CN106526908A - 一种气浮型的支撑顶针装置及方法 - Google Patents

Abstract

一种气浮型的支撑顶针装置及方法，本发明涉及气浮型的支撑顶针设计方法。本发明是为了解决现有技术影响产品质量的缺点。一种气浮型的支撑顶针装置包括支撑板(2)、支撑顶针(4)和液晶基板(1)，其特征在于，支撑板(2)上设置有至少一组支撑顶针(4)，支撑顶针(4)内安装洁净压缩空气管；所述支撑板(2)上方设置两个夹子，两个夹子的口相对设置，夹子夹在玻璃基板相对应的两个边上；所述支撑顶针(4)上设置有多个气孔；洁净压缩空气管穿过至少一组支撑顶针(4)，为支撑顶针(4)提供气流，其中洁净压缩空气管在支撑顶针(4)内部的侧壁上具有与所述气孔对应的通气孔。本发明应用于薄膜晶体管液晶显示的制造领域。

Description

一种气浮型的支撑顶针装置及方法

技术领域

本发明涉及薄膜晶体管液晶显示的制造技术，特别涉及一种气浮型的支撑顶针设计方法。

背景技术

薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)是多数液晶显示器的一种，它使用薄膜晶体管技术改善影像品质。虽然薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)被统称为液晶显示器(LCD)，不过它是种主动式矩阵液晶显示器(LCD)。它被应用在电视、平面显示器及投影机上。

在现有的液晶显示器的制造技术中，其中，紫外线固化(UV Curing)是一个重要的制程，液晶基板在注满液晶混和物之后，需要在紫外线和电场的共同作用下使液晶完成配向过程。

通过紫外线固化进行配向的原理是在液晶基板上下两侧施加电场，并对液晶采用紫外线照射，从而使液晶中的反应单体在电场的作用下进行上下运动，并在紫外线的作用下发生聚合反应，从而在液晶上下基板上形成配向层，以实现对液晶进行配向的作用。在液晶配向过程中，紫外线、电场以及反应温度是三个非常重要的因素。

为了实现紫外线对液晶基板照射的均匀性，目前多采用顶针支撑基板的方式，如图1及图2所示，示出了现有技术中的一种液晶基板配向设备示意图。其中，该液晶基板配向设备通过多排顶针13支撑液晶基板1，其中，该多排顶什13与液晶基板1的显示区域10相接触；另外通过位于液晶基板1两端的导电探针14对该液晶基板1施加电场。但是，在这种现有技术中，由于顶针不能达到完全的绝热效果，故容易产生由于顶针的接触而产生的配向不均匀的情形。

为了减少这种不均匀的情形，在一些方案中，通过减少顶针13的数量，或者使顶针13与液晶基板1相接触的位置避免显示区域10。

如图3所示，显示出了现有技术中的另一种液晶基板配向设备示意图。在这种现有技术中，大量减少了顶针13的数量。但是，在这种现有技术中，由于顶针数量的减少，又会出现液晶基板产生弯折(bending)的情形，由于产生了弯折，可能会导致导电探针与液晶基板接触不良(如图3中的B处所示)，从而使对液晶基板施加外部的电压是出现接触不良，从而导致配向出现异常。另外，在液晶基板出现变形的地方，也会产生其接收的紫外线的数量与其它正常区域所接收到的紫外线的数量不同，通常在出现变形的地方，其所接收的紫外线的数量会更低一些(见图3中的A处所示)，这样会导致各区域配向速度差异，从而产生配向不均匀。

如图4所示，显示出了现有技术中的另一种液晶基板配向设备示意图。在这种配向设备中，其顶针13可以交替运动，以支撑液晶基板1。这样可以减少顶针14与液晶基板1在同一位置的接触时间，由于顶针14与液晶基板1不可避免地需要接触，故现有的这种技术只能减少配向不均匀情形的出现，但不能完全避免配向不均匀情形的出现。

现有一种气浮式液晶基板的配向设备，包括加热平台2，其上设置有多个气孔7，气孔7用于输送温度均匀且垂直向上的热风；支撑架3，设置于加热平台2的四周，用于支撑并夹持待配向的液晶基板1，在支撑架3上进一步设置有用于对液晶基板1进行整列定位的机构，以及对液晶基板1进行夹持固定的夹持机构6；多个支撑顶针4，均匀设置于加热平台2中，其可与支撑架3上下同向运动，用于至少部份时间支撑液晶基板1的底部；其中，气孔7的喷气量从加热平台2中心向加热平台2边缘逐渐减少；进一步的，还包括用于分别驱动支撑架和支撑顶针运动的驱动机构。其中，加热平台2包括：加热层8，用于实现对加热平台进行加热，在一个实施例中，加热层为采用云母作为绝缘介质的电加热层；第一传热层9，位于加热层8之上；第二传热层11，位于加热层8之下；其中，在第一传热层9中进一步设置有气体通道12，气体通道12在第一传热层9表面形成有多个气孔7，其中，该气体通道12与外部的气泵(未示出)，在外部的气泵的气体进行气体通道12之前会进行诸如过滤和预加热，其中，在第一传热层9中间位置所设置的气孔12的数量或/及尺寸比在第一传热层9边缘位置所设置的气孔12的数量或/及尺寸要大。第一传热层9和第二传热层11可以采用导热性能优良的材料(如铝或铝合金)，能够均匀传导热能；在第一传热层9上表面还可以经阳极处理，形成黑色或较深颜色，可以使加热层8的热能转化为红外线，该红外线可以被液晶基板1吸收转化为热能以加热液晶基板1，上述的阳极处理，同时还可以起到保护第一传热层9的表面，以防止裂化产生缝隙；加热层8与外部气泵的温度控制，使从气孔7向上垂直喷出的热风的温度始终处于50±5℃之间。另外，在第一传热层9上设置有探针5，用于对液晶基板1进行定位。下面，再次结合图5至图8，进一步说明本发明提供的气浮式液晶基板的配向方法的具体流程，该气浮式液晶基板的配向方法包括如下步骤：首先，将液晶基板放置于支撑架和支撑顶针上，支撑架对液晶基板进行定位并夹持固定；通常需要将液晶基板搬运在一个配向室中进行配向处理，且该配向室需要保持一个比较固定的温度(如50℃左右)，搬运液晶基板可以通过诸如机械手的设备来完成。接着，支撑架以及支撑顶针向下移动第一距离，从而使加热平台的热量更有效的传递给液晶基板，在一个实施例中，该第一距离可以为为0.1-50mm。然后，通过加热平台表面的多个气孔向上垂直喷出温度均匀的热风，使液晶基板悬浮并距离支撑顶针一预定高度，驱动支撑顶针向下移动第二距离，并使探针上升抵顶液晶基板的下部，其中，通过气孔的数量以及尺寸的设置，可以控制气孔的喷气量从加热平台中心向加热平台边缘逐渐减少，在一个实施例中，多个气孔向上垂直喷出的热风的温度处于50±5℃之间，且第二距离可以为0.1-5mm，预定高度可以为0.1～1mm；向液晶基板施加电压，并施加紫外光线，进行配向过程；在配向完成后，使探针松开，并使支撑顶针向上移动第二距离，多个气孔停止喷出热风驱动支撑架以及支撑顶针向上移动第一距离，并移出液晶基板。

综上，现有支撑顶针(OVEN PIN)设计存在问题需要改进：

由于现有玻璃基板在烘烤炉(Oven)内烘烤时支撑顶针与液晶基板(Glass)直接接触，则接触的位置有出现显示器亮度不均匀，造成各种痕迹(PIN Mura)的风险，而且支撑顶针(OVEN PIN)和支撑板(PIN)位置均固定不可变动，无法保证对于不同产品出现显示器亮度不均匀，造成各种痕迹(PIN Mura)的位置刚好在支撑顶针与液晶基板接触的地方区，从而影响产品质量。

发明内容

针对上述现有技术中的问题，本申请提出了一种气浮型的支撑顶针装置及方法。

一种气浮型的支撑顶针装置包括支撑板、支撑顶针和液晶基板，其特征在于，PIN板上设置有至少一组支撑顶针，支撑顶针内安装洁净压缩空气管(CDA)管；

所述支撑板上方设置两个夹子，两个夹子的口相对设置，夹子夹在玻璃基板相对应的两个边上；

所述支撑顶针上设置有多个气孔；洁净压缩空气管(CDA)管穿过至少一组支撑顶针，为支撑顶针提供气流，其中洁净压缩空气管(CDA)管在支撑顶针内部的侧壁上具有与所述气孔对应的通气孔；

所述液晶基板位于支撑顶针上方。

一种气浮型的支撑顶针方法具体过程为：

步骤一、机器手臂接触玻璃基板，将玻璃基板送进彩膜烘烤炉；

步骤二、将玻璃基板置于彩膜烘烤炉内的夹子上；

步骤三、开启位于支撑顶针管内的洁净压缩空气管(CDA)管，为支撑顶针管提供气流，利用气流将彩膜烘烤炉内的夹子上的玻璃基板悬浮于支撑顶针上方；

步骤四、机器手臂破真空，使玻璃基板处于非真空状态，机器手臂退出彩膜烘烤炉；

步骤五、彩膜烘烤炉开始烘烤玻璃基板，烘烤结束后，机器手臂进入彩膜烘烤炉接触玻璃基板；

步骤六、关闭位于支撑顶针管内的洁净压缩空气管(CDA)管；

步骤七、夹子的上支片沿下支片反方向移动，松开玻璃基板，机器手臂取出玻璃基板。

上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本发明的目的。

本发明的有益效果为：

保持原支撑顶针(OVEN PIN)和支撑板(PIN)位置不变，在支撑顶针(OVEN PIN)内接入耐高温材料洁净压缩空气管(CDA)管路，将原支撑板(PIN)设计成右上图所示气流管路，当玻璃基板进入烘烤炉(Oven)后洁净压缩空气管(CDA) 开启，利用气流将液晶基板(Glass)悬浮于支撑顶针(OVEN PIN)上方，从而避免了支撑板(PIN)与液晶基板(Glass)的接触，防止显示器亮度不均匀，造成各种痕迹(PIN Mura)的发生。

在液晶基板(Glass)前后方向边缘各加入一对双磙(Double roller)，当玻璃基板(Glass)进入烤炉(Oven Chamber)之后，液晶基板(Glass)边缘区落在下磙(roller)之上，然后上磙(roller)Y方向下移，从而使双磙(Double roller)夹持住液晶基板(Glass)，达到防止液晶基板(Glass)漂移的目的。

本发明实施例提供一种气浮型的OVEN PIN装置及方法，通过气流将液晶基板(Glass)悬浮于支撑顶针(OVEN PIN)上方，不与任何物质接触，从而避免了支撑板(PIN)与液晶基板(Glass)的接触，防止显示器亮度不均匀，造成各种痕迹(PIN Mura)的发生。

而且，本发明实施例中，气孔的喷气量从所述加热平台中心向所述加热平台边缘逐渐减少，可以保证液晶基板在整个配向过程中能稳定地悬浮在加热平台上方。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中：

图1是现有的一种液晶基板的配向设备的结构纵剖视图；

图2是图1中的仰视示意图；

图3是现有的另一种液晶基板的配向设备的结构工作示意图；

图4是现有的再一种液晶基板的配向设备的结构工作示意图；

图5是现有技术一种气浮式液晶基板的配向设备第一状态结构示意图；

图6是现有技术一种气浮式液晶基板的配向设备第二状态结构示意图；

图7是现有技术一种气浮式液晶基板的配向设备第三状态结构示意图；

图8是现有技术一种气浮式液晶基板的配向设备中加热平台的结构示意图；

图9是安装有洁净压缩空气管(CDA)的支撑顶针(OVEN PIN)装置示意图；OVENPIN为支撑顶针；

图10是安装有洁净压缩空气管(CDA)的支撑顶针(OVEN PIN)装置实物图。

在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明作进一步说明。

具体实施方式一：结合图9、10说明笨实施方式，本实施方式的一种气浮型的支撑顶针装置包括支撑板(PIN)2、支撑顶针4和液晶基板1，其特征在于，支撑板(PIN)2上设置有至少一组支撑顶针4，支撑顶针4内安装洁净压缩空气管(CDA)；

所述支撑板(PIN)2上方设置两个夹子，两个夹子的口相对设置，夹子夹在玻璃基板相对应的两个边上；

所述支撑顶针4上设置有多个气孔；洁净压缩空气管(CDA)穿过至少一组支撑顶针4，为支撑顶针4提供气流，其中洁净压缩空气管(CDA)在支撑顶针4内部的侧壁上具有与所述气孔对应的通气孔；

所述液晶基板1位于支撑顶针4上方，支撑顶针4气流用于将玻璃板悬空。

保持原支撑板(PIN)和支撑顶针4位置不变，在支撑板(PIN)内接入耐高温材料洁净压缩空气管(CDA)管路，将原支撑顶针4设计成右上图所示气流管路，当玻璃基板进入烤炉(Oven)后洁净压缩空气管(CDA)开启，利用气流将玻璃基板悬浮于支撑顶针(OVEN PIN)上方，从而避免了支撑顶针(OVEN PIN)与玻璃基板的接触，防止显示器亮度不均匀，造成各种痕迹(PIN Mura)的发生。

在玻璃基板前后方向边缘各加入一对双磙(Double roller)，当玻璃基板进入烤炉(Oven Chamber)之后，玻璃基板边缘区落在下磙(roller)之上，然后上磙(roller)Y方向下移，从而使双磙(Double roller)夹持住玻璃基板，达到防止玻璃基板漂移的目的。

具体实施方式二：本实施方式与具体实施方式一不同的是，所述一种气浮型的支撑顶针装置还包括支撑架3；所述支撑架3设置于所述支撑板(PIN)2的四周，用于支撑并夹持液晶基板1；

所述支撑架3与支撑顶针4上下同向运动；

所述CDA管为洁净压缩空气管(clean dried air)；

所述洁净压缩空气管有一条主路和至少一个支路。

具体实施方式三：本实施方式与具体实施方式一或二不同的是，所述支撑板(PIN)为加热平台，加热平台上设置有多个气孔7，所述气孔用于输送温度均匀且垂直向上的热风；气孔7的喷气量从所述加热平台中心向所述加热平台边缘逐渐减少；

所述洁净压缩空气管(CDA)管具有与母线垂直的气孔，支撑板(PIN)具有与母线垂直的气孔。

所述加热平台包括：

加热层8，用于实现对所述加热平台进行加热；

第一传热层9，位于所述加热层8之上；

第二传热层11，位于所述加热层8之下；

其中，所述第一传热层9中进一步设置有气体通道，所述气体通道在所述第一传热层9表面形成有所述多个气孔7。所述第一传热层9上表面经阳极处理，形成黑色或较深颜色，以使所述加热层8的热能转化为红外线。

所述加热层8为采用云母作为绝缘介质的电加热层8。

所述支撑架3上进一步设置有用于对所述液晶基板1进行整列定位的机构，以及对液晶基板1进行夹持固定的夹持机构6。

所述第一传热层9上设置有探针5，用于对所述液晶基板1进行定位。

进一步包括用于分别驱动所述支撑架3和支撑顶针4运动的驱动机构。

包括如下步骤：

将液晶基板1放置于支撑架3和支撑顶针4上，所述支撑架3对所述液晶基板1进行定位并夹持固定；

所述支撑架3以及所述支撑顶针4向下移动第一距离；

通过加热平台表面的多个气孔7向上垂直喷出温度均匀的热风，使所述液晶基板1悬浮并距离所述支撑顶针4一预定高度，驱动所述支撑顶针4向下移动第二距离，并使探针5上升抵顶所述液晶基板1的下部；

向所述液晶基板1施加电压，并施加紫外光线，进行配向过程；

在配向完成后，使所述探针5松开，并使支撑顶针4向上移动第二距离，所述多个气孔7停止喷出热风；

驱动所述支撑架3以及所述支撑顶针4向上移动第一距离，并移出所述液晶基板1。

控制所述气孔7的喷气量从所述加热平台中心向所述加热平台边缘逐渐减少，并使所述液晶基板1悬浮并距离所述支撑顶针4的预定高度为0.1～1mm。

所述多个气孔7向上垂直喷出的热风的温度处于50±5℃之间。

具体实施方式四：本实施方式与具体实施方式一至三之一不同的是，所述一种气浮型的支撑顶针设备还包括用于驱动夹子运动的驱动机构。

具体实施方式五：本实施方式的一种气浮型的支撑顶针方法具体过程为：

步骤一、机器手臂接触玻璃基板，将玻璃基板送进彩膜烘烤炉(CF OVEN)；

步骤二、为防止玻璃基板在悬浮过程中发生漂移，将玻璃基板置于彩膜烘烤炉(CFOVEN)内的夹子上；

步骤三、开启位于支撑顶针(OVEN PIN)4内的洁净压缩空气管(CDA)，为支撑顶针(OVEN PIN)4提供气流，利用气流将彩膜烘烤炉(CF OVEN)内的夹子上的玻璃基板悬浮于支撑顶针(OVEN PIN)支撑顶针4上方；从而避免了支撑板(PIN)与液晶基板(Glass)的接触，防止显示器亮度不均匀，造成各种痕迹(PIN Mura)的发生。

步骤四、机器手臂破真空，使玻璃基板处于非真空状态，机器手臂退出彩膜烘烤炉；

机器(robot)是通过吸真空气压的方式使液晶基板(Glass)(1)吸附在机器(robot)手臂上，所以破真空的意思就是破坏机器(robot)手臂与液晶基板(Glass)(1)之间的真空(气压)作用，使液晶基板(Glass)(1)处于非真空状态，从而机器(robot)手臂才能退出彩膜烘烤炉(CF OVEN)。

步骤五、彩膜烘烤炉(CF OVEN)开始烘烤玻璃基板，烘烤结束后，机器手臂进入彩膜烘烤炉(CF OVEN)接触玻璃基板；

步骤六、关闭位于支撑顶针(OVEN PIN)4内的洁净压缩空气管(CDA)；

步骤七、夹子的上支片沿下支片反方向移动，松开液晶基板1，机器手臂取出液晶基板(Glass)1；

彩膜烘烤炉，主要负责进行彩膜(CF)玻璃基板烘烤。烘烤最大的目的就是：将经过显影后的光阻，藉由热能蒸发的方式，将光阻内残留的溶剂(Solvent)，降至最低状态，以达成彩膜成膜之目的。

具体实施方式六：本实施方式与具体实施方式一至五之一不同的是，所述步骤一中机器手臂接触玻璃基板，将玻璃基板送进彩膜烘烤炉；具体过程为：

机器手臂接触玻璃基板，开始吸真空，通过真空气压使玻璃基板吸附在机器手臂上，机器手臂将玻璃基板送进彩膜烘烤炉。

具体实施方式七：本实施方式与具体实施方式一至六之一不同的是，所述步骤二中为防止玻璃基板在悬浮过程中发生漂移，将玻璃基板置于彩膜烘烤炉(CF OVEN)内的夹子上；具体过程为：

所述彩膜烘烤炉内的夹子包括上支片和下支片，为防止玻璃基板在悬浮过程中发生漂移，将玻璃基板相对应的两个边置于夹子的下支片上，将夹子的上支片沿下支片方向向玻璃基板移动，直至夹子上下支片夹住玻璃基板。

具体实施方式八：本实施方式与具体实施方式一至七之一不同的是，所述夹子固定在彩膜烘烤炉内，并位于支撑顶针(OVEN PIN)4上方。

具体实施方式九：本实施方式与具体实施方式一至八之一不同的是，所述步骤五中彩膜烘烤炉(CF OVEN)开始烘烤玻璃基板，烘烤结束后，机器手臂进入彩膜烘烤炉(CFOVEN)接触玻璃基板；具体过程为：

彩膜烘烤炉开始烘烤玻璃基板，烘烤结束后，机器手臂进入彩膜烘烤炉接触玻璃基板，机器手臂开始吸真空，通过真空气压使玻璃基板吸附在机器手臂上；也就是说这个时候机器(robot)手臂与液晶基板(Glass)之间存在真空作用。

所述机器手臂内部设置空气管路，用于控制机器手臂破真空和吸真空，与彩膜烘烤炉(CF OVEN)气压无关联。

虽然在本文中参照了特定的实施方式来描述本发明，但是应该理解的是，这些实施例仅仅是本发明的原理和应用的示例。因此应该理解的是，可以对示例性的实施例进行许多修改，并且可以设计出其他的布置，只要不偏离所附权利要求所限定的本发明的精神和范围。应该理解的是，可以通过不同于原始权利要求所描述的方式来结合不同的从属权利要求和本文中所述的特征。还可以理解的是，结合单独实施例所描述的特征可以使用在其他所述实施例中。

Claims (9)

1.一种气浮型的支撑顶针装置，其包括支撑板(2)、支撑顶针(4)和液晶基板(1)，其特征在于：支撑板(2)上设置有至少一组支撑顶针(4)，支撑顶针(4)内安装洁净压缩空气管；

所述支撑板(2)上方设置两个夹子，两个夹子的口相对设置，夹子夹在玻璃基板相对应的两个边上；

所述支撑顶针(4)上设置有多个气孔；洁净压缩空气管管穿过至少一组支撑顶针(4)，为支撑顶针(4)提供气流，其中洁净压缩空气管在支撑顶针(4)内部的侧壁上具有与所述气孔对应的通气孔；

所述液晶基板(1)位于支撑顶针(4)上方。

2.根据权利要求1所述的气浮型的支撑顶针装置，其特征在于：还包括支撑架(3)，所述支撑架(3)设置于所述支撑板(2)的四周，用于支撑并夹持液晶基板(1)；

所述支撑架(3)与支撑顶针(4)上下同向运动；

所述洁净压缩空气管有一条主路和至少一个支路。

3.根据权利要求2所述的气浮型的支撑顶针装置，其特征在于：所述支撑板(2)为加热平台，加热平台上设置有多个气孔(7)，所述气孔用于输送温度均匀且垂直向上的热风；气孔(7)的喷气量从所述加热平台中心向所述加热平台边缘逐渐减少；

所述洁净压缩空气管具有与母线垂直的气孔，支撑板(2)具有与母线垂直的气孔。

4.根据权利要求3所述的气浮型的支撑顶针装置，其特征在于：还包括用于驱动夹子运动的驱动机构。

5.一种应用于权利要求1所述的气浮型的支撑顶针装置的气浮型的支撑顶针方法，其特征在于：所述气浮型的支撑顶针方法具体过程为：

步骤一、机器手臂接触液晶基板(1)，将液晶基板(1)送进彩膜烘烤炉；

步骤二、将液晶基板(1)置于彩膜烘烤炉内的夹子上；

步骤三、开启位于支撑顶针(4)管内的洁净压缩空气管，为支撑顶针(4)提供气流，利用气流将彩膜烘烤炉内的夹子上的液晶基板(1)悬浮于支撑顶针(4)上方；

步骤四、机器手臂破真空，使液晶基板(1)处于非真空状态，机器手臂退出彩膜烘烤炉；

步骤五、彩膜烘烤炉开始烘烤液晶基板(1)，烘烤结束后，机器手臂进入彩膜烘烤炉接触液晶基板(1)；

步骤六、关闭位于支撑顶针(4)管内的洁净压缩空气管；

步骤七、夹子的上支片沿下支片反方向移动，松开液晶基板(1)，机器手臂取出液晶基板(1)。

6.根据权利要求5所述的气浮型的支撑顶针方法，其特征在于：所述步骤一中机器手臂接触液晶基板(1)，将液晶基板(1)送进彩膜烘烤炉；具体过程为：

机器手臂接触液晶基板(1)，开始吸真空，通过真空气压使液晶基板(1)吸附在机器手臂上，机器手臂将液晶基板(1)送进彩膜烘烤炉。

7.根据权利要求6所述的气浮型的支撑顶针方法，其特征在于：所述步骤二中将液晶基板(1)置于彩膜烘烤炉内的夹子上；具体过程为：

所述彩膜烘烤炉内的夹子包括上支片和下支片，将液晶基板(1)相对应的两个边置于夹子的下支片上，将夹子的上支片沿下支片方向向液晶基板(1)移动，直至夹子上下支片夹住液晶基板(1)。

8.根据权利要求7所述的气浮型的支撑顶针方法，其特征在于：所述夹子固定在彩膜烘烤炉内，并位于支撑顶针(4)管上方。

9.根据权利要求8所述的气浮型的支撑顶针方法，其特征在于：所述步骤五中彩膜烘烤炉开始烘烤液晶基板(1)，烘烤结束后，机器手臂进入彩膜烘烤炉接触液晶基板(1)；具体过程为：

彩膜烘烤炉开始烘烤液晶基板(1)，烘烤结束后，机器手臂进入彩膜烘烤炉接触液晶基板(1)，机器手臂开始吸真空，通过真空气压使液晶基板(1)吸附在机器手臂上；所述机器手臂内部设置空气管路，用于控制机器手臂破真空和吸真空。