CN106929816B - 镀膜机转架 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种新型镀膜机转架,包括:自转齿轮、自转装置、固定齿轮、限位装置、滚珠、弹簧垫圈、从动齿轮和主传动齿轮,滚珠在限位槽内可运动,自转齿轮和自转装置配合装配可自由转动,自转装置固定在从动齿轮上,主传动齿轮与从动齿轮啮合并驱动所述从动齿轮转动,从动齿轮转动带动所述自转齿轮,自转齿轮与所述固定齿轮啮合并在所述从动齿轮带动下自转,固定齿轮与自转齿轮均为不完全齿轮。本发明所述新型镀膜机转架,通过不完全齿轮固定齿轮和自转齿轮的使用,使得镀膜转架可以在同一炉膛内翻面,提高了双面镀膜效率,有效保障了双面镀膜的均匀性和一致性。
Description
技术领域
本发明涉及机械技术领域,尤其涉及一种新型镀膜机转架。
背景技术
现有的镀膜机转架都是简单的公自转,只要启动转架的传动装置,转架在镀膜机内部就会不停的旋转,无法进行选择性的旋转。
有公、自转的转架,在镀膜过程中公转和自转都在不停的转动,不能有选择性的镀膜。而只有公转的转架,又不能实现在同一炉批次内自动翻面。若要同时镀两面,必须在转架的内侧增加镀膜源。设备购买成本增加,且难以保证两的一致性,即便连续生产线可以生产,但设备成本太高,而且占地面积过大。
发明内容
为此,本发明所要解决的技术问题是:提供一种新型镀膜机转架,以提高双面镀膜效率,保障双面镀膜的均匀性和一致性。
于是,本发明提供了一种新型镀膜机转架,包括:自转齿轮、自转装置、固定在镀膜机转架上的固定齿轮、固定在固定齿轮上的限位装置、设置在限位装置上的限位槽内的滚珠、弹簧垫圈、从动齿轮和主传动齿轮,滚珠在限位槽内可运动,自转齿轮和自转装置配合装配可自由转动,自转装置固定在从动齿轮上,主传动齿轮与从动齿轮啮合并驱动所述从动齿轮转动,从动齿轮转动带动所述自转齿轮,自转齿轮与所述固定齿轮啮合并在所述从动齿轮带动下自转,固定齿轮与自转齿轮均为不完全齿轮。
其中,当自转齿轮全齿与所述固定齿轮全齿产生啮合时,自转齿轮自动旋转,当自转齿轮转过所啮合的全齿时,所述自转齿轮的锁止弧与所述固定齿轮的锁止弧配合运动,所述自转齿轮不发生转动。
所述自转装置连同自转齿轮通过圆形垫圈、弹簧垫圈和内六角螺钉将自转装置固定在从动齿轮上。
本发明所述新型镀膜机转架,通过不完全齿轮固定齿轮和自转齿轮的使用,使得镀膜转架可以在同一炉膛内翻面,提高了双面镀膜效率,有效保障了双面镀膜的均匀性和一致性。
附图说明
图1为本发明实施例所述新型镀膜机转架的剖面结构示意图;
图2为本发明实施例所述新型镀膜机转架的固定齿轮与自转齿轮位置关系结构示意图。
具体实施方式
下面,结合附图对本发明进行详细描述。
如图1和图2所示,本实施例提供了一种新型镀膜机转架,该转架包括:自转装置1、固定齿轮2、限位装置3、滚珠4、自转齿轮5、弹簧垫圈6、从动齿轮7、圆形垫圈8、内六角螺钉9、主传动齿轮10。
固定齿轮2通过固定的方式将所述固定齿轮2固定在所述镀膜机转架上。
限位装置3通过固定的方式将限位装置3固定在固定齿轮2上。
滚珠4自由放置在固定齿轮2的限位槽内,并使滚珠4在固定齿轮2的限位槽内***。限位槽(图中未标示)设置在限位装置3上。
自转齿轮5与所述自转装置1配合装配,并能自由转动。
自转装置1连同所述自转齿轮5用所述圆形垫圈8、弹簧垫圈6、内六角螺钉9将所述自转装置1固定在从动齿轮7上。
主传动齿轮10与从动齿轮7啮合并驱动从动齿轮7转动,从动齿轮7转动带动自转齿轮5,自转齿轮5与固定齿轮2啮合并在从动齿轮7带动下做自转运动。
固定齿轮2与所述自转齿轮5均为不完全齿轮,当自转齿轮5全齿与固定齿轮2的全齿产生啮合时,自动齿轮5会自动旋转。当自动齿轮5转过所啮合的全齿时,自转齿轮5的锁止弧30与所述固定齿轮2的锁止弧30配合运动,并保证自转齿轮5不发生转动,至止运动到下一个周期。
因此,本实施例所述新型镀膜机转架在镀双面膜时,可在同一炉内进行翻面,节省时间。
综上所述,本实施例所述新型镀膜机转架,通过不完全齿轮固定齿轮和自转齿轮的使用,使得镀膜转架可以在同一炉膛内翻面,提高了双面镀膜效率,有效保障了双面镀膜的均匀性和一致性。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (2)
1.一种镀膜机转架,其特征在于,包括:自转齿轮、自转装置、固定在镀膜机转架上的固定齿轮、固定在固定齿轮上的限位装置、设置在限位装置上的限位槽内的滚珠、弹簧垫圈、从动齿轮和主传动齿轮,滚珠在限位槽内可运动,自转齿轮和自转装置配合装配可自由转动,自转装置固定在从动齿轮上,主传动齿轮与从动齿轮啮合并驱动所述从动齿轮转动,从动齿轮转动带动所述自转齿轮,自转齿轮与所述固定齿轮啮合并在所述从动齿轮带动下自转,固定齿轮与自转齿轮均为不完全齿轮;
当自转齿轮全齿与所述固定齿轮全齿产生啮合时,自转齿轮自动旋转,当自转齿轮转过所啮合的全齿时,所述自转齿轮的锁止弧与所述固定齿轮的锁止弧配合运动,所述自转齿轮不发生转动。
2.根据权利要求1所述的转架,其特征在于,所述自转装置连同自转齿轮通过圆形垫圈、弹簧垫圈和内六角螺钉将自转装置固定在从动齿轮上。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710264267.5A CN106929816B (zh) | 2017-04-21 | 2017-04-21 | 镀膜机转架 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710264267.5A CN106929816B (zh) | 2017-04-21 | 2017-04-21 | 镀膜机转架 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106929816A CN106929816A (zh) | 2017-07-07 |
CN106929816B true CN106929816B (zh) | 2019-08-27 |
Family
ID=59437826
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710264267.5A Expired - Fee Related CN106929816B (zh) | 2017-04-21 | 2017-04-21 | 镀膜机转架 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106929816B (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108396302B (zh) * | 2018-05-29 | 2024-07-09 | 大连威钛克纳米科技有限公司 | 基片承载轴连续摆动式转架 |
CN110172677A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-08-27 | 佛山王氏航空光学科技有限公司 | 用于真空镀膜的公自转式镀膜设备 |
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CN201567365U (zh) * | 2009-11-17 | 2010-09-01 | 深圳市振恒昌实业有限公司 | 新型多用途镀膜机转架 |
WO2011135810A1 (ja) * | 2010-04-28 | 2011-11-03 | 株式会社アルバック | 成膜装置 |
CN202865327U (zh) * | 2012-09-05 | 2013-04-10 | 常州大成绿色镀膜科技有限公司 | 一种立式镀膜机工件转架传动装置 |
CN204174265U (zh) * | 2014-09-30 | 2015-02-25 | 光驰科技(上海)有限公司 | 一种可实现真空状态下自动翻片的翻转驱动装置 |
CN105603377A (zh) * | 2016-02-23 | 2016-05-25 | 东莞市汇成真空科技有限公司 | 公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构 |
CN106364894A (zh) * | 2016-11-09 | 2017-02-01 | 芜湖市恒浩机械制造有限公司 | 一种定时转向装置 |
-
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- 2017-04-21 CN CN201710264267.5A patent/CN106929816B/zh not_active Expired - Fee Related
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CN106364894A (zh) * | 2016-11-09 | 2017-02-01 | 芜湖市恒浩机械制造有限公司 | 一种定时转向装置 |
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---|---|
CN106929816A (zh) | 2017-07-07 |
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PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
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CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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