CN109739032A - 一种光配向后盒内液晶检查机及其检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种光配向后盒内液晶检查机，所述检查机包括：检测机台、线扫描相机、显微镜相机、光源、传动装置以及检测计算机。本发明通过采用线扫描相机与显微镜相机协作的方式，线扫描相机对待检测基板进行全面扫描取相，检测计算机通过灰阶演算处理图像，从而对基板上的异常进行检出，显微镜相机对异常区域进行微观检测，因此基板的微观异常以及暗点等宏观异常都能被检出，提升了配向后盒内液晶检查机对不固定点位的异常以及基板宏观异常的检出能力，同时也缩短了光配向后盒内液晶检查机检查基板异常的时间，保证产品良品率的同时也大大提高了生产效率。

Description

一种光配向后盒内液晶检查机及其检测方法

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种光配向后盒内液晶检查机及其检测方法。

背景技术

液晶显示器的工作原理为：通过改变施加在液晶上的电压改变液晶分子的偏转角度，从而控制偏振光旋转方向和偏振状态，以实现液晶显示器显示状态的改变。通常液晶分子排列是随机取向且分布是杂乱无章的，为了使液晶分子能够沿着一个方向排列，需要对液晶基板中的彩膜基板和阵列基板的至少其中之一进行配向。配向方法为在彩膜基板和阵列基板朝向液晶的一侧形成配向层并进行取向处理，使得配向层作用于液晶分子，从而使液晶分子能够有规律的排列，进而在阵列基板和彩膜基板上施加电压后可以控制液晶分子旋转预定角。

相对于传统的摩擦配向，光配向因其具有低污染、可控性高等优点受到液晶显示制造厂商的广泛关注。为了判断配向膜是否符合要求，需要使用光配向后盒内液晶检查机对基板进行检测。目前光配向后盒内液晶检查机是通过对配向后基板施加设定电压，使基板点亮，电荷耦合器件图像传感器(Charge Coupled Device,CCD)根据设置的位置移动到工作点，进行拍摄取得配向后的影响，再与机台内部预先建立好的影响进行对比，从而判断是否合格。由于CCD只能设置固定点位进行抽检，对于不固定位置的区域性配向异常无法侦测和抽检，若采用显微镜CCD，则只能观察微观景象，对于宏观的沙状暗点无法检出，导致对于液晶面板的检查工作效率很低，同时也不能保证生产的良品率，增加了生产的成本。

综上所述，现有光配向后盒内液晶检查机对于不固定点位的区域性配向异常以及宏观异常无法侦测。故，有必要提供一种光配向后盒内液晶检查机及其检测方法来改善这一缺陷。

发明内容

本发明提供一种光配向后盒内液晶检查机及其检测方法，用于解决现有光配向后盒内液晶检查机对于不固定点位的区域性配向异常以及宏观异常无法侦测的问题。

本发明提供一种光配向后盒内液晶检查机，所述检查机包括：

检测机台，用于传送以及固定待检测的基板；

线扫描相机，用于对所述基板进行扫描取相；

显微镜相机，用于对所述基板的异常区域进行微观检查；

光源，所述光源发出的光线照射于所述基板上，便于所述显微镜相机和所述线扫描相机取相；

传动装置，用于固定以及控制所述显微镜相机和所述线扫描相机的运动；

检测计算机，对所述显微镜相机以及所述线扫描相机获取的图像进行处理，并与所述检测计算机内部预先建立好的影像进行对比，检测异常。

根据本发明一优选实施例，所述检测机台上设有第一滑轨以及固定平台，

所述基板放置在所述固定平台上，所述固定平台沿所述第一滑轨移动，将所述基板运送至所述检测机台的检测区域。

根据本发明一优选实施例，所述传动装置包括：至少三个滑块、至少三个相机支架以及异步电机，所述相机支架上设有第二滑轨，所述滑块沿所述第二滑轨方向移动。

根据本发明一优选实施例，所述线扫描相机以及所述显微镜相机均固定在所述滑块上，

根据本发明一优选实施例，所述光配向后盒内液晶检查机包括至少两组线扫描相机。

根据本发明一优选实施例，所述线扫描相机取相范围为长方形，在所述基板通电后，所述线扫描相机沿所述长方形短边方向进行扫描取相，所述第二滑轨方向与所述长方形短边方向相同。

根据本发明一优选实施例，所述相机支架设有升降调节装置，用于调节所述线扫描相机和所述显微镜相机的高度，以适应不同规格的基板，并调节合适的分辨率。

根据本发明一优选实施例，所述光源是线性光源，并且所述光源与所述线扫描相机的扫描方向平行。

根据本发明一优选实施例，所述线性光源设有角度调节结构，使所述线性光源照射位置与所述线扫描相机和所述显微镜相机的扫描位置重合。

本发明提供一种光配向后盒内液晶检测方法，所述方法至少包括：

步骤S10：将待检测基板与光配向后盒内液晶检查机连接，基板通电；

步骤S20：所述检查机检测到基板通电后，线扫描相机沿滑轨方向移动进行扫描取相；

步骤S30：检测计算机通过灰阶演算处理图像，对所述基板上的异常区域进行检出；

步骤S40：显微镜相机对所述异常区域进行微观检查。

本发明的有益效果：本发明通过采用线扫描相机与显微镜相机协作的方式，线扫描相机对待检测基板进行全面扫描取相，检测计算机通过灰阶演算处理图像，从而对基板上的异常进行检出，显微镜相机对异常区域进行微观检测，因此基板的微观异常以及暗点等宏观异常都能被检出，提升了配向后盒内液晶检查机对不固定点位的异常以及基板宏观异常的检出能力，同时也缩短了配向后盒内液晶检查机检查基板异常的时间，保证产品良品率的同时也大大提高了生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明提供的光配向后盒内液晶检查机的结构示意图；

图2为本发明提供的光配向后盒内液晶检测方法的流程示意图。

具体实施方式

以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。

下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步的说明：

本实施例提供了一种光配向后盒内液晶检查机，如图1所示，是本实施例提供的光配向后盒内液晶检查机的结构示意图。

本实施例所述的一种光配向后盒内液晶检查机包括：

检测机台101，用于传送以及固定待检测的基板；线扫描相机106，用于对所述基板进行扫描取相；显微镜相机110，用于对所述基板的异常区域进行微观检查；光源113，所述光源发出的光线照射于所述基板上，便于所述显微镜相机和所述线扫描相机取相；传动装置，用于固定以及控制所述显微镜相机和所述线扫描相机的运动；检测计算机(图中未示出)，对所述显微镜相机以及所述线扫描相机获取的图像进行处理，并与所述检测计算机内部预先建立好的影像进行对比，检测异常。

检测机台101上设有第一滑轨102以及固定平台103，固定平台103用于放置以及固定待检测基板，同时固定平台103可以在异步电机的驱动下通过第一滑轨102在检测机台101上沿着第一滑轨102的方向移动。当所述固定平台103带动基板到达检测机台101的指定检测区域时，设置于检测机台101上的传单器感应到基板，给所述基板通电，即可进行下一步检测工序。

在一些实施例中，固定平台103的是可以根据基板的型号以及规格进行更换的，以便于不用型号规格的基板都能够使用本发明提供的光配向后盒内液晶检查机来检测产品是否合格。

在本实施例中，所述光配向后盒内液晶检查机还包括传动装置，所述传动装置104包括：相机支架107以及滑块105，所述相机支架107上设有第二滑轨(图中未示出)，所述滑块105沿所述第二滑轨方向移动，相机支架107与滑块105构成一组所述的传动装置。如图所示传动装置104设置于固定平台103两侧以及检测机台101的一端，线扫描相机106固定于滑块105上，显微镜相机110均固定于显微镜相机滑块109上。

线扫描相机106的取相范围为长方形，扫描出来的是二维图像，但扫描的长度极长，而宽度只有几个像素，所以在本实施例中，线扫描相机106沿长方形短边方向移动，所述第二滑轨的方向与所述长方形短边方向相同。

本发明所提供的光配向后盒内液晶检查机的线扫描相机以及相配套传动装置的数量可以根据待检测基板的尺寸进行调整。如图1所示，多个线扫描相机106交叉设置于固定平台103左右两侧，两侧的线扫描相机相对运动，进行对基板的横向扫描取相。

在一些实施例中，线扫描相机106可以设置为静止状态，固定平台103通过异步电机带动待检测基板运动，运动方向与线扫描相机扫描方向垂直，这样也可以完成对基板的扫描取相。

在本实施例中，采用了4组线扫描相机106，所述4组线扫描相机106通过传动装置104分别设置于固定平台103的两侧，所述传动装置104还包括异步电机(图中未示出)，异步电机驱动滑块105带动线扫描相机106沿第二滑轨移动，对基板进行扫描取相。在本实施例中，异步电机的转速可以根据线扫描相机106扫描的速度进行调节，便于获得更好地取相效果。

在本实施例中，光配向后盒内液晶检查机还包括用于固定显微镜相机110的显微镜相机传动装置108，所述显微镜相机传动装置108结构与传动装置104结构相同，包括显微镜相机支架111、显微镜相机滑块109。显微镜相机传动装置108设置于检测机台101的与第一滑轨102方向垂直的一端，且在本实施例中，显微镜相机传动装置108设置于第一滑轨102的两条滑轨之间，显微镜相机110固定于显微镜相机滑块109上，显微镜相机滑块109可以通过设置于显微镜相机支架111上的滑轨运动，便于对基板的异常区域进行微观检查。

在本实施例中，所述相机支架107以及显微镜相机支架111均设置有升降调节装置(图中未示出)，用于调节所述线扫描相机106和所述显微镜相机110的高度，以适应不同规格的基板，并调节合适的分辨率。

通常光配向后盒内液晶检查机内部处于封闭黑暗的环境，所以为了让显微镜相机111以及线扫描相机106获得更好地取相效果，需要给检查机添加合适的光源。在本实施例中所选用的光源113为线性光源，并且所述光源113与所述线扫描相机106的扫描方向平行。如图1所示，光源113通过光源支架112固定在检测机台101上，所述光源113还设有角度调节结构，使光源113照射位置与所述线扫描相机106和所述显微镜相机110的扫描位置重合。

本发明还提供了一种光配向后盒内液晶检测方法，下面结合图2进行详细说明。

图2为本实施例提供的光配向后盒内液晶检测方法的流程示意图，所述方法至少包括：

步骤S10：将待检测基板与光配向后盒内液晶检查机连接，基板通电；

步骤S20：所述检查机检测到基板通电后，线扫描相机沿滑轨方向移动进行扫描取相；

步骤S30：检测计算机通过灰阶演算处理图像，对所述基板上的异常区域进行检出；

步骤S40：显微镜相机对所述异常区域进行微观检查。

本实施例提供的光配向后盒内液晶检测方法通过采用线扫描相机与显微镜相机协作的方式，线扫描相机对待检测基板进行全面扫描取相，检测计算机通过灰阶演算处理图像，从而对基板上的范围较大、较明显的异常部分进行检出。

在本实施例中，显微镜相机对异常区域进行微观检测，因此基板的微观异常以及暗点等宏观异常都能被检出，从而提升了配向后盒内液晶检查机对不固定点位的异常以及基板宏观异常的检出能力。

本发明通过采用线扫描相机与显微镜相机协作的方式，线扫描相机对待检测基板进行全面扫描取相，检测计算机通过灰阶演算处理图像，从而对基板上的异常进行检出，显微镜相机对异常区域进行微观检测，因此基板的微观异常以及暗点等宏观异常都能被检出，提升了配向后盒内液晶检查机对不固定点位的异常以及基板宏观异常的检出能力，同时也缩短了配向后盒内液晶检查机检查基板异常的时间，保证产品良品率的同时也大大提高了生产效率。

综上所述，虽然本发明以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为基准。

Claims (10)

1.一种光配向后盒内液晶检查机，其特征在于，所述检查机包括：

检测机台，用于传送以及固定待检测的基板；

线扫描相机，用于对所述基板进行扫描取相；

显微镜相机，用于对所述基板的异常区域进行微观检查；

光源，所述光源发出的光线照射于所述基板上，便于所述显微镜相机和所述线扫描相机取相；

传动装置，用于固定以及控制所述显微镜相机和所述线扫描相机的运动；

检测计算机，对所述显微镜相机以及所述线扫描相机获取的图像进行处理，并与所述检测计算机内部预先建立好的影像进行对比，检测异常。

2.如权利要求1所述的光配向后盒内液晶检查机，其特征在于，所述检测机台上设有第一滑轨以及固定平台，

所述基板放置在所述固定平台上，所述固定平台沿所述第一滑轨移动，将所述基板运送至所述检测机台的检测区域。

3.如权利要求1所述的光配向后盒内液晶检查机，其特征在于，所述传动装置包括：至少三个滑块、至少三个相机支架以及异步电机，所述相机支架上设有第二滑轨，所述滑块沿所述第二滑轨方向移动。

4.如权利要求3所述的光配向后盒内液晶检查机，其特征在于，所述线扫描相机以及所述显微镜相机均固定在所述滑块上。

5.如权利要求1所述的光配向后盒内液晶检查机，其特征在于，所述光配向后盒内液晶检查机包括至少两组线扫描相机。

6.如权利要求5所述的光配向后盒内液晶检查机，其特征在于，所述线扫描相机取相范围为长方形，在所述基板通电后，所述线扫描相机沿所述长方形短边方向进行扫描取相，所述第二滑轨方向与所述长方形短边方向相同。

7.如权利要求3所述的光配向后盒内液晶检查机，其特征在于，所述相机支架设有升降调节装置，用于调节所述线扫描相机和所述显微镜相机的高度，以适应不同规格的基板，并调节合适的分辨率。

8.如权利要求1所述的光配向后盒内液晶检查机，其特征在于，所述光源是线性光源，并且所述光源与所述线扫描相机的扫描方向平行。

9.如权利要求8所述的光配向后盒内液晶检查机，其特征在于，所述线性光源设有角度调节结构，使所述线性光源照射位置与所述线扫描相机和所述显微镜相机的扫描位置重合。

10.一种光配向后盒内液晶检测方法，所述方法至少包括：

步骤S10：将待检测基板与光配向后盒内液晶检查机连接，基板通电；

步骤S20：所述检查机检测到基板通电后，线扫描相机沿滑轨方向移动进行扫描取相；

步骤S30：检测计算机通过灰阶演算处理图像，对所述基板上的异常区域进行检出；

步骤S40：显微镜相机对所述异常区域进行微观检查。