CN106298592A - 一种用于制造半导体模块的测试机构及其工作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于制造半导体模块的测试机构,主要涉及半导体制造的技术领域,包括了定位部分、测试部分和降料部分;所述测试部分包括:测试座、测试片、测试气缸架、测试气缸和绝缘压杆;所述测试气缸通过测试气缸架固定在机架面板上,所述测试气缸下端装有绝缘压杆;所述测试片固定在测试座上,所述测试座安装在机架面板上;本发明测试机构的整体结构及其运行过程非常简单,维修保养方便快捷,成本低廉,并且其自动化程度高,人员操作简单,能够保证长时间高效稳定的运行。本发明还公开了一种用于制造半导体模块的测试机构的工作方法。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造的技术领域,具体是一种用于制造半导体模块的测试机构,以及该测试机构的工作方法。
背景技术
半导体模块是以一定的半导体材料做工作物质而产生受激发射作用的器件,是半导体激光器里面的一部分。
近几年来,随着科学技术的不断发展,相关行业对半导体模块的技术要求越来越高,然而现有用于制造半导体模块的测试机构还存在如下缺陷:
1、测试机构的整体结构及其运行过程均非常复杂,同时负载要求较高,维修保养非常繁琐,制造及运行成本高昂;
2、自动化程度较低,人员操作复杂,测试效率低下;
3、运行时容易出现偏差及故障,无法保证长时间高效稳定的运行。
发明内容
发明目的:针对上述现有技术存在的问题和不足,本发明的目的是提供一种用于制造半导体模块的测试机构,该测试机构的整体结构及其运行过程非常简单,维修保养方便快捷,成本低廉,并且其自动化程度高,人员操作简单,能够保证长时间高效稳定的运行。本发明另一个要解决的技术问题还要提供一种用于制造半导体模块的测试机构的工作方法。
技术方案:为了实现以上目的,本发明所述的一种用于制造半导体模块的测试机构,包括了定位部分、测试部分和降料部分;所述测试部分包括:测试座、测试片、测试气缸架、测试气缸和绝缘压杆;所述测试气缸通过测试气缸架固定在机架面板上,所述测试气缸下端装有绝缘压杆;所述测试片固定在测试座上,所述测试座安装在机架面板上。本发明通过定位部分、测试部分以及降料部分相互间的精密配合,从而进行全自动的测试工作,无需工作人员实时进行操作,因此人员操作简单,测试效率非常高,并且长时间运行不容易出现偏差及故障;另一方面,其整体结构简单,体积及重量小,大幅降低了负载,同时装卸维修也非常便捷,因此制造及运行成本低廉。
本发明中所述定位部分包括:测试定位爪、夹爪气缸、升降气缸和气缸连接板;所述升降气缸通过气缸连接板与夹爪气缸相接,所述测试定位爪安装在夹爪气缸上。其定位部分的各部件相互连接稳定牢固,配合精密,工作效率高,并且使用寿命非常长。
本发明中所述降料部分包括:直线模组、推料块、降料轨道、降料管、推料气缸和吸嘴;所述推料块一端接有推料气缸,另一端依次接有降料轨道和降料管;所述降料轨道一端与直线模组相连,所述直线模组顶部设有吸嘴。其降料部分的各部件相互连接稳定牢固,配合精密,工作效率高,并且使用寿命非常长。
本发明中所述吸嘴通过吸嘴气缸来驱动,响应及时,工作效率高。
本发明还提供一种用于制造半导体模块的测试机构的工作方法,具体的工作步骤如下:
(1)、元件到达测试位后,首先升降气缸下压,测试定位爪在夹爪气缸的驱动下合拢,进而完成元件的定位;
(2)、元件完成定位后,绝缘压杆在测试气缸的驱动下下压测试片,进而对元件进行测试;
(3)、元件测试完成后,根据测试结果,合格品继续流转到后续工位,不合格品依据失效条件由吸嘴吸起,并通过直线模组被运至降料轨道上;
(4)、最后推料块在推料气缸的驱动下将不合格元件推入降料管中;
(5)、重复步骤(1)-(4)。
本发明工作方法的整个运行过程顺畅高效,各部件相互之间配合精密,并且根据测试结果会自动对不合格品进行筛选及回收,从而大大提高了测试效率,同时运行成本低廉,可以保证测试机构长时间高效稳定的运行。
有益效果:与现有技术相比,本发明具有以下优点:
1、本发明中所述的一种用于制造半导体模块的测试机构,其通过定位部分、测试部分以及降料部分相互间的精密配合,从而进行全自动的测试工作,无需工作人员实时进行操作,因此人员操作简单,测试效率非常高,并且长时间运行不容易出现偏差及故障。
2、本发明中所述的一种用于制造半导体模块的测试机构,其整体结构简单,体积及重量小,大幅降低了负载,同时装卸维修也非常便捷,因此制造及运行成本低廉。
3、本发明中所述的一种用于制造半导体模块的测试机构,其定位、降料部分的各部件相互连接稳定牢固,配合精密,工作效率高,并且使用寿命非常长。
4、本发明中所述的一种用于制造半导体模块的测试机构,其吸嘴通过吸嘴气缸来驱动,响应及时,工作效率高。
5、本发明中所述的一种用于制造半导体模块的测试机构的工作方法,其整个运行过程顺畅高效,各部件相互之间配合精密,并且根据测试结果会自动对不合格品进行筛选及回收,从而大大提高了测试效率,同时运行成本低廉,可以保证测试机构长时间高效稳定的运行。
附图说明
图1为本发明中测试机构的整体结构示意图;
图2为本发明中定位机构的结构示意图。
图中:测试定位爪1、夹爪气缸2、升降气缸3、气缸连接板4、测试座5、测试片6、测试气缸架7、测试气缸8、直线模组9、绝缘压杆10、推料块11、降料轨道12、降料管13、推料气缸14、吸嘴15、吸嘴气缸16。
具体实施方式
以下结合具体的实施例对本发明进行详细说明,但同时说明本发明的保护范围并不局限于本实施例的具体范围,基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例1
如图1、图2所示,本实施例的一种用于制造半导体模块的测试机构,包括:测试定位爪1、夹爪气缸2、升降气缸3、气缸连接板4、测试座5、测试片6、测试气缸架7、测试气缸8、直线模组9、绝缘压杆10、推料块11、降料轨道12、降料管13、推料气缸14、吸嘴15和吸嘴气缸16。
上述各部件的连接关系如下:所述测试气缸8通过测试气缸架7固定在机架面板上,所述测试气缸8下端装有绝缘压杆10;所述测试片6固定在测试座5上,所述测试座5安装在机架面板上。其中所述升降气缸3通过气缸连接板4与夹爪气缸2相接,所述测试定位爪1安装在夹爪气缸2上;所述推料块11一端接有推料气缸14,另一端依次接有降料轨道12和降料管13;所述降料轨道12一端与直线模组9相连,所述直线模组9顶部设有吸嘴15,所述吸嘴15通过吸嘴气缸16来驱动。
如图1、图2所示,本实施例的一种用于制造半导体模块的测试机构的工作方法,具体的工作步骤如下:
(1)、元件到达测试位后,首先升降气缸3下压,测试定位爪1在夹爪气缸2的驱动下合拢,进而完成元件的定位;
(2)、元件完成定位后,绝缘压杆10在测试气缸8的驱动下下压测试片6,进而对元件进行测试;
(3)、元件测试完成后,根据测试结果,合格品继续流转到后续工位,不合格品依据失效条件由吸嘴15吸起,并通过直线模组9被运至降料轨道12上;
(4)、最后推料块11在推料气缸14的驱动下将不合格元件推入降料管13中;
(5)、重复步骤(1)-(4)。
本发明的实施例是为了示例和描述起见而给出的,而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用,并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
Claims (5)
1.一种用于制造半导体模块的测试机构,其特征在于:包括:定位部分、测试部分和降料部分;
所述测试部分包括:测试座(5)、测试片(6)、测试气缸架(7)、测试气缸(8)和绝缘压杆(10);所述测试气缸(8)通过测试气缸架(7)固定在机架面板上,所述测试气缸(8)下端装有绝缘压杆(10);所述测试片(6)固定在测试座(5)上,所述测试座(5)安装在机架面板上。
2.根据权利要求1所述的一种用于制造半导体模块的测试机构,其特征在于:所述定位部分包括:测试定位爪(1)、夹爪气缸(2)、升降气缸(3)和气缸连接板(4);所述升降气缸(3)通过气缸连接板(4)与夹爪气缸(2)相接,所述测试定位爪(1)安装在夹爪气缸(2)上。
3.根据权利要求1所述的一种用于制造半导体模块的测试机构,其特征在于:所述降料部分包括:直线模组(9)、推料块(11)、降料轨道(12)、降料管(13)、推料气缸(14)和吸嘴(15);所述推料块(11)一端接有推料气缸(14),另一端依次接有降料轨道(12)和降料管(13);所述降料轨道(12)一端与直线模组(9)相连,所述直线模组(9)顶部设有吸嘴(15)。
4.根据权利要求3所述的一种用于制造半导体模块的测试机构,其特征在于:所述吸嘴(15)通过吸嘴气缸(16)来驱动。
5.一种权利要求1所述的用于制造半导体模块的测试机构的工作方法,其特征在于:具体的工作步骤如下:
(1)、元件到达测试位后,首先升降气缸(3)下压,测试定位爪(1)在夹爪气缸(2)的驱动下合拢,进而完成元件的定位;
(2)、元件完成定位后,绝缘压杆(10)在测试气缸(8)的驱动下下压测试片(6),进而对元件进行测试;
(3)、元件测试完成后,根据测试结果,合格品继续流转到后续工位,不合格品依据失效条件由吸嘴(15)吸起,并通过直线模组(9)被运至降料轨道(12)上;
(4)、最后推料块(11)在推料气缸(14)的驱动下将不合格元件推入降料管(13)中;
(5)、重复步骤(1)-(4)。
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---|---|---|---|---|
JP2008207326A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-09-11 | Hanmi Semiconductor Co Ltd | 半導体パッケージ加工システム及び半導体パッケージ加工方法 |
CN101943708A (zh) * | 2010-09-01 | 2011-01-12 | 王少波 | 一种自动测试机 |
CN202549898U (zh) * | 2012-02-24 | 2012-11-21 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 一种用于太阳能电池片生产线设备的硅片预定位机构 |
CN103252320A (zh) * | 2013-05-06 | 2013-08-21 | 佛山市多谱光电科技有限公司 | 一种cob光组件自动测试分选机 |
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2016
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