CN106430991A - 平板玻璃基板酸蚀液及其减薄工艺 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种平板玻璃基板酸蚀液及其减薄工艺,所述酸蚀液包括浓硫酸、氢氟酸、盐酸、尿素；平板玻璃基减薄工艺为：配制酸蚀液；对板玻璃基板进行外观检查；点胶封边；对板玻璃基板表面进行清洗；对玻璃进行蚀刻；蚀刻后清洗，检查、包装。本发明降低了蚀刻液的毒性，操作更加安全可靠，而且蚀刻液在过滤后可以循环使用，对平板玻璃基板的品质要求具有很大的改善，特别是对硼硅基材玻璃在生产过程中出现的玻璃表面划伤放大、凹点及凸点具有明显改善。

Description

平板玻璃基板酸蚀液及其减薄工艺
技术领域
本发明涉及平板玻璃基板减薄技术领域，特别是一种平板玻璃基板酸蚀液及其减薄工艺。
背景技术
目前移动终端轻薄化要求日益高涨，智能手机、平板电脑等新兴消费类电子产品的显示屏往往只有0.4mm～0.6mm厚度。TFT设备很难处理0.3mm以下的基板玻璃，而传统的TFT一般在0.5mm左右，加上中间填充液晶一般达到1.0mm～1.4mm左右,满足显示器件轻薄化需求最经济实惠的方法只能通过化学或物理方法进行玻璃减薄。行业内使用的TFT玻璃基板薄化液主要成分为HF(氢氟酸)和纯水、浓度在8％～15％之间，玻璃表面蚀刻效果不佳，其表面划伤被放大、凹点及凸点比较难以控制，废水、废弃物处理困难，使用一到两次之后，蚀刻液中会产生大量的粘稠粉末体，影响蚀刻液的利用率，且氢氟酸具有剧毒，生产过程对操作员工危害性较大。
发明内容
本发明的目的在于提供一种操作安全可靠、降低凹点位置腐蚀的速率，抑制酸液腐蚀过程中凹点放大的平板玻璃基板酸蚀液及其减薄工艺。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种平板玻璃基板酸蚀液,包括浓硫酸、氢氟酸、盐酸、尿素；所述组份物重量百分比为:浓硫酸70～80％、氢氟酸10～15％、盐酸5～10％、尿素2～7％。
作为优选，所述氢氟酸是易溶水固态氟化物。
一种平板玻璃基板减薄工艺,包括以下步骤:
步骤1:配制平板玻璃基板酸蚀液,按重量百分比将浓硫酸70～80％、氢氟酸10～15％、盐酸5～10％、尿素2～7％混合放置在蚀刻槽内,加热到30～35℃；
步骤2:对准备减薄的平板玻璃基板进行外观检查；
步骤3:点胶封边,用UV胶水对平板玻璃基板四边进行封边处理,用UV固化机固化UV胶水,清洗并去除边缘溢胶；
步骤4:对平板玻璃基板表面进行清洗，放入槽内，用温度为30℃纯水浸泡5分钟，去除玻璃表面异物；
步骤5:用夹具把平板玻璃基板放入上述配好酸蚀液的槽内，温度加热到30～35℃,对玻璃进行蚀刻1.5～2.5小时；
步骤6:用夹具把蚀刻好的平板玻璃基板放入清洗槽内，用纯水进行清洗，放入第一槽内，用温度为30度纯水浸泡10分钟，再放入第二槽内用温度为30℃纯水浸泡5分钟，再QC检查、物理抛光，终检包装。
作为优选，所述UV固化机能量为5000～7000mJ/cm2。
作为优选，所述蚀刻槽的底部用洁净空气将溶液循环搅动。
本方案与现有技术相比具有以下有益效果：
1、本发明平板玻璃基板酸蚀液挥发少、毒性小、酸蚀液利用率高，通过调整酸蚀预处理液配比，使酸液腐蚀过程中，凹点位置腐蚀速率降低，从而抑制酸液腐蚀过程中凹点放大，具有广泛的应用前景。
2、本发明蚀刻液在过滤后可以循环使用，对TFT品质要求具有很大的改善，特别是对硼硅基材玻璃在生产过程中出现的玻璃表面划伤放大、凹点及凸点具有明显改善。
附图说明
图1是根据本发明一种具体实施方式的工艺流程图。
具体实施方式
为了使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本发明的部分实施例，而不是全部实施例。基于本发明的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明的保护范围。
本发明实施例提供一种平板玻璃基板酸蚀液,包括浓硫酸、氢氟酸、盐酸、尿素；所述组份物重量百分比为:浓硫酸70～80％、氢氟酸10～15％、盐酸5～10％、尿素2～7％，所述氢氟酸是易溶水固态氟化物。
采用上述平板玻璃基板酸蚀液对平板玻璃基板减薄的工艺是如图1所示：
步骤1:配制平板玻璃基板酸蚀液,按重量百分比将浓硫酸70～80％、氢氟酸10～15％、盐酸5～10％、尿素2～7％混合放置在蚀刻槽内,加热到30～35℃；
步骤2:对准备减薄的平板玻璃基板进行外观检查；
步骤3:点胶封边,用UV胶水对平板玻璃基板四边进行封边处理,用UV固化机固化UV胶水,清洗并去除边缘溢胶；
步骤4:对平板玻璃基板表面进行清洗，放入槽内，用温度为30℃纯水浸泡5分钟，去除玻璃表面异物；
步骤5:用夹具把平板玻璃基板放入上述配好酸蚀液的槽内，温度加热到30～35℃,对玻璃进行蚀刻1.5～2.5小时；
步骤6:用夹具把蚀刻好的平板玻璃基板放入清洗槽内，用纯水进行清洗，放入第一槽内，用温度为30度纯水浸泡10分钟，再放入第二槽内用温度为30℃纯水浸泡5分钟，再QC检查、物理抛光，终检包装。
作为本实施例的优选，所述UV固化机能量为5000～7000mJ/cm2，所述蚀刻槽的底部用洁净空气将溶液循环搅动。
根据上述工艺步骤，调整蚀刻液组份物比例的实施例及效果：
实施例一：浓硫酸70.5％～71.5％、氢氟酸10.5％～11.5％、盐酸5.5％～6.5％、尿素2％～3.5％。
实施例二：浓硫酸72.5％～74.5％、氢氟酸11％～12.5％、盐酸5.5％～6.5％、尿素2.5％～4％。
实施例三：浓硫酸75.5％～77.5％、氢氟酸11.5％～12.5％、盐酸7％～9％、尿素3％～4.5％。
实施例四：浓硫酸78％～80％、氢氟酸13％～15％、盐酸7％～9％、尿素5～6.5％。
实施例五：氟化物20％、醋酸11％、盐酸8％、无水乙醇3％、纯水：58％。浓硫酸80％、氢氟酸15％、盐酸10％、尿素7％。
从上述五个实施例中看出随着浓硫酸和氢氟酸比例的增大，蚀刻液与玻璃反应速度增大，浓硫酸和氢氟酸比例浓硫酸70～80％、氢氟酸10～15％，蚀刻液与玻璃反应速度从3.5um/min到6.3um/min，实际效果是玻璃表面未见凹点、划伤缺口未见明显放大，都是稳定的。尿素是催化剂，盐酸的作用作调节酸性，尿素和盐酸的作用是促进玻璃表面反应均匀.起缓冲作用,可以使反应速率和变化在可以控制的范围内。本发明使用后的废水，用压滤机过滤后可循环使用，能有效减少氟化物排放，废水使用NAOH中和排放。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种平板玻璃基板酸蚀液,其特征在于：包括浓硫酸、氢氟酸、盐酸、尿素；所述组份物重量百分比为:浓硫酸70～80％、氢氟酸10～15％、盐酸5～10％、尿素2～7％。
2.根据权利要求1所述一种平板玻璃基板酸蚀液,其特征在于：所述氢氟酸是易溶水固态氟化物。
3.一种平板玻璃基板减薄工艺,其特征在于，包括以下步骤:
步骤1:配制平板玻璃基板酸蚀液,按重量百分比将浓硫酸70～80％、氢氟酸10～15％、盐酸5～10％、尿素2～7％混合放置在蚀刻槽内,加热到30～35℃；
步骤2:对准备减薄的平板玻璃基板进行外观检查；
步骤3:点胶封边,用UV胶水对平板玻璃基板四边进行封边处理,用UV固化机固化UV胶水,清洗并去除边缘溢胶；
步骤4:对平板玻璃基板表面进行清洗，放入槽内，用温度为30℃纯水浸泡5分钟，去除玻璃表面异物；
步骤5:用夹具把平板玻璃基板放入上述配好酸蚀液的槽内，温度加热到30～35℃,对玻璃进行蚀刻1.5～2.5小时；
步骤6:用夹具把蚀刻好的平板玻璃基板放入清洗槽内，用纯水进行清洗，放入第一槽内，用温度为30℃纯水浸泡10分钟，再放入第二槽内用温度为30℃纯水浸泡5分钟，再QC检查、物理抛光，终检包装。
4.根据权利要求3所述平板玻璃基板减薄工艺，其特征在于：所述UV固化机能量为5000～7000mJ/cm2。
5.根据权利要求3所述平板玻璃基板减薄工艺，其特征在于：所述蚀刻槽的底部用洁净空气将溶液循环搅动。
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