CN107024323B - 泄漏检查装置及泄漏检查方法 - Google Patents

Abstract

提供一种泄漏检查装置及泄漏检查方法，能够高精度地进行泄漏检测，并且能够反复使用密封部件。泄漏检查装置具备：检查腔室，其能够收纳工件；按压构件，通过对密封部件进行按压使其与该检查腔室内的所述工件的开口部抵接来封堵该开口部，而将所述检查腔室内隔离为所述工件的内部侧和外部侧的彼此分开的密闭空间部；气体供给构件，其向所述工件的所述内部侧或所述外部侧中的一方的密闭空间部供给示踪气体；泄漏检测构件，其对从所述一方的密闭空间部泄漏到另一方的密闭空间部的所述示踪气体进行检测；锁止构件，其使封堵所述开口部的状态的所述密封部件的移动停止。

Description

泄漏检查装置及泄漏检查方法

技术领域

本发明涉及利用示踪气体对工件中的泄漏进行检测的泄漏检查装置及泄漏检查方法。

背景技术

例如对在机动车中使用的轮胎进行支承的轮毂，由于在使轮胎内部的空气为密闭的状态下进行支承，因此要求气密性。一般来说，轮毂通过铝铸件的铸造和锻造、或者在组合式轮毂中，通过螺纹固定来对轮辋与轮辐焊接或密封等而接合形成。然而，在轮毂上会产生由于在铸造时产生的微小的孔和裂纹、焊接不良而引起的空气泄漏。于是，在像轮毂那样要求气密性的工件(圆筒、空调室外机、压缩机、机动车用燃料箱等各种工件)中，为了可靠地维持气密性，进行使用示踪气体(检查用气体)的泄漏检查(泄漏试验)。

作为用于实施使用该示踪气体的泄漏检查的泄漏检查装置，公知例如专利文献1所公开的装置。

专利文献1所记载的泄漏检查装置(泄漏试验装置)具备：密封夹具，其封堵工件即铝合金轮毂的轴向端部；容器，其覆盖铝合金轮毂及密封夹具；以及，真空腔室。另外，在专利文献1中，密封夹具具有由树脂或橡胶构成的密封环，利用密封环来密封铝合金轮毂的轴向两端。而且，在该泄漏检查装置中，在利用密封夹具封堵铝合金轮毂的轴向两端的状态下，向铝合金轮毂内空间供给氦气、空气混合气体，通过对从铝合金轮毂内泄漏到真空腔室的气体进行检测，来判定气体泄漏的有无。

专利文献1：(日本)特开2000‐74777号公报

这样，在专利文献1所记载的泄漏检查装置中，通过利用树脂、橡胶形成的具有柔性的密封部件(密封环)来封堵工件(铝合金轮毂)的开口部(开口)，能够维持使工件的内部侧的密闭空间部与外部侧的密闭空间部密闭的状态。另外，在这样的结构的泄漏检查装置中，如图6所示，通过向工件20的内部侧的密闭空间部11或外部侧的密闭空间部12(在图6中为外部侧的密闭空间部12)供给氦气等示踪气体，示踪气体对密封部件31A进行按压而在密封部件31A施加有使其返回的反作用力f3。因此，为了维持密封部件31A、31B与工件20的开口部21a、21b紧密接触的状态，在工件20及密封部件31A上，需要考虑示踪气体带来的反作用力f3，施加比供给示踪气体前封堵工件20的开口部21a、21b所需的按压力、即工件20按压密封部件31A使其返回的力f2与示踪气体所带来的反作用力f3的合力更大的按压力f1。

然而，如果施加该按压力f1，则在供给示踪气体的初期，不产生示踪气体带来的反作用力f3，因此在工件上施加有过剩的按压力，应被检查的微小的孔和裂纹等发生变形而被封堵，出现不能合理地检测出泄漏的问题。另外，在密封部件上也施加有过剩的按压力，因此也出现了密封部件在短时间内发生磨损的问题。

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而做出的，其目的在于提供一种能够高精度地进行检测检测、并且能够反复使用密封部件的泄漏检查装置及泄漏检查方法。

本发明的泄漏检查装置的特征在于，具备：检查腔室，其能够收纳工件；按压构件，其通过对该检查腔室内的密封部件进行按压使其与所述工件的开口部抵接来封堵该开口部，而将所述检查腔室内隔离为所述工件的内部侧和外部侧的彼此分开的密闭空间部；气体供给构件，其向所述工件的所述内部侧或所述外部侧中的一方的密闭空间部供给示踪气体；泄漏检测构件，其检测从所述一方的密闭空间部泄漏到另一方的密闭空间部的所述示踪气体；锁止构件，其使封堵所述开口部的状态的所述密封部件向从所述工件离开的方向的移动停止。

在该泄漏检查装置中，在通过按压密封部件使其与工件的开口部抵接来将工件的内部侧和外部侧隔离为分开的密闭空间部时，可以不考虑向一方的密闭空间部供给示踪气体而产生的反作用力(内压)而将施加于密封部件及工件的按压力设定为维持对开口部进行封堵的状态所需的大小。而且，在向一方的密闭空间部供给示踪气体之前，通过利用锁止构件使密封部件向从工件离开的方向的移动停止，即便向一方的密闭空间部供给示踪气体而使示踪气体带来的反作用力逐渐上升，也能够利用密封部件维持对开口部进行封堵的状态。

这样，在该泄漏检查装置中，在供给示踪气体之前，为了维持对工件的开口部进行封堵的状态，不需要考虑示踪气体所带来的反作用力而对工件施加过剩的按压力，所要检查的微小的孔、裂纹等不会发生变形而被堵塞，能够高精度地进行检测。并且，由于不会对密封部件施加过剩的按压力，因而能够防止密封部件的磨损，能够长期、持续地使用密封部件。

在本发明的泄漏检查装置中，优选所述按压构件利用油压缸构成，所述锁止构件利用阻止所述油压缸的流体的流动的阀构成。

由于油压缸以非压缩性的油作为流体，在利用油压缸按压密封部件使其与工件的开口部抵接的状态下，通过使阀闭阀来切断油压缸的流体的流动，能够保持该状态。因此，即使产生由示踪气体带来的反作用力，密封部件也不会被推回，能够维持对工件的开口部进行封堵的状态。

需要说明的是，在使用气缸作为按压构件时，由于气缸以具有压缩性的气体(空气)作为流体，因此与经由弹簧进行按压的情况相同，在示踪气体施加反作用力时存在密封部件被推回的隐患。因此，在示踪气体的供给前，考虑到示踪气体的反作用力，需要在工件上施加比封堵工件的开口部的所需的按压力大的按压力。在这种情况下，由于对工件施加过剩的按压力，存在所要检查的微小的孔、裂纹等发生变形而被堵住的隐患。

在本发明的泄漏检查装置中，优选所述按压构件具备与所述密封部件抵接而进行按压的按压板部，所述锁止构件具有止动部件，该止动部件与所述按压板部抵接而使所述密封部件向从所述工件离开的方向的移动停止。

例如在使用气缸作为按压构件的情况下，利用止动部件使密封部件向从工件离开的方向的移动停止，因此即使产生由示踪气体造成的反作用力，密封部件也不会被推回，能够维持封堵工件的开口部的状态。

本发明的泄漏检查方法，在能够收纳工件的检查腔室内，通过按压密封部件使其与所述工件的开口部抵接来封堵该开口部，而处于在所述检查腔室内将所述工件的内部侧和外部侧隔离为分开的密闭空间部的状态，向所述工件的内部侧或外部侧中的一方的密闭空间部供给示踪气体，对所述示踪气体从所述一方的密闭空间部向另一方的密闭空间部的泄漏进行检测，该泄漏检查方法的特征在于，在使封堵所述开口部的状态的所述密封部件向从所述工件离开的方向的移动停止的状态下，向所述一方的密闭空间部供给所述示踪气体。

根据本发明，能够高精度地对工件的泄漏进行检测，并且能够长期且反复地使用密封部件。

附图说明

图1是表示本发明的泄漏检查装置的第一实施方式的示意图。

图2是表示第一实施方式的变形例的示意图。

图3是表示本发明的泄漏检查装置的第二实施方式的示意图。

图4是表示本发明的泄漏检查装置的第三实施方式的示意图。

图5是表示本发明的泄漏检查装置的第四实施方式的示意图。

图6是表示现有的泄漏检查装置的示意图。

附图标记说明

10…检查腔室，

11…内部侧的密闭空间部(另一方的密闭空间部)，12…外部侧的密闭空间部(一方的密闭空间部)，13…基部，14…本体部，15…顶部，16…圆筒部，17…通孔，20，23，25…工件，21a、21b，24，26…开口部，31A、31B，32…密封部件，40，45…按压构件，41…油压缸，42、47…轴部，35、43、48…按压板部，46、81A、81B…气缸，48a、48b…卡合孔，44、44A、44B…油压源，49、84…气压源，51…气体供给构件，52…泄漏检测构件，60、70、80、90…锁止构件，61A、61B…截止阀，71、75、91…中位关闭阀，82A、82B…轴部(止动部件)，83A、83B…楔子机构，85…双向阀，101、101S、102、103、104…泄漏检查装置。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

图1表示本发明第一实施方式的泄漏检查装置101。如图1所示，该泄漏检查装置101在利用密封部件31A、31B封堵在两侧(在图1中为上下)具有开口部的筒状的工件20的开口部21a、21b的状态下，将该工件20配置在检查腔室10内，利用示踪气体对工件20的内部侧的密闭空间部11与外部侧的密闭空间部12之间的泄漏进行检测。具体地说，使用氦气作为示踪气体。

泄漏检查装置101具备：检查腔室10，其能够收纳工件20；按压构件40，其通过按压密封部件31A、31B而使其与该检查腔室10内的工件20的上下的开口部21a、21b抵接来封堵开口部21a、21b，将检查腔室内10隔离为工件20的内部侧和外部侧的彼此分开的密闭空间部11、12；气体供给构件51，其向工件20的外部侧的密闭空间部12(本发明中的一方的密闭空间部)供给示踪气体；泄漏检测构件52，其检测从外部侧的密闭空间部12泄漏到内部侧的密闭空间部11(本发明中的另一方的密闭空间部)的示踪气体；锁止构件60，其使封堵工件20的开口部21a、21b的状态的密封部件31A、31B向从工件20离开的方向的移动停止。

而且，在本实施方式的泄漏检查装置101中，按压构件40利用油压缸41和在其轴部42上安装的按压板部43构成。另外，锁止构件60利用在构成按压构件40的油压缸41与油压源44A、44B之间设置的截止阀61A、61B(本发明中的阀)构成。截止阀61A、61B通过切换开阀和闭阀这两个位置，能够在油压缸41与油压源44A、44B之间对油(流体)的流路的开放和切断进行切换，在使截止阀61A、61B处于开阀位置p12时，能够驱动油压缸41，使按压板部43上下移动。另一方面，在使截止阀61A、61B处于闭阀位置p11时，通过切断油压缸41与油压源44A、44B之间的油的流通，能够使按压板部43的上下移动停止，使按压板部43保持当前状态。

检查腔室10由圆板状的基部13和在该基部13上载置的拱状的本体部14构成。另外，检查腔室10的本体部14由圆板状的顶部15和从该顶部15的周缘向下方延伸的圆筒状的圆筒部16构成。需要说明的是，虽然省略了图示，但是在基部13与本体部14之间安装有密封部件，检查腔室10的内部被密闭，与外部隔绝。

而且，在检查腔室10的基部13的上表面，安装有用于封堵工件20的下侧的开口部21b的下侧的密封部件31B。并且，在这些基部13及下侧的密封部件31B上设有通气孔(省略图示)，经由该通气孔连接有泄漏检测构件52。

在检查腔室10的本体部14，设有油压缸41的轴部42能够上下移动地***的通孔17，轴部42的下端经由该通孔17向检查腔室10的内部突出而连结于按压板部43。需要说明的是，虽然省略了图示，在通孔17设有轴承，通过使轴部42能够滑动地嵌合于轴承，能够使轴部42顺畅地上下移动。而且，通过油压缸41的驱动使轴部42上下移动，能够使按压板部43上下移动。

在按压板部43的下表面安装有上侧的密封部件31A，上侧的密封部件31A设置为能够伴随着按压板部43的上下移动而上下移动。另外，该上侧的密封部件31A设置为能够在其与检查腔室10的圆筒部16之间不发生空气泄漏地上下移动。因此，使工件20的下侧的开口部21b朝向下侧的密封部件31B而载置在下侧的密封部件31B的上，在该状态下通过驱动油压缸41而使上侧的密封部件31A下降，按压上侧的密封部件31A使其与工件20的上侧的开口部21a抵接，将工件20的上下开口部21a、21b夹在下侧的密封部件31B与上侧的密封部件31A之间，能够使工件20的上侧的开口部21a与密封部件31A、下侧的开口部21b与密封部件31B紧密贴合。然后，通过该紧密贴合，利用密封部件31A、31B来封堵工件20的开口部21a、21b，使工件20的内部侧与外部侧隔离，在检查腔室10的内部形成密闭空间部11、12。

另外，在构成外部侧的密闭空间部12的检查腔室10的圆筒部16设有通气孔(省略图示)，该通气孔与供给检查用的示踪气体的气体供给构件51连接。

接着，对使用以这种方式构成的泄漏检查装置101进行圆筒状的工件20的泄漏检查的方法进行说明。

首先，使工件20的下侧的开口部21b朝向下侧的密封部件31B而将其载置在下侧的密封部件31B上。然后，驱动油压缸41而使按压板部43及上侧的密封部件31A下降移动，按压上侧的密封部件31A使其与工件20的上侧的开口部21a抵接。由此，工件20被夹在下侧的密封部件31B与上侧的密封部件31A之间，通过封堵工件20的上下开口部21a、21b，工件20的内部侧与外部侧被隔离，形成密闭空间部11、12。此时不考虑通过向外部侧的密闭空间部12供给示踪气体而产生的反作用力(内压)，使施加于密封部件31A、31B及工件20的按压力成为维持封堵工件20的上下的开口部21a、21b的状态所需的大小。

然后，在向外部侧的密闭空间部12供给示踪气体之前，使截止阀61A、61B闭阀，使按压板部43的上下移动停止，使封堵工件20的开口部21a、21b的状态的密封部件31A、31B的上下移动停止，使密封部件31A向从工件20离开的方向的移动停止。此外，由于油压缸41以非压缩性的油作为流体，通过在利用按压板部43按压密封部件31A、31B而使其与工件20的开口部21a、21b抵接的状态下切断油压缸41的油(流体)的流动，能够保持封堵工件20的开口部21a、21b的状态。

接着，排出密闭空间部11、12内的气体使其减压，通过在保持对工件20的开口部21a、21b的封堵的状态下从气体供给构件51向外部侧的密闭空间部12内供给示踪气体，并且利用泄漏检查构件52来检测内部侧的密闭空间部11内的示踪气体。由此，如果在内部侧的密闭空间部11内检测到示踪气体，则判断为在工件20上存在裂纹、孔等缺陷且发生了泄漏，如果没有检测到示踪气体，则判断为工件20上不存在裂纹、孔等缺陷，不存在泄漏。

此外，在向外部侧的密闭空间部12内供给示踪气体之后，示踪气体被填充到外部侧的密闭空间部12内而使内压上升，虽然产生了示踪气体带来的反作用力，但是由于在示踪气体的供给前使截止阀61A、61B闭阀，切断了油压缸41的油的流动，因此上侧的密封部件31A及按压板部43不会被示踪气体的反作用力推回，能够稳定地进行检查。

在泄漏检查结束后，使检查腔室10内恢复为常压，排出示踪气体。然后，使截止阀61A、61B开阀，使油压缸41驱动而使按压板部43上升移动，从检查腔室10内取出检查后的工件20，通过与其他未检查的工件20进行更换，能够对多个工件20反复地进行泄漏检查。

这样，在本实施方式的泄漏检查装置101中，通过预先使截止阀61A、61B闭阀而使密封部件31A向从工件20离开的方向的移动停止，即便向外部侧的密闭空间部12供给示踪气体而使由示踪气体造成的反作用力逐渐上升，也能够利用密封部件31A、31B维持对工件20的开口部21a、21b进行封堵的状态。

因此，在该泄漏检查装置101中，在示踪气体的供给前，为了利用密封部件31A、31B维持对工件20的开口部21a、21b进行封堵的状态，不在工件20上施加考虑示踪气体带来的反作用力的过剩的按压力，因此所要检查的微小的孔、裂纹等不会发生变形而被堵住，能够高精度地对泄漏进行检测。另外，在密封部件31A、31B上也不会施加有过剩的按压力，因此能够防止密封部件31A、31B的磨损，能够持续且长期地使用密封部件31A、31B。

此外，在图1所示的泄漏检查装置101中，使彼此分开的密封部件31A、31B与工件20的两端的开口部21a、21b紧密贴合而进行封堵，但是如图2所示的泄漏检查装置101S那样，在对一方的开口部被封堵的有底的工件23进行检查的情况下，预先设置对工件23的一个部位的开口部24进行封堵的密封部件31A即可，能够省略下侧的密封部件。

图3表示本发明第二实施方式的泄漏检查装置102。该泄漏检查装置102与第一实施方式的泄漏检查装置101相同，在利用密封部件31A、31B来封堵在两侧(在图3中为上下)具有开口部的筒状的工件20的开口部21a、21b的状态下，将该工件20配置在检查腔室10内，利用示踪气体对工件20的内部侧的密闭空间部11与外部侧的密闭空间部12之间的泄漏进行检测。需要说明的是，在第二实施方式的泄漏检查装置102中，对于与第一实施方式的泄漏检查装置101共通的要素标注同一附图标记并且省略说明，在之后的第三实施方式的泄漏检查装置103、第四实施方式的泄漏检查装置104中也是如此。

在该泄漏检查装置102中，检查腔室10、按压构件40、气体供给构件51、泄漏检测构件52的结构与第一实施方式的泄漏检查装置101相同，但是在锁止构件70利用在构成按压构件40的油压缸41与油压源44之间设置的中位关闭阀71(本发明中的阀)构成的这一点不同。中位关闭阀71进行一个位置的闭阀和两个位置的开阀共计三个位置的切换，如图3所示，在中央的闭阀位置p22，油压缸41与油压源44之间的油的流通被切断，通过使按压板部43的上下移动停止，能够使密封部件31A向从工件20离开的方向的移动停止。另外，在中位关闭阀71处于图3的左侧的开阀位置p21时，油从油压源44流入油压缸41的上部空间、从下部空间返回油压源44，能够使轴部42下降移动，使按压板部43及密封部件31A朝向工件20前进。另一方面，在中位关闭阀71处于图3的右侧的开阀位置p23时，油从油压源44流入油压缸41的下部空间、从上部空间返回油压源44，由此能够使轴部42上升移动，使按压板部43及密封部件31A从工件20退避。

在该第二实施方式的泄漏检查装置102中，在驱动油压缸41而利用密封部件31A、31B来封堵工件20的开口部21a、21b时，使中位关闭阀71处于开阀位置p21，使按压板部32及上侧的密封部件31A下降移动。然后，按压密封部件31A、31B使其与工件20的开口部21a、21b抵接，在封堵开口部21a、21b后，使中位关闭阀71处于闭阀位置p22而使按压板部43及上侧的密封部件31A的下降移动停止，保持利用密封部件31A、31B封堵开口部21a、21b的状态。此时，不考虑通过向外部侧的密闭空间部12供给示踪气体而产生的反作用力(内压)，使施加于密封部件31A、31B及工件20的按压力成为维持对工件20的上下的开口部21a、21b进行封堵的状态所需的大小。

在第二实施方式的泄漏检查装置102中，即使通过向外部侧的密闭空间部12供给示踪气体而使示踪气体带来的反作用力逐渐上升，通过使中位关闭阀71处于闭阀位置p22，能够使按压板部43的上下移动停止而使密封部件31A的移动停止，因此能够利用密封部件31A、31B来维持对工件20的开口部21a、21b进行封堵的状态。

因此，在该泄漏检查装置102中，与第一实施方式的泄漏检查装置101相同，在示踪气体的供给前，为了维持利用密封部件31A、31B封堵工件20的开口部21a、21b的状态，不在工件20上施加考虑示踪气体所带来的反作用力的过剩的按压力，因此所要检查的微小的孔、裂纹等不会发生变形而被堵住，能够高精度地进行检测。另外，过剩的按压力也不会施加于密封部件31A、31B，因此能够防止密封部件31A、31B的磨损，能够长期且持续地使用密封部件31A、31B。

图4表示本发明第三实施方式的泄漏检查装置103。该泄漏检查装置103与第一实施方式的泄漏检查装置101及第二实施方式的泄漏检查装置102相同，在利用密封部件31A、31B封堵在两侧(在图4中为上下)具有开口部的筒状的工件20的开口部21a、21b的状态下，将该工件20配置在检查腔室10内，利用示踪气体来检测工件20的内部侧的密闭空间部11与外部侧的密闭空间部12之间的泄漏。另外，第三实施方式的泄漏检查装置103的检查腔室10、气体供给构件51、泄漏检测构件52的结构与第一实施方式的泄漏检查装置101相同，但按压构件45利用气缸46和在该轴部47上安装的按压板部48构成，并且，使密封部件31A向从工件20离开的方向的移动停止的锁止构件80由楔子机构83A、83B构成，该楔子机构83A、83B通过在按压板部48上形成的卡合孔48a、48b与在检查腔室10的本体部14上安装的气缸81A、81B的轴部82A、82B(本发明中的止动部件)的卡合来实现。即，在第三实施方式的泄漏检查装置103中，在锁止构件80利用机械构件构成的这一点与第一实施方式及第二实施方式明显不同。

构成按压构件45的气缸46经由中位关闭阀75与气压源49连接，如图4所示，在中央的闭阀位置p32，气缸46与气压源49之间的空气的流通被切断，能够使按压板部48的上下移动停止。另外，在中位关闭阀75处于图4的左侧的开阀位置p31时，空气从气压源49流入气缸46的上部空间、从下部空间返回气压源49，由此能够使轴部47下降移动，使按压板部48朝向工件20前进。而且，在中位关闭阀75处于图4的右侧的开阀位置p33时，空气从气压源49流入气缸46的下部空间、从上部空间返回气压源49，由此能够使轴部47上升移动，使按压板部48从工件20退避。

另外，如上所述，构成锁止构件80的楔子机构83A、83B利用在按压板部48上形成的卡合孔48a、48b和气缸81A、81B的轴部82A、82B构成，通过使轴部82A、82B分别与卡合孔48a、48b卡合能够对按压板部48进行固定，使其上下移动停止。另一方面，在从卡合孔48a、48b拔出气缸81A、81B的轴部82A、82B的状态下，按压板部48及密封部件31A能够伴随着构成按压构件45的气缸46的驱动而上下移动。

另外，构成楔子机构83A、83B的气缸81A、81B经由双向阀85与气压源84连接，如图4所示，在处于左侧的开阀位置p41时，空气从气压源84流入气缸81A、81B的外周侧空间、从内周侧空间返回气压源84，由此轴部82A、82B朝向内周侧移动，能够维持与按压板部48的卡合孔48a、48b卡合的状态，由此按压板部48的上下移动停止，能够使密封部件31A向从工件20离开的方向的移动停止。另一方面，在双向阀85处于图4的右侧的开阀位置p42时，空气从气压源84流入气缸81A、81B的内周侧空间、从外周侧空间返回气压源84，由此使轴部82A、82B朝向外周侧移动，通过将轴部82A、82B的前端从按压板部48的卡合孔48a、48b拔出，能够解除利用轴部82A、82B进行的束缚，使密封部件31A与按压板部48一起上下移动。

在该第三实施方式的泄漏检查装置103中，在利用密封部件31A、31B来封堵工件20的开口部21a、21b时，预先使双向阀85处于开阀位置p42而使楔子机构83A、83B的轴部82A、82B退避到外周侧。然后，使中位关闭阀75处于开阀位置p31，使按压板部48及上侧的密封部件31A下降移动。然后，按压密封部件31A、31B使其与工件20的开口部21a、21b抵接，在封堵开口部21a、21b后，使中位关闭阀75处于闭阀位置p32而使按压板部48及上侧的密封部件31A的上下移动停止，保持利用密封部件31A、31B封堵开口部21a、21b的状态。此时，不考虑将示踪气体供给到外部侧的密闭空间部12而产生的反作用力(内压)，使施加于密封部件31A、31B及工件20的按压力成为维持对工件20的上下的开口部21a、21b进行封堵的状态所需的大小。

另外，在向外部侧的密闭空间部12供给示踪气体之前，通过使双向阀85处于开阀位置p41而使楔子机构83A、83B的轴部82A、82B向内周侧移动，使按压板部48的卡合孔48a、48b与轴部82A、82B卡合，使按压板部48及密封部件31A的上下移动停止。

在该泄漏检查装置103中，使用气缸46作为按压构件45，但是由于气缸46以具有压缩性的气体(空气)作为流体，因此与经由弹簧对密封部件31A、31B进行按压的情况相同。因此，在受到示踪气体带来的反作用力的情况下，气缸46的上部空间的空气被压缩，按压板部48及上侧的密封部件31A有可能被推回从工件20离开的方向。然而，在第三实施方式的泄漏检查装置103中，设置楔子机构83A、83B作为锁止构件80，利用机械构件使按压板部48的上下移动停止。这样，在示踪气体的供给前，通过使构成楔子机构83A、83B的轴部82A与卡合孔48a卡合、使轴部82B与卡合孔48b卡合，即便示踪气体被填充到外部侧的密闭空间部12内而使内压上升，产生示踪气体带来的反作用力的情况下，通过使轴部82A、82B与卡合孔48a、48b抵接而能够使按压板部48向离开工件20的方向的移动停止。因此，上侧的密封部件31A及按压板部48不会被示踪气体的反作用力推回，能够稳定地进行检查。

此外，在图4中，图示了两个楔子机构83A、83B，但也可以利用三个以上的楔子机构来构成锁止构件。在这种情况下，使示踪气体带来的反作用力分散于各楔子机构，因此优选各楔子机构在按压板部48的周向上以等间隔配置。

此外，在泄漏检查结束后，使双向阀85处于开阀位置p42，使轴部82A、82B朝向外周侧移动，解除轴部82A、82B与卡合孔48a、48b的卡合。然后，使中位关闭阀75处于开阀位置p33，使气缸46驱动而使按压板部48上升移动。

这样，在第三实施方式的泄漏检查装置103中，即使向外部侧的密闭空间部12供给示踪气体而使示踪气体带来的反作用力逐渐上升，也能够利用楔子机构83A、83B使按压板部48的上下移动停止，使密封部件31A向从工件20离开的方向的移动停止，因此能够利用密封部件31A、31B维持对工件20的开口部21a、21b进行封堵的状态。

因此，在该泄漏检查装置103中，与第一实施方式的泄漏检查装置101及第二实施方式的泄漏检查装置102相同，在示踪气体的供给前，在利用密封部件31A、31B对工件20的开口部21a、21b进行封堵时，不在工件20上施加考虑示踪气体所带来的反作用力的过剩的按压力，因此所要检查的微小的孔、裂纹等不会发生变形而被堵住，能够高精度地进行检测。另外，也不会对密封部件31A、31B施加有过剩的按压力，因此能够防止密封部件31A、31B的磨损，能够长期且持续地使用密封部件31A、31B。

此外，在第三实施方式中，通过使止动部件的轴部82A、82B卡合于按压板部48的卡合孔48a、48b，来使密封部件31A的上下移动停止，但也可以通过使轴部82A、82B与按压板部48的背面(与密封部件31A的安装面位于相反侧的面)抵接来使按压板部48及密封部件31A向离开工件20的方向的移动停止。

另外，在第三实施方式中，使用气缸81A、81B作为驱动锁止构件80的楔子机构83A、83B的构件，但不限于此，例如，也可以采用利用马达等其他动力源使轴部82A、82B移动的结构。另外，也可以利用楔子机构之外的机械构件来构成锁止构件。

图5表示第四实施方式的泄漏检查装置104。在第一实施方式～第三实施方式的泄漏检查装置101～103中，以在两侧具有开口部21a、21b的筒状的工件20作为检查对象，但工件不限于此，如图5所示，也能够进行气瓶等具有一个部位的开口部26的工件25的泄漏检查。

在第四实施方式的泄漏检查装置104中，按压构件40利用油压缸41和在其轴部42上安装的按压板部35构成。另外，锁止构件90利用在构成按压构件40的油压缸41与油压源44之间设置的中位关闭阀91(本发明中的阀)构成。在这种情况下，如图5所示，在中位关闭阀91处于中央的闭阀位置p52时，油压缸41与油压源44之间的油的流通被切断，按压板部35的进退移动停止。另外，在中位关闭阀91处于图5的左侧的开阀位置p51时，油从油压源44流入油压缸41的左侧空间、从右侧空间返回油压源44，由此使轴部42向右侧移动，能够使按压板部35朝向工件25前进。而且，在中位关闭阀91处于图5的右侧的开阀位置p53时，油从油压源44流入油压缸41的右侧空间、从左侧空间返回油压源44，由此使轴部42向左侧移动，能够使按压板部35从工件25退避。

在该第四实施方式的泄漏检查装置104中，在驱动油压缸41而利用密封部件32来封堵工件25的开口部26时，使中位关闭阀91处于开阀位置p51，使按压板部35及密封部件32前进移动。然后，按压密封部件32而使其与工件25的开口部26抵接，在封堵开口部26后，使中位关闭阀91处于闭阀位置p52而使按压板部35及密封部件32的进退移动停止，保持利用密封部件32对开口部26进行封堵的状态。此时，不考虑将示踪气体供给到外部侧的密闭空间部12而产生的反作用力(内压)，使施加于密封部件32及工件25的按压力成为维持对工件25的开口部26进行封堵的状态所需的大小。

此外，在向外部侧的密闭空间部12内供给示踪气体之后，示踪气体被填充到外部侧的密闭空间部12内而使内压上升，产生示踪气体所带来的反作用力，但是在示踪气体的供给之前使中位关闭阀91关闭，切断了油压缸41的油的流动，因此密封部件32及按压板部35不会由于示踪气体的反作用力而被推回，能够稳定地进行检查。

这样，在第四实施方式的泄漏检查装置104中，通过使中位关闭阀91预先处于闭阀位置p52，即便向外部侧的密闭空间部12供给示踪气体而使示踪气体带来的反作用力逐渐上升，也能够使按压板部35的进退移动停止，使密封部件32向从工件25离开的方向的移动停止，能够维持利用密封部件32对工件25的开口部26进行封堵的状态。

因此，在该泄漏检查装置104中，与第一实施方式～第三实施方式的泄漏检查装置101～103相同，在示踪气体的供给前，为了利用密封部件32维持对工件25的开口部26进行封堵的状态，不对工件26施加考虑了示踪气体带来的反作用力的过剩的按压力，因此所要检查的微小的孔、裂纹等不会发生变形而被堵住，能够高精度地进行检测。另外，也不会对密封部件32施加过剩的按压力，因此能够防止密封部件32的磨损，能够长期且持续地使用密封部件32。

此外，在上述泄漏检查装置101～104中，向外部侧的密闭空间部供给示踪气体，对从外部侧的密闭空间部泄漏到内部侧的密闭空间部的示踪气体进行检测，但也可以向内部侧的密闭空间部供给示踪气体，对从内部侧的密闭空间部泄漏到外部侧的密闭空间部的示踪气体进行检测。

需要说明的是，本发明不限于上述实施方式，在不脱离本发明主旨的范围内能够实施各种变更。

Claims (4)

1.一种泄漏检查装置，其特征在于，具备：

检查腔室，其能够收纳工件；

按压构件，通过对密封部件进行按压使其与该检查腔室内的所述工件的开口部抵接来封堵该开口部，而将所述检查腔室内隔离为所述工件的内部侧和外部侧的彼此分开的密闭空间部；

气体供给构件，其向所述工件的所述内部侧或所述外部侧中的一方的密闭空间部供给示踪气体；

泄漏检测构件，其对从所述一方的密闭空间部泄漏到另一方的密闭空间部的所述示踪气体进行检测；

锁止构件，其使封堵所述开口部的状态的所述密封部件向从所述工件离开的方向的移动停止；

所述锁止构件在所述示踪气体的供给前，在通过所述按压构件施加于所述密封部件的按压力比所述工件按压所述密封部件而使其返回的力大、且比所述示踪气体按压所述密封部件而使其返回的反作用力与所述力的合力小的状态下，使所述密封部件的移动停止。

2.根据权利要求1所述的泄漏检查装置，其特征在于，

所述按压构件利用油压缸构成，所述锁止构件利用使所述油压缸的流体的流动停止的阀构成。

3.根据权利要求1所述的泄漏检查装置，其特征在于，

所述按压构件具备与所述密封部件抵接而进行按压的按压板部，

所述锁止构件具有止动部件，所述止动部件与所述按压板部抵接而使所述密封部件向从所述工件离开的方向的移动停止。

4.一种泄漏检查方法，

在能够收纳工件的检查腔室内，

通过按压密封部件使其与所述工件的开口部抵接来封堵该开口部，而处于将所述检查腔室内隔离为所述工件的内部侧和外部侧的彼此分开的密闭空间部的状态，

向所述工件的内部侧或外部侧中的一方的密闭空间部供给示踪气体，

对所述示踪气体从所述一方的密闭空间部向另一方的密闭空间部的泄漏进行检测，

所述泄漏检查方法的特征在于，

在施加于封堵所述开口部的所述密封部件的按压力比所述工件按压所述密封部件而使其返回的力大、且比所述示踪气体按压所述密封部件而使其返回的反作用力与所述力的合力小的状态下，使所述密封部件向从所述工件离开的方向的移动停止，向所述一方的密闭空间部供给所述示踪气体。

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