CN106908961B - 基于红外成像的光学组件调试方法及工具 - Google Patents
基于红外成像的光学组件调试方法及工具 Download PDFInfo
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Abstract
本发明涉及一种基于红外成像的光学组件调试方法及工具,通过对倾斜球面次反射镜倾角的测试和装调,降低了次反射镜元件对倾角的加工及校正难度。通过对平凸透镜偏心的测试和装调,使平凸透镜的偏心得到了校正和控制,排除了由于胶层厚度不均等因素导致的偏心不可控问题。对主反射镜光轴垂直度控制时,通过工装的溢胶槽、合理给定定位配合公差等方式,使主反射镜粘接位置准确、倾角得到保证。在对非球面主反射镜面型的检测时,通过合理设计补偿镜安装和固定工装,简化了其安装难度,提高了安装稳定性;对主反射镜的可靠固定,消除了普通三爪卡槽装夹应力对被测件面型的影响;主反射镜测量过程中姿态调整技巧提高了测量效率。
Description
技术领域
本发明属于基于红外成像的光学组件调试方法,涉及多种类型红外光学组件的调试和检测以及工装设计,可适用于多种红外光学***的装调。
背景技术
红外成像光学***的光学组件安装通常靠设计公差,加工保证。但由于个别较复杂***设计公差较紧或是元件加工难度大,加工无法保证。则需要科学巧妙的装调技术来保证元件的装调精度,从而保证光学***成像符合设计要求。
发明内容
本发明目的在于提供基于红外成像的光学组件调试方法及工具。通过设计一系列巧妙的工艺工装,结合可靠、操作方便、实用的装调方法,解决红外成像光学***中光学组件的装调难题。
为了达到上述目的,本发明的一个技术方案是提供一种基于红外成像的光学组件调试方法,其中,包含对倾斜球面次反射镜的倾角进行测试和装调的操作:
将次反射镜与镜座粘接构成的次反射镜组件,安装到带镜座固定锁紧装置的组件夹持工装上,镜座底面接触于所述组件夹持工装的顶部,使得与镜座底面相对的镜座端面朝上;
将平行平晶放置到镜座端面上进行调平;
将标准球放置到镜座的内孔上进行调心;
用偏心测量仪的上光路找到次反射镜的球心像,测量次反射镜的倾角;
在次反射镜与镜座之间的粘胶尚未固化时,将次反射镜相对镜座转动,对所述次反射镜的倾角进行校正;
次反射镜的倾角校正完成后静置不动,直到粘胶固化。
优选地,所述光学组件调试方法还包含对平凸透镜偏心的测试和装调的操作:
将平凸透镜与镜框粘接构成的平凸透镜组件,安装到中心偏自动真空镜头旋转装置,对平凸透镜进行偏心测量,测试平凸透镜的第一球心数据后,将平凸透镜组件绕中心偏自动真空镜头旋转装置的回转轴转动180°后,再测试平凸透镜的第二球心数据,计算第一、第二球心数据之差的一半作为偏心量;
若偏心量不符合要求的,则在平凸透镜与镜框之间的粘胶尚未固化时,将平凸透镜相对镜座转动来进行偏心校正,并在偏心校正后再次进行偏心测量;重复执行若干次偏心测量及偏心校正,直到偏心量符合要求;之后,使平凸透镜静置不动,直到其与镜框之间的粘胶固化。
优选地,偏心校正时若平凸透镜相对镜框转动超过360°仍无法使偏心量符合要求时,将平凸透镜取出装入另一个镜框重新粘接后,再进行偏心测量及偏心校正。
优选地,所述光学组件调试方法还包含对主反射镜的光轴垂直度及倾角进行控制的操作:
将壳体及套设在该壳体外面的主反射镜,安装到粘结工装上,使粘结工装中间设置的突出部***到壳体的中心孔;
粘结工装上设有环绕突出部的两个同圆心的定位环,两个定位环的顶面平行且高度差符合要求;则在安装时,使壳体底部的端面、主反射镜底部的基准面分别接触于两个定位环的顶面;
两个定位环之间设有溢胶槽,和壳体上的灌胶槽对应连通;通过灌胶槽灌入壳体与主反射镜之间的粘胶在固化过程中溢出后,流入所述溢胶槽;
壳体与主反射镜之间的粘胶固化后,选取壳体底部的端面在周向上的多个点位,以及主反射镜底部的基准面在周向上对应的多个点位,进行高度差的测量。
优选地,所述光学组件调试方法还包含对非球面主反射镜进行固定及面型检测的操作:在固定主反射镜时,所述主反射镜以无应力方式装入固定工装,所述固定工装被五轴调整架上的三爪卡盘夹持住;
所述光学组件调试方法还包含对主反射镜进行姿态调整的操作:
使离焦状态下带内孔的主反射镜,在姿态测量装置的测试画面上产生圆环;调节五轴调整架的两个倾斜旋钮来控制圆环的位置,调节五轴调整架的两个平移旋钮来控制圆环的圆度,从而对主反射镜的姿态进行调整。
优选地,所述光学组件调试方法还包含对补偿镜的固定操作:
将补偿镜以无应力方式装入L型的补偿镜工装的一个侧边,将补偿镜工装的另一个侧边通过压块紧固在气浮平台。
本发明的另一个技术方案是提供一种基于红外成像的光学组件调试工具,包含:
组件夹持工装,在对倾斜球面次反射镜的倾角进行测试和装调时,对次反射镜与镜座粘接构成的次反射镜组件进行承载;
偏心测量仪,对次反射镜的球心像进行测量,以测量次反射镜的倾角;
其中,所述组件夹持工装包含凸字型的支撑基座,以及在轴向中心贯穿该支撑基座的定位柱;所述支撑基座的顶部与镜座的底面接触,与镜座底面相对的镜座端面朝上;所述次反射镜套设在镜座的内孔的外壁;
所述定位柱通过顶部的锥度胀紧机构***到镜座的内孔中对其夹持,使得所述组件夹持工装能够对所述次反射镜组件、或所述次反射镜组件及放置到镜座端面上的平行平晶、或所述次反射镜组件及放置到镜座的内孔上的标准球进行承载;
并且,通过对镜座内孔的夹持,使得在次反射镜与镜座之间的粘胶尚未固化时允许次反射镜相对镜座进行转动,来对次反射镜的倾角进行校正。
优选地,所述光学组件调试工具还包含粘结工装,在对主反射镜的光轴垂直度及倾角进行控制时,对壳体及套设在该壳体外面的主反射镜进行承载;
粘结工装中间设置的突出部,***到壳体的中心孔;
粘结工装上还设有环绕突出部的两个同圆心的定位环,两个定位环的顶面平行且高度差符合要求;两个定位环的顶面对应接触于壳体底部的端面、主反射镜底部的基准面;
两个定位环之间设有溢胶槽,连通于壳体上的灌胶槽;经灌胶槽灌入壳体与主反射镜之间并溢出的粘胶,通过溢胶槽来容纳。
优选地,所述光学组件调试工具还包含中心偏自动真空镜头旋转装置,其在平凸透镜的偏心测量和偏心校正时,对平凸透镜与镜框粘接构成的平凸透镜组件进行承载,使得偏心测量时所述平凸透镜组件能绕中心偏自动真空镜头旋转装置的回转轴转动,并且使得偏心校正时所述平凸透镜能相对镜框进行转动;
所述中心偏自动真空镜头旋转装置还包含纵向设置的聚焦透镜、分光板、图像传感器,并在分光板的横向设置了光源;所述聚焦透镜对着被测的平凸透镜;分光板将光源发射的光,经聚焦透镜送至该平凸透镜,并通过聚焦透镜将平凸透镜反射的光,经分光板送至图像传感器。
优选地,所述光学组件调试工具还包含:
非球面主反射镜的固定工装,主反射镜以无应力方式装入该固定工装,所述固定工装进一步被五轴调整架上的三爪卡盘夹持住;
姿态测量装置,在其测试画面上产生有圆环,来与离焦状态下的主反射镜的内孔相对应;
所述五轴调整架设有两个倾斜旋钮来控制圆环在测试画面上的位置,并设有两个平移旋钮来控制圆环在测试画面上的圆度,实现对主反射镜的姿态的调整;
所述光学组件调试方法还包含L型的补偿镜工装,其中一个侧边对无应力方式装入的补偿镜进行承载,补偿镜工装的另一个侧边通过压块紧固在气浮平台上。
本发明与现有技术相比,具有以下优点:
1.本发明对倾斜球面次反射镜倾角的测试和装调,降低了次反射镜元件对倾角的加工难度,同时能够很容易地使次反射镜的倾角准确地达到所需要的角度。
2.本发明对平凸透镜偏心的测试和装调,使平凸透镜的偏心得到了校正和控制。排除了由于透镜四周胶层的厚度不均匀、镜框内径的不同轴度以及透镜元件偏心等因素导致的偏心不可控。
3.本发明对主反射镜光轴垂直度控制,通过合理的工装设计,以及留出溢胶槽、合理给定定位配合公差的技术途径,使主反射镜粘接位置准确、倾角得到保证。
4.本发明对非球面主反射镜面型的检测,通过合理设计补偿镜安装和固定工装,简化了补偿镜安装难度,提高了补偿镜位置安装稳定性;对主反射镜的固定方式,消除了普通三爪卡槽装夹应力对被测件面型的影响;主反射镜测量过程中姿态调整技巧提高了测量效率。
附图说明
图1a、图1b、图1c、图1d为本发明具体实施方式中倾斜球面次反射镜的分步装配示意图;
图2为本发明具体实施方式中平凸透镜偏心控制原理图;
图3为本发明具体实施方式中主反射镜及粘接工装的示意图;
图4为本发明具体实施方式中补偿镜安装和固定工装的示意图;
图5为本发明具体实施方式中主反射镜固定工装的示意图;
图6为本发明具体实施方式中主反射镜姿态调整的示意图。
具体实施方式
以下结合附图,通过详细说明一个较佳的具体实例,对本发明做进一步阐述。
本发明提供一种基于红外成像的光学组件调试方法及工具,包含:对倾斜球面次反射镜倾角的测试和装调;对平凸透镜偏心的测试和装调;对主反射镜光轴垂直度控制;以及,对非球面主反射镜面型检测及姿态调整。
如图1a~图1d所示,为倾斜球面次反射镜分步装配示意图,次反射镜11用胶粘在镜座12上构成组件(图1a),再装配到***的立柱上。次反射镜11中间的通孔套设在镜座12的内孔13的外壁上,该次反射镜11的第一端(图1a中的左端)与镜座12上第一端设置的承载面16紧密接触。次反射镜组件10的测试中心是镜座12的内孔13的内孔径,测试定位面为镜座12的端面14(位于与第一端相对的第二端,图1a中的右端)。例如,在镜座12的承载面16、内孔13的外壁等处设有粘胶的灌胶槽15。
调试时,将次反射镜组件10安装到组件夹持工装20上。该工装包含凸字型的支撑基座23,以及在轴向中心贯穿支撑基座23的定位柱24。镜座12的端面14朝上(远离支撑基座23的一侧),镜座12的底面17则稳定地放置在支撑基座23的顶部,并且使定位柱24顶部***到镜座12的内孔13中。
首先,以镜座12的底面17为定位,定位柱24采用锥度胀紧机构***镜座12的内孔13将其夹持住(图1b)。其次,采用放置在镜座12端面14上的平行平晶21实现调平(图1c)。然后,采用放置在镜座12内孔13上的标准球22实现调心(图1d)。最后,用偏心测量仪的上光路找到次反射镜11的球心像,用来测量次反射镜11的倾角。
次反射镜11在***中的倾角,是由次反射镜11的组件来决定的。但由于次反射镜11内孔13四周胶层的厚度不均匀、镜座12的垂直度以及次反射镜11元件倾角加工精度的原因,每个次反射镜组件10的倾角会有较大差异,无法达到要求的角度。为此,本发明中在次反射镜11与镜座12之间的粘胶还没有固化的时候,使得次反射镜11相对镜座12进行转动,来对其倾角进行校正。
为此,首先对次反射镜11的倾角进行测量,当相对转动次反射镜时,次反射镜11的倾角也在发生变化,变化的情况和倾角的大小在偏心测量仪上实时监测,直到达到想要的倾角为止。当次反射镜11相对镜座12转动超过一周以上时,倾角会在一定的角度范围内变化,在这个角度范围内,总可以找到一个角度是所需要的角度,绝大多数组件的倾角都可以通过这样的方法得到校正。若在这个角度的范围内还无法达到需要的倾角时,可以通过更换镜座12的方法来实现倾角的校正。当次反射镜11的倾角调试完成后,静置不动,直到胶固化完成后再装入***的立柱上进行***调试。
如图2所示,为平凸透镜偏心控制原理图。采用中心偏自动真空镜头旋转装置,测量平凸透镜31安装到其配套的镜座后,透镜相对镜座外圈安装定位面的偏心。平凸透镜31及其镜座可一起绕中心偏自动真空镜头旋转装置的回转轴转动,该装置还在纵向(即轴向)设有聚焦透镜41、分光板42、图像传感器(CCD)·43,在分光板42的横向设置了光源44。聚焦透镜41对着被测的平凸透镜31;分光板42将光源44发射的光,经聚焦透镜41送至该平凸透镜31,并通过聚焦透镜41将平凸透镜31反射的光,经分光板42送至CCD。
本例中使用对径偏心测试方法。以平凸透镜镜框32的外径和底面为定位,在其中放置好被测的平凸透镜31后先对其测试一组球心数据,转动180°后再测一组球心数据,两次球心数据之差的一半即为偏心量c。
平凸透镜31通过胶粘固定在镜框32中组成平凸透镜组件,镜框32的内台阶是定位面,保证了透镜的垂直度。但是,由于透镜四周胶层的厚度不均匀、镜框32内径的不同轴度以及透镜元件偏心等因素,会导致粘结后平凸透镜组件的偏心难以保证。为此,本发明中是在胶还没有固化时,用偏心测量仪对其进行偏心测量,如果偏心量超出要求的范围,就手动转动平凸透镜31使镜片相对镜框32进行转动。当镜片相对镜框32转动时,偏心会发生变化,然后再次进行偏心测量。在调试时,一边调试一边测量,直到偏心达到要求为止,绝大多数的偏心都可以通过此方法得到校正。也有极少数的情况,当镜片相对镜框32转动超过360°也难以达到偏心的要求,就要将镜片取出,换一个新的镜框重新胶粘调试。当平凸透镜组件偏心校正完成,放置不动,直到胶固化完成后再装入***的壳体中。
如图3所示,为主反射镜粘接工装示意图。主反射镜51的倾角主要依靠零件加工来实现,其背面的平面是基准面,主反射镜51反射面的轴相对背面基准面的倾角就是主反射镜51的倾角。在安装粘结主反射镜51时,以主反射镜51的基准面53以及壳体52的端面54为定位面,保证这两个面平行,从而就保证了主反射镜51的倾角。这些都是通过粘结工装60来实现的。
所述粘结工装60整体呈凸字型,顶部中间设有突出部61,环绕突出部61的平台上设有同圆心布置的两个定位环62,这两个定位环62的顶面相互平行且高度差在符合要求的范围之内;突出部61***到与主反射镜51组装的壳体52中,使主反射镜51的基准面53以及壳体52的端面54,分别对应地放置在粘结工装60的两个定位环62顶面。
由于胶有一定的流动性,在固化过程中,胶会溢出流到定位面的结合处,导致主反射镜51浮起,影响主反射镜51的倾角。因此,粘结工装60中留出了溢胶槽63。本例中的溢胶槽63位于两个定位环62之间,能够和壳体52上(该壳体52与主反射镜51之间接触面)的灌胶槽55对应连通。
主反射镜51的位置也是通过粘结工装60来保证的。控制主反射镜51基准面53与壳体52端面54的相对高度差,即可实现主反射镜51的轴向定位。只要保证主镜定位面和壳体定位面对应工装上两个定位环62顶面的高度差精度,就可以保证主反射镜51的安装位置准确。在实际安装过程中,待胶固化后要对主镜定位面和壳体端面的高度差逐点进行测量,一般一周选4个点位,以确认主反射镜51安装是否到位。
如图4所示,为补偿镜安装和固定工装的示意。补偿镜71采用无应力方式直接装入补偿镜工装72,防止补偿镜71变形。补偿镜工装72呈L型,补偿镜71安装在其中一个侧边,补偿镜工装72的另一个侧边则直接采用压块紧固在气浮平台上,即使在测量过程中无意碰到补偿镜工装72,亦不会导致补偿镜位置发生变动。
如图5所示,为主反射镜固定工装的示意。在五轴调整架82(五自由度夹盘)上预先采用三爪卡盘将主反射镜51的固定工装81夹住。主反射镜是采用无应力方式直接装入该固定工装81的,避免了主反射镜变形。可用来对主反射镜进行面型检测等操作。
如图6所示,为主反射镜姿态调整的示意,在测量过程中,离焦状态下,带内孔的主反射镜在测试画面上会产生圆环,调节五轴调整架的两个倾斜旋钮可控制圆环的位置,调节五轴调整架的两个平移旋钮可控制圆环的变形即圆度。如此,可快速调整主反射镜姿态。
综上所述,本发明中的调试方法科学、巧妙、可靠、操作方便、实用。本文中工装及装调工艺方法,有效提高了装调效率,降低了元件的报废率,且不完全依赖加工保证,过程可控。重要的是,该工装及工艺装调方法采用了相对简单的实现方式,为产品的规模化生产奠定了基础。
本发明未经描述的技术特征可以通过现有技术实现,在此不再赘述。尽管本发明的内容已经通过上述优选实例作了详细介绍,但应当认识到上述的描述不应该被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员在本发明的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换,也应属于本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种基于红外成像的光学组件调试方法,其特征在于,包含对倾斜球面次反射镜的倾角进行测试和装调的操作:
将次反射镜与镜座粘接构成的次反射镜组件,安装到带镜座固定锁紧装置的组件夹持工装上,所述组件夹持工装包含凸字型的支撑基座,以及在轴向中心贯穿该支撑基座的定位柱;镜座底面接触于所述组件夹持工装的支撑基座的顶部,使得与镜座底面相对的镜座端面朝上;所述次反射镜套设在镜座的内孔的外壁;所述定位柱通过顶部的锥度胀紧机构***到镜座的内孔中对其夹持;
将平行平晶放置到镜座端面上进行调平;
将标准球放置到镜座的内孔上进行调心;
用偏心测量仪的上光路找到次反射镜的球心像,测量次反射镜的倾角;
在次反射镜与镜座之间的粘胶尚未固化时,将次反射镜相对镜座转动,对所述次反射镜的倾角进行校正;
次反射镜的倾角校正完成后静置不动,直到粘胶固化。
2.如权利要求1所述基于红外成像的光学组件调试方法,其特征在于,
所述光学组件调试方法还包含对平凸透镜偏心的测试和装调的操作:
将平凸透镜与镜框粘接构成的平凸透镜组件,安装到中心偏自动真空镜头旋转装置,对平凸透镜进行偏心测量,测试平凸透镜的第一球心数据后,将平凸透镜组件绕中心偏自动真空镜头旋转装置的回转轴转动180°后,再测试平凸透镜的第二球心数据,计算第一、第二球心数据之差的一半作为偏心量;
若偏心量不符合要求的,则在平凸透镜与镜框之间的粘胶尚未固化时,将平凸透镜相对镜座转动来进行偏心校正,并在偏心校正后再次进行偏心测量;重复执行若干次偏心测量及偏心校正,直到偏心量符合要求;之后,使平凸透镜静置不动,直到其与镜框之间的粘胶固化。
3.如权利要求2所述基于红外成像的光学组件调试方法,其特征在于,
偏心校正时若平凸透镜相对镜框转动超过360°仍无法使偏心量符合要求时,将平凸透镜取出装入另一个镜框重新粘接后,再进行偏心测量及偏心校正。
4.如权利要求1所述基于红外成像的光学组件调试方法,其特征在于,
所述光学组件调试方法还包含对主反射镜的光轴垂直度及倾角进行控制的操作:
将壳体及套设在该壳体外面的主反射镜,安装到粘结工装上,使粘结工装中间设置的突出部***到壳体的中心孔;
粘结工装上设有环绕突出部的两个同圆心的定位环,两个定位环的顶面平行且高度差符合要求;则在安装时,使壳体底部的端面、主反射镜底部的基准面分别接触于两个定位环的顶面;
两个定位环之间设有溢胶槽,和壳体上的灌胶槽对应连通;通过灌胶槽灌入壳体与主反射镜之间的粘胶在固化过程中溢出后,流入所述溢胶槽;
壳体与主反射镜之间的粘胶固化后,选取壳体底部的端面在周向上的多个点位,以及主反射镜底部的基准面在周向上对应的多个点位,进行高度差的测量。
5.如权利要求1所述基于红外成像的光学组件调试方法,其特征在于,
所述光学组件调试方法还包含对非球面主反射镜进行固定及面型检测的操作:在固定主反射镜时,所述主反射镜以无应力方式装入固定工装,所述固定工装被五轴调整架上的三爪卡盘夹持住;
所述光学组件调试方法还包含对主反射镜进行姿态调整的操作:
使离焦状态下带内孔的主反射镜,在姿态测量装置的测试画面上产生圆环;调节五轴调整架的两个倾斜旋钮来控制圆环的位置,调节五轴调整架的两个平移旋钮来控制圆环的圆度,从而对主反射镜的姿态进行调整。
6.如权利要求1所述基于红外成像的光学组件调试方法,其特征在于,
所述光学组件调试方法还包含对补偿镜的固定操作:
将补偿镜以无应力方式装入L型的补偿镜工装的一个侧边,将补偿镜工装的另一个侧边通过压块紧固在气浮平台。
7.一种基于红外成像的光学组件调试工具,其特征在于,包含:
组件夹持工装,在对倾斜球面次反射镜的倾角进行测试和装调时,对次反射镜与镜座粘接构成的次反射镜组件进行承载;
偏心测量仪,对次反射镜的球心像进行测量,以测量次反射镜的倾角;
其中,所述组件夹持工装包含凸字型的支撑基座,以及在轴向中心贯穿该支撑基座的定位柱;所述支撑基座的顶部与镜座的底面接触,与镜座底面相对的镜座端面朝上;所述次反射镜套设在镜座的内孔的外壁;
所述定位柱通过顶部的锥度胀紧机构***到镜座的内孔中对其夹持,使得所述组件夹持工装能够对所述次反射镜组件、或所述次反射镜组件及放置到镜座端面上的平行平晶、或所述次反射镜组件及放置到镜座的内孔上的标准球进行承载;
并且,通过对镜座内孔的夹持,使得在次反射镜与镜座之间的粘胶尚未固化时允许次反射镜相对镜座进行转动,来对次反射镜的倾角进行校正。
8.如权利要求7所述基于红外成像的光学组件调试工具,其特征在于,
所述光学组件调试工具还包含粘结工装,在对主反射镜的光轴垂直度及倾角进行控制时,对壳体及套设在该壳体外面的主反射镜进行承载;
粘结工装中间设置的突出部,***到壳体的中心孔;
粘结工装上还设有环绕突出部的两个同圆心的定位环,两个定位环的顶面平行且高度差符合要求;两个定位环的顶面对应接触于壳体底部的端面、主反射镜底部的基准面;
两个定位环之间设有溢胶槽,连通于壳体上的灌胶槽;经灌胶槽灌入壳体与主反射镜之间并溢出的粘胶,通过溢胶槽来容纳。
9.如权利要求7所述基于红外成像的光学组件调试工具,其特征在于,
所述光学组件调试工具还包含中心偏自动真空镜头旋转装置,其在平凸透镜的偏心测量和偏心校正时,对平凸透镜与镜框粘接构成的平凸透镜组件进行承载,使得偏心测量时所述平凸透镜组件能绕中心偏自动真空镜头旋转装置的回转轴转动,并且使得偏心校正时所述平凸透镜能相对镜框进行转动;
所述中心偏自动真空镜头旋转装置还包含纵向设置的聚焦透镜、分光板、图像传感器,并在分光板的横向设置了光源;所述聚焦透镜对着被测的平凸透镜;分光板将光源发射的光,经聚焦透镜送至该平凸透镜,并通过聚焦透镜将平凸透镜反射的光,经分光板送至图像传感器。
10.如权利要求7所述基于红外成像的光学组件调试工具,其特征在于,
所述光学组件调试工具还包含:
非球面主反射镜的固定工装,主反射镜以无应力方式装入该固定工装,所述固定工装进一步被五轴调整架上的三爪卡盘夹持住;
姿态测量装置,在其测试画面上产生有圆环,来与离焦状态下的主反射镜的内孔相对应;
所述五轴调整架设有两个倾斜旋钮来控制圆环在测试画面上的位置,并设有两个平移旋钮来控制圆环在测试画面上的圆度,实现对主反射镜的姿态的调整;
所述光学组件调试方法还包含L型的补偿镜工装,其中一个侧边对无应力方式装入的补偿镜进行承载,补偿镜工装的另一个侧边通过压块紧固在气浮平台上。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710271665.XA CN106908961B (zh) | 2017-04-24 | 2017-04-24 | 基于红外成像的光学组件调试方法及工具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710271665.XA CN106908961B (zh) | 2017-04-24 | 2017-04-24 | 基于红外成像的光学组件调试方法及工具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106908961A CN106908961A (zh) | 2017-06-30 |
CN106908961B true CN106908961B (zh) | 2019-05-03 |
Family
ID=59210573
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710271665.XA Active CN106908961B (zh) | 2017-04-24 | 2017-04-24 | 基于红外成像的光学组件调试方法及工具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106908961B (zh) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107462965A (zh) * | 2017-08-04 | 2017-12-12 | 柳州长虹机器制造公司 | 一种红外镜片定位装配的调试方法 |
CN107422452B (zh) * | 2017-08-04 | 2020-07-28 | 柳州长虹机器制造公司 | 一种环形非球面反射镜胶结的调试方法 |
CN109751938B (zh) * | 2017-11-07 | 2020-11-20 | 北京空间机电研究所 | 空间相机用大口径齿形反射镜组件高精度装调方法及装置 |
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CN110824653B (zh) | 2018-08-14 | 2021-08-06 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | 光学镜头、摄像模组及其组装方法 |
CN110031189B (zh) * | 2019-04-17 | 2020-10-09 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种光轴定位装置与方法 |
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CN105758343A (zh) * | 2016-03-15 | 2016-07-13 | 哈尔滨工业大学 | 基于双标准球的c轴回转中心标定的装置及方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN102539123B (zh) * | 2012-01-16 | 2014-10-29 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种大口径非球面反射镜高精度定心加工方法 |
CN102998767B (zh) * | 2012-11-20 | 2015-02-11 | 北京空间机电研究所 | 一种红外镜头的装调方法 |
CN104977690A (zh) * | 2015-06-24 | 2015-10-14 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 空间俯仰、方位两维微量调整工装 |
CN205067829U (zh) * | 2015-06-24 | 2016-03-02 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 空间俯仰、方位两维微量调整工装及确定基准的*** |
-
2017
- 2017-04-24 CN CN201710271665.XA patent/CN106908961B/zh active Active
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CN105259629A (zh) * | 2015-10-14 | 2016-01-20 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 模块化光学动镜定心结构和加工方法 |
CN105758343A (zh) * | 2016-03-15 | 2016-07-13 | 哈尔滨工业大学 | 基于双标准球的c轴回转中心标定的装置及方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106908961A (zh) | 2017-06-30 |
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Legal Events
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PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |