CN102866532A - 彩色滤光基板以及其相关制作方法 - Google Patents

彩色滤光基板以及其相关制作方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102866532A
CN102866532A CN2012103706953A CN201210370695A CN102866532A CN 102866532 A CN102866532 A CN 102866532A CN 2012103706953 A CN2012103706953 A CN 2012103706953A CN 201210370695 A CN201210370695 A CN 201210370695A CN 102866532 A CN102866532 A CN 102866532A
Authority
CN
China
Prior art keywords
layer
black
matrix layer
glass substrate
area
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2012103706953A
Other languages
English (en)
Inventor
袁继旺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TCL China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority to CN2012103706953A priority Critical patent/CN102866532A/zh
Priority to PCT/CN2012/082574 priority patent/WO2014047959A1/zh
Priority to US13/696,031 priority patent/US20140092496A1/en
Publication of CN102866532A publication Critical patent/CN102866532A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133514—Colour filters
    • G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/201—Filters in the form of arrays
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133512—Light shielding layers, e.g. black matrix
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/22—Absorbing filters
    • G02B5/23—Photochromic filters

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

本发明公开了一种彩色滤光基板以及其相关制作方法，所述彩色滤光基板的制作方法包含：提供一玻璃基板；于所述玻璃基板上，形成一色阻层；利用具有多种透光率的一掩膜，以对所述色阻层进行不同程度的曝光显影；根据曝光显影的结果，来蚀刻所述色阻层，以产生一黑色矩阵层，所述黑色矩阵层具有一第一区域以及一第二区域，所述第一区域的高度低于所述第二区域；以及于所述玻璃基板以及所述黑色矩阵层上，产生一彩色膜层；其中所述彩色膜层与所述黑色矩阵层的重叠处位于所述黑色矩阵层的第一区域内。

Description

彩色滤光基板以及其相关制作方法
技术领域
本发明涉及一种显示器技术，尤其涉及一种彩色滤光基板以及其相关制作方法。
背景技术
液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)轻、薄、低耗电等优点，被广泛应用于计算机、移动电话及个人数字助理等现代化信息设备。一般来说，液晶显示器包含液晶显示面板及背光模块(backlightmodule)，由于液晶显示面板自身不会发光，因此液晶显示器必须仰赖背光模块内的光源来发出光线。由背光模块内的光源所发出的光线，经过液晶显示面板的液晶，藉由液晶的转向，来调整传递至使用者的光线强度，进而输出影像。
彩色滤光基板是液晶显示器中不可或缺的零件，一般彩色滤光基板会放置在光源之前，藉由彩色滤光基板的滤光，可使光源的光线分离成为红绿蓝三原色，藉此，液晶显示器方能显示彩色影像。
请参阅图1，图1绘示了现有彩色滤光基板100的结构。彩色滤光基板100包含了玻璃基板110、黑色矩阵层120、红色膜层131、绿色膜层132、以及蓝色膜层133。红色膜层131、绿色膜层132以及蓝色膜层133合称为彩色膜层，液晶显示器便是藉由这彩色膜层，来分离出红绿蓝三原色的光，以显示彩色影像。
在图1中可以见到红色膜层131、绿色膜层132以及蓝色膜层133与黑色矩阵层120具有重叠的区域。在制作彩色滤光基板100时，为了避免彩色膜层边缘漏光，因此会使彩色膜层与黑色矩阵层120有一定的重叠区域。然而，让彩色膜层与黑色矩阵层120部分重叠的制作方式，由于没有完全将这些重叠区域藉由蚀刻的方式去除之，因此会导致彩色模层与黑色矩阵层120的重叠区域的高度高于未重叠的区域。也就是说，彩色模层与黑色矩阵层120的重叠区域会形成一个突起，进而造成这些彩色膜层的角段差d。此角段差d可能会影响子像素(sub-pixel)边缘处液晶的排列效果。
因此，业界必须提出其他的方式，来解决这样的问题。
发明内容
本发明提供一种彩色滤光基板以及其相关制作方式，其藉由具有不同透光率的掩膜，来制作黑色矩阵层，因此，黑色矩阵层在制作过程中会经过不同程度的曝光显影，如此一来，在其后的蚀刻过程中，就会对黑色矩阵层不同区域有不同的蚀刻程度，进而使彩色模层与黑色矩阵层的重叠区域的高度大致等于未重叠的区域。如此一来，便可消除现有技术彩色膜层的角段差问题，使得子像素边缘处的液晶排列效果更佳。
为了解决现有技术的问题，本发明提供了一种彩色滤光基板的制作方法，用来制作一彩色滤光基板，所述制作方法包含：提供一玻璃基板；于所述玻璃基板上，形成一色阻层；利用具有多种透光率的一掩膜，以对所述色阻层进行不同程度的曝光显影；根据曝光显影的结果，来蚀刻所述色阻层，以产生一黑色矩阵层，所述黑色矩阵层具有一第一区域以及一第二区域，所述第一区域的高度低于所述第二区域；以及于所述玻璃基板以及所述黑色矩阵层上，产生一彩色膜层；其中，所述彩色膜层与所述黑色矩阵层的重叠处位于所述黑色矩阵层的第一区域内。
其中，所述掩膜为一半色调掩膜。
其中，彩色膜层包含一红色模层、一蓝色膜层以及一绿色膜层。
此外，产生所述彩色膜层的步骤包含：于所述玻璃基板与所述黑色矩阵层上产生所述红色模层；于所述玻璃基板与所述黑色矩阵层上产生所述绿色膜层；以及于所述玻璃基板与所述黑色矩阵层上产生所述蓝色膜层。
本发明还提供了一种彩色滤光基板，包含一玻璃基板；一黑色矩阵层，位于所述玻璃基板上，所述黑色矩阵层的具有一第一区域以及一第二区域，其中，所述第一区域的高度低于所述第二区域；以及一彩色膜层，位于所述玻璃基板以及所述黑色矩阵层上；其中，所述彩色膜层与所述黑色矩阵层的重叠处位于所述黑色矩阵层的第一区域内。
其中，所述黑色矩阵层是藉由利用具有多种透光率的一掩膜，以对一色阻层进行不同程度的曝光显影，并蚀刻所述色阻层制作而成。
此外，所述掩膜为一半色调掩膜。
其中，所述彩色膜层包含一红色模层、一蓝色膜层、以及一绿色膜层。
本发明具有如下有益效果：本发明提供一种彩色滤光基板与相关制作方式，其藉由具有不同透光率的掩膜，来制作黑色矩阵层。因此，黑色矩阵层在制作过程中会经过不同程度的曝光显影。如此一来，在其后的蚀刻过程中，就会对黑色矩阵层不同区域有不同的蚀刻程度，进而使彩色模层与黑色矩阵层的重叠区域的高度大致等于未重叠的区域。如此一来，便可消除现有技术彩色膜层的角段差问题，使得子像素边缘处的液晶排列效果更佳。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1绘示现有彩色滤光基板的结构。
图2绘示本发明彩色滤光基板的实施例的示意图。
图3-图5为图2彩色滤光基板的制程示意图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施之特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「顶」、「底」、「水平」、「垂直」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。
请参阅图2，图2为本发明彩色滤光基板200的实施例的示意图。彩色滤光基板200包含有玻璃基板210、黑色矩阵层220、红色膜层231、绿色膜层232以及蓝色膜层233。红色膜层231、绿色膜层232以及蓝色膜层233合称为彩色膜层。液晶显示器便是藉由这彩色膜层，来分离出红绿蓝三原色的光，以显示彩色影像。
在图2中可以见到黑色矩阵层220的高度有所不同。在黑色矩阵层220与彩色模层重叠的第一区域D1中，其高度比未重叠的第二区域D2来的低。如此一来，藉由适当地设计第一区域D1与第二区域D2的高度差，便可以消除现有技术彩色模层的角段差。以红色模层231为例，红色模层231的表面平整，不具有角段差，这便是由于黑色矩阵层220于第一区域D1的高度较低，补偿了原本红色模层231于第一区域D1与第二区域D2的高度差。
请参阅图3-图5，图3-图5为图2彩色滤光基板200的制程示意图。首先，会先在玻璃基板210上产生一色阻层320(之后的黑色矩阵层)，并在色阻层320上涂上光致抗蚀剂(photoresist)330。
接着，利用半色调掩膜(half-tone mask)310对色阻层320进行曝光显影。半色调掩膜310在不同区域具有不同的透光率，举例来说，半色调掩膜310具有三个区域A1、A2和A3，区域A1表示部分光线可以透过的区域，区域A2表示光线无法透过的区域，区域A3表示全部光线可以透过的区域。因此，本发明可适当的利用半色调掩膜，以对色阻层320各个区域进行不同的曝光显影。举例来说，将半色调掩膜310的区域A1对准色阻层320欲部分去除的区域(亦即图2的第一区域D1)，将半色调掩膜310的区域A2对准色阻层320欲全部去除的区域(亦即图2的第二区域D2)，将半色调掩膜310的区域A3对准色阻层320完全无须去除的区域(亦即图2的第三区域D3)。因为半色调掩膜310个区域A1-A3的透光率不同，因此光致抗蚀剂330在曝光之后，会依据透光率的不同形成不同强度的光阻。
请参阅图4。以化学溶剂冲刷以去除第一区域D1的部分色阻层320以及第二区域D2的全部色阻层320。至于第三区域D3的色阻层320因为有光阻的保护而得以全部保留。最后，再以另一化学溶剂将光阻移除。如此一来，在进行蚀刻制程之后，色阻层320就会形成图2所示的黑色矩阵层220。由于进行了不同程度的曝光显影，因此在蚀刻时，色阻层320的第一区域D1便会被部分蚀刻，色阻层320在第二区域D2则完全保留，而第三区域D3的色阻层320便会完全被蚀刻而去除。
请参阅图5。在玻璃基板210与黑色矩阵层220上产生彩色膜层。请注意，为了简化图式，于图2中仅显示出红色膜层231。在图5中可清楚见到，在形成红色膜层231时，由于黑色矩阵层220已经具有较佳的高低差，因此，红色膜层231的表面便不会具有高低差(角段差)。
虽然于图5中仅绘示了红色膜层231的产生，然而，这仅只是简易的说明，在实际应用中，会另外于玻璃基板210与黑色矩阵层220上依序产生绿色膜层232以及蓝色膜层233。揭露至此，此领域具有通常知识者应可理解绿色膜层232以及蓝色膜层233的产生方式，故不另赘述于此。
此外，本发明并未限制彩色模层的产生方式，无论是利用印刷方式，沉积方式或是其他的产生方式，皆属本发明的范畴。
相较于现有技术，本发明提供一种彩色滤光基板与相关制作方式，其藉由具有不同透光率的掩膜，来制作黑色矩阵层。因此，黑色矩阵层在制作过程中会经过不同程度的曝光显影，如此一来，在其后的蚀刻过程中，就会对黑色矩阵层不同区域有不同的蚀刻程度，进而使彩色模层与黑色矩阵层的重叠区域的高度大致等于未重叠的区域。如此一来，便可消除现有技术彩色膜层的角段差问题，使得子像素边缘处的液晶排列效果更佳。
综上所述，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，但该较佳实施例并非用以限制本发明，该领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (8)

1.一种彩色滤光基板的制作方法，用来制作一彩色滤光基板，所述制作方法包含：提供一玻璃基板；于所述玻璃基板上，形成一色阻层；其特征在于：所述制作方法另包含：
利用具有多种透光率的一掩膜，以对所述色阻层进行不同程度的曝光显影；
根据曝光显影的结果，来蚀刻所述色阻层，以产生一黑色矩阵层，所述黑色矩阵层具有一第一区域以及一第二区域，所述第一区域的高度低于所述第二区域；以及
于所述玻璃基板以及所述黑色矩阵层上，产生一彩色膜层，其中，所述彩色膜层与所述黑色矩阵层的重叠处位于所述黑色矩阵层的第一区域内。
2.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述掩膜为一半色调掩膜。
3.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述彩色膜层包含一红色模层、一蓝色膜层、以及一绿色膜层。
4.如权利要求3所述的制作方法，其特征在于：产生所述彩色膜层的步骤包含：于所述玻璃基板与所述黑色矩阵层上产生所述红色模层；于所述玻璃基板与所述黑色矩阵层上产生所述绿色膜层；以及于所述玻璃基板与所述黑色矩阵层上产生所述蓝色膜层。
5.一种彩色滤光基板，包含一玻璃基板；其特征在于：所述彩色滤光基板另包含：
一黑色矩阵层，位于所述玻璃基板上，所述黑色矩阵层的具有一第一区域以及一第二区域，其中，所述第一区域的高度低于所述第二区域；以及
一彩色膜层，位于所述玻璃基板以及所述黑色矩阵层上；
其中，所述彩色膜层与所述黑色矩阵层的重叠处位于所述黑色矩阵层的第一区域内。
6.如权利要求5所述的彩色滤光基板，其特征在于：所述黑色矩阵层是藉由利用具有多种透光率的一掩膜，以对一色阻层进行不同程度的曝光显影，并蚀刻所述色阻层制作而成。
7.如权利要求6所述的彩色滤光基板，其特征在于：所述掩膜为一半色调掩膜。
8.如权利要求5所述的彩色滤光基板，其特征在于：所述彩色膜层包含一红色模层、一蓝色膜层、以及一绿色膜层。
CN2012103706953A 2012-09-29 2012-09-29 彩色滤光基板以及其相关制作方法 Pending CN102866532A (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012103706953A CN102866532A (zh) 2012-09-29 2012-09-29 彩色滤光基板以及其相关制作方法
PCT/CN2012/082574 WO2014047959A1 (zh) 2012-09-29 2012-10-08 彩色滤光基板以及其相关制作方法
US13/696,031 US20140092496A1 (en) 2012-09-29 2012-10-08 Color Filter and Related Manufacturing Method Thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012103706953A CN102866532A (zh) 2012-09-29 2012-09-29 彩色滤光基板以及其相关制作方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102866532A true CN102866532A (zh) 2013-01-09

Family

ID=47445487

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2012103706953A Pending CN102866532A (zh) 2012-09-29 2012-09-29 彩色滤光基板以及其相关制作方法

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN102866532A (zh)
WO (1) WO2014047959A1 (zh)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104280805A (zh) * 2014-09-30 2015-01-14 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司 用半色调掩膜改善画素端差高度的彩色滤光片制造方法
CN104459861A (zh) * 2014-12-31 2015-03-25 深圳市华星光电技术有限公司 一种彩色滤光片及其制作方法
US9170486B2 (en) 2014-03-27 2015-10-27 Cheil Industries Inc. Method of manufacturing black column spacer, black column spacer, and color filter
CN105044967A (zh) * 2015-08-11 2015-11-11 武汉华星光电技术有限公司 彩色滤光片基板及其制作方法、液晶面板
CN105093645A (zh) * 2015-08-06 2015-11-25 深圳市华星光电技术有限公司 彩色滤光基板及其制备方法
WO2016095278A1 (zh) * 2014-12-19 2016-06-23 深圳市华星光电技术有限公司 用于显示器的彩膜基板及其制造方法和彩膜基板的光罩
CN107300836A (zh) * 2017-08-16 2017-10-27 深圳市华星光电技术有限公司 曝光方法和曝光装置
CN107976873A (zh) * 2018-01-02 2018-05-01 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板及曝光方法
WO2019104825A1 (zh) * 2017-11-29 2019-06-06 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 一种彩色滤光膜基板及其制备方法
CN114706245A (zh) * 2022-04-26 2022-07-05 北海惠科光电技术有限公司 彩膜基板、显示面板及彩膜基板的制备方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10206622A (ja) * 1997-01-20 1998-08-07 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルタの製造方法
KR20060088684A (ko) * 2005-02-02 2006-08-07 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 컬러필터 제조방법
CN1982924A (zh) * 2005-12-16 2007-06-20 中华映管股份有限公司 彩色滤光板及其制造方法
CN101059575A (zh) * 2006-04-19 2007-10-24 群康科技(深圳)有限公司 彩色滤光片及其制作方法与液晶显示装置及其制造方法
KR101023278B1 (ko) * 2003-12-30 2011-03-18 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치의 컬러필터기판 및 그 제조방법

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004093656A (ja) * 2002-08-29 2004-03-25 Toray Ind Inc カラーフィルター、液晶表示パネル、および樹脂ブラックマトリクス形成用ペースト
KR20070102251A (ko) * 2006-04-14 2007-10-18 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판 및 그 제조 방법

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10206622A (ja) * 1997-01-20 1998-08-07 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルタの製造方法
KR101023278B1 (ko) * 2003-12-30 2011-03-18 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치의 컬러필터기판 및 그 제조방법
KR20060088684A (ko) * 2005-02-02 2006-08-07 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 컬러필터 제조방법
CN1982924A (zh) * 2005-12-16 2007-06-20 中华映管股份有限公司 彩色滤光板及其制造方法
CN101059575A (zh) * 2006-04-19 2007-10-24 群康科技(深圳)有限公司 彩色滤光片及其制作方法与液晶显示装置及其制造方法

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9170486B2 (en) 2014-03-27 2015-10-27 Cheil Industries Inc. Method of manufacturing black column spacer, black column spacer, and color filter
CN104280805A (zh) * 2014-09-30 2015-01-14 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司 用半色调掩膜改善画素端差高度的彩色滤光片制造方法
WO2016095278A1 (zh) * 2014-12-19 2016-06-23 深圳市华星光电技术有限公司 用于显示器的彩膜基板及其制造方法和彩膜基板的光罩
CN104459861A (zh) * 2014-12-31 2015-03-25 深圳市华星光电技术有限公司 一种彩色滤光片及其制作方法
WO2017020337A1 (zh) * 2015-08-06 2017-02-09 深圳市华星光电技术有限公司 彩色滤光基板及其制备方法
CN105093645A (zh) * 2015-08-06 2015-11-25 深圳市华星光电技术有限公司 彩色滤光基板及其制备方法
CN105044967A (zh) * 2015-08-11 2015-11-11 武汉华星光电技术有限公司 彩色滤光片基板及其制作方法、液晶面板
WO2017024655A1 (zh) * 2015-08-11 2017-02-16 武汉华星光电技术有限公司 彩色滤光片基板及其制作方法、液晶面板
CN107300836A (zh) * 2017-08-16 2017-10-27 深圳市华星光电技术有限公司 曝光方法和曝光装置
CN107300836B (zh) * 2017-08-16 2020-03-10 深圳市华星光电技术有限公司 曝光方法和曝光装置
WO2019104825A1 (zh) * 2017-11-29 2019-06-06 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 一种彩色滤光膜基板及其制备方法
CN107976873A (zh) * 2018-01-02 2018-05-01 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板及曝光方法
CN114706245A (zh) * 2022-04-26 2022-07-05 北海惠科光电技术有限公司 彩膜基板、显示面板及彩膜基板的制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2014047959A1 (zh) 2014-04-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102854656A (zh) 彩色滤光基板以及其相关制作方法
CN102866532A (zh) 彩色滤光基板以及其相关制作方法
CN102681067B (zh) 彩色滤光片及其制备方法
CN105527744B (zh) 彩膜基板的制作方法
CN103246154B (zh) 一种用于封框胶固化遮挡的掩模板的制造方法
CN104678639A (zh) 一种彩色滤光片基板的制作方法
CN101393347B (zh) 颜色滤光片基板和利用该颜色滤光片基板的lcd装置
CN102707357A (zh) 彩色滤光片及其制造方法
CN104749674A (zh) 滤光片的制作方法及曝光掩膜板
CN102213785A (zh) 彩色滤光片基板的制造方法、光学掩膜及光反应层
CN104459861A (zh) 一种彩色滤光片及其制作方法
CN103033981A (zh) 彩色滤光片基板及其制造方法和液晶面板
CN105388661A (zh) 彩膜基板及其制作方法、显示装置
CN106773240A (zh) Coa基板的制作方法、coa基板及液晶显示面板
CN104614931A (zh) 掩模板及制造彩膜基板的方法和彩膜基板
US9030767B2 (en) Color filter and manufacturing method thereof
US10802329B2 (en) Colour filter, display apparatus and method for manufacturing colour filter
US20140055879A1 (en) Display Device, Color Filter Substrate And Manufacturing Method Thereof
CN100447591C (zh) 彩色滤光片基板的形成方法
CN105652512A (zh) 彩色滤光片及其制造方法
KR100672645B1 (ko) 컬러필터 기판의 제조방법
CN103592798B (zh) 一种具有设定高度的隔垫物及其制作方法
CN106226960A (zh) 一种彩膜基板及其制造方法和显示装置
CN102707353A (zh) 彩色滤光片及其制造方法
JP2007034250A (ja) カラーフィルタの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C12 Rejection of a patent application after its publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20130109