CN107122419A - 一种基于mes***的石墨舟使用次数统计方法 - Google Patents

一种基于mes***的石墨舟使用次数统计方法 Download PDF

Info

Publication number
CN107122419A
CN107122419A CN201710213787.3A CN201710213787A CN107122419A CN 107122419 A CN107122419 A CN 107122419A CN 201710213787 A CN201710213787 A CN 201710213787A CN 107122419 A CN107122419 A CN 107122419A
Authority
CN
China
Prior art keywords
graphite boat
mes system
film coating
coating equipment
access times
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201710213787.3A
Other languages
English (en)
Inventor
仇加亮
夏守慧
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiji Energy Technology (kunshan) Co Ltd
Original Assignee
Taiji Energy Technology (kunshan) Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taiji Energy Technology (kunshan) Co Ltd filed Critical Taiji Energy Technology (kunshan) Co Ltd
Priority to CN201710213787.3A priority Critical patent/CN107122419A/zh
Publication of CN107122419A publication Critical patent/CN107122419A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06M—COUNTING MECHANISMS; COUNTING OF OBJECTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06M1/00—Design features of general application
    • G06M1/27—Design features of general application for representing the result of count in the form of electric signals, e.g. by sensing markings on the counter drum
    • G06M1/272—Design features of general application for representing the result of count in the form of electric signals, e.g. by sensing markings on the counter drum using photoelectric means
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/458—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber
    • C23C16/4582—Rigid and flat substrates, e.g. plates or discs
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F16/00—Information retrieval; Database structures therefor; File system structures therefor
    • G06F16/20—Information retrieval; Database structures therefor; File system structures therefor of structured data, e.g. relational data
    • G06F16/22—Indexing; Data structures therefor; Storage structures
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F16/00—Information retrieval; Database structures therefor; File system structures therefor
    • G06F16/20—Information retrieval; Database structures therefor; File system structures therefor of structured data, e.g. relational data
    • G06F16/23—Updating
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F16/00—Information retrieval; Database structures therefor; File system structures therefor
    • G06F16/20—Information retrieval; Database structures therefor; File system structures therefor of structured data, e.g. relational data
    • G06F16/25—Integrating or interfacing systems involving database management systems
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06M—COUNTING MECHANISMS; COUNTING OF OBJECTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06M1/00—Design features of general application
    • G06M1/28—Design features of general application for zeroising or setting to a particular value
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q10/00—Administration; Management
    • G06Q10/06—Resources, workflows, human or project management; Enterprise or organisation planning; Enterprise or organisation modelling
    • G06Q10/063—Operations research, analysis or management
    • G06Q10/0631—Resource planning, allocation, distributing or scheduling for enterprises or organisations
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q10/00—Administration; Management
    • G06Q10/10—Office automation; Time management
    • G06Q10/107—Computer-aided management of electronic mailing [e-mailing]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Business, Economics & Management (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Human Resources & Organizations (AREA)
  • Databases & Information Systems (AREA)
  • Data Mining & Analysis (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Entrepreneurship & Innovation (AREA)
  • Strategic Management (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Economics (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Marketing (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Tourism & Hospitality (AREA)
  • General Business, Economics & Management (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Educational Administration (AREA)
  • Game Theory and Decision Science (AREA)
  • Software Systems (AREA)
  • Development Economics (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)

Abstract

本发明提供一种基于MES***的石墨舟使用次数统计方法，包括以下步骤：S1：当石墨舟进入镀膜机台时，获取石墨舟的舟号和当前使用次数，并将获得的石墨舟数据存储到镀膜机台服务器中；S2：通过MES***服务器读取存储于所述镀膜机台服务器中的石墨舟数据，并显示到MES***的显示屏上。本发明通过对镀膜机台***进行设定，使输入的石墨舟使用资料传输至镀膜机台服务器，再将镀膜机台服务器资料与MES***进行交互，使得石墨舟的使用状况直观呈现在MES***内，可以及时、精确管控石墨舟使用次数，从而降低镀膜色差不良率。

Description

一种基于MES***的石墨舟使用次数统计方法
技术领域
本发明属于镀膜技术领域，涉及一种基于MES***的石墨舟使用次数统计方法。
背景技术
等离子增强化学气相沉积(PECVD)的技术原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。化学式为：3SiH4+4NH3→Si3N4+6H2。
如图1所示，显示为PECVD镀膜机台的结构示意图。图2显示为图1所示结构的A-A向剖面图。图3显示为图1中椭圆虚线框所示区域的放大图。PECVD反应时，以约13.56MHZ的射频电源加到其中之一电极板(石墨舟片)；交流电使两电极板(石墨舟片)间的自由电子产生震荡，从而撞击反应室气体，使其游离，并因碰撞时能量移转而产生大量活性基。
反应在晶体硅片表面形成固态薄膜的同时，也会在石墨舟片表面附着，使用到一定次数后，将会影响石墨舟片的导电性能，另外也会影响晶体硅片与石墨舟片的接触，导致晶体硅片外观不良比例升高。业内各厂均有对石墨舟的使用次数进行管制，规定的使用次数与管制方法各有不同。
现有石墨舟使用次数管制方法主要有以下四种：
1、通过单次制程时间计算石墨舟使用次数：日使用次数＝24(小时)*60(分钟)*炉管数/制程时间/机台石墨舟数量。该方法的缺点是：机台异常或制程工艺出错时，次数存在较大差异。
2、通过每日产出计算石墨舟使用次数：日使用次数＝机台总产出/每舟装载数量/机台石墨舟数量。该方法的缺点是：准确性较差
3、通过人工记录使用次数：生产人员将石墨舟每次进出信息都进行记录，下班累计。该方法的缺点是：耗费人力工时，增加管理难度。
4、通过机台服务器查看：通过Centrotherm机台CCC服务器查取石墨舟使用次数。该方法的缺点是：有查询权限，查询不方便。
因此，如何提供一种基于MES***的石墨舟使用次数统计方法，以及时、精确管控石墨舟使用次数，从而降低镀膜色差不良率，成为本领域技术人员亟待解决的一个重要技术问题
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种基于MES***的石墨舟使用次数统计方法，用于解决现有技术中石墨舟使用次数管制方法准确性较差，耗费人力工时，查询不方便，导致晶体硅片外观不良比例升高的问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种基于MES***的石墨舟使用次数统计方法，包括以下步骤：
S1：当石墨舟进入镀膜机台时，获取石墨舟的舟号和当前使用次数，并将获得的石墨舟数据存储到镀膜机台服务器中；
S2：通过MES***服务器读取存储于所述镀膜机台服务器中的石墨舟数据，并显示到MES***的显示屏上。
可选地，于所述步骤S1中，当石墨舟进入镀膜机台时，通过镀膜机台电脑软件界面手工输入石墨舟的舟号和当前使用次数，所述镀膜机台服务器将输入的石墨舟数据记录。
可选地，于所述步骤S2中，所述MES***服务器通过JAVA程式读取所述镀膜机台服务器记录石墨舟数据的文档内容，并解析该文档中的内容，读取文档中的舟号及使用次数写至数据库指定表中，所述MES***服务器查询所述数据库指定表中的数据，并显示到所述显示屏上。
可选地，当石墨舟达到规定的使用次数后，并经过清洗后重新上线，所述MES***服务器将该石墨舟原有的使用次数清零。
可选地，所述MES***服务器按照预设周期更新数据。
可选地，所述MES***服务器更新数据包括如下步骤：调用JAVA程式查询数据库中的石墨舟数据，并将所述数据库中的石墨舟数据与所述镀膜机台服务器记录石墨舟数据的文档内容进行对比，如果石墨舟数据发生变化，则将所述镀膜机台服务器上新的石墨舟数据写入数据库指定表中。
可选地，所述预设周期为一小时。
可选地，所述MES***服务器还通过JAVA程式判断石墨舟使用次数是否达到预警次数或超过设定次数，并判断是否需要进行发送作业，若是，则发送提醒信息至预设邮件服务器。
可选地，所述镀膜机台为等离子增强化学气相沉积镀膜机台。
如上所述，本发明的基于MES***的石墨舟使用次数统计方法，具有以下有益效果：本发明通过对镀膜机台***进行设定，使输入的石墨舟使用资料传输至镀膜机台服务器，再将镀膜机台服务器资料与MES***进行交互，使得石墨舟的使用状况直观呈现在MES***内。本发明改变了人员统计次数的做法，***自动抓取次数，减少人工，可以提高准确性。本发明由每班次统计一次变为按预设周期更新数据，例如一小时更新一次，及时性强。本发明使得石墨舟状态直观呈现，数据***记录，可追溯性强。本发明还可在石墨舟使用次数是达到预警次数或超过设定次数时进行邮件提醒。本发明有效降低了人工成本及管理成本，通过精确管控，使CVD站色差不良率由0.9％降至0.5％，有利于提高生产效益。
附图说明
图1显示为PECVD镀膜机台的结构示意图。
图2显示为图1所示结构的A-A向剖面图。
图3显示为图1中椭圆虚线框所示区域的放大图。
图4显示为本发明的基于MES***的石墨舟使用次数统计方法的流程图。
图5显示为本发明的基于MES***的石墨舟使用次数统计方法的原理图。
元件标号说明
S1～S2 步骤
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。
请参阅图4至图5。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图式中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
本发明提供一种基于MES***的石墨舟使用次数统计方法，请参阅图4，显示为该方法的流程图，包括以下步骤：
S1：当石墨舟进入镀膜机台时，获取石墨舟的舟号和当前使用次数，并将获得的石墨舟数据存储到镀膜机台服务器中；
S2：通过MES***服务器读取存储于所述镀膜机台服务器中的石墨舟数据，并显示到MES***的显示屏上。
作为示例，所述镀膜机台为等离子增强化学气相沉积镀膜机台。本实施例中，以Centrotherm PECVD镀膜机台为例，每台镀膜机台均有一台电脑控制四根炉管，并通过CCCRM(Centrotherm Cell Controller Recipe Manager)软件来组织、管理和输入/输出工艺等。此处仅为示例，在其它实施例中，所述镀膜机台也可以采用其它型号的镀膜机台，此处不应过分限制本发明的保护范围。
所述MES***即制造企业生产过程执行***，是一套面向制造企业车间执行层的生产信息化管理***。MES可以为企业提供包括制造数据管理、计划排程管理、生产调度管理、库存管理、质量管理、人力资源管理、工作中心/设备管理、工具工装管理、采购管理、成本管理、项目看板管理、生产过程控制、底层数据集成分析、上层数据集成分解等管理模块。
作为示例，所述MES***划分为9个模块：工单管理模块、生产流程追踪模块、基本资料管理模块(包含石墨舟管理***)、物料管理模块、权限管理模块、报表模块、仓库模块、统计过程控制模块、IV查询模块。这9个模块从工单开立-工单发行-工单拨发料-工单生产-工单账务处理-制程过程测试数据-各账生产报表查询-工单入库作业-完工作业等作业流程于MES***完成，工作人员通过MES可以清楚地了解工单生产账务处理，以及该工单目前制程状态等相关信息。
具体的，于所述步骤S1中，当石墨舟进入镀膜机台时，通过镀膜机台电脑软件界面手工输入石墨舟的舟号和当前使用次数，所述镀膜机台服务器将输入的石墨舟数据记录。于所述步骤S2中，所述MES***服务器通过JAVA程式读取所述镀膜机台服务器记录石墨舟数据的文档内容，并解析该文档中的内容，读取文档中的舟号及使用次数写至数据库指定表中，所述MES***服务器查询所述数据库指定表中的数据，并显示到所述显示屏上。
作为示例，所述文档内容的文档格式为.ini，由所述镀膜机台服务器自带。所述数据库采用Oracle数据库。
具体的，石墨舟达到规定的使用次数后需要进行清洗，清洗后再重新上线。本实施例中，当石墨舟达到规定的使用次数后，并经过清洗后重新上线，所述MES***服务器将该石墨舟原有的使用次数清零，重新开始计数。
进一步的，当石墨舟达到规定的使用次数后，在所述MES***中，将舟号状态变更为拆解时，所述MES***服务器通过程序调取所述镀膜机台服务器记录石墨舟数据的文档内容，删除该石墨舟的舟号及使用次数数据。如图5所示，显示为本发明的基于MES***的石墨舟使用次数统计方法的原理图。
为了保证数据更新的及时性，本发明中，所述MES***服务器按照预设周期更新数据。作为示例，所述预设周期为一小时，即一小时更新一次数据，及时性强。当然，所述预设周期可以根据需要进行调整
具体的，所述MES***服务器更新数据包括如下步骤：调用JAVA程式查询数据库中的石墨舟数据，并将所述数据库中的石墨舟数据与所述镀膜机台服务器记录石墨舟数据的文档内容进行对比，如果石墨舟数据发生变化，则将所述镀膜机台服务器上新的石墨舟数据写入数据库指定表中。
为了避免使用次数过多的石墨舟继续使用导致镀膜质量下降，本发明的基于MES***的石墨舟使用次数统计方法还进一步包括提醒的步骤。
具体的，所述MES***服务器通过JAVA程式判断石墨舟使用次数是否达到预警次数或超过设定次数，并判断是否需要进行发送作业，若是，则发送提醒信息至预设邮件服务器，以提醒制造部、研发部和设备部管理人员及时对石墨舟进行拆解。
作为示例，使用次数达到预警次数，邮件提醒1次，使用次数超过设定次数后，每次都有邮件提醒。
实践证明，本发明的基于MES***的石墨舟使用次数统计方法通过精确管控，可以使CVD站色差不良率由0.9％降至0.5％。
综上所述，本发明的基于MES***的石墨舟使用次数统计方法通过对镀膜机台***进行设定，使输入的石墨舟使用资料传输至镀膜机台服务器，再将镀膜机台服务器资料与MES***进行交互，使得石墨舟的使用状况直观呈现在MES***内。本发明改变了人员统计次数的做法，***自动抓取次数，减少人工，可以提高准确性。本发明由每班次统计一次变为按预设周期更新数据，例如一小时更新一次，及时性强。本发明使得石墨舟状态直观呈现，数据***记录，可追溯性强。本发明还可在石墨舟使用次数是达到预警次数或超过设定次数时进行邮件提醒。本发明有效降低了人工成本及管理成本，通过精确管控，使CVD站色差不良率由0.9％降至0.5％，有利于提高生产效益。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (9)

1.一种基于MES***的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：当石墨舟进入镀膜机台时，获取石墨舟的舟号和当前使用次数，并将获得的石墨舟数据存储到镀膜机台服务器中；
S2：通过MES***服务器读取存储于所述镀膜机台服务器中的石墨舟数据，并显示到MES***的显示屏上。
2.根据权利要求1所述的基于MES***的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：于所述步骤S1中，当石墨舟进入镀膜机台时，通过镀膜机台电脑软件界面手工输入石墨舟的舟号和当前使用次数，所述镀膜机台服务器将输入的石墨舟数据记录。
3.根据权利要求1所述的基于MES***的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：于所述步骤S2中，所述MES***服务器通过JAVA程式读取所述镀膜机台服务器记录石墨舟数据的文档内容，并解析该文档中的内容，读取文档中的舟号及使用次数写至数据库指定表中，所述MES***服务器查询所述数据库指定表中的数据，并显示到所述显示屏上。
4.根据权利要求1所述的基于MES***的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：当石墨舟达到规定的使用次数后，并经过清洗后重新上线，所述MES***服务器将该石墨舟原有的使用次数清零。
5.根据权利要求1所述的基于MES***的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：所述MES***服务器按照预设周期更新数据。
6.根据权利要求5所述的基于MES***的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：所述MES***服务器更新数据包括如下步骤：调用JAVA程式查询数据库中的石墨舟数据，并将所述数据库中的石墨舟数据与所述镀膜机台服务器记录石墨舟数据的文档内容进行对比，如果石墨舟数据发生变化，则将所述镀膜机台服务器上新的石墨舟数据写入数据库指定表中。
7.根据权利要求5所述的基于MES***的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：所述预设周期为一小时。
8.根据权利要求1所述的基于MES***的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：所述MES***服务器还通过JAVA程式判断石墨舟使用次数是否达到预警次数或超过设定次数，并判断是否需要进行发送作业，若是，则发送提醒信息至预设邮件服务器。
9.根据权利要求1所述的基于MES***的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：所述镀膜机台为等离子增强化学气相沉积镀膜机台。
CN201710213787.3A 2017-04-01 2017-04-01 一种基于mes***的石墨舟使用次数统计方法 Pending CN107122419A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710213787.3A CN107122419A (zh) 2017-04-01 2017-04-01 一种基于mes***的石墨舟使用次数统计方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710213787.3A CN107122419A (zh) 2017-04-01 2017-04-01 一种基于mes***的石墨舟使用次数统计方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN107122419A true CN107122419A (zh) 2017-09-01

Family

ID=59724604

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710213787.3A Pending CN107122419A (zh) 2017-04-01 2017-04-01 一种基于mes***的石墨舟使用次数统计方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107122419A (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109935640A (zh) * 2019-04-02 2019-06-25 江苏微导纳米装备科技有限公司 一种晶体硅太阳能电池的镀膜方法
CN110983301A (zh) * 2019-12-23 2020-04-10 通威太阳能（安徽）有限公司 一种镀膜管p设备高频自动补镀方法
CN114111620A (zh) * 2022-01-28 2022-03-01 杭州利珀科技有限公司 晶硅电池石墨舟体光学检测***及方法
CN115142052A (zh) * 2021-03-30 2022-10-04 浙江爱旭太阳能科技有限公司 镀膜***的控制方法和镀膜***

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070015215A1 (en) * 1995-04-10 2007-01-18 Cubicciotti Roger S Modified phycobilisomes and uses therefor
CN102181846A (zh) * 2011-04-01 2011-09-14 石金精密科技（深圳）有限公司 腔式石墨舟
CN104678953A (zh) * 2015-01-23 2015-06-03 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 一种用于硅片生产的石墨舟识别***及方法
CN106245006A (zh) * 2016-08-03 2016-12-21 江西瑞晶太阳能科技有限公司 一种工艺处理方法及装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070015215A1 (en) * 1995-04-10 2007-01-18 Cubicciotti Roger S Modified phycobilisomes and uses therefor
CN102181846A (zh) * 2011-04-01 2011-09-14 石金精密科技（深圳）有限公司 腔式石墨舟
CN104678953A (zh) * 2015-01-23 2015-06-03 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 一种用于硅片生产的石墨舟识别***及方法
CN106245006A (zh) * 2016-08-03 2016-12-21 江西瑞晶太阳能科技有限公司 一种工艺处理方法及装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
石万: "制造执行***快速启动批次出入站点的设计实现", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库 信息科技辑》 *

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109935640A (zh) * 2019-04-02 2019-06-25 江苏微导纳米装备科技有限公司 一种晶体硅太阳能电池的镀膜方法
CN109935640B (zh) * 2019-04-02 2021-11-05 江苏微导纳米科技股份有限公司 一种晶体硅太阳能电池的镀膜方法
CN110983301A (zh) * 2019-12-23 2020-04-10 通威太阳能（安徽）有限公司 一种镀膜管p设备高频自动补镀方法
CN110983301B (zh) * 2019-12-23 2022-08-05 通威太阳能（安徽）有限公司 一种镀膜管p设备高频自动补镀方法
CN115142052A (zh) * 2021-03-30 2022-10-04 浙江爱旭太阳能科技有限公司 镀膜***的控制方法和镀膜***
CN115142052B (zh) * 2021-03-30 2023-12-01 浙江爱旭太阳能科技有限公司 镀膜***的控制方法和镀膜***
CN114111620A (zh) * 2022-01-28 2022-03-01 杭州利珀科技有限公司 晶硅电池石墨舟体光学检测***及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107122419A (zh) 一种基于mes***的石墨舟使用次数统计方法
CN106990761A (zh) 制造型企业生产线数据采集和看板管理***及方法
CN105447681B (zh) 一种理化检测控制与信息管理***
CN108958049A (zh) 一种能源监控管理方法及***
CN104331770A (zh) 柔性生产企业智能管理***
CN108614526B (zh) 一种可重构的生产过程管理***
CN106548324A (zh) 一种it***运维服务管理***
JPH09503325A (ja) ビジネス環境をプロセス制御環境と統合するためのシステムおよび方法
CN101907696B (zh) 一种电能表生产检测***及方法
CN109740943A (zh) 一种家具精益生产计划***
CN108090675A (zh) 一种整车生产制造的质量管理***
CN1462974A (zh) 一种智能的生产技术信息管理方法及其装置
CN108898200A (zh) 智能拆单***、生产进度管理***及其实现方法、操作方法
CN110852624A (zh) 一种面向企业执行层的智能制造管理***及其运作方法
CN109624253A (zh) 一种注塑车间监控排料***
CN107527138A (zh) 一种消毒供应中心追溯管理***及区域化消毒管理***
CN102222270B (zh) 生产制造执行管理***及生产任务管理器
CN112633769A (zh) 一种高级计划排程***
CN111353787A (zh) 一种基于云平台的装备综合保障***
CN110084485A (zh) 一种园区关联企业孵化管理***
CN109784862A (zh) 电网设备管理***和设备
CN109615233A (zh) 基于基础数采的智慧水务管理平台
CN110689214A (zh) 一种物资供应智汇管控平台
TW591467B (en) A system and method for runcard control in semiconductor manufacturing
CN110826926A (zh) 一种用于表面组装生产线的智能制造执行***

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
AD01 Patent right deemed abandoned

Effective date of abandoning: 20210604

AD01 Patent right deemed abandoned