CN106773240A - Coa基板的制作方法、coa基板及液晶显示面板 - Google Patents
Coa基板的制作方法、coa基板及液晶显示面板 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106773240A CN106773240A CN201611143570.1A CN201611143570A CN106773240A CN 106773240 A CN106773240 A CN 106773240A CN 201611143570 A CN201611143570 A CN 201611143570A CN 106773240 A CN106773240 A CN 106773240A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- layer
- color blocking
- blocking block
- transparent area
- passivation layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
本发明公开一种COA基板的制作方法，包括：在第一衬底基板上形成薄膜晶体管层；在薄膜晶体管层上形成第一钝化层，第一钝化层形成第一过孔；在第一钝化层上形成彩色滤光层，彩色滤光层具有彼此间隔设置的色阻块和设置在相邻的色阻块之间的遮光块，通过不同颜色的色阻层层叠形成遮光块，彩色滤光层形成第二过孔；通过一次曝光在彩色滤光层上形成一体化的第二钝化层和隔垫物，隔垫物位于第二钝化层的远离彩色滤光层的一侧，第二钝化层形成第三过孔；在第二钝化层上形成像素电极层，像素电极层通过第三过孔、第二过孔以及第一过孔连接至薄膜晶体管层。所述COA基板的制作方法简化了液晶显示面板的制作工艺。本发明还公开一种COA基板和一种液晶显示面板。
Description
技术领域
本发明涉及液晶显示面板技术领域，尤其涉及一种COA基板的制作方法、一种COA基板以及一种液晶显示面板。
背景技术
液晶显示装置(Liquid Crystal Display，LCD)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。如：液晶电视、移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等。
通常液晶显示装置包括壳体、设于壳体内的液晶显示面板及设于壳体内的背光模组(Back light module)。其中，液晶显示面板的结构主要是由一薄膜晶体管阵列(ThinFilm Transistor Array，TFT Array)基板、一彩色滤光片(Color Filter，CF)基板、以及配置于两基板间的液晶层(Liquid Crystal Layer)所构成，其工作原理是通过在两基板上施加驱动电压来控制液晶层的液晶分子的旋转，将背光模组的光线折射出来产生画面。
COA(Color-filter on Array)技术是一种将彩色滤光层直接制作在阵列基板上的一种集成技术，能够有效解决液晶显示装置对盒工艺中因对位偏差造成的漏光等问题，并能显著提升显示开口率。目前正常COA基板制作至少包括M1(栅极层)-GI(栅极绝缘层)-AS(半导体层)-M2(源极漏极)-PV1(保护层)-R/G/B(色阻层)-PV2(保护层)-ITO(像素电极)共11道黄光制程(其中色阻层需要3道)，再加上用于与COA基板对盒的相对基板上还有BM(黑色矩阵)、PS(隔垫物)共2道黄光制程，采用COA技术的液晶显示面板至少需要13道黄光制程，工艺非常繁琐。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于提供一种COA基板的制作方法，所述COA基板的制作方法能够简化液晶显示面板的制作工艺。
此外，还提供一种COA基板以及一种液晶显示面板。
为了实现上述目的，本发明实施方式采用如下技术方案：
一方面，提供一种COA基板的制作方法，包括：
在第一衬底基板上形成薄膜晶体管层；
在所述薄膜晶体管层的远离所述第一衬底基板的一侧形成第一钝化层，所述第一钝化层形成连通所述薄膜晶体管层的第一过孔；
在所述第一钝化层的远离所述薄膜晶体管层的一侧形成彩色滤光层，所述彩色滤光层具有彼此间隔设置的色阻块和设置在相邻的所述色阻块之间的遮光块，通过不同颜色的色阻层层叠形成所述遮光块，所述彩色滤光层形成连通所述第一过孔的第二过孔；
通过一次曝光在所述彩色滤光层的远离所述第一钝化层的一侧形成一体化的第二钝化层和隔垫物，所述隔垫物位于所述第二钝化层的远离所述彩色滤光层的一侧，所述第二钝化层形成连通所述第二过孔的第三过孔；以及
在所述第二钝化层的远离所述彩色滤光层的一侧形成像素电极层，所述像素电极层通过所述第三过孔、所述第二过孔以及所述第一过孔连接至所述薄膜晶体管层。
其中，所述第一钝化层的远离所述薄膜晶体管层的一侧形成多个透光区和遮光区，所述多个透光区包括轮流间隔排布的第一透光区、第二透光区以及第三透光区，所述遮光区设于相邻的所述透光区之间；
通过一次曝光在所述第一透光区形成第一色阻块并在所述遮光区形成第一色阻层；
在所述第二透光区形成第二色阻块；
通过一次曝光在所述第三透光区形成第三色阻块并在所述遮光区形成第三色阻层，所述第一色阻层与所述第三色阻层层叠形成所述遮光块，所述第一色阻块、所述第二色阻块以及所述第三色阻块共同组成所述色阻块。
其中，通过半色调光罩一次曝光第一色阻膜层，以形成所述第一色阻块和所述第一色阻层。
其中，所述半色调光罩包括图案化的不透光区、半透光区和透光区，所述透光区用于形成所述第一色阻块，所述半透光区用于形成所述第一色阻层。
其中，通过多段式调整光罩一次曝光光阻层，以形成所述第二钝化层和所述隔垫物。
其中，所述多段式调整光罩包括图案化的第一区域、第二区域、第三区域以及第四区域，所述第一区域不透光，所述第二区域的透光比例为30％至50％，所述第三区域的透光比例为50％至80％，所述第四区域完全透光。
其中，所述“在第一衬底基板上形成薄膜晶体管层”的步骤包括：
在所述第一衬底基板上形成栅极层；
在所述栅极层的远离所述第一衬底基板的一侧形成栅极绝缘层；
在所述栅极绝缘层的远离所述栅极层的一侧形成半导体层；以及
在所述栅极绝缘层的远离所述栅极层的一侧形成源极和漏极，所述源极和所述漏极分别连接至所述半导体层的两端，以形成所述薄膜晶体管层。
另一方面，还提供一种COA基板，包括：
第一衬底基板；
薄膜晶体管层，设于第一衬底基板上；
第一钝化层，位于所述薄膜晶体管层的远离所述第一衬底基板的一侧，所述第一钝化层设有连通所述薄膜晶体管层的第一过孔；
彩色滤光层，位于所述第一钝化层的远离所述薄膜晶体管的一侧，所述彩色滤光层具有彼此间隔设置的色阻块和设置在相邻的所述色阻块之间的遮光块，通过不同颜色的色阻层层叠形成所述遮光块，所述彩色滤光层设有连通所述第一过孔的第二过孔；
一体成型的第二钝化层和隔垫物，位于所述彩色滤光层的远离所述第一钝化层的一侧，所述隔垫物位于所述第二钝化层的远离所述彩色滤光层的一侧，所述第二钝化层设有连通所述第二过孔的第三过孔；以及
像素电极层，位于所述第二钝化层的远离所述彩色滤光层的一侧，所述像素电极层通过所述第三过孔、所述第二过孔以及所述第一过孔连接至所述薄膜晶体管层。
其中，所述第一钝化层的远离所述薄膜晶体管层的一侧形成多个透光区和遮光区，所述多个透光区包括轮流间隔排布的第一透光区、第二透光区以及第三透光区，所述遮光区一一对应地排布在相邻的所述透光区之间；
所述色阻块包括第一色阻块、第二色阻块以及第三色阻块，所述第一色阻块位于所述第一透光区，所述第二色阻块位于所述第二透光区，所述第三色阻块位于所述第三透光区；
所述遮光块包括层叠的第一色阻层和第三色阻层。
再另一方面，还提一种液晶显示面板，包括对盒的相对基板和如权利要求8或9所述的COA基板，所述相对基板包括第二衬底基板和公共电极层，所述公共电极层位于所述COA基板与所述第二衬底基板之间。
相较于现有技术，本发明具有以下有益效果：
所述COA基板的制作方法由于通过不同颜色的所述色阻层层叠形成所述遮光块，因此可以在形成所述色阻块的同时形成所述遮光块，可节约单独形成所述遮光块的黄光制程。通过一次曝光形成所述第二钝化层和所述隔垫物，也节约了单独形成所述隔垫物的黄光制程。故而，本实施例所述COA基板的制作方法节约了至少两道黄光制程，从而简化了应用所述COA基板的液晶显示面板的制作工艺，降低了成本。
由于所述遮光块与所述色阻块均形成在同一层的所述彩色滤光层内，因此相对于现有技术中的COA基板，本实施例所述COA基板节约了单独的黑色矩阵层的层结构，层结构较为简单，整体厚度较薄。
附图说明
为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以如这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例提供的一种液晶显示面板的结构示意图。
图2是本发明实施例提供的一种COA基板的制作方法中步骤S01的示意图。
图3是本发明实施例提供的一种COA基板的制作方法中步骤S02的示意图。
图4是本发明实施例提供的一种COA基板的制作方法中步骤S03的示意图。
图5是本发明实施例提供的一种COA基板的制作方法中步骤S04的示意图。
图6是本发明实施例提供的一种COA基板的制作方法中步骤S05的示意图。
图7是图2所示结构的分解示意图。
图8是图3所示第一钝化层的结构示意图。
图9是本发明实施例提供的一种COA基板的制作方法中步骤S031的示意图。
图10是本发明实施例提供的一种COA基板的制作方法中步骤S032的示意图。
图11是本发明实施例提供的一种COA基板的制作方法中步骤S033的示意图。
图12是本发明实施例提供的一种COA基板的制作方法中半色调光罩的结构示意图。
图13是本发明实施例提供的一种COA基板的制作方法中多段式调整光罩的结构示意图。
图14是本发明实施例提供的一种COA基板的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本发明的实施例进行描述。
请参阅图1，本发明实施例提供一种COA基板的制作方法，可用于制备COA基板10。所述COA基板10用于与相对基板20对盒，以形成液晶显示面板100。
请一并参阅图2至图6，所述COA基板的制作方法包括：
步骤S01：在第一衬底基板1上形成薄膜晶体管层2；
步骤S02：在所述薄膜晶体管层2的远离所述第一衬底基板1的一侧形成第一钝化层3(Passivation，PV)，所述第一钝化层3形成连通所述薄膜晶体管层2的第一过孔31(ViaHole)；
步骤S03：在所述第一钝化层3的远离所述薄膜晶体管层2的一侧形成彩色滤光层4，所述彩色滤光层4具有彼此间隔设置的色阻块41和设置在相邻的所述色阻块41之间的遮光块42，通过不同颜色的色阻层层叠形成所述遮光块42，所述彩色滤光层4形成连通所述第一过孔31的第二过孔43；
步骤S04：通过一次曝光在所述彩色滤光层4的远离所述第一钝化层3的一侧形成一体化的第二钝化层51和隔垫物52，所述隔垫物52位于所述第二钝化层51的远离所述彩色滤光层4的一侧，所述第二钝化层51形成连通所述第二过孔43的第三过孔53；以及
步骤S05：在所述第二钝化层51的远离所述彩色滤光层4的一侧形成像素电极层6，所述像素电极层6通过所述第三过孔53、所述第二过孔43以及所述第一过孔31连接至所述薄膜晶体管层2，以形成COA基板10。
在本实施例中，由于通过不同颜色的所述色阻层层叠形成所述遮光块42，因此可以在形成所述色阻块41的同时形成所述遮光块42，可节约单独形成所述遮光块42的黄光制程。通过一次曝光形成所述第二钝化层51和所述隔垫物52，也节约了单独形成所述隔垫物52的黄光制程。故而，本实施例所述COA基板的制作方法节约了至少两道黄光制程，从而简化了应用所述COA基板10的液晶显示面板100的制作工艺，降低了成本。
可以理解的是，所述遮光块42通过不同颜色的所述色阻层层叠形成，以实现遮挡光线的目的。所述遮光块42又称黑色矩阵。由于所述遮光块42与所述色阻块41均形成在同一层的所述彩色滤光层4内，因此相对于现有技术中的COA基板，本实施例所述COA基板10节约了单独的黑色矩阵层的层结构，层结构较为简单，整体厚度较薄。
请一并参阅图2和图7，作为一种可选实施例，所述“在第一衬底基板1上形成薄膜晶体管层2”的步骤(步骤S01)包括：
步骤S011：在所述第一衬底基板1上形成栅极层21；
步骤S012：在所述栅极层21的远离所述第一衬底基板1的一侧形成栅极绝缘层22；
步骤S013：在所述栅极绝缘层22的远离所述栅极层21的一侧形成半导体层23；以及
步骤S014：在所述栅极绝缘层22的远离所述栅极层21的一侧形成源极24和漏极25，所述源极24和所述漏极25分别连接至所述半导体层23的两端，以形成所述薄膜晶体管层2。
请一并参阅图2、图3以及图7，在步骤S02中，形成所述第一钝化层3的时候，即形成设于所述第一钝化层3的形成连通所述薄膜晶体管层2的所述第一过孔31。所述第一过孔31连通至所述源极24。
请一并参阅图2至图4、图8至图11，作为一种可选实施例，所述第一钝化层3的远离所述薄膜晶体管层2的一侧形成多个透光区32和遮光区33，所述多个透光区32包括轮流间隔排布的第一透光区321、第二透光区322以及第三透光区323，所述遮光区33设于相邻的所述透光区32之间。
所述步骤S03可进一步包括：
步骤S031：通过一次曝光在所述第一透光区321形成第一色阻块411并在所述遮光区33形成第一色阻层421；
步骤S032：在所述第二透光区322形成第二色阻块412；
步骤S033：通过一次曝光在所述第三透光区323形成第三色阻块413并在所述遮光区33形成第三色阻层422；
所述第一色阻层421与所述第三色阻层422层叠形成所述遮光块42，所述第一色阻块411、所述第二色阻块412以及所述第三色阻块413共同组成所述色阻块41。
可以理解的是，上述步骤S031、步骤S032以及步骤S033是可以相互对调的，完成上述步骤S031、步骤S032以及步骤S033后，即形成所述遮光块42和所述色阻块41。
当步骤S031在步骤S033之前时，所述第一色阻层421位于所述第一钝化层3与所述第三色阻层422之间。当步骤S033在步骤S031之前时，所述第三色阻层422位于所述第一钝化层3与所述第一色阻层421之间。
可选的，所述第一色阻块411为红色色阻块，所述第一色阻层421为红色色阻层，所述第一色阻块411和所述第一色阻层421允许红色光线穿过。所述第二色阻块412为绿色色阻块，所述第二色阻块412允许绿色光线穿过。所述第三色阻块413为蓝色色阻块，所述第三色阻层422为蓝色色阻层，所述第三色阻块413和所述第三色阻层422允许蓝色光线穿过。
可选的，步骤S032也可为：通过一次曝光在所述第二透光区322形成第二色阻块412并在所述遮光区33形成第二色阻层。此时，所述第一色阻层421、所述第二色阻层与所述第三色阻层422层叠形成所述遮光块42。
可选的，通过半色调光罩7(Half Tone Mask，HTM)一次曝光第一色阻膜层，以形成所述第一色阻块411和所述第一色阻层421。其中，如图12所示，所述半色调光罩7包括图案化的不透光区71、半透光区72和透光区73，所述透光区73用于形成所述第一色阻块411，所述半透光区72用于形成所述第一色阻层421。
通过普通光罩一次曝光第二色阻膜层，以形成所述第二光阻块。
通过半色调光罩一次曝光第三色阻膜层，以形成所述第三色阻块413和所述第三色阻层422。
在本实施例中，在形成所述第一色阻块411的同时形成所述第一色阻层421，在形成所述第三色阻块413的同时形成所述第三色阻层422，所述第一色阻层421与所述第三色阻层422层叠形成所述遮光块42，因此COA基板的制作方法可节约单独形成所述遮光块42的黄光制程。
可选的，所述第一色阻层421与所述第二色阻层的总厚度、所述第一色阻块411的厚度、所述第二色阻块412的厚度以及所述第三色阻块413的厚度是相等的，使得所述液晶显示面板100具有较佳的良率和显示效果。
在步骤S03中，形成所述彩色滤光层4的时候，即形成设于所述彩色滤光层4的形成连通所述第一过孔31的所述第二过孔43。所述第二过孔43设于所述遮光块42中，用于避免影响到所述液晶显示面板100的显示。
请一并参阅图5、图13以及图14，作为一种可选实施例，通过多段式调整光罩8(Multi Tone Mask，MTM)一次曝光光阻层，以形成所述第二钝化层51和所述隔垫物52，所述第二钝化层51形成有所述第三过孔53。
如图13所示，所述多段式调整光罩8包括图案化的第一区域81、第二区域82、第三区域83以及第四区域84。所述第一区域81不透光，所述第二区域82的透光比例为30％至50％，所述第三区域83的透光比例为50％至80％，所述第四区域84完全透光。通过所述多段式调整光罩8所形成的所述隔垫物52包括主隔垫物521和辅隔垫物522。
当所述光阻层采用正性光阻材料时，所述第一区域81用于形成所述主隔垫物521，所述第二区域82用于形成所述辅隔垫物522，所述第三区域83用于形成所述第二钝化层51，所述第四区域84用于形成所述第三过孔53。
当所述光阻层采用负性光阻材料时，所述第一区域81用于形成所述第三过孔53，所述第二区域82用于形成所述第二钝化层51，所述第三区域83用于形成所述辅隔垫物522，所述第四区域84用于形成所述主隔垫物521。
如图14所示，所述主隔垫物521、所述辅隔垫物522以及所述第三过孔53均设于所述遮光块42处。所述光阻层可采用多种透明光阻材料，包括但不限于全氟烷氧基树脂(PFA)。应当理解的是，由于所述光阻层采用透明材料，因此在图14(图14是本发明实施例提供的一种COA基板的结构示意图)中，所述色阻块41和所述遮光块42可视。
请一并参阅图1至图11，本发明实施例提供一种液晶显示面板100，包括对盒的相对基板20和COA基板10以及夹设于所述相对基板20与所述COA基板10之间的液晶层30。所述相对基板20包括第二衬底基板7和公共电极层8，所述公共电极层8位于所述COA基板10与所述第二衬底基板7之间。所述COA基板10可由上述COA基板的制作方法制作形成。
所述COA基板10包括第一衬底基板1、薄膜晶体管层2、第一钝化层3、彩色滤光层4、第二钝化层51、隔垫物52以及像素电极层6。所述薄膜晶体管层2设于第一衬底基板1上。所述第一钝化层3位于所述薄膜晶体管层2的远离所述第一衬底基板1的一侧，所述第一钝化层3设有连通所述薄膜晶体管层2的第一过孔31。所述彩色滤光层4位于所述第一钝化层3的远离所述薄膜晶体管的一侧。所述彩色滤光层4具有彼此间隔设置的色阻块41和设置在相邻的所述色阻块41之间的遮光块42，通过不同颜色的色阻层层叠形成所述遮光块42。所述彩色滤光层4设有连通所述第一过孔31的第二过孔43。所述第二钝化层51和所述隔垫物52一体成型，所述第二钝化层51位于所述彩色滤光层4的远离所述第一钝化层3的一侧，所述隔垫物52位于所述第二钝化层51的远离所述彩色滤光层4的一侧。所述第二钝化层51设有连通所述第二过孔43的第三过孔53。所述像素电极层6位于所述第二钝化层51的远离所述彩色滤光层4的一侧，所述像素电极层6通过所述第三过孔53、所述第二过孔43以及所述第一过孔31连接至所述薄膜晶体管层2。
在本实施例中，由于通过不同颜色的所述色阻层层叠形成所述遮光块42，因此可节约单独形成所述遮光块42的黄光制程。一体成型所述第二钝化层51和所述隔垫物52，也节约了单独形成所述隔垫物52的黄光制程。故而，本实施例所述COA基板10可采用较为简化的工艺制成，成本较低。由于所述遮光块42与所述色阻块41均形成在同一层的所述彩色滤光层4内，因此相对于现有技术中的COA基板10，本实施例所述COA基板10节约了单独的黑色矩阵层的层结构，层结构较为简单，整体厚度较薄。
可选的，所述第一钝化层3的远离所述薄膜晶体管层2的一侧形成多个透光区32和遮光区33，所述多个透光区32包括轮流间隔排布的第一透光区321、第二透光区322以及第三透光区323，所述遮光区33一一对应地排布在相邻的所述透光区32之间。
所述色阻块41包括第一色阻块411、第二色阻块412以及第三色阻块413，所述第一色阻块411位于所述第一透光区321，所述第二色阻块412位于所述第二透光区322，所述第三色阻块413位于所述第三透光区323。
所述遮光块42包括层叠的第一色阻层421和第三色阻层422。当然，在其它实施方式中，所述遮光层也可包括层叠的三种颜色不同的色阻层。
可选的，所述第一色阻层421为红色色阻层，所述第三色阻层422为蓝色色阻层。
可选的，所述薄膜晶体管层2包括栅极层21、栅极绝缘层22、半导体层23、源极24以及漏极25。所述栅极层21设于所述第一衬底基板1。所述栅极绝缘层22位于所述栅极层21的远离所述第一衬底基板1的一侧。所述半导体层23位于所述栅极绝缘层22的远离所述栅极层21的一侧。所述源极24和所述漏极25位于所述栅极绝缘层22的远离所述栅极层21的一侧，且分别连接至所述半导体层23的两端。所述第一过孔31连通至所述源极24。
以上对本发明实施例进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
Claims (10)
1.一种COA基板的制作方法，其特征在于，包括：
在第一衬底基板上形成薄膜晶体管层；
在所述薄膜晶体管层的远离所述第一衬底基板的一侧形成第一钝化层，所述第一钝化层形成连通所述薄膜晶体管层的第一过孔；
在所述第一钝化层的远离所述薄膜晶体管层的一侧形成彩色滤光层，所述彩色滤光层具有彼此间隔设置的色阻块和设置在相邻的所述色阻块之间的遮光块，通过不同颜色的色阻层层叠形成所述遮光块，所述彩色滤光层形成连通所述第一过孔的第二过孔；
通过一次曝光在所述彩色滤光层的远离所述第一钝化层的一侧形成一体化的第二钝化层和隔垫物，所述隔垫物位于所述第二钝化层的远离所述彩色滤光层的一侧，所述第二钝化层形成连通所述第二过孔的第三过孔；以及
在所述第二钝化层的远离所述彩色滤光层的一侧形成像素电极层，所述像素电极层通过所述第三过孔、所述第二过孔以及所述第一过孔连接至所述薄膜晶体管层。
2.如权利要求1所述的COA基板的制作方法，其特征在于，所述第一钝化层的远离所述薄膜晶体管层的一侧形成多个透光区和遮光区，所述多个透光区包括轮流间隔排布的第一透光区、第二透光区以及第三透光区，所述遮光区设于相邻的所述透光区之间；
通过一次曝光在所述第一透光区形成第一色阻块并在所述遮光区形成第一色阻层；
在所述第二透光区形成第二色阻块；
通过一次曝光在所述第三透光区形成第三色阻块并在所述遮光区形成第三色阻层，所述第一色阻层与所述第三色阻层层叠形成所述遮光块，所述第一色阻块、所述第二色阻块以及所述第三色阻块共同组成所述色阻块。
3.如权利要求2所述的COA基板的制作方法，其特征在于，通过半色调光罩一次曝光第一色阻膜层，以形成所述第一色阻块和所述第一色阻层。
4.如权利要求3所述的COA基板的制作方法，其特征在于，所述半色调光罩包括图案化的不透光区、半透光区和透光区，所述透光区用于形成所述第一色阻块，所述半透光区用于形成所述第一色阻层。
5.如权利要求1所述的COA基板的制作方法，其特征在于，通过多段式调整光罩一次曝光光阻层，以形成所述第二钝化层和所述隔垫物。
6.如权利要求5所述的COA基板的制作方法，其特征在于，所述多段式调整光罩包括图案化的第一区域、第二区域、第三区域以及第四区域，所述第一区域不透光，所述第二区域的透光比例为30％至50％，所述第三区域的透光比例为50％至80％，所述第四区域完全透光。
7.如权利要求1所述的COA基板的制作方法，其特征在于，所述“在第一衬底基板上形成薄膜晶体管层”的步骤包括：
在所述第一衬底基板上形成栅极层；
在所述栅极层的远离所述第一衬底基板的一侧形成栅极绝缘层；
在所述栅极绝缘层的远离所述栅极层的一侧形成半导体层；以及
在所述栅极绝缘层的远离所述栅极层的一侧形成源极和漏极，所述源极和所述漏极分别连接至所述半导体层的两端，以形成所述薄膜晶体管层。
8.一种COA基板，其特征在于，包括：
第一衬底基板；
薄膜晶体管层，设于第一衬底基板上；
第一钝化层，位于所述薄膜晶体管层的远离所述第一衬底基板的一侧，所述第一钝化层设有连通所述薄膜晶体管层的第一过孔；
彩色滤光层，位于所述第一钝化层的远离所述薄膜晶体管的一侧，所述彩色滤光层具有彼此间隔设置的色阻块和设置在相邻的所述色阻块之间的遮光块，通过不同颜色的色阻层层叠形成所述遮光块，所述彩色滤光层设有连通所述第一过孔的第二过孔；
一体成型的第二钝化层和隔垫物，位于所述彩色滤光层的远离所述第一钝化层的一侧，所述隔垫物位于所述第二钝化层的远离所述彩色滤光层的一侧，所述第二钝化层设有连通所述第二过孔的第三过孔；以及
像素电极层，位于所述第二钝化层的远离所述彩色滤光层的一侧，所述像素电极层通过所述第三过孔、所述第二过孔以及所述第一过孔连接至所述薄膜晶体管层。
9.如权利要求8所述的COA基板，其特征在于，所述第一钝化层的远离所述薄膜晶体管层的一侧形成多个透光区和遮光区，所述多个透光区包括轮流间隔排布的第一透光区、第二透光区以及第三透光区，所述遮光区一一对应地排布在相邻的所述透光区之间；
所述色阻块包括第一色阻块、第二色阻块以及第三色阻块，所述第一色阻块位于所述第一透光区，所述第二色阻块位于所述第二透光区，所述第三色阻块位于所述第三透光区；
所述遮光块包括层叠的第一色阻层和第三色阻层。
10.一种液晶显示面板，其特征在于，包括对盒的相对基板和如权利要求8或9所述的COA基板，所述相对基板包括第二衬底基板和公共电极层，所述公共电极层位于所述COA基板与所述第二衬底基板之间。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201611143570.1A CN106773240A (zh) | 2016-12-13 | 2016-12-13 | Coa基板的制作方法、coa基板及液晶显示面板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201611143570.1A CN106773240A (zh) | 2016-12-13 | 2016-12-13 | Coa基板的制作方法、coa基板及液晶显示面板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106773240A true CN106773240A (zh) | 2017-05-31 |
Family
ID=58876197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201611143570.1A Pending CN106773240A (zh) | 2016-12-13 | 2016-12-13 | Coa基板的制作方法、coa基板及液晶显示面板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN106773240A (zh) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107463018A (zh) * | 2017-07-06 | 2017-12-12 | 惠科股份有限公司 | 一种显示面板及制造方法 |
| CN107688254A (zh) * | 2017-10-11 | 2018-02-13 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Coa型液晶显示面板及其制作方法 |
| CN108008582A (zh) * | 2017-11-22 | 2018-05-08 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种tft阵列基板、制作方法以及液晶显示面板 |
| CN108153040A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-06-12 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 黑色矩阵与间隔物的制作方法 |
| CN109343265A (zh) * | 2018-11-09 | 2019-02-15 | 重庆先进光电显示技术研究院 | 显示面板及其制造方法与显示装置 |
| WO2021109252A1 (zh) * | 2019-12-06 | 2021-06-10 | Tcl华星光电技术有限公司 | Coa 基板及其制作方法 |
| CN114994975A (zh) * | 2022-08-03 | 2022-09-02 | 惠科股份有限公司 | 阵列基板及其制作方法、显示面板 |
| CN115981036A (zh) * | 2022-12-29 | 2023-04-18 | 长沙惠科光电有限公司 | 显示面板的制备方法及显示面板 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050015026A (ko) * | 2003-08-01 | 2005-02-21 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 고개구율 컬러 액정표시장치 |
| CN1888962A (zh) * | 2005-06-29 | 2007-01-03 | Lg.菲利浦Lcd株式会社 | 液晶显示设备及其制造方法 |
| US20070182888A1 (en) * | 2006-02-03 | 2007-08-09 | Toshiba Matsushita Display Technology Co., Ltd. | Liquid crystal display device |
| JP2008066216A (ja) * | 2006-09-11 | 2008-03-21 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置とその製造方法及び電子機器 |
| JP2008076771A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 液晶表示装置とその製造方法 |
| CN102236230A (zh) * | 2010-05-05 | 2011-11-09 | 乐金显示有限公司 | 反射型或透反射型液晶显示设备的阵列基板及其制造方法 |
| CN103353693A (zh) * | 2013-06-14 | 2013-10-16 | 昆山龙腾光电有限公司 | 液晶显示装置及其制造方法 |
| CN105867039A (zh) * | 2016-06-21 | 2016-08-17 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种液晶面板、其制作方法及显示器 |
| CN105974636A (zh) * | 2016-07-18 | 2016-09-28 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶显示面板的制作方法 |
-
2016
- 2016-12-13 CN CN201611143570.1A patent/CN106773240A/zh active Pending
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050015026A (ko) * | 2003-08-01 | 2005-02-21 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 고개구율 컬러 액정표시장치 |
| CN1888962A (zh) * | 2005-06-29 | 2007-01-03 | Lg.菲利浦Lcd株式会社 | 液晶显示设备及其制造方法 |
| US20070182888A1 (en) * | 2006-02-03 | 2007-08-09 | Toshiba Matsushita Display Technology Co., Ltd. | Liquid crystal display device |
| JP2008066216A (ja) * | 2006-09-11 | 2008-03-21 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置とその製造方法及び電子機器 |
| JP2008076771A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 液晶表示装置とその製造方法 |
| CN102236230A (zh) * | 2010-05-05 | 2011-11-09 | 乐金显示有限公司 | 反射型或透反射型液晶显示设备的阵列基板及其制造方法 |
| CN103353693A (zh) * | 2013-06-14 | 2013-10-16 | 昆山龙腾光电有限公司 | 液晶显示装置及其制造方法 |
| CN105867039A (zh) * | 2016-06-21 | 2016-08-17 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种液晶面板、其制作方法及显示器 |
| CN105974636A (zh) * | 2016-07-18 | 2016-09-28 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶显示面板的制作方法 |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107463018A (zh) * | 2017-07-06 | 2017-12-12 | 惠科股份有限公司 | 一种显示面板及制造方法 |
| US10989969B2 (en) | 2017-07-06 | 2021-04-27 | HKC Corporation Limited | Display panel and manufacturing method thereof |
| CN107463018B (zh) * | 2017-07-06 | 2020-05-22 | 惠科股份有限公司 | 一种显示面板及制造方法 |
| CN107688254B (zh) * | 2017-10-11 | 2020-05-29 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Coa型液晶显示面板及其制作方法 |
| CN107688254A (zh) * | 2017-10-11 | 2018-02-13 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Coa型液晶显示面板及其制作方法 |
| CN108008582A (zh) * | 2017-11-22 | 2018-05-08 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种tft阵列基板、制作方法以及液晶显示面板 |
| CN108153040A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-06-12 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 黑色矩阵与间隔物的制作方法 |
| CN109343265A (zh) * | 2018-11-09 | 2019-02-15 | 重庆先进光电显示技术研究院 | 显示面板及其制造方法与显示装置 |
| WO2021109252A1 (zh) * | 2019-12-06 | 2021-06-10 | Tcl华星光电技术有限公司 | Coa 基板及其制作方法 |
| CN114994975A (zh) * | 2022-08-03 | 2022-09-02 | 惠科股份有限公司 | 阵列基板及其制作方法、显示面板 |
| CN114994975B (zh) * | 2022-08-03 | 2023-02-21 | 惠科股份有限公司 | 阵列基板及其制作方法、显示面板 |
| CN115981036A (zh) * | 2022-12-29 | 2023-04-18 | 长沙惠科光电有限公司 | 显示面板的制备方法及显示面板 |
| CN115981036B (zh) * | 2022-12-29 | 2024-02-09 | 长沙惠科光电有限公司 | 显示面板的制备方法及显示面板 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106773240A (zh) | Coa基板的制作方法、coa基板及液晶显示面板 | |
| CN105974651B (zh) | 液晶显示面板的制作方法 | |
| KR100752215B1 (ko) | 횡전계방식 액정표시장치 및 이의 제조방법 | |
| WO2019200819A1 (zh) | Bps型阵列基板的制作方法及bps型阵列基板 | |
| CN105527744B (zh) | 彩膜基板的制作方法 | |
| CN106896571B (zh) | 彩膜基板的制作方法及液晶面板的制作方法 | |
| CN107039352A (zh) | Tft基板的制作方法及tft基板 | |
| US20150277226A1 (en) | Manufacturing method of mask plate for shielding during sealant-curing | |
| US20190113800A1 (en) | Color Filter Substrate and Method for Manufacturing the Same, Display Panel and Display Device | |
| CN107688254A (zh) | Coa型液晶显示面板及其制作方法 | |
| CN108363233A (zh) | 彩色滤光片基板及其制作方法 | |
| CN104932138B (zh) | 一种光罩及彩膜基板的制备方法 | |
| TW200521492A (en) | Color filter and fabricating method thereof | |
| CN102866532A (zh) | 彩色滤光基板以及其相关制作方法 | |
| CN108919549A (zh) | 显示面板、其制作方法及显示装置 | |
| US9513413B2 (en) | Display device, color filter substrate and manufacturing method thereof | |
| CN109188764A (zh) | 液晶显示面板及其制作方法 | |
| KR20160127261A (ko) | 표시 패널 | |
| US9874778B2 (en) | Color filter substrate, manufacturing method thereof, and liquid crystal display including the same | |
| CN105116650A (zh) | 液晶显示面板 | |
| US10578913B2 (en) | Display apparatus | |
| US10852578B2 (en) | Liquid crystal display panel and manufacturing method thereof | |
| CN1203355C (zh) | 带着色层的基板及其制造方法 | |
| US20190179198A1 (en) | Display apparatus and manufacturing process thereof | |
| CN102654593B (zh) | 彩色滤光片、显示装置及彩色滤光片的制备方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20170531 |