CN106500886A - 一种基于纳米导电材料的柔性应力传感器的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种基于导电纳米材料的柔性微薄膜表面应力生物传感器的制备方法。具体以一种简单的方法将导电纳米材料于柔性基地相结合，进一步提高应力传感器的灵敏度以及伸缩性能，首先以柔性材料（如PDMS）为原料作出具有凹槽的柔性模版；接着用导电纳米材料（如碳纳米管、银纳米线）填充到上述模板的凹槽中；在填充的纳米导电材料两端引出电极；最后用柔性聚合物材料（如PDMS等）在上层固定纳米材料及电极，增强结构稳定性（此步骤可根据现实需求省略）。本发明方法工艺简单、成本低廉、可控性强，制备得到的基于导电纳米材料的柔性应力传感器的灵敏度高、稳定性强、伸缩性好，为实现微型化、低成本、批量化生产提供了可能。
Description
技术领域
本发明涉及生物传感器领域，具体是一种基于导电纳米材料的柔性微薄膜应力传感器的制备方法。
背景技术
柔性可佩戴电子设备由于与人体交互便捷而得到越来越多的重视。灵活、可伸缩的穿戴式传感器可以容易地安装在服装或直接连接到身体上，以高伸缩和敏感的实现人体运动和温度变化检测。
PDMS又称为有机硅，是一种高分子有机硅化合物。固化后的PDMS为一种硅胶，具有多种特性，比如透明、无毒、疏水性、不易燃性、易与多种材质室温接合等，并且由于其杨氏模量低而具备很好的弹性。同时PDMS具有非常好的耐温性能，其最高可承受温度为200oC。由于被它具有成本低、使用简单、具有良好的化学惰性等优点而被广泛应用于微流控、芯片封装等领域，另外由于PDMS具有高透明、强弹性等特点而被用作柔性应变传感器的基底。
当微粒的大小是纳米级时，其将具有量子尺寸效应、表面效应、体积效应、宏观量子隧道效应等，在力学、热学、磁学以及电学等方面也将有着其它特殊的性质。由于导电材料在纳米尺度上表现出来的种种优势，目前已经有研究基于纳米导电材料开发灵活、可伸缩和敏感的应变传感器，以此为基础进一步研究该传感器作为康复和个人健康监测、身体结构健康监测、运动性能监控以及娱乐人体运动捕获***（例如，对于游戏动作捕捉和动画）等等。但目前报道的应力复合柔性应力传感器的制备方法往往都较复杂，而且难以面向批量化生产。
发明内容
本发明的目的是提供一种基于纳米导电材料的柔性应力传感器的简单制备方法，在提高传感器稳定性、柔韧性、灵敏度的同时有望实现批量化生产。在该制备方法中，以一定尺寸的薄片作为模板制备带凹槽的PDMS薄膜，解决了现有基于纳米导电材料的柔性应力传感器制备过程中存在的诸多问题。
本发明是采用以下技术方案实现的：一种基于导电纳米材料的柔性应力传感器的制备方法，包括如下步骤：
1）取一个平底容器，在平底容器中心放一个薄片；
2）配置PDMS溶液，取主剂与固化剂质量比为10:1置于培养皿中混合均匀，利用真空干燥箱抽真空10min，使混合液中的气泡破裂得到表面无气泡的PDMS溶液；
3）取步骤2）制得的PDMS溶液加入到步骤1）中准备好的平底容器中，使PDMS溶液将薄片覆盖；
4）静置流平后将盛有PDMS和薄片的平底容器放入70oC的干燥箱中加热1.5h，PDMS溶液形成PDMS薄膜；
5）取出平底容器中的PDMS薄膜，去掉薄片，便得到了具有凹槽的PDMS柔性模板；
6）在PDMS柔性模板凹槽的两个对边分别引出一个电极后，在凹槽中填充纳米导电材料；
7）待填充纳米导电材料后的PDMS柔性模板彻底干燥后，配置PDMS溶液，方法如步骤2），在填充有纳米导电材料的PDMS薄膜的那层表面上滴一层PDMS，利用真空干燥箱抽真空10min，静置流平后将装有PDMS柔性模板的容器放入70oC的干燥箱中加热1h，得到复合薄膜柔性应力传感器。
本发明以一定尺寸的硅片作为模板制备带凹槽的PDMS薄膜，在其中加入导电纳米材料并引出电极，上层再用PDMS层固定纳米材料和电极，制备出柔性应力传感器，制备过程如图1所示。步骤5）中是将薄膜反过来，底部朝上，将薄片取出，形成凹槽；步骤6）中是电极由凹槽的两个相对的边沿向外侧引出；步骤7）中在有凹槽的薄膜表面滴一层PDMS溶液，将纳米导电材料封住，同时将电极固定在PDMS薄膜的表面。
本发明以一种简单的方法将导电纳米材料与柔性基地相结合，进一步提高应力传感器的灵敏度以及伸缩性能，首先以柔性材料（如PDMS等）为原料作出具有凹槽（凹槽的形状、大小、厚度可变）的柔性模版；接着用导电纳米材料（碳纳米管、银纳米线等）填充到上述模板的凹槽中；在填充的纳米导电材料两端引出电极；最后用柔性聚合物材料（如PDMS等）在上层固定纳米材料及电极，增强结构稳定性（此步骤可根据现实需求省略）。
本发明方法工艺简单、成本低廉、可控性强，制备得到的基于导电纳米材料的柔性应力传感器的灵敏度高、稳定性强、伸缩性好，同时适用于针对不同应用场合制备各种不同形状大小的柔性应力传感器，有望实现微型化、低成本、批量化生产。
附图说明
图1为本发明方法制备柔性应力传感器的过程示意图。
具体实施方式
一种基于导电纳米材料的柔性应力传感器的制备方法，包括如下步骤：
1）取一个平底容器，在平底容器中心放一个薄片；
2）配置PDMS溶液，取主剂与固化剂质量比为10:1置于培养皿中混合均匀，利用真空干燥箱抽真空10min，使混合液中的气泡破裂得到表面无气泡的PDMS溶液；
3）取步骤2）制得的PDMS溶液加入到步骤1）中准备好的平底容器中，使PDMS溶液将薄片覆盖；
4）静置流平后将盛有PDMS和薄片的平底容器放入70oC的干燥箱中加热1.5h，PDMS溶液形成PDMS薄膜；
5）取出平底容器中的PDMS薄膜，去掉薄片，便得到了具有凹槽的PDMS柔性模板；
6）在PDMS柔性模板凹槽的两个对边分别引出一个电极后，在凹槽中填充纳米导电材料；
7）待填充纳米导电材料后的PDMS柔性模板彻底干燥后，配置PDMS溶液，方法如步骤2），在填充有纳米导电材料的PDMS薄膜的那层表面上滴一层PDMS，利用真空干燥箱抽真空10min，静置流平后将装有PDMS柔性模板的容器放入70oC的干燥箱中加热1h，得到复合薄膜柔性应力传感器。
所述平底容器以及薄片的形状皆可根据应用场所进行调整，其形状可采用长方形、圆形、三角形、正方形、四角形、五边形、五角星、六边形、六角形、七边形、七角形、八边形、八角形、九边形、九角形、十边形、十角形、十一边形、十一角形、十二边形、十二角形。
所述薄片采用硅片、玻璃片、有机玻璃片、塑料片。
在PDMS柔性模板的凹槽中填充的纳米导电材料可以根据不同应用要求进行调整，以更加高灵敏的检测所需测量的物理量；所述纳米导电材料采用金、银、铜、锎、铁、铝、碳的各种形貌纳米材料的其中一种或它们其中一种的氧化物或其中两种或几种的复合物和混合物。
步骤6）中制备的两个电极结构呈对称分布，所述电极从传感器基底上凹槽的边缘向外引出；该电极采用银、铜或ITO中的一种或几种。
实施例1
1）取一个2*1cm的长方形矮壁平底容器，在中心放一个0.8*0.3*0.05cm的硅片；
2）配置PDMS溶液，取主剂与固化剂质量比为10:1置于培养皿中混合均匀，利用真空干燥箱抽真空10min，使混合液中的气泡破裂得到表面无气泡的PDMS溶液；
3）取步骤2）制得的PDMS溶液加入到步骤1）中准备好的容器中；
4）静置流平后将乘有PDMS和硅片的容器放入70oC的干燥箱中加热1.5h；
5）取出容器中的PDMS薄膜，去掉硅片，便得到了具有凹槽的PDMS柔性模板；
6）在凹槽两个窄边用导电铜胶带引出电极后，在凹槽中填充纳米导电材料银纳米线；
7）待溶胶彻底干燥后，配置PDMS溶液，方法如步骤2），在凹槽上方滴一层PDMS，利用真空干燥箱抽真空10min，静置流平后将将装有PDMS柔性模板和硅片的容器放入70oC的干燥箱中加热1h，得到具有三明治结构的柔性应力传感器。
实施例2
一种核壳结构导电聚苯胺/Co3O4粉末的制备方法，包括如下步骤：
1）取一个直径2cm的圆形矮壁平底容器，在中心放一个直径0.8cm厚度为0.05cm的硅片；
2）配置PDMS溶液，取主剂与固化剂质量比为10:1置于培养皿中混合均匀，利用真空干燥箱抽真空10min，使混合液中的气泡破裂得到表面无气泡的PDMS溶液；
3）取步骤2）制得的PDMS溶液加入到步骤1）中准备好的容器中；
4）静置流平后将乘有PDMS和硅片的容器放入70oC的干燥箱中加热1.5h；
5）取出容器中的PDMS薄膜，去掉硅片，便得到了具有凹槽的PDMS柔性模板；
6）在凹槽两个窄边用导电铜胶带引出电极后，在凹槽中填充碳纳米管；
7）待溶胶彻底干燥后，配置PDMS溶液，方法如步骤2），在凹槽上方滴一层PDMS，利用真空干燥箱抽真空10min，静置流平后将将装有PDMS柔性模板和硅片的容器放入70oC的干燥箱中加热1h，得到具有三明治结构的柔性应力传感器。
实施例3
1）取一个直径2的圆形矮壁平底容器，在中心放一个0.8*0.3*0.05cm的硅片；
2）配置PDMS溶液，取主剂与固化剂质量比为10:1置于培养皿中混合均匀，利用真空干燥箱抽真空10min，使混合液中的气泡破裂得到表面无气泡的PDMS溶液；
3）取步骤2）制得的PDMS溶液加入到步骤1）中准备好的容器中；
4）静置流平后将乘有PDMS和硅片的容器放入70oC的干燥箱中加热1.5h；
5）取出容器中的PDMS薄膜，去掉硅片，便得到了具有凹槽的PDMS柔性模板；
6）在凹槽两个窄边用导电铜胶带引出电极后，在凹槽中填充石墨烯；
7）待溶胶彻底干燥后，配置PDMS溶液，方法如步骤2），在凹槽上方滴一层PDMS，利用真空干燥箱抽真空10min，静置流平后将将装有PDMS柔性模板和硅片的容器放入70oC的干燥箱中加热1h，得到具有三明治结构的柔性应力传感器。
实施例4
1）取一个2*1cm的长方形矮壁平底容器，在中心放一个直径0.8cm厚度为0.05cm的硅片；
2）配置PDMS溶液，取主剂与固化剂质量比为10:1置于培养皿中混合均匀，利用真空干燥箱抽真空10min，使混合液中的气泡破裂得到表面无气泡的PDMS溶液；
3）取步骤2）制得的PDMS溶液加入到步骤1）中准备好的容器中；
4）静置流平后将乘有PDMS和硅片的容器放入70oC的干燥箱中加热1.5h；
5）取出容器中的PDMS薄膜，去掉硅片，便得到了具有凹槽的PDMS柔性模板；
6）在凹槽两个窄边用导电铜胶带引出电极后，在凹槽中填充银纳米颗粒包覆的碳纳米管；
7）待溶胶彻底干燥后，配置PDMS溶液，方法如步骤2），在凹槽上方加盖一层PDMS，利用真空干燥箱抽真空10min，静置流平后将将装有PDMS柔性模板和硅片的容器放入70oC的干燥箱中加热1h，得到具有三明治结构的柔性应力传感器。
Claims (9)
1.一种基于导电纳米材料的柔性应力传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
1）取一个平底容器，在平底容器中心放一个薄片；
2）配置PDMS溶液，取主剂与固化剂质量比为10:1置于培养皿中混合均匀，利用真空干燥箱抽真空10min，使混合液中的气泡破裂得到表面无气泡的PDMS溶液；
3）取步骤2）制得的PDMS溶液加入到步骤1）中准备好的平底容器中，使PDMS溶液将薄片覆盖；
4）静置流平后将盛有PDMS和薄片的平底容器放入70oC的干燥箱中加热1.5h，PDMS溶液形成PDMS薄膜；
5）取出平底容器中的PDMS薄膜，去掉薄片，便得到了具有凹槽的PDMS柔性模板；
6）在PDMS柔性模板凹槽的两个对边分别引出一个电极后，在凹槽中填充纳米导电材料；
7）待填充纳米导电材料后的PDMS柔性模板彻底干燥后，配置PDMS溶液，方法如步骤2），在填充有纳米导电材料的PDMS薄膜的那层表面上滴一层PDMS，利用真空干燥箱抽真空10min，静置流平后将装有PDMS柔性模板的容器放入70oC的干燥箱中加热1h，得到复合薄膜柔性应力传感器。
2.如权利要求1所述的一种基于导电纳米材料的柔性应力传感器的制备方法，其特征在于，所述平底容器以及薄片的形状皆可根据应用场所进行调整，其形状可采用长方形、圆形、三角形、正方形、四角形、五边形、五角星、六边形、六角形、七边形、七角形、八边形、八角形、九边形、九角形、十边形、十角形、十一边形、十一角形、十二边形、十二角形。
3.如权利要求1所述的一种基于导电纳米材料的柔性应力传感器的制备方法，其特征在于，所述平底容器采用2*1cm的长方形矮壁平底容器，在中心放置一个规格为0.8*0.3*0.05cm的薄片。
4.如权利要求1所述的一种基于导电纳米材料的柔性应力传感器的制备方法，其特征在于，所述平底容器采用圆形矮壁平底容器，直径为2cm；所述薄片为圆形，直径为0.8cm，厚度为0.05cm。
5.如权利要求1所述的一种基于导电纳米材料的柔性应力传感器的制备方法，其特征在于，所述平底容器为直径2cm的圆形矮壁平底容器，在中心放一个0.8*0.3*0.05cm的薄片。
6.如权利要求1所述的一种基于导电纳米材料的柔性应力传感器的制备方法，其特征在于，所述平底容器采用2*1cm的长方形矮壁平底容器，在中心放一个直径0.8cm、厚度为0.05cm的薄片。
7.如权利要求1所述的一种基于导电纳米材料的柔性应力传感器的制备方法，其特征在于，所述薄片采用硅片、玻璃片、有机玻璃片、塑料片。
8.如权利要求1所述的一种基于导电纳米材料的柔性应力传感器的制备方法，其特征在于，所述纳米导电材料采用金、银、铜、锎、铁、铝、碳的各种形貌纳米材料的其中一种或它们其中一种的氧化物或其中两种或几种的复合物和混合物。
9.根据权利要求1~8所述的一种基于导电纳米材料的柔性应力传感器的制备方法，其特征在于：步骤6）中制备的两个电极结构呈对称分布，所述电极从传感器基底上凹槽的边缘向外引出；该电极采用银、铜或ITO中的一种或几种。
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Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN106500886B (zh) |
Cited By (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107101754A (zh) * | 2017-03-16 | 2017-08-29 | 清华大学 | 具有多孔石墨烯泡沫结构的压力传感器及其制备方法 |
| CN107478148A (zh) * | 2017-07-13 | 2017-12-15 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 一种柔性可穿戴式电子应变传感器及其制备方法 |
| CN107655598A (zh) * | 2017-09-12 | 2018-02-02 | 电子科技大学 | 基于碳纳米管和银纳米线复合导电薄膜的柔性应力传感器 |
| CN107732006A (zh) * | 2017-09-02 | 2018-02-23 | 太原理工大学 | 一种基于纳米材料的柔性薄膜磁传感器的制备方法 |
| CN108766630A (zh) * | 2018-05-29 | 2018-11-06 | 五邑大学 | 一种基于金属纳米线的柔性传感器、及其制备方法 |
| CN108962945A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-12-07 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板及电子设备 |
| CN108955955A (zh) * | 2018-06-01 | 2018-12-07 | 五邑大学 | 一种蜂窝状结构压力传感器及其制备方法 |
| CN109135286A (zh) * | 2018-07-09 | 2019-01-04 | 合肥工业大学 | 基于石墨烯/纳米银-乳胶膜的电热相变执行器及其制作方法 |
| CN109238438A (zh) * | 2018-09-13 | 2019-01-18 | 太原理工大学 | 一种基于纳米材料的柔性薄膜声矢量传感器 |
| CN109425367A (zh) * | 2017-09-04 | 2019-03-05 | 北京清正泰科技术有限公司 | 一种石墨烯传感器量程保护*** |
| CN109839199A (zh) * | 2019-01-24 | 2019-06-04 | 东南大学 | 一种无源无线的柔性镂空体温监测贴片 |
| CN110025305A (zh) * | 2019-04-18 | 2019-07-19 | 太原理工大学 | 基于柔性应力传感器的血压心率测量***及其制备方法 |
| CN110455443A (zh) * | 2019-08-23 | 2019-11-15 | 北京航空航天大学 | 一种采用银纳米线柔性电极制备的柔性电容传感器及其制备方法 |
| CN110849510A (zh) * | 2019-09-23 | 2020-02-28 | 西安电子科技大学 | 一种压力应力传感器的制备方法及其应用 |
| WO2020253306A1 (zh) * | 2019-06-17 | 2020-12-24 | 五邑大学 | 一种柔性压阻式应力传感器及其制备方法 |
| CN112461414A (zh) * | 2020-11-18 | 2021-03-09 | 南京邮电大学 | 一种导电泡沫电极结合柔性应变片的传感器及制备方法 |
| CN113074860A (zh) * | 2021-03-17 | 2021-07-06 | 重庆大学 | 用于血管芯片的微型压力传感装置 |
| WO2021143303A1 (zh) * | 2020-01-19 | 2021-07-22 | 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 | 传感器及其制备方法 |
| CN113418645A (zh) * | 2021-06-21 | 2021-09-21 | 重庆邮电大学 | 基于铁磁纳米线/碳材料的复合型柔性三维力传感器及其制备方法 |
| CN113503914A (zh) * | 2021-06-29 | 2021-10-15 | 西北工业大学 | 一种柔性传感器的制备方法 |
| CN113733697A (zh) * | 2021-08-11 | 2021-12-03 | 哈尔滨理工大学 | 一种高灵敏度宽传感范围的柔性复合薄膜及其应用 |
| CN114543650A (zh) * | 2022-01-25 | 2022-05-27 | 江苏新澄瑞材料科技有限公司 | 一种柔性应变可拉伸传感器以及智能手套 |
| CN114606773A (zh) * | 2022-03-08 | 2022-06-10 | 南开大学 | 一种基于纺织微结构的柔性触觉传感器的制备方法 |
| CN115479705A (zh) * | 2022-08-19 | 2022-12-16 | 江西昌硕户外休闲用品有限公司 | 一种可印刷透明应力传感器及其制备方法 |
| CN117571987A (zh) * | 2023-11-03 | 2024-02-20 | 太原理工大学 | PDMS/FeSiB/QDs磁弹柔性免疫检测试纸及其制备方法及应用 |
| CN117571987B (zh) * | 2023-11-03 | 2024-05-31 | 太原理工大学 | PDMS/FeSiB/QDs磁弹柔性免疫检测试纸及其制备方法及应用 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1072954A2 (en) * | 1999-07-28 | 2001-01-31 | Lucent Technologies Inc. | Lithographic process for device fabrication |
| WO2006131153A1 (en) * | 2005-06-10 | 2006-12-14 | Obducat Ab | Pattern replication with intermediate stamp |
| CN104523231A (zh) * | 2014-12-24 | 2015-04-22 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 柔性压力传感件、传感器及其制造方法 |
| CN105136375A (zh) * | 2015-09-09 | 2015-12-09 | 宁波绿凯节能科技有限公司 | 一种具有高灵敏度柔性压力传感器的制备方法 |
| CN105181185A (zh) * | 2015-08-25 | 2015-12-23 | 中山大学 | 柔性导电性压力传感器及其制作方法 |
| CN105758562A (zh) * | 2016-03-29 | 2016-07-13 | 电子科技大学 | 一种柔性压力传感器及其制备方法 |
-
2016
- 2016-09-22 CN CN201610838176.3A patent/CN106500886B/zh active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1072954A2 (en) * | 1999-07-28 | 2001-01-31 | Lucent Technologies Inc. | Lithographic process for device fabrication |
| WO2006131153A1 (en) * | 2005-06-10 | 2006-12-14 | Obducat Ab | Pattern replication with intermediate stamp |
| CN104523231A (zh) * | 2014-12-24 | 2015-04-22 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 柔性压力传感件、传感器及其制造方法 |
| CN105181185A (zh) * | 2015-08-25 | 2015-12-23 | 中山大学 | 柔性导电性压力传感器及其制作方法 |
| CN105136375A (zh) * | 2015-09-09 | 2015-12-09 | 宁波绿凯节能科技有限公司 | 一种具有高灵敏度柔性压力传感器的制备方法 |
| CN105758562A (zh) * | 2016-03-29 | 2016-07-13 | 电子科技大学 | 一种柔性压力传感器及其制备方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| AMJADI M ETC.: "Highly stretchable and sensitive strain sensor based on silver nanowire-elastomer nanocomposite", 《ASC NANO》 * |
Cited By (36)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107101754A (zh) * | 2017-03-16 | 2017-08-29 | 清华大学 | 具有多孔石墨烯泡沫结构的压力传感器及其制备方法 |
| CN107478148B (zh) * | 2017-07-13 | 2020-03-17 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 一种柔性可穿戴式电子应变传感器及其制备方法 |
| CN107478148A (zh) * | 2017-07-13 | 2017-12-15 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 一种柔性可穿戴式电子应变传感器及其制备方法 |
| CN107732006A (zh) * | 2017-09-02 | 2018-02-23 | 太原理工大学 | 一种基于纳米材料的柔性薄膜磁传感器的制备方法 |
| CN109425367B (zh) * | 2017-09-04 | 2022-09-27 | 深圳市宝佳业投资有限公司 | 一种石墨烯传感器量程保护*** |
| CN109425367A (zh) * | 2017-09-04 | 2019-03-05 | 北京清正泰科技术有限公司 | 一种石墨烯传感器量程保护*** |
| CN107655598B (zh) * | 2017-09-12 | 2020-01-10 | 电子科技大学 | 基于碳纳米管和银纳米线复合导电薄膜的柔性应力传感器 |
| CN107655598A (zh) * | 2017-09-12 | 2018-02-02 | 电子科技大学 | 基于碳纳米管和银纳米线复合导电薄膜的柔性应力传感器 |
| CN108766630A (zh) * | 2018-05-29 | 2018-11-06 | 五邑大学 | 一种基于金属纳米线的柔性传感器、及其制备方法 |
| CN108955955A (zh) * | 2018-06-01 | 2018-12-07 | 五邑大学 | 一种蜂窝状结构压力传感器及其制备方法 |
| CN108962945A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-12-07 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板及电子设备 |
| CN109135286A (zh) * | 2018-07-09 | 2019-01-04 | 合肥工业大学 | 基于石墨烯/纳米银-乳胶膜的电热相变执行器及其制作方法 |
| CN109135286B (zh) * | 2018-07-09 | 2020-10-02 | 合肥工业大学 | 基于石墨烯/纳米银-乳胶膜的电热相变执行器及其制作方法 |
| CN109238438A (zh) * | 2018-09-13 | 2019-01-18 | 太原理工大学 | 一种基于纳米材料的柔性薄膜声矢量传感器 |
| CN109839199A (zh) * | 2019-01-24 | 2019-06-04 | 东南大学 | 一种无源无线的柔性镂空体温监测贴片 |
| CN110025305A (zh) * | 2019-04-18 | 2019-07-19 | 太原理工大学 | 基于柔性应力传感器的血压心率测量***及其制备方法 |
| WO2020253306A1 (zh) * | 2019-06-17 | 2020-12-24 | 五邑大学 | 一种柔性压阻式应力传感器及其制备方法 |
| CN110455443A (zh) * | 2019-08-23 | 2019-11-15 | 北京航空航天大学 | 一种采用银纳米线柔性电极制备的柔性电容传感器及其制备方法 |
| CN110849510B (zh) * | 2019-09-23 | 2021-06-01 | 西安电子科技大学 | 一种压力应力传感器的制备方法及其应用 |
| CN110849510A (zh) * | 2019-09-23 | 2020-02-28 | 西安电子科技大学 | 一种压力应力传感器的制备方法及其应用 |
| WO2021143303A1 (zh) * | 2020-01-19 | 2021-07-22 | 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 | 传感器及其制备方法 |
| CN112461414A (zh) * | 2020-11-18 | 2021-03-09 | 南京邮电大学 | 一种导电泡沫电极结合柔性应变片的传感器及制备方法 |
| CN113074860A (zh) * | 2021-03-17 | 2021-07-06 | 重庆大学 | 用于血管芯片的微型压力传感装置 |
| CN113418645A (zh) * | 2021-06-21 | 2021-09-21 | 重庆邮电大学 | 基于铁磁纳米线/碳材料的复合型柔性三维力传感器及其制备方法 |
| CN113418645B (zh) * | 2021-06-21 | 2022-12-27 | 重庆邮电大学 | 基于铁磁纳米线/碳材料的复合型柔性三维力传感器及其制备方法 |
| CN113503914A (zh) * | 2021-06-29 | 2021-10-15 | 西北工业大学 | 一种柔性传感器的制备方法 |
| CN113503914B (zh) * | 2021-06-29 | 2023-11-17 | 西北工业大学 | 一种柔性传感器的制备方法 |
| CN113733697A (zh) * | 2021-08-11 | 2021-12-03 | 哈尔滨理工大学 | 一种高灵敏度宽传感范围的柔性复合薄膜及其应用 |
| CN114543650A (zh) * | 2022-01-25 | 2022-05-27 | 江苏新澄瑞材料科技有限公司 | 一种柔性应变可拉伸传感器以及智能手套 |
| CN114543650B (zh) * | 2022-01-25 | 2024-02-09 | 江苏新澄瑞材料科技有限公司 | 一种柔性应变可拉伸传感器以及智能手套 |
| CN114606773A (zh) * | 2022-03-08 | 2022-06-10 | 南开大学 | 一种基于纺织微结构的柔性触觉传感器的制备方法 |
| CN114606773B (zh) * | 2022-03-08 | 2024-02-09 | 南开大学 | 一种基于纺织微结构的柔性触觉传感器的制备方法 |
| CN115479705A (zh) * | 2022-08-19 | 2022-12-16 | 江西昌硕户外休闲用品有限公司 | 一种可印刷透明应力传感器及其制备方法 |
| CN115479705B (zh) * | 2022-08-19 | 2024-01-16 | 江西昌硕户外休闲用品有限公司 | 一种可印刷透明应力传感器及其制备方法 |
| CN117571987A (zh) * | 2023-11-03 | 2024-02-20 | 太原理工大学 | PDMS/FeSiB/QDs磁弹柔性免疫检测试纸及其制备方法及应用 |
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