CN106597712A - 涂布检测装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种涂布检测装置及涂布检测方法。本发明的涂布检测装置，包括承载平台、传送轮组、固定支架、数个CCD图像传感器、数个膜厚量测器、以及用于数据处理的计算机；通过在传送轮组上方设置一整排的CCD图像传感器，提高CCD图像传感器的设置密度，从而具有高精度的AOI检测功能，能够有效检测出异物、气泡、彩晕、刮伤、印刷歪斜等涂布缺陷，后续无需再额外抽检进行宏观检测与微观检测，检测过程中无需操作人员遥感CCD图像传感器来回移动，能够实现对基板涂布效果的全自动检测，进而能够有效提高产能，并且通过设置膜厚量测器，还兼具膜厚量测功能，从而实现了对基板涂布效果的全面检测。

Description

涂布检测装置
技术领域
本发明涉及显示面板的制造领域，尤其涉及一种涂布检测装置。
背景技术
液晶显示装置(Liquid Crystal Display，LCD)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有市场上的液晶显示装置大部分为背光型液晶显示装置，其包括液晶显示面板及背光模组。通常液晶显示面板由彩膜(Color Filter，CF)基板、薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)基板、夹于彩膜基板与TFT基板之间的液晶(LiquidCrystal，LC)及密封框胶(Sealant)组成。液晶显示面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子，通过玻璃基板通电与否来控制液晶分子改变方向，将背光模组的光线折射出来产生画面。
通常，TFT基板及CF基板上分别具有一层取向膜，该取向膜与LC接触后，能够使得LC产生一定方向的预倾角，从而给液晶分子提供一个承载的角度(预倾角的大小对LCD的驱动电压、对比度、响应时间、视角等具有重要影响)，取向膜的材料通常选用聚酰亚胺(Polyimide,PI)材料，由PI液涂布于基板上所形成。
目前常用的配向膜制作方法如下：采用转印版(ARP Plate)在基板(阵列基板或彩膜基板)上涂布配向液(PI液)，然后再通过配向工艺(如摩擦配向工艺/光配向)以及其他工艺从而在基板上形成所需的配向膜。而具体的配向膜涂布过程又大致包括以下步骤：对基板进行清洗工艺，在经过清洗工艺的所述基板上涂布配向液，对涂布在所述基板上的所述配向液进行固化工艺形成薄膜，最后还需要通过检测设备进行配向膜涂布缺陷检查。
目前，传统的检测方式是通过使用自动光学检验(automated opticalinspection，AOI)设备对其中的基板进行检验。所述自动光学检验设备主要是利用CCD(Charge-coupled Device，电荷耦合元件)图像传感器对被检测基板拍照得到被检测基板的灰度图像，然后通过计算机对该灰度图像进行分析，判定被检测基板是否存在各种不良，如存在异物(Particle)、气泡(Pin hole)、彩晕(Mura)、刮伤、印刷歪斜(PI shift)等。
通常现有的自动光学检测装置包括用于传送并承载基板的承载平台、驱动承载平台及基板移动从而对基板进行传送的传送轮组、架设于传送轮组上方的固定支架、安装于固定支架上的CCD图像传感器、及与所述CCD图像传感器连接用于数据处理的计算机，该自动光学检测装置使用时，被检测基板在传送轮组的驱动下向前移动；同时设置在被检测基板上方的CCD图像传感器对被检测基板的表面进行拍照，并将拍照的图像转换为灰度图像后，与事先输入计算机的基板灰度图像进行对比，依此判定被检测基板是否存在坏点以及坏点的位置。然而，受限于现有自动光学检测装置的检测精度，无法实现线上(in line)的全自动检测，检测过程中还需操作人员遥感CCD图像传感器在被检测基板上方来回移动以对被检测基板进行全面检测，并且为避免漏检，通常在对线上的基板逐个进行AOI检测后，还需抽检9％-10％的基板进行宏观检测(MAC)，其中每片基板宏观检测的时间约为300s，之后还需抽检9％-10％的基板进行微观检测(MIC)，其中每片基板微观检测的时间也约为300s，产能较低。
另外，薄膜的膜厚也会影响产品的质量，因此显示装置的制造工艺对薄膜的厚度要求特别高。在涂布工艺中，涂布的均匀性决定了涂布工艺的优劣，而涂布的均匀性又会影响薄膜的膜厚。因此，对于配向膜涂布的检查，除了需要对基板进行AOI检测之外，还需要在另一设备上进行膜厚检测，膜厚检测一般是通过THK(Thickness Measure)进行光学量测。
发明内容
本发明的目的在于提供一种涂布检测装置，具有高精度的AOI检测功能，同时具有膜厚量测功能，能够实现对基板涂布效果的全自动检测，进而能够有效提高产能。
为实现上述发明目的，本发明提供一种涂布检测装置，包括：用于承载基板的承载平台、驱动承载平台及基板移动从而对基板进行传送的传送轮组、架设于传送轮组上方的固定支架、安装于固定支架上面向传送轮组一侧的数个CCD图像传感器及数个膜厚量测器，以及与所述数个CCD图像传感器、数个膜厚量测器均相连接的用于数据处理的计算机；
所述数个CCD图像传感器在垂直于所述基板移动方向的第一方向上并列排布，用于在基板移动过程中对位于其下方的基板进行拍照；
所述数个CCD图像传感器的拍摄范围覆盖所述基板在垂直于所述基板移动方向上的宽度；
所述数个膜厚量测器用于在基板移动过程中对位于其下方的基板进行涂布膜厚的量测。
所述数个CCD图像传感器在第一方向上排列的长度等于所述基板在垂直于所述基板移动方向上的宽度。
所述CCD图像传感器的数量为32个。
所述膜厚量测器为激光量测器，包括用于向所述基板发射激光束的镭射头、及用于接收从所述基板反射回来的激光束的接收器。
所述的涂布检测装置，还包括自动补光器，所述自动补光器用于通过探测环境亮度为所述CCD图像传感器拍照补充照明。
所述自动补光器包括补充光源，所述补充光源为LED光源。
所述CCD图像传感器拍照的频率与所述传送轮组传送所述基板的速度呈正关系。
本发明还提供一种涂布检测方法,应用于上述的涂布检测装置，包括如下步骤:
步骤1、将基板放置于涂布检测装置的承载平台上，所述基板在传送轮组带动下向前移动，数个CCD图像传感器在基板移动过程中按照一定的拍照频率对位于其下方的基板进行拍照而获取基板的灰阶影像数据并将获得的灰阶影像数据传递给计算机，同时，所述数个膜厚量测器在基板移动过程中对位于其下方的基板进行涂布膜厚的量测并将获得的膜厚量测数据传递给计算机；
步骤2、所述计算机对接受到的灰阶影像数据及膜厚量测数据进行数据分析并作出判断，从而完成基板的涂布效果检测。
所述步骤1中，所述CCD图像传感器拍照的频率与所述传送轮组传送所述基板的速度呈正关系，以获取所述基板的完整的灰阶影像数据。
本发明的有益效果：本发明提供的一种涂布检测装置，包括承载平台、传送轮组、固定支架、数个CCD图像传感器、数个膜厚量测器、以及用于数据处理的计算机；通过在传送轮组上方设置一整排的CCD图像传感器，提高CCD图像传感器的设置密度，从而具有高精度的AOI检测功能，能够有效检测出异物、气泡、彩晕、刮伤、印刷歪斜等涂布缺陷，后续无需再额外抽检进行宏观检测与微观检测，检测过程中无需操作人员遥感CCD图像传感器来回移动，能够实现对基板涂布效果的全自动检测，进而能够有效提高产能，并且通过设置膜厚量测器，还兼具膜厚量测功能，从而实现对基板涂布效果的全面检测。本发明提供的一种涂布检测方法，采用上述的涂布检测装置，能够实现对基板涂布效果的全面检测，并能够实现对基板涂布效果的全自动检测，进而能够有效提高产能。
附图说明
下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其他有益效果显而易见。
附图中，
图1为本发明的涂布检测装置的结构示意图；
图2为本发明的涂布检测方法的流程示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
请参阅图1，本发明一种涂布检测装置，用于检测基板500的配向膜的涂布效果，包括：用于承载基板500的承载平台160、驱动承载平台160及基板500移动从而对基板500进行传送的传送轮组110、架设于传送轮组110上方的固定支架120、安装于固定支架120上面向传送轮组110一侧的数个CCD图像传感器130及数个膜厚量测器140，以及与所述数个CCD图像传感器130、数个膜厚量测器140均相连接的用于数据处理的计算机150；
所述数个CCD图像传感器130在垂直于所述基板500移动方向y的第一方向x上并列排布，用于在基板500移动过程中对位于其下方的基板500进行拍照；
所述数个CCD图像传感器130的拍摄范围覆盖所述基板500在垂直于所述基板500移动方向y上的宽度；
所述数个膜厚量测器140用于在基板500移动过程中对位于其下方的基板500进行涂布膜厚的量测。
本发明的涂布检测装置，通过在传送轮组110上方设置一整排的CCD图像传感器130，即提高CCD图像传感器130的设置密度，从而具有高精度的AOI检测功能，能够有效检测出异物、气泡、彩晕、刮伤、印刷歪斜等涂布缺陷，后续无需再在线下额外抽检进行宏观检测(MAC)与微观检测(MIC)，检测过程中无需操作人员遥感CCD图像传感器130来回移动，能够实现对基板500涂布效果的全自动检测，进而能够有效提高产能，并且还设有膜厚量测器140，兼具膜厚量测功能。例如，采用现有的AOI检测装置进行AOI检测之后，还需要在线下抽检进行MAC检测与MIC检测，对于基板的整个检测过程而言，属于半自动检测，每小时只能检测60片；而采用本申请的涂布检测装置进行AOI检测之后，不需要再在线下抽检进行宏观检测与微观检测，相当于本申请的涂布检测装置实现了AOI、MAC及MIC的三合一检测功能，对于基板的整个检测过程而言，实现了全自动检测，每小时可检测120片。具体地，所述数个CCD图像传感器130在第一方向x上排列的长度等于所述基板500在垂直于所述基板500移动方向y上的宽度。
具体地，所述CCD图像传感器130的数量为32个。
具体地，所述膜厚量测器140为激光量测器，包括用于向所述基板500发射激光束的镭射头、及用于接收从所述基板500反射回来的激光束的接收器。
具体地，所述的涂布检测装置还包括自动补光器170，所述自动补光器170用于通过探测环境亮度为所述CCD图像传感器130拍照补充照明。
具体地，所述自动补光器170包括补充光源，所述补充光源为LED光源。
具体地，所述CCD图像传感器130拍照的速度与所述传送轮组110传送所述基板500的速度呈正关系，从而能够对整个基板500进行全面拍摄，获取基板500的完整的灰阶影像数据，避免基板500的部分区域被遗漏拍摄。
请参阅图2，基于上述的涂布检测装置，本发明还提供一种涂布检测方法，应用上述的涂布检测装置，包括如下步骤：
步骤1、将基板500放置于涂布检测装置的承载平台160上，所述基板500在传送轮组110带动下向前移动，数个CCD图像传感器130在基板500移动过程中按照一定的拍照频率对位于其下方的基板500进行拍照而获取整个基板500的灰阶影像数据，所述数个CCD图像传感器130将获得的灰阶影像数据传递给计算机150，同时，所述数个膜厚量测器140在基板500移动过程中对位于其下方的基板500进行涂布膜厚的量测，所述数个膜厚量测器140将获得的膜厚量测数据传递给计算机150。
步骤2、所述计算机150对接受到的灰阶影像数据及膜厚量测数据进行数据分析并作出判断，从而完成基板500的涂布效果检测。
具体地，本涂布检测方法的实施例中所应用的涂布检测装置的具体结构及性能与上述涂布检测装置的实施例相同，在此不再赘述。
具体地，所述CCD图像传感器130拍照的频率与所述传送轮组110传送所述基板500的速度呈正关系，以获取基板500的完整的灰阶影像数据。
综上所述，本发明提供的一种涂布检测装置，包括承载平台、传送轮组、固定支架、数个CCD图像传感器、数个膜厚量测器、以及用于数据处理的计算机；通过在传送轮组上方设置一整排的CCD图像传感器，提高CCD图像传感器的设置密度，从而具有高精度的AOI检测功能，能够有效检测出异物、气泡、彩晕、刮伤、印刷歪斜等涂布缺陷，后续无需再额外抽检进行宏观检测与微观检测，检测过程中无需操作人员遥感CCD图像传感器来回移动，能够实现对基板涂布效果的全自动检测，进而能够有效提高产能，并且通过设置膜厚量测器，还兼具膜厚量测功能，从而实现对基板涂布效果的全面检测。本发明提供的一种涂布检测方法，采用上述的涂布检测装置，能够实现对基板涂布效果的全面检测，并能够实现对基板涂布效果的全自动检测，进而能够有效提高产能。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。

Claims (9)

1.一种涂布检测装置，其特征在于，包括：用于承载基板(500)的承载平台(160)、驱动承载平台(160)及基板(500)移动从而对基板(500)进行传送的传送轮组(110)、架设于传送轮组(110)上方的固定支架(120)、安装于固定支架(120)上面向传送轮组(110)一侧的数个CCD图像传感器(130)及数个膜厚量测器(140)，以及与所述数个CCD图像传感器(130)、数个膜厚量测器(140)均相连接的用于数据处理的计算机(150)；
所述数个CCD图像传感器(130)在垂直于所述基板(500)移动方向(y)的第一方向(x)上并列排布，用于在基板(500)移动过程中对位于其下方的基板(500)进行拍照；
所述数个CCD图像传感器(130)的拍摄范围覆盖所述基板(500)在垂直于所述基板(500)移动方向(y)上的宽度；
所述数个膜厚量测器(140)用于在基板(500)移动过程中对位于其下方的基板(500)进行涂布膜厚的量测。
2.如权利要求1所述的涂布检测装置，其特征在于，所述数个CCD图像传感器(130)在第一方向(x)上排列的长度等于所述基板(500)在垂直于所述基板(500)移动方向(y)上的宽度。
3.如权利要求2所述的涂布检测装置，其特征在于，所述CCD图像传感器(130)的数量为32个。
4.如权利要求1所述的涂布检测装置，其特征在于，所述膜厚量测器(140)为激光量测器，包括用于向所述基板(500)发射激光束的镭射头、及用于接收从所述基板(500)反射回来的激光束的接收器。
5.如权利要求1所述的涂布检测装置，其特征在于，还包括自动补光器(170)，所述自动补光器(170)用于通过探测环境亮度为所述CCD图像传感器(130)拍照补充照明。
6.如权利要求5所述的涂布检测装置，其特征在于，所述自动补光器(170)包括补充光源，所述补充光源为LED光源。
7.如权利要求1所述的涂布检测装置，其特征在于，所述CCD图像传感器(130)拍照的频率与所述传送轮组(110)传送所述基板(500)的速度呈正关系。
8.一种涂布检测方法，应用于上述权利要求1-7任一项所述的涂布检测装置，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1、将基板(500)放置于涂布检测装置的承载平台(160)上，所述基板(500)在传送轮组(110)带动下向前移动，数个CCD图像传感器(130)在基板(500)移动过程中按照一定的拍照频率对位于其下方的基板(500)进行拍照而获取基板(500)的灰阶影像数据并将获得的灰阶影像数据传递给计算机(150)，同时，所述数个膜厚量测器(140)在基板(500)移动过程中对位于其下方的基板(500)进行涂布膜厚的量测并将获得的膜厚量测数据传递给计算机(150)；
步骤2、所述计算机(150)对接受到的灰阶影像数据及膜厚量测数据进行数据分析并作出判断，从而完成基板(500)的涂布效果检测。
9.如权利要求8所述的涂布检测方法，其特征在于，所述步骤1中，所述CCD图像传感器(130)拍照的频率与所述传送轮组(110)传送所述基板(500)的速度呈正关系，以获取所述基板(500)的完整的灰阶影像数据。
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