CN106516555A - 一种可调整传送架高度的炉体装卸装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种可调整传送架高度的炉体装卸装置，通过将前传送架安装在前传送架高度调整机构上，在进行炉体装卸时，可通过调节前传送架高度调整机构的相对高度，使前传送架与中间传送架各自位于对接部的炉体承载面相平齐，以使前传送架的高度与中间传送架的高度一致，从而可以防止炉体通过时产生卡顿现象。本发明具有结构简单、操作方便且成本较低的有益优点。

Description

一种可调整传送架高度的炉体装卸装置

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，更具体地，涉及一种可调整传送架高度的炉体装卸装置。

背景技术

半导体热处理设备是集成电路制造的重要工艺设备，适用于集成电路制造过程中各种氧化、退火和薄膜生长等工艺。炉体是热处理设备的核心部件，由于其质量较大且安装空间较小，所以炉体拆卸和安装时的难度比较大。为了方便完成炉体的安装与拆卸，通常会采用炉体装卸装置。

现有的炉体装卸装置一般包括：主体支架以及水平安装在主体支架顶部的前传送架、中间传送架、后传送架。其中，前传送架采用滚珠形式传动，其滚珠可以使炉体360度自由移动，在炉体安装和拆卸时可以方便移动以使其位于要求位置；中间传送架和后传送架都采用滚轮形式传动，其滚轮只可以使炉体前后移动。前传送架、中间传送架、后传送架按直线方向依次过渡排列。

当炉体在装卸装置的前传送架、中间传送架及后传送架上移动时，必须保证三者在同一高度面上，这样炉体移动时，在它们之间的过渡处才能保证不被卡顿。其中，中间传送架和后传送架的传动结构相同，且在同一基准面上安装，高度可以保证相同。但是前传送架和中间传送架之间的结构不同，前传送架用的滚珠和中间传送架用的滚轮都是标准型的，因而即使它们的安装基准面相同，也难以保证二者的高度相同。这就给炉体的安全、高效装卸带来了隐患。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种可调整传送架高度的炉体装卸装置，能够调整前传送架的高度以与中间传送架的高度一致。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种可调整传送架高度的炉体装卸装置，包括：

主体支架，其为矩形框架结构；

前传送架高度调整机构，安装在主体支架顶部的框架前端；

前传送架，一端安装在前传送架高度调整机构上，并在其带动下进行升降；

中间传送架，安装在主体支架顶部的框架两侧，并与前传送架之间形成对接；

后传送架，一端安装在主体支架顶部的框架后端，并与中间传送架之间形成对接；

在进行炉体装卸时，通过调节前传送架高度调整机构的相对高度，使前传送架与中间传送架各自位于对接部的炉体承载面相平齐，以防止炉体通过时产生卡顿。

优选地，所述前传送架高度调整机构包括：

支撑块，安装在主体支架顶部的框架前端，其具有水平的支撑面；

调整块，水平设于支撑块上方，前传送架的一端安装在调整块上；

高度调整组件，活动设于支撑块和调整块之间，用于调节调整块与支撑块之间的垂直方向相对位置，使调整块产生升降运动。

优选地，所述高度调整组件包括：

调整螺栓，具有通孔，其一端与调整块螺接，另一端穿过调整块抵触在支撑块的支撑面上；

锁紧螺母，与调整螺栓螺接于调整块上方，用于将调整块固定在支撑块上方；

定位螺栓，穿过调整螺栓的通孔与支撑块螺接，用于避免调整块水平移动。

优选地，所述高度调整组件在支撑块和调整块之间设置若干个，并位于其边角部位。

优选地，所述调整螺栓抵触支撑块的一端端面为平面或弧面。

优选地，所述调整块的上表面为平面。

优选地，所述调整块的上表面具有凸出的台阶面，前传送架的一端安装在台阶面上，高度调整组件安装在非台阶面上，前传送架的顶面高于高度调整组件的顶面。

优选地，所述前传送架采用滚珠传动形式，所述中间传送架和后传送架采用滚轮传动形式。

优选地，还包括两个炉体固定支架，其中一个安装在前传送架高度调整机构上，另一个安装在主体支架顶部的框架后端，用于防止炉体在中间传送架上前后移动。

优选地，还包括：

安全护板，安装在主体支架的框架顶部，用于在炉体装卸时供装配人员站立以进行辅助操作；

配重块，在主体支架的框架中部位置活动设置，用于调节炉体装卸装置的重心；

地脚，安装在主体支架底部的各个角部，用于支撑主体支架和调整炉体装卸装置的高度；

脚轮，安装在主体支架底部的各个边部，其高度可调，用于移动炉体装卸装置；

插板，固定在主体支架的底部前端，用于在炉***于后传送架上时，防止炉体装卸装置向后侧倾倒。

从上述技术方案可以看出，本发明通过将前传送架安装在前传送架高度调整机构上，在进行炉体装卸时，可通过调节前传送架高度调整机构的相对高度，使前传送架与中间传送架各自位于对接部的炉体承载面相平齐，以使前传送架的高度与中间传送架的高度一致，从而可以防止炉体通过时产生卡顿现象。本发明具有结构简单、操作方便且成本较低的有益优点。

附图说明

图1是本发明一较佳实施例的一种可调整传送架高度的炉体装卸装置结构示意图；

图2是本发明第一较佳实施例的一种前传送架高度调整机构结构示意图；

图3是本发明第二较佳实施例的一种前传送架高度调整机构结构示意图；

图4是本发明一较佳实施例的一种高度调整组件结构示意图。

图中：1、主体支架；2、配重块；3、前传送架高度调整机构；4、前传送架；5/8、炉体固定支架；6、安全护板；7、中间传送架；9、后传送架；10、后传送架活动支架；11、后传送架固定支架；12、地脚；13、脚轮；14、插板；31(311、312)支撑块；32/32’、调整块；33、高度调整组件；331、调整螺栓；332、锁紧螺母；333、定位螺栓。

具体实施方式

下面结合附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。

需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本发明的实施方式时，为了清楚地表示本发明的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本发明的限定来加以理解。

在以下本发明的具体实施方式中，请参阅图1，图1是本发明一较佳实施例的一种可调整传送架高度的炉体装卸装置结构示意图。如图1所示，本发明的一种可调整传送架高度的炉体装卸装置，包括主体支架1、前传送架4、中间传送架7、后传送架9以及前传送架高度调整机构3几个主要部分。

主体支架1采用矩形框架结构，可由结构钢焊接而成，也可以由型材组装而成。前传送架4、中间传送架7、后传送架9顺序安装在主体支架1的框架结构顶部，并相互形成对接，组成装卸炉体时的传送链。并且，前传送架4的后端安装在前传送架高度调整机构3上，前传送架高度调整机构3又安装在主体支架1的顶部框架结构前端。这样，当调节前传送架高度调整机构3的高度时，前传送架4就可在前传送架高度调整机构3的带动下进行升降。

请参阅图1。前传送架4可设有双股前端板41，并沿前端板安装有多个滚珠42，从而可采用滚珠传动形式传送炉体。并且，采用滚珠传动形式还可以使炉体360度自由移动，在炉体安装和拆卸时可以方便移动以使其位于要求位置。前传送架的前端板41后端安装在前传送架高度调整机构3上，前端板41的前端通向热处理设备。前传送架高度调整机构3用于调整前传送架4的高度，使前传送架4的高度与中间传送架7的高度相同，以使炉体在前传送架与中间传送架过渡处(对接处)能容易推动。

中间传送架7可采用双股传送链，并整体固定在主体支架1的框架顶部两侧。中间传送架可采用滚轮形式传动，其滚轮只可以使炉体前后移动。

后传送架9可同样采用双股传送链，并同样采用滚轮形式传动，后传送架的前端固定在主体支架1顶部的框架结构后端，其后端可采用后传送架活动支架10支撑。后传送架9在非使用状态时，可放置在主体支架的下侧，以减少占用空间；放置时，后传送架9的其中一端可固定在主体支架1的底部结构件上，另一端可用后传送架固定支架11固定，后传送架固定支架11则固定在主体支架1上。

作为炉体装卸装置的配套结构，还可设置有：安全护板、炉体固定支架、配重块、地脚、脚轮、插板等部件。

请参阅图1。安全护板6水平安装在主体支架1的框架顶部，用于在炉体装卸时，装配人员可以站立在上面进行炉体装卸的辅助操作。炉体固定支架5和8安装有两个，其中一个炉体固定支架5安装在前传送架高度调整机构3上，另一个炉体固定支架8则安装在主体支架1顶部的框架后端，用于防止炉体在中间传送架上前后移动。配重块2通常设置在主体支架1的框架中部位置，其在主体支架上的位置可以调整，用于调节炉体装卸装置的重心。地脚12安装在主体支架1底部的各个角部，用于支撑主体支架和调整炉体装卸装置的高度。脚轮13安装在主体支架1底部的各个边部，其高度也可以调整，将脚轮13放下时，地脚12则处于悬空状态，即可对炉体装卸装置进行移动。插板14固定在主体支架1的底部前端，当炉***于后传送架9上时，可以防止炉体装卸装置向后侧倾倒。

由于前传送架4和中间传送架7之间的结构不同，前传送架用的滚珠和中间传送架用的滚轮通常都是标准型的，因而即使它们的安装基准面相同，也难以保证二者的高度相同。因此，需要采用适当的方式，对前传送架的高度进行微调，将其调节至与中间传送架的高度一致，以消除前传送架和中间传送架高度不同的问题。本发明通过采用设置前传送架高度调整机构，来解决前传送架、中间传送架高度难以一致的问题。

请参阅图2，图2是本发明第一较佳实施例的一种前传送架高度调整机构结构示意图。如图2所示，前传送架高度调整机构可包括支撑块31、调整块32、高度调整组件33几个主要结构部分。支撑块31可采用两组分体支撑块311、312的形式，两组分体支撑块311、312间隔安装在主体支架1顶部的框架前端，并保持在相同的水平面。支撑块311、312的上表面可采用水平的支撑面。当然，适用时也可以采用非水平的表面结构。支撑块311、312也可以相连为一体。调整块32可采用平板形状，水平设于两组支撑块311、312的上方。前传送架的前端板41后端可通过安装孔342安装在调整块32的上表面上；炉体固定支架5则通过安装孔341也安装在调整块32的上表面上。

高度调整组件33可活动设于支撑块31和调整块32之间，用于调节调整块与支撑块之间的垂直方向相对位置，使调整块产生升降运动。所述高度调整组件33可在支撑块31和调整块32之间设置若干个，例如可在四个角部位置分别设置一个高度调整组件。

请参阅图4并结合参阅图2。所述高度调整组件33可包括：调整螺栓331、锁紧螺母332、定位螺栓333。调整螺栓331具有全长方向的通孔，调整块32对应位置加工有螺孔，调整螺栓331从调整块32的上方旋入调整块，形成转动配合，调整螺栓331的下端穿过调整块32后抵触在支撑块31的支撑面上。锁紧螺母332从调整块32的上方旋入调整螺栓331的上端，形成转动配合；当调整螺栓与调整块之间的配合位置固定、并且其下端抵触在支撑块上时，将锁紧螺母朝向调整块旋紧，即可将调整块固定在支撑块上方。支撑块31对应调整螺栓331的通孔位置加工有螺纹连接孔，定位螺栓333从调整螺栓331的上端穿过调整螺栓的通孔，并旋入支撑块31的螺纹连接孔，与支撑块连接固定；通过调整螺栓331对定位螺栓333的横向位置限定，可避免调整块32水平移动。这样，通过高度调整组件33就将调整块32和支撑块31安装在一起。

所述调整螺栓331抵触支撑块的一端端面可采用图示的平面，或者弧面，这样在调整前传送架4的高度时，调整螺栓331的底部与支撑块31接触时不会损伤到其表面。

当需要调高前传送架4的高度时，先松开锁紧螺母332，然后用工具向下调动调整螺栓331，同时调整块32会带着前传送架4向上移动。调整到要求高度后，拧紧锁紧螺母332，使调整块32固定，则前传送架4的高度就不再发生变化。调低前传送架4的高度时，同样先松开锁紧螺母332，然后用工具向上调动调整螺栓331，同时调整块32会带着前传送架4向下移动。最后拧紧锁紧螺母332完成调整过程。定位螺栓333的设置可保证调整块32上下移动时的稳定性。

本例中，将调整块32的上表面加工成具有凸出的台阶面，例如图示的阶梯形，或者其他结构，并将前传送架4通过安装孔342安装在该台阶面上，将高度调整组件33安装在非台阶面上，这样可使得前传送架4的高度调整范围增大。

同时，必须保证前传送架4安装到调整块32上后，前传送架4的顶面高于高度调整组件33的顶面、即必须高于调整螺栓或定位螺栓之高者的高度，否则传送时，炉体的底部会与高度调整组件顶部干涉而不能移动炉体或是造成炉体底部损坏。

高度调整组件也可以采用现有其他适用的结构形式，本发明不限于此。

请参阅图3，图3是本发明第二较佳实施例的一种前传送架高度调整机构结构示意图。如图3所示，与图2中前传送架高度调整机构结构不同之处在于，所述调整块32’的上表面采用平面形式。此时，调整块上前传送架的安装面(即安装孔区域)与锁紧螺母的安装面是同一平面，这种形式的调整块结构较简单。这样，前传送架的高度调整范围相对较小，可在需要对前传送架的高度进行微调时采用。

同样地，必须保证前传送架安装到调整块上后，前传送架的顶面高度高于高度调整组件的顶面高度。

本例中前传送架高度调整机构的其他结构与图2中前传送架高度调整机构的结构相同，不再赘述。

本发明的上述炉体装卸装置可应用于对半导体设备的下沉式炉体进行装卸。

综上所述，本发明通过将前传送架安装在前传送架高度调整机构上，在进行炉体装卸时，可通过调节前传送架高度调整机构的相对高度，使前传送架与中间传送架各自位于对接部的炉体承载面相平齐，以使前传送架的高度与中间传送架的高度一致，从而可以防止炉体通过时产生卡顿现象。本发明具有结构简单、操作方便且成本较低的有益优点。

以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种可调整传送架高度的炉体装卸装置，其特征在于，包括：

主体支架，其为矩形框架结构；

前传送架高度调整机构，安装在主体支架顶部的框架前端；

前传送架，一端安装在前传送架高度调整机构上，并在其带动下进行升降；

中间传送架，安装在主体支架顶部的框架两侧，并与前传送架之间形成对接；

后传送架，一端安装在主体支架顶部的框架后端，并与中间传送架之间形成对接；

在进行炉体装卸时，通过调节前传送架高度调整机构的相对高度，使前传送架与中间传送架各自位于对接部的炉体承载面相平齐，以防止炉体通过时产生卡顿。

2.根据权利要求1所述的可调整传送架高度的炉体装卸装置，其特征在于，所述前传送架高度调整机构包括：

支撑块，安装在主体支架顶部的框架前端，其具有水平的支撑面；

调整块，水平设于支撑块上方，前传送架的一端安装在调整块上；

高度调整组件，活动设于支撑块和调整块之间，用于调节调整块与支撑块之间的垂直方向相对位置，使调整块产生升降运动。

3.根据权利要求2所述的可调整传送架高度的炉体装卸装置，其特征在于，所述高度调整组件包括：

调整螺栓，具有通孔，其一端与调整块螺接，另一端穿过调整块抵触在支撑块的支撑面上；

锁紧螺母，与调整螺栓螺接于调整块上方，用于将调整块固定在支撑块上方；

定位螺栓，穿过调整螺栓的通孔与支撑块螺接，用于避免调整块水平移动。

4.根据权利要求2或3所述的可调整传送架高度的炉体装卸装置，其特征在于，所述高度调整组件在支撑块和调整块之间设置若干个，并位于其边角部位。

5.根据权利要求3所述的可调整传送架高度的炉体装卸装置，其特征在于，所述调整螺栓抵触支撑块的一端端面为平面或弧面。

6.根据权利要求2或3所述的可调整传送架高度的炉体装卸装置，其特征在于，所述调整块的上表面为平面。

7.根据权利要求2或3所述的可调整传送架高度的炉体装卸装置，其特征在于，所述调整块的上表面具有凸出的台阶面，前传送架的一端安装在台阶面上，高度调整组件安装在非台阶面上，前传送架的顶面高于高度调整组件的顶面。

8.根据权利要求1所述的可调整传送架高度的炉体装卸装置，其特征在于，所述前传送架采用滚珠传动形式，所述中间传送架和后传送架采用滚轮传动形式。

9.根据权利要求1所述的可调整传送架高度的炉体装卸装置，其特征在于，还包括两个炉体固定支架，其中一个安装在前传送架高度调整机构上，另一个安装在主体支架顶部的框架后端，用于防止炉体在中间传送架上前后移动。

10.根据权利要求1所述的可调整传送架高度的炉体装卸装置，其特征在于，还包括：

安全护板，安装在主体支架的框架顶部，用于在炉体装卸时供装配人员站立以进行辅助操作；

配重块，在主体支架的框架中部位置活动设置，用于调节炉体装卸装置的重心；

地脚，安装在主体支架底部的各个角部，用于支撑主体支架和调整炉体装卸装置的高度；

脚轮，安装在主体支架底部的各个边部，其高度可调，用于移动炉体装卸装置；

插板，固定在主体支架的底部前端，用于在炉***于后传送架上时，防止炉体装卸装置向后侧倾倒。