CN106597759A - 隔垫物、显示基板及其制作方法、显示面板 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种隔垫物,用于设置在对盒设置的两个基板之间,其中,所述隔垫物包括支撑主体,所述支撑主体的一端形成为基部,所述基部用于设置在所述基板上,所述隔垫物还包括形成在所述基部上的至少一个凸起,当所述隔垫物设置在两个所述基板之间时,所述凸起的凸起方向朝向所述基板上与所述隔垫物距离最近的像素区域。本发明还公开了显示基板、显示面板以及显示基板的制作方法。本发明公开的隔垫物应用于对盒设置的两个基板之间,能够在基板受到外力时,增加隔垫物的牢固性,防止隔垫物向像素区域方向滑动。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种隔垫物、包括该隔垫物的显示基板、包括该显示基板的显示面板以及显示基板的制作方法。
背景技术
现有技术中,液晶显示器通常包括阵列基板和与阵列基板对盒设置的彩膜基板,为了维持薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,简称TFT-LCD)的彩膜基板和阵列基板之间的盒厚,在TFT-LCD的制造过程中加入球形隔垫物(Ball Spacer简称BS)或者柱形隔垫物(Post Spacer,简称PS)以保持盒厚一致。液晶显示器制造过程中采用球形隔垫物是通过喷洒方式将其散布在彩膜基板或者阵列基板上,球形隔垫物可能被误喷洒至像素区域,因此,引起球形隔垫物周围液晶取向较差产生漏光,导致对比度下降。而液晶显示器制造过程中若采用柱形隔垫物,能够将柱形隔垫物精确地控制在彩膜基板上,有效改善对比度,从而达到控制盒厚和提高对比度的双重作用。
现有技术中采用的柱形隔垫物PS通常包括柱形主隔垫物MainPS和柱形副隔垫物Sub PS,如图1所示的显示面板中,彩膜基板10与阵列基板20之间设置有主隔垫物100和副隔垫物200,在液晶显示器的制造过程中多采用Main PS和Sub PS配合使用的方式,MainPS一般有一种,Sub PS有一种或多种,并且Main PS比Sub PS高,高度差一般称为段差。其中,Main PS的顶部与阵列基板20上的站位平台110(一般为薄膜晶体管TFT)相接触,抵在站位平台110上起到控制盒厚的作用;Sub PS正常情况下与阵列基板没有接触,当上下基板受到的压力过大时(图2中箭头方向表示彩膜基板10受到的压力方向),Main PS受力压缩,SubPS接触站位平台110开始起作用,辅助Main PS维持盒厚。
但是在液晶面板受到斜向外力的情况下,Main PS易产生滑动,滑下站位平台110并滑至阵列基板20的像素区域,如图2,划伤配向膜,形成漏光、触摸斑点、色不均、隔垫物斑点、摩擦损伤等不良。
发明内容
本发明旨在解决现有技术中存在的上述问题之一,提供了一种隔垫物、包括该隔垫物的显示基板、包括该显示基板的显示面板以及显示基板的制作方法,以解决现有技术中的问题。
作为本发明的第一个方面,提供一种隔垫物,用于设置在对盒设置的两个基板之间,其中,所述隔垫物包括支撑主体,所述支撑主体的一端形成为基部,所述基部用于设置在所述基板上,所述隔垫物还包括形成在所述基部上的至少一个凸起,当所述隔垫物设置在两个所述基板之间时,所述凸起的凸起方向朝向所述基板上与所述隔垫物距离最近的像素区域。
优选地,所述支撑主体背离所述基部的一端形成为平齐端面。
优选地,所述隔垫物还包括凸台,所述凸台形成在所述支撑主体背离所述基部的一端,且所述凸台的横截面积小于所述平齐端面的横截面积。
优选地,所述凸台的横截面积与所述平齐端面的横截面积之比在1/9~1/4之间,当所述隔垫物设置在两个所述基板之间时,所述凸起与所述像素区域之间的最小距离为3微米。
作为本发明的第二个方面,提供一种显示基板,包括衬底,所述衬底被划分为多个间隔设置的像素区域,所述衬底上设置有多个隔垫物,所述隔垫物位于多个所述像素区域的间隔中,其中,至少一个所述隔垫物包括前文所述的隔垫物,且所述隔垫物上的所述凸起的凸起方向朝向所述衬底上与所述隔垫物距离最近的所述像素区域。
优选地,所述衬底上位于中间区域的至少一个所述隔垫物的高度高于位于四周区域的所述隔垫物的高度。
作为本发明的第三个方面,提供一种显示面板,包括对盒设置的第一显示基板和第二显示基板,其特征在于,所述第一显示基板包括前文所述的显示基板,所述第一显示基板上的至少一个所述隔垫物背离所述基部的一端与所述第二显示基板接触。
优选地,所述第二显示基板上朝向所述第一显示基板的表面设置有多个站位平台,所述站位平台与所述第一显示基板上的所述隔垫物一一对应,且至少一个所述隔垫物背离所述基部的一端与所述站位平台接触。
作为本发明的第四个方面,提供一种显示基板的制作方法,其中,所述制作方法包括:
提供衬底,所述衬底被划分多个像素区域;
在所述衬底上形成隔垫物,其中所述隔垫物包括支撑主体,所述支撑主体的一端形成为基部,所述基部形成于所述衬底上,所述隔垫物还包括形成在所述基部上的至少一个凸起,所述凸起的凸起方向朝向所述衬底上与所述隔垫物距离最近的所述像素区域。
优选地,形成所述隔垫物的步骤包括:
在所述衬底上涂覆一层光刻胶层;
当所述光刻胶层由负性光刻胶材料形成时,所述步骤还包括:
利用半色调掩膜板对所述光刻胶层进行曝光,其中,所述半色调掩膜板包括透光区、半透光区和遮光区,所述透光区对应凸台,所述半透光区对应平齐端面,所述遮光区对应所述光刻胶层上除上述区域之外的区域;
或者,当所述光刻胶层由正性光刻胶材料形成时,所述步骤还包括:
利用半色调掩膜板对所述光刻胶层进行曝光,其中,所述半色调掩膜板包括透光区、半透光区和遮光区,所述遮光区对应凸台,所述半透光区对应平齐端面,所述透光区对应所述隔垫物图形层上除上述区域之外的区域;
对曝光后的所述光刻胶层进行显影;
对显影后的光刻胶进行剥离,以获得所述隔垫物。
本发明提供的隔垫物通过在基部设置凸起结构,增加了隔垫物的支撑面积,应用于对盒设置的两个基板之间,能够在基板受到外力时,增加隔垫物的牢固性,防止隔垫物向像素区域方向滑动。
本发明提供的显示基板,由于包括的所述隔垫物采用前文所述的隔垫物,能够在所述显示基板受到外力时,起到良好的支撑作用,且由于所述隔垫物具有前文所述的凸起结构,能够阻挡所述隔垫物朝向所述像素区域滑动,避免了由于所述隔垫物的滑动导致划伤配向膜,造成显示面板漏光等不良现象的出现。
本发明提供的显示面板,由于其中的第一显示基板包括前文所述的显示基板,当该显示面板受到外力影响时,第一显示基板上的所述隔垫物能够起到良好的支撑作用,且由于隔垫物上设置有凸起,该凸起能够阻挡隔垫物朝向像素区域滑动,避免了由于显示面板受外力导致的像素区域出现配向膜划伤等问题的出现。
本发明提供的显示基板的制作方法在形成所述隔垫物的同时在所述隔垫物的基部形成凸起,使得形成的所述隔垫物能够起到良好的支撑作用,且未增加制作工艺的难度。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本发明,但并不构成对本发明的限制。在附图中:
图1为现有技术的显示面板正常状态下隔垫物的结构示意图;
图2为现有技术的显示面板受挤压状态下隔垫物的结构示意图;
图3为本发明提供的正常状态下的隔垫物的结构示意图;
图4为本发明提供的受挤压状态下的隔垫物的结构示意图;
图5为本发明提供的显示基板上设置的隔垫物的俯视图;
图6为本发明提供的第一种隔垫物和第二种隔垫物的形成过程俯视图,其中a对应第一种隔垫物,b对应第二种隔垫物;
图7为本发明提供的图6所示的两种隔垫物形成的最终结构俯视图,其中c对应图6中的a隔垫物,d对应图6中的b隔垫物。
图8为本发明提供的显示基板的制作方法流程图;
图9为本发明提供的形成隔垫物的第一种方法流程图;
图10为本发明提供的形成隔垫物的第二种方法流程图;
图11为本发明提供的彩膜基板的制作方法过程图。
其中,10、彩膜基板;20、阵列基板;100、主隔垫物;110、站位平台;200、副隔垫物;300、支撑主体;301、基部;302、平齐端面;303、凸台;400、像素区域;500、黑矩阵区域。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明,并不用于限制本发明。
作为本发明的第一个方面,如图3所示,提供一种隔垫物,用于设置在对盒设置的两个基板之间,其中,所述隔垫物包括支撑主体300,支撑主体300的一端形成为基部301,基部301用于设置在所述基板上,所述隔垫物还包括形成在基部301上的至少一个凸起(图3中未示出),当所述隔垫物设置在两个所述基板之间时,所述凸起的凸起方向朝向所述基板上与所述隔垫物距离最近的像素区域。
本发明提供的隔垫物通过在基部设置凸起结构,增加了隔垫物的支撑面积,应用于对盒设置的两个基板之间,能够在基板受到外力时,增加隔垫物的牢固性,防止隔垫物向像素区域方向滑动。
具体地,如图3和图5所示,所述隔垫物的一端设置在其中一个所述基板上,为了增加所述隔垫物的支撑稳定性,且避免所述隔垫物在所述基板受到外力时朝向像素区域400滑动,所述隔垫物上设置有所述凸起,所述凸起的凸起方向(图5中箭头所指示的方向为所述凸起的凸起方向)朝向像素区域400。所述隔垫物上所述凸起的数量根据所述隔垫物周围的像素区域400设置,例如,图5所示的所述隔垫物的周围四个方向有像素区域400,则所述隔垫物上形成有四个所述凸起,每个所述凸起的凸起方向朝向一个像素区域400。由图5还可以看出,在所述隔垫物的基部形成的四个所述凸起的形状类似于X型,这种形状能够有效阻挡隔垫物朝向所述像素区域的进一步滑动,同时能够与隔垫物的背离基部的一端一起分担压力,减少甚至避免了所述隔垫物对配向膜的损伤。
需要指出的是,在本发明中,对像素区域的尺寸并没有特殊的要求,每个像素区域内可以包括多个像素单元。
作为支撑主体300的一种具体地实施方式,支撑主体300背离基部301的一端形成为平齐端面302。
具体地,如图3所示,所述隔垫物位于两个所述基板之间时,所述隔垫物的一端固定在其中一个所述基板上,所述隔垫物的另一端为支撑主体300背离基部301的一端,该端形成平齐端面302便于所述隔垫物与另一个所述基板接触,以起到支撑作用。当设置在显示面板中时,这种端面平齐的隔垫物主要用作副隔垫物,设置在显示面板的四周区域(需要指出的是,此处的四周区域是相对于显示面板的中间区域而言的,四周区域环绕所述显示面板的中间区域)。
为了使得所述隔垫物在基板受到外力时,更好的起到支撑作用,作为所述隔垫物的一种具体地实施方式,所述隔垫物还包括凸台303,凸台303形成在支撑主体300背离基部301的一端,且凸台303的横截面积小于平齐端面302的横截面积。
可以理解的是,如图4所示,支撑主体300背离基部301的一端上形成有凸台303,当所述隔垫物设置两个所述基板之间,所述基板受外力时,所述隔垫物因外力作用而滑动,支撑主体300的凸台303与平齐端面302之间由于存在高度差,凸台303能够与平齐端面302形成三角形支撑,阻止所述隔垫物的进一步滑动。当设置在显示面板中时,这种端面形成有凸台303的隔垫物主要用作主隔垫物,设置在显示面板的中间区域。
作为凸台303的一种具体地实施方式,为了满足制作工艺的精度要求,凸台303的横截面积与平齐端面302的横截面积之比在1/9~1/4之间,当所述隔垫物设置在两个所述基板之间时,所述凸起与像素区域400之间的最小距离为3微米。
可以理解的是,由于所述隔垫物在制作时,需要进行曝光,为了满足曝光精度的需要,凸台303的横截面积与平齐端面302的横截面积之比在1/9~1/4之间,当凸台303与平齐端面302均为圆形面时,凸台303的直径之比与平齐端面302的直径之比在1/3~1/2之间,这样可以通过一次曝光工艺制作得到所述隔垫物的凸台303以及平齐端面302。
本发明提供的隔垫物,通过在基部设置凸起结构,当该隔垫物应用于对盒设置的两个基板之间,能够在基板受到外力时,增加隔垫物的支撑力,凸起结构的凸起方向朝向所述像素区域,能够有效阻挡隔垫物朝向所述像素区域滑动。另外,所述隔垫物的所述支撑主体背离所述基部的一端形成有平齐端面以及形成在所述平齐端面上的凸台,当所述隔垫物滑动时,所述平齐端面以及所述凸台能够与接触的所述基板之间形成三角形支撑,有效阻止所述隔垫物的进一步滑动,避免所述像素区域被划伤。
作为本发明的第二个方面,提供了一种显示基板,包括衬底,所述衬底被划分为多个间隔设置的像素区域,所述衬底上设置有多个隔垫物,所述隔垫物位于多个所述像素区域的间隔中,其中,至少一个所述隔垫物包括前文所述的隔垫物,且所述隔垫物上的所述凸起的凸起方向朝向所述衬底上与所述隔垫物距离最近的所述像素区域。
本发明提供的显示基板,由于包括的所述隔垫物采用前文所述的隔垫物,能够在所述显示基板受到外力时,起到良好的支撑作用,且由于所述隔垫物具有前文所述的凸起结构,能够阻挡所述隔垫物朝向所述像素区域滑动,避免了由于所述隔垫物的滑动导致划伤配向膜,造成显示面板漏光等不良现象的出现。
需要说明的是,所述显示基板包括彩膜层和位于所述彩膜层上的平坦保护层,所述隔垫物形成在所述平坦保护层上。
还需要说明的是,本发明提供的所述显示基板可以是彩膜基板也可以是阵列基板。
具体地,所述衬底上位于中间区域的至少一个所述隔垫物的高度高于位于四周区域的所述隔垫物的高度。
可以理解的是,所述显示基板上的所述隔垫物高度设置不同,所述平齐端面上形成有所述凸台的所述隔垫物的高度高于没有形成所述凸台的所述隔垫物的高度,因此,形成有所述凸台的所述隔垫物位于所述衬底的中间区域。还可以将形成有所述凸台的所述隔垫物称为主隔垫物,没有形成凸台的所述隔垫物称为副隔垫物,所述主隔垫物位于所述衬底上的中间区域,起主要支撑作用,所述副隔垫物位于所述衬底的四周区域,所述主隔垫物的高度高于所述副隔垫物的高度,当所述显示基板受外力时,所述主隔垫物首先起到支撑作用,在所述主隔垫物由于外力较大产生滑动时,所述副隔垫物继续起支撑作用。
作为本发明的第三个方面,提供一种显示面板,包括对盒设置的第一显示基板和第二显示基板,其中,所述第一显示基板包括前文所述的显示基板,所述第一显示基板上的至少一个所述隔垫物背离所述基部的一端与所述第二显示基板接触。
本发明提供的显示面板,由于其中的第一显示基板包括前文所述的显示基板,当该显示面板受到外力影响时,第一显示基板上的所述隔垫物能够起到良好的支撑作用,且由于隔垫物上设置有凸起,该凸起能够阻挡隔垫物朝向像素区域滑动,避免了由于显示面板受外力导致的像素区域出现配向膜划伤等问题的出现。
作为第二显示基板的一种具体地实施方式,如图3所示,为了配合第一显示基板上的所述隔垫物的支撑作用,所述第二显示基板上朝向所述第一显示基板的表面设置有多个站位平台110,站位平台110与所述第一显示基板上的所述隔垫物一一对应,且至少一个所述隔垫物背离所述基部的一端与站位平台110接触。
可以理解的是,所述第二显示基板上与所述第一显示基板上的隔垫物相对应的位置处均设置有站位平台110,该站位平台110能够与其中至少一个所述隔垫物接触。当所述第一显示基板上的所述隔垫物包括主隔垫物和副隔垫物时,站位平台110分别与所述主隔垫物和所述副隔垫物对应,在所述显示面板的正常状态下,所述主隔垫物主要起支撑作用,因此,所述第一显示基板上的所述主隔垫物与所述第二显示基板上的站位平台110接触,当所述显示面板受外力作用使得所述主隔垫物滑下站位平台110时,如图4所示,所述副隔垫物开始起支撑作用,此时,所述第一显示基板上的所述副隔垫物与所述第二显示基板上的站位平台110接触。
需要说明的是,由前文所述可知,前文所述的显示基板可以为彩膜基板,也可以为阵列基板,则当所述第一显示基板为彩膜基板时,所述第二显示基板为阵列基板。
作为本发明的第四个方面,提供一种显示基板的制作方法,其中,如图8所示,所述制作方法包括:
S101、提供衬底,所述衬底被划分多个像素区域;
具体地,提供所述衬底的步骤具体可以包括:提供透明基板;在所述透明基板上形成彩膜层;在所述彩膜层上形成平坦保护层。
进一步具体地,形成所述彩膜层包括形成在所述透明基板上的黑矩阵图形和被所述黑矩阵图形划分的多个像素区域。
S102、在所述衬底上形成隔垫物,其中所述隔垫物包括支撑主体,所述支撑主体的一端形成为基部,所述基部形成于所述衬底上,所述隔垫物还包括形成在所述基部上的至少一个凸起,所述凸起的凸起方向朝向所述衬底上与所述隔垫物距离最近的所述像素区域。
本发明提供的显示基板的制作方法在形成所述隔垫物的同时在所述隔垫物的基部形成凸起,使得形成的所述隔垫物能够起到良好的支撑作用,且未增加制作工艺的难度。
作为所述隔垫物形成的具体实施方式,如图9和图10所示,形成所述隔垫物的步骤具体可以包括:
S201、在所述衬底上涂覆一层光刻胶层;
具体地,在通过涂布工艺,在所述衬底上涂布一层光刻胶层,涂布的所述光刻胶层的厚度在3μm左右,所述光刻胶层包括正性光刻胶和负性光刻胶,材质为树脂。
S2021、当所述光刻胶层由负性光刻胶材料形成时,所述步骤还包括:
利用半色调掩膜板对所述光刻胶层进行曝光,其中,所述半色调掩膜板包括透光区、半透光区和遮光区,所述透光区对应凸台,所述半透光区对应平齐端面,所述遮光区对应所述光刻胶层上除上述区域之外的区域;
或者S2022、当所述光刻胶层由正性光刻胶材料形成时,所述步骤还包括:
利用半色调掩膜板对所述光刻胶层进行曝光,其中,所述半色调掩膜板包括透光区、半透光区和遮光区,所述遮光区对应凸台,所述半透光区对应平齐端面,所述透光区对应所述隔垫物图形层上除上述区域之外的区域。
需要说明的是,当所述光刻胶由负性光刻胶材料形成时,所述半透光区的透过率为20%~25%。
S203、对曝光后的所述光刻胶层进行显影;
S204、对显影后的光刻胶进行剥离,以获得所述隔垫物。
本发明的显示基板以彩膜基板为例,结合图11所示,对所述彩膜基板的制作方法进行详细描述,其中所述光刻胶以负性光刻胶为例。
(1)在透明基板上通过涂布的方法,形成一层厚度约为4μm的黑矩阵层,然后通过黑矩阵掩膜板曝光、显影和剥离工艺得到黑矩阵图形。
(2)在完成上述步骤的基础上,通过涂布的方法形成一层厚度约为3.6μm的蓝色色阻块层,然后通过蓝色掩膜板曝光、显影和剥离工艺得到蓝色色阻块图形。
(3)重复步骤(2)的工艺,分别涂布红色色阻块层和绿色色阻块层,使用红色掩膜板和绿色掩膜板曝光得到红色色阻块图形和绿色色阻块图形。
(4)当上述步骤完成后,通过涂布的工艺,涂布一层平坦保护层,烘干后形成一层厚度约为1.8μm的平坦保护层。
(5)在完成步骤(4)的工艺基础上,通过涂布工艺,在平坦保护层上形成3μm左右的隔垫物层,此处所述隔垫物层主要是光刻胶,且所述光刻胶为负性光刻胶,材质为树脂,该涂布工艺完成后,进行曝光、显影、剥离工艺得到隔垫物图案,其中,曝光采用隔垫物掩膜板,通过一次半透膜掩膜工艺或单狭缝掩膜工艺。如图6和图7所示,其中图6为隔垫物形成过程的俯视图,a为第一种隔垫物(即平齐端面上形成有凸台)形状俯视图,b为第二种隔垫物(即平齐端面上未形成凸台)形状俯视图;图7为隔垫物最终形状俯视图,c为第一种隔垫物(即平齐端面上形成有凸台)最终形状俯视图,d为第二种隔垫物(即平齐端面上未形成凸台)最终形状俯视图。当所述掩膜板采用的为半色调掩膜板时,所述半色调掩膜板包括透光区、半透光区和遮光区,所述半透光区的透过率为20%~25%,该半透光区对应所述平齐端面,即图6中a第一种隔垫物形状所示的区域2,所述透光区对应形成在所述平齐端面上的所述凸台,即图6中a第一种隔垫物形状所示的区域1,图6中的b第二种隔垫物形状所示的区域1和区域2对应的为半色调掩膜板的半透光区,形成为平齐端面。图6中a所示的第一种隔垫物俯视图最终形成的是图7中c所示的第一种隔垫物俯视图,图6中b所示的第二种隔垫物俯视图最终形成的是图7中d所示的第二种隔垫物俯视图。
可以理解的是,以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式,然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本发明的精神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种隔垫物,用于设置在对盒设置的两个基板之间,其特征在于,所述隔垫物包括支撑主体,所述支撑主体的一端形成为基部,所述基部用于设置在所述基板上,所述隔垫物还包括形成在所述基部上的至少一个凸起,当所述隔垫物设置在两个所述基板之间时,所述凸起的凸起方向朝向所述基板上与所述隔垫物距离最近的像素区域。
2.根据权利要求1所述的隔垫物,其特征在于,所述支撑主体背离所述基部的一端形成为平齐端面。
3.根据权利要求2所述的隔垫物,其特征在于,所述隔垫物还包括凸台,所述凸台形成在所述支撑主体背离所述基部的一端,且所述凸台的横截面积小于所述平齐端面的横截面积。
4.根据权利要求3所述的隔垫物,其特征在于,所述凸台的横截面积与所述平齐端面的横截面积之比在1/9~1/4之间,当所述隔垫物设置在两个所述基板之间时,所述凸起与所述像素区域之间的最小距离为3微米。
5.一种显示基板,包括衬底,所述衬底被划分为多个间隔设置的像素区域,所述衬底上设置有多个隔垫物,所述隔垫物位于多个所述像素区域的间隔中,其特征在于,至少一个所述隔垫物包括权利要求1至4中任意一项所述的隔垫物,且所述隔垫物上的所述凸起的凸起方向朝向所述衬底上与所述隔垫物距离最近的所述像素区域。
6.根据权利要求5所述的显示基板,其特征在于,所述衬底上位于中间区域的至少一个所述隔垫物的高度高于位于四周区域的所述隔垫物的高度。
7.一种显示面板,包括对盒设置的第一显示基板和第二显示基板,其特征在于,所述第一显示基板包括权利要求5或6所述的显示基板,所述第一显示基板上的至少一个所述隔垫物背离所述基部的一端与所述第二显示基板接触。
8.根据权利要求7所述的显示面板,其特征在于,所述第二显示基板上朝向所述第一显示基板的表面设置有多个站位平台,所述站位平台与所述第一显示基板上的所述隔垫物一一对应,且至少一个所述隔垫物背离所述基部的一端与所述站位平台接触。
9.一种显示基板的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:
提供衬底,所述衬底被划分多个像素区域;
在所述衬底上形成隔垫物,其中所述隔垫物包括支撑主体,所述支撑主体的一端形成为基部,所述基部形成于所述衬底上,所述隔垫物还包括形成在所述基部上的至少一个凸起,所述凸起的凸起方向朝向所述衬底上与所述隔垫物距离最近的所述像素区域。
10.根据权利要求9所述的制作方法,其特征在于,形成所述隔垫物的步骤包括:
在所述衬底上涂覆一层光刻胶层;
当所述光刻胶层由负性光刻胶材料形成时,所述步骤还包括:
利用半色调掩膜板对所述光刻胶层进行曝光,其中,所述半色调掩膜板包括透光区、半透光区和遮光区,所述透光区对应凸台,所述半透光区对应平齐端面,所述遮光区对应所述光刻胶层上除上述区域之外的区域;
或者,当所述光刻胶层由正性光刻胶材料形成时,所述步骤还包括:
利用半色调掩膜板对所述光刻胶层进行曝光,其中,所述半色调掩膜板包括透光区、半透光区和遮光区,所述遮光区对应凸台,所述半透光区对应平齐端面,所述透光区对应所述隔垫物图形层上除上述区域之外的区域;
对曝光后的所述光刻胶层进行显影;
对显影后的光刻胶进行剥离,以获得所述隔垫物。
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