磁线圈层的布线示意图。
图3为实施例1中的感应线圈层的布线示意图。
图4为实施例3中的感应线圈层的布线示意图。
图5为实施例4中的励磁线圈层的布线示意图。
图6为实施例4中的感应线圈层的布线示意图。
图7为实施例5中的感应线圈层的布线示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作详细说明。
实施例1：如图1、图2、图3所示的时栅直线位移传感器，包括定尺1和动尺2，动尺2与定尺1正对平行，且留有0.1mm间隙。
定尺1由定尺基体11和固定在定尺基体11表面上的励磁单元组成，定尺基体11为长方体状的导磁材料基体，以定尺基体11的长边方向为测量方向(即动尺的运动方向)，励磁单元为具有两个绝缘层和一个励磁线圈层的印刷电路板，定尺基体11的表面积大于励磁线圈层的覆盖面积，且在四个方向上均有余量。
如图2所示，励磁线圈层由并排布置于印刷电路板的同一布线层上的两个相同且相互平行的励磁线圈线阵12构成，两个励磁线圈线阵12之间互不干扰，且起始位置沿测量方向错开W/4(W表示传感器的周期、极距)、在垂直于测量方向上相差L+b(b表示微小间距)。励磁线圈线阵12由5个相同的导线组沿测量方向依次串联排列构成，相邻两个导线组的中心距为W，一个导线组由一个正向导线单元121与一个反向导线单元122串联构成，正向导线单元121、反向导线单元122都由5根长度为L的导线沿测量方向并排排列且并联构成，一个导线组内的各根导线之间满足如下关系：
以正向导线单元121的起始点O为坐标原点，测量方向为x方向，导线长度方向为y方向；正向导线单元121中的第1根导线的x轴坐标为:第2根导线的x轴坐标为:第3根导线的x轴坐标为:第4根导线的x轴坐标为:第5根导线的x轴坐标为:反向导线单元122中的第1根导线的x轴坐标为:第2根导线的x轴坐标为:第3根导线的x轴坐标为:第4根导线的x轴坐标为:第5根导线的x轴坐标为:正向、反向导线单元中，相邻两根导线之间的间距远小于导线长度L；正向导线单元121的终止点与反向导线单元122的起始点重合，其坐标为(W/2，L)；反向导线单元122的终止点的坐标为(W，0)。当通入激励电流时，在同一时刻，正向导线单元121中的5根导线的电流方向与反向导线单元122中的5根导线的电流方向相反。
动尺2由动尺基体21和固定在动尺基体21与定尺1相对的一面上的感应单元组成，动尺基体21为长方体状的导磁材料基体，感应单元为具有两个绝缘层和一个感应线圈层的印刷电路板，动尺基体21的表面积大于感应线圈层的覆盖面积，且在四个方向上均有余量，动尺基体21在垂直于测量方向的长度与定尺基体11在垂直于测量方向的长度保持一致。
如图3所示，感应线圈层由布置于印刷电路板的一个布线层上的一个第一矩形线圈22构成，该第一矩形线圈22沿测量方向的宽度为W/2、垂直于测量方向的长度为2L+b。
两个励磁线圈线阵12分别连接两相幅值相等、相位相差90°的正弦激励电流，两个励磁线圈线阵12在各自激励电流作用下沿测量方向产生按正弦规律变化的磁场。当动尺2与定尺1沿测量方向发生相对运动时，第一矩形线圈22内的磁通量将会发生周期性变化，第一矩形线圈22输出式(1)的感应电信号：
式中，k1为感应电压幅值，T为激励电流变化周期，x为动尺2相对定尺1的直线位移。
动尺2与定尺1沿测量方向发生相对运动，感应信号的初相角将发生周期性变化，动尺2相对于定尺1运动一个极距W，感应信号的初相角(即式(1)中的)变化一个周期，将式(1)中的感应信号与上述正弦激励信号(即励磁线圈线阵中通入的激励电流信号)进行鉴相处理，相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示，经换算后得到动尺2相对定尺1的直线位移。
本实施例中，励磁线圈层上的两个励磁线圈线阵12都由5个相同的导线组沿测量方向依次串联排列构成，导线组内的正向、反向导线单元都由5根直线导线段(即长度为L的导线)按照前述规则并联构成，其布线方便，且在单个平面内完成了布线(即励磁线圈层为单层结构)，传感器结构简单、成本低、易于产品化；另外，感应线圈层采用一个第一矩形线圈，布线方便，能够实现励磁线圈层与感应线圈层的高精度相对排布，传感器的测量精度高。
实施例2：本实施例中的时栅直线位移传感器的大部分结构与实施例1相同，不同之处在于：励磁单元为具有4个绝缘层和3个上述励磁线圈层的印刷电路板，4个绝缘层与3个励磁线圈层沿垂直于定尺基体11表面方向依次间隔布置，3个励磁线圈层之间通过过孔接线的方式相互并联，提高了定尺的磁场强度；感应单元为具有4个绝缘层和3个上述感应线圈层的印刷电路板，4个绝缘层与3感应线圈层沿垂直于动尺基体21表面方向依次间隔布置构成，3个感应线圈层之间通过过孔接线的方式相互串联，提高了感应信号强度。
实施例3：如图4所示，本实施例中的时栅直线位移传感器的大部分结构与实施例1相同，不同之处在于：感应线圈层由布置于印刷电路板上的一个第一感应线圈线阵构成，该第一感应线圈线阵由两个相同的第二矩形线圈23沿测量方向依次串联构成，每个第二矩形线圈23沿测量方向的宽度为W/2-c、垂直于测量方向的长度为2L+b，两个第二矩形线圈23位于一个布线层，中心距为W/2且绕线方向相反，两个第二矩形线圈23的引出线位于另一个布线层，其中，c表示相邻两个第二矩形线圈23之间的微小间距。
两个励磁线圈线阵12分别连接两相幅值相等、相位相差90°的正弦激励电流，两个励磁线圈线阵12在各自激励电流作用下沿测量方向产生按正弦规律变化的磁场。当动尺2与定尺1沿测量方向发生相对运动时，第一感应线圈线阵内的磁通量将会发生周期性变化，并输出式(2)的感应电信号：
式中，k2为感应电压幅值，T为激励电流变化周期，x为动尺2相对定尺1的直线位移。
将式(2)中的感应电信号与上述正弦激励信号(即励磁线圈线阵中通入的激励电流信号)进行鉴相处理，相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示，经换算后得到动尺2相对定尺1的直线位移x。
实施例4：如图5、图6所示，本实施例中的时栅直线位移传感器的大部分结构与实施例1相同，不同之处在于：励磁线圈层上的两个励磁线圈线阵12的起始位置沿测量方向对齐。感应线圈层由并排布置于印刷电路板的一个布线层上的两个相同且相互平行的第三矩形线圈24构成，两个第三矩形线圈24的起始位置沿测量方向错开W/4、中心点在垂直于测量方向上相差L+b，每个第三矩形线圈24沿测量方向的宽度为W/2、垂直于测量方向的长度为L。
两个励磁线圈线阵12分别连接两相幅值相等、相位相差90°的正弦激励电流，两个励磁线圈线阵12在各自激励电流作用下沿测量方向产生按正弦规律变化的磁场。当动尺2与定尺1沿测量方向发生相对运动时，两个第三矩形线圈24内的磁通量将会发生周期性变化，
两个第三矩形线圈24分别输出式(3)、式(4)的感应信号：
将式(3)、式(4)的感应信号接入加法电路，经叠加后输出式(5)的感应电信号：
式中，k3为感应电压幅值，T为激励电流变化周期，x为动尺2相对定尺1的直线位移。
将式(5)中的感应电信号与上述正弦激励信号(即励磁线圈线阵中通入的激励电流信号)进行鉴相处理，相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示，经换算后得到动尺2相对定尺1的直线位移x。
实施例5：如图7所示，本实施例中的时栅直线位移传感器的大部分结构与实施例1相同，不同之处在于：励磁线圈层上的两个励磁线圈线阵12的起始位置沿测量方向对齐。感应线圈层由并排布置于印刷电路板上的两个相同且相互平行的第二感应线圈线阵构成，两个第二感应线圈线阵的起始位置沿测量方向错开W/4、中心点在垂直于测量方向上相差L+b，每个第二感应线圈线阵都由两个相同的第四矩形线圈25沿测量方向依次串联构成，每个第四矩形线圈25沿测量方向的宽度为W/2-c、垂直于测量方向的长度为L，第一个第二感应线圈线阵中的两个第四矩形线圈25位于一个布线层，中心距为W/2且绕线方向相反，第一个第二感应线圈线阵中的两个第四矩形线圈25的引出线位于另一个布线层，第二个第二感应线圈线阵中的两个第四矩形线圈25与第一个第二感应线圈线阵中的两个第四矩形线圈25位于同一个布线层，第二个第二感应线圈线阵中的两个第四矩形线圈25的引出线与第一个第二感应线圈线阵中的两个第四矩形线圈25的引出线位于同一个布线层。其中，c表示相邻两个第四矩形线圈25之间的微小间距。
两个励磁线圈线阵12分别连接两相幅值相等、相位相差90°的正弦激励电流，两个励磁线圈线阵12在各自激励电流作用下沿测量方向产生按正弦规律变化的磁场。当动尺2与定尺1沿测量方向发生相对运动时，两个第二感应线圈线阵内的磁通量将会发生周期性变化，并分别输出式(6)、式(7)的感应信号：
将式(6)、式(7)的感应信号接入加法电路，经叠加后输出式(8)的感应电信号：
式中，k4为感应电压幅值，T为激励电流变化周期，x为动尺2相对定尺1的直线位移。
将式(8)中的感应电信号与上述正弦激励信号(即励磁线圈线阵中通入的激励电流信号)进行鉴相处理，相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示，经换算后得到动尺2相对定尺1的直线位移x。
Claims (4)
1.一种时栅直线位移传感器，包括定尺(1)和动尺(2)，动尺(2)与定尺(1)正对平行，且留有间隙；所述定尺(1)由导磁的定尺基体(11)和设置在定尺基体上的励磁单元组成，所述励磁单元包括绝缘层和励磁线圈层；所述动尺(2)由导磁的动尺基体(21)和设置在动尺基体上的感应单元组成，所述感应单元包括绝缘层和感应线圈层；其特征在于：
所述励磁线圈层由并排布置于同一层上的两个相同且相互平行的励磁线圈线阵(12)构成，两个励磁线圈线阵之间互不干扰，且起始位置沿测量方向错开W/4、在垂直于测量方向上相差L+b；所述励磁线圈线阵(12)由m个相同的导线组沿测量方向依次串联排列构成，相邻两个导线组的中心距为W，一个导线组由一个正向导线单元(121)与一个反向导线单元(122)串联构成，所述正向、反向导线单元(121、122)都由n根长度为L的导线并联构成，以正向导线单元的起始点为坐标原点，测量方向为x方向，导线长度方向为y方向；
所述正向导线单元(121)中各根导线的x轴坐标表示为:
所述反向导线单元(122)中各根导线的x轴坐标表示为:
式中，i依次取值1至n的所有正整数，li表示正向导线单元中第i根导线的x轴坐标，di表示反向导线单元中第i根导线的x轴坐标；正向导线单元的终止点与反向导线单元的起始点重合，其坐标为(W/2，L)；反向导线单元的终止点的坐标为(W，0)；
所述感应线圈层由一个第一矩形线圈(22)构成或者由一个第一感应线圈线阵构成，所述第一矩形线圈(22)沿测量方向的宽度为W/2、垂直于测量方向的长度为2L+b，所述第一感应线圈线阵由P个相同的第二矩形线圈(23)沿测量方向依次串联构成，每个第二矩形线圈(23)沿测量方向的宽度为W/2-c、垂直于测量方向的长度为2L+b，相邻两个第二矩形线圈(23)的绕线方向相反、中心距为W/2，其中，b表示微小间距，c表示相邻两个第二矩形线圈之间的间距，P为整数，且1＜P＜2m；
两个所述的励磁线圈线阵(12)中分别通入两相对称激励电流，当动尺(2)相对定尺(1)沿测量方向运动时，第一矩形线圈(22)或者第一感应线圈线阵输出感应信号，将该感应信号与激励信号进行鉴相处理，相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示，经换算后得到动尺相对定尺的直线位移。
2.一种时栅直线位移传感器，包括定尺(1)和动尺(2)，动尺(2)与定尺(1)正对平行，且留有间隙；所述定尺(1)由导磁的定尺基体(11)和设置在定尺基体上的励磁单元组成，所述励磁单元包括绝缘层和励磁线圈层；所述动尺(2)由导磁的动尺基体(21)和设置在动尺基体上的感应单元组成，所述感应单元包括绝缘层和感应线圈层；其特征在于：
所述励磁线圈层由并排布置于同一层上的两个相同且相互平行的励磁线圈线阵(12)构成，两个励磁线圈线阵之间互不干扰，且起始位置沿测量方向对齐、在垂直于测量方向上相差L+b；所述励磁线圈线阵(12)由m个相同的导线组沿测量方向依次串联排列构成，相邻两个导线组的中心距为W，一个导线组由一个正向导线单元(121)与一个反向导线单元(122)串联构成，所述正向、反向导线单元(121、122)都由n根长度为L的导线并联构成，以正向导线单元的起始点为坐标原点，测量方向为x方向，导线长度方向为y方向；
所述正向导线单元(121)中各根导线的x轴坐标表示为:
所述反向导线单元(122)中各根导线的x轴坐标表示为:
式中，i依次取值1至n的所有正整数，li表示正向导线单元中第i根导线的x轴坐标，di表示反向导线单元中第i根导线的x轴坐标；正向导线单元的终止点与反向导线单元的起始点重合，其坐标为(W/2，L)；反向导线单元的终止点的坐标为(W，0)；
所述感应线圈层由并排布置的两个相同且相互平行的第三矩形线圈(24)构成或者由并排布置的两个相同且相互平行的第二感应线圈线阵构成；两个所述的第三矩形线圈(24)的起始位置沿测量方向错开W/4、中心点在垂直于测量方向上相差L+b，每个第三矩形线圈(24)沿测量方向的宽度为W/2、垂直于测量方向的长度为L；两个所述的第二感应线圈线阵的起始位置沿测量方向错开W/4、中心点在垂直于测量方向上相差L+b，每个第二感应线圈线阵都由P个相同的第四矩形线圈(25)沿测量方向依次串联构成，每个第四矩形线圈(25)沿测量方向的宽度为W/2-c、垂直于测量方向的长度为L，相邻两个第四矩形线圈(25)的绕线方向相反、中心距为W/2，其中，b表示微小间距，c表示相邻两个第四矩形线圈之间的间距，P为整数，且1＜P＜2m；
两个所述的励磁线圈线阵(12)中分别通入两相对称激励电流，当动尺(2)相对定尺(1)沿测量方向运动时，两个第三矩形线圈(24)分别输出感应信号，经叠加后与激励信号进行鉴相处理，或者两个第二感应线圈线阵分别输出感应信号，经叠加后与激励信号进行鉴相处理，相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示，经换算后得到动尺相对定尺的直线位移。
3.根据权利要求1或2所述的时栅直线位移传感器，其特征在于：所述励磁单元由多个绝缘层与多个所述励磁线圈层沿垂直于定尺基体(11)表面方向依次间隔布置构成，各个励磁线圈层之间相互并联。
4.根据权利要求1或2所述的时栅直线位移传感器，其特征在于：所述感应单元由多个绝缘层与多个所述感应线圈层沿垂直于动尺基体(21)表面方向依次间隔布置构成，各个感应线圈层之间相互串联。
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| CN201710543488.6A CN107356189B (zh) | 2017-07-05 | 2017-07-05 | 一种时栅直线位移传感器 |
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Application publication date: 20171117 Assignee: Chongqing Han's Shizha Technology Co.,Ltd. Assignor: Chongqing University of Technology Contract record no.: X2022500000007 Denomination of invention: A time grating linear displacement sensor Granted publication date: 20190402 License type: Exclusive License Record date: 20220926 |