CN106128925A - X射线产生装置 - Google Patents

Abstract

本发明是有关于一种X射线产生装置。经由真空波纹管(2)将保持积层了靶材(4)的X射线照射窗(5)的移动部(3)连结于真空容器的本体部(1)，将限制移动部(3)的移动方向及倾斜的引导机构设置于真空容器外。所述引导机构包含：引导用平坦面(10a)，在本体部(1)侧沿着与电子束(B)的中心轴正交的平面形成；被引导用平坦面(13a)，在移动部(3)侧以与所述引导用平坦面(10a)相向的方式形成；以及在它们之间转动的多个转动体(12)。据此，引导机构中的摩擦力得以减轻。

Description

X射线产生装置

技术领域

本发明涉及一种工业用X射线检查装置或医疗用X射线检查装置、或者利用X射线的衍射或折射的各种X射线分析装置或测定装置等中所使用的X射线产生装置，特别是涉及一种在真空容器内使电子碰撞到靶材(target)而产生X射线的类型的X射线产生装置。

背景技术

在真空容器内使电子碰撞到靶材而产生X射线的类型的X射线产生装置，有如下两种：使用向与电子的前进方向不同的方向出射X射线的反射型靶材，及使用向与电子的前进方向大致相同的方向出射X射线的透过型靶材。

这些之中，反射型靶材一般使用块状材料(bulk material)，且与用以将X射线从真空容器出射到外部的X射线照射窗隔开一定程度的距离而配置于容器内侧，与此相对，因透过型靶材通常采用一体地积层形成于X射线照射窗的结构，所以X射线焦点位于X射线照射窗的附近，因此具有能够用于构筑X射线透视像或断层像的装置中，且提高透视扩大率的优点。然而，相反地，因透过型靶材呈薄膜状积层形成于X射线照射窗的单面，所以存在因电子照射引起的热损伤而其寿命缩短的问题。

为了提高这种透过型靶材的寿命，例如后述专利文献1中，为了使靶材面上的电子的照射位置变化，而提出使靶材随意地移动的提案。该专利文献1中揭示了如下技术：在使用开放型的真空容器且具备透过型靶材的X射线产生装置中，经由O型环或真空波纹管(bellows)使靶材移动。

所述提案中将使用橡胶制O型环的情况的构成以示意性剖面图而表示于图8中。即，在所谓的开放透过型的X射线产生装置中，将一体地积层形成着靶材504的X射线照射窗505经由O型环506安装于真空容器501，且在例如相对于来自电子枪502的电子束B的轨道偏心的位置旋转移动，由此使靶材504面上的电子束B的照射位置变化，所述开放透过型的X射线产生装置在真空容器501内***谓的电子枪502，所述电子枪502具备电子源及用以使来自该电子源的电子加速及聚集的电极群，且构成为能够利用真空泵503将该真空容器501内随时抽成真空。

然而，在如所述那样使用橡胶制O型环的情况下，因O型环所具有的气体透过性或真空润滑油等的蒸发而真空度会逐渐恶化。因此，在如图8那样利用涡轮分子泵等真空泵一直进行排气的开放型的装置中有效，但无法应用于如图9所示的使用密封的真空容器的X射线产生装置，即密闭型的X射线产生装置中。即，图9所示的密闭型的装置中，一体地积层形成了靶材604的X射线照射窗605如果未利用熔接或焊接气密地固定于收容了电子枪602的真空容器601则无法保持真空度。

这种密闭型的装置中，能够应用经由真空波纹管使真空容器的一部分随靶材或X射线照射窗移动的结构。基于将图10的靶材附近主要部分放大的示意性剖视图来说明使用所述真空波纹管的情况下的构成例。该例中，在收容电子枪(未图示)并固定于装置框架等的真空容器的本体部701的顶部形成贯通孔701a，利用熔接或焊接将真空波纹管702的一端部(下端部)气密地固定于该贯通孔701a的周围，并且将该真空波纹管702的另一端部(上端部)同样地气密固定于形成在移动部703的向下侧开放的凹部703a的周围。

积层形成着靶材704的X射线照射窗705以形成凹部703a的顶部分的方式固定于移动部703。因此，真空容器的本体部701的壁体与真空波纹管702成为将真空容器的内部与外部隔开的壁体，它们的内侧区域V为真空状态，所述真空波纹管702的下端部与该本体部701连通，上端部被X射线照射窗705封闭。

来自电子枪的电子束B从本体部701通过贯通孔701a且经过真空波纹管702内而照射到靶材704。由此，使真空波纹管702弯曲而使移动部703移动，由此能够使电子束B朝向靶材704的照射位置变化。

此处，例如在将此种X射线产生装置用于X射线检查装置等的情况下，如果X射线焦点的空间座标发生变化，则即便在同一部位配置样品，透视区域也会发生变化，此外，需要进行装置***的各种参数的重新构成或装置构成零件的位置调整等各种重新调整，而欠优选。

因此，图10的构成中，需要将移动部703的移动仅限制在与电子束B的照射方向正交的方向上，换句话说，需要阻止靶材704的向相对于电子枪的接近或离开方向的移动或倾斜。因此，图10中，在本体部701设置引导用的接触构件707等，移动部703一边与接触构件707滑动接触一边移位。

[专利文献]日本专利特开2000-90862号公报

发明内容

且说，图10的构成中，在真空波纹管702中，强的力会作用于因其内侧与外侧的压力差而收缩的方向，即朝向本体部701侧的方向。因此，强的摩擦力作用于本体部701侧的接触构件707与移动部703之间的滑动面而无法使移动部703容易地移动，从而实用上成为问题。为了解决该问题，也考虑对滑动面涂润滑剂，但难以长期地以相同的力使所述移动部703移动。

而且，如所述那样，在能够提高透视扩大率的方面，使用了透过型靶材的X射线产生装置比使用了反射型靶材的X射线产生装置有利。然而，为此，需要在与X射线照射窗接近的位置配置被摄物，从而应极力地避免在X射线照射窗的附近设置大型结构体，并且也无法为了减小用以限制移动部相对于真空容器的本体部的移位的引导机构中的滑动摩擦力而设置空间。

本发明鉴于这种实际情况而完成，其在于提供一种X射线产生装置，因为是紧凑(compact)的机构，而能够以轻的力使保持靶材及X射线照射窗的移动部相对于真空容器的本体部容易地移位，且能够延长靶材寿命而不破坏因使用透过型靶材而获得的高透视扩大率这样的优点。

为了解决所述课题，依据本发明提出的一种X射线产生装置，其包含一体地形成着靶材的X射线照射窗的真空容器内配置着电子枪，使通过将来自该电子枪的电子束照射到所述靶材而产生的X射线，经由所述X射线照射窗出射到外部，其中：所述真空容器包括：固定着所述电子枪的本体部、及能够经由真空波纹管相对于该本体部移动且气密地连结的移动部，在该移动部设置着一体地形成着所述靶材的X射线照射窗，并且在所述真空容器的外侧设置着引导机构，所述引导机构在所述移动部的移动时为了将所述靶材的电子束照射面与电子枪的距离保持为固定而限制该移动部的朝向相对于所述电子枪的接近/离开方向的移动及倾斜，该引导机构包括：引导部，设置于所述本体部侧且形成着沿着与所述电子束的中心轴正交的面的引导用平坦面；被引导部，设置于所述移动部侧且形成着与所述引导用平坦面相向的被引导用平坦面；以及至少三个转动体，配置于所述引导用平坦面与被引导用平坦面间(发明1)。

此处，本发明中，可优选地采用下述构成：所述转动体为滚珠，在所述引导用平坦面或被引导用平坦面设置着限制机构，所述限制机构以各个滚珠不会脱离绕所述电子束的中心轴且针对各滚珠的每一个所设定的区域的方式，来限制各自的转动范围(发明2)。

作为所述限制机构，可使用环状构件，所述环状构件在所述引导用平坦面或被引导用平坦面以包围各个滚珠的方式固定(发明3)，或者，亦可为如下构成：即，设置凹陷部，所述凹陷部在所述引导用平坦面或被引导用平坦面以收容各个滚珠的方式形成(发明4)，此外，还可设为如下构成：即，具备槽及隔板，所述槽在所述引导用平坦面或被引导用平坦面绕所述电子束的中心轴呈环状形成，所述隔板设置于该槽内且限制各个滚珠在槽内的朝向周向的移动(发明5)。

而且，为了解决与所述相同的课题，发明6的发明是一种X射线产生装置，与所述同样地在包括一体地形成着靶材的X射线照射窗的真空容器内配置着电子枪，使通过将来自该电子枪的电子束照射到所述靶材而产生的X射线，经由所述X射线照射窗出射到外部，所述X射线产生装置的特征在于：所述真空容器包括：固定着所述电子枪的本体部，及能够经由真空波纹管相对于该本体部移动且气密地连结的移动部，在该移动部设置着一体地形成着所述靶材的X射线照射窗，并且在所述真空容器的外侧设置着引导机构，所述引导机构在所述移动部的移动时为了将所述靶材的电子束照射面与电子枪的距离保持为固定而限制该移动部的朝向相对于所述电子枪的接近/离开方向的移动及倾斜，该引导机构包括设置于所述本体部侧的引导部、及设置于所述移动部侧的被引导部，在这些中的其中一者形成着平坦面，在另一者形成着分别与该平坦面抵接的至少三个部位的凸曲面。该发明6的发明中的凸曲面的具体形状不作特别限定，但例如优选地采用球面(发明7)。

本发明通过如下方式来解决课题，即，使用真空波纹管将靶材能够相对于电子枪移动地加以保持，通过使用了转动体的滚动接触、或通过凸曲面与平坦面的接触而减轻作用于引导机构的摩擦力，所述引导机构为了将X射线焦点的位置保持为固定而用以限制靶材的移动及姿势。

即，经由真空波纹管将设置着靶材与X射线照射窗的移动部能够移动地连接于真空容器的本体部，由此，防止真空容器内的真空度的恶化，并且在真空容器的外部设置用以限制靶材的移动方向与倾斜的引导机构，而防止在靶材的移动时X射线焦点移动。而且，作用于引导机构的接触部分的摩擦力，如发明1的发明般，能够通过经由转动体使接触部分滚动接触而大幅减轻，所述摩擦力是由起因于真空容器内外的压力差的真空波纹管的收缩所致。

而且，发明6的发明中，能够通过使引导机构的接触部分进行凸曲面与平坦面的接触，来抑制平坦面彼此接触时这样的振铃现象(ringing phenomena)等的产生，且虽并非为滚动接触但也能够减轻摩擦力。

发明1的发明中，只要引导用平坦面与被引导用平坦面之间转动体的相互的位置不发生大幅偏离，如果转动体最低为三个，则能够将移动部不倾斜地加以支撑且使其移动，而且，通过使用滚珠作为转动体，而能够使移动部沿着引导面向任意的方向移动。

因此，如发明2的发明那样，在引导用平坦面与被引导用平坦面之间设置三个以上的滚珠，并且设置限制机构，所述限制机构以所述各个滚珠的位置不会脱离绕电子束的中心轴设定的区域的方式，来限制各滚珠的转动范围，由此，即便在使移动部反复移动后各滚珠的相对位置稍微变化，也能够将各滚珠相互的位置的偏离限制在固定范围内。而且，该限制机构在装置的组装时也发挥作用而容易操作滚珠。

限制各个滚珠的转动范围的限制机构，也可设置于引导用平坦面侧与被引导用平坦面侧中的任一侧。而且，作为其具体的构成，可采用如下结构等：将以规定的能够转动的区域包围各个滚珠的周围的环固定于任一平坦面(发明3)，或者在任一平坦面形成能够确保各个滚珠能够分别进行规定转动的区域的凹坑状的凹陷部，且将各滚珠收容于该凹陷部内(发明4)，此外，在任一平坦面形成圆环状的槽，设置将该槽内在周向隔开的隔板而限制各个滚珠的转动范围(发明5)。

在将引导机构的接触部分设为凸曲面与平坦面的接触的情况下，关于凸曲面，只要例如利用熔接或焊接等将滚珠固定于引导部或被引导部而形成球面，则其制作也变得容易。

[发明的效果]

根据本发明，维持高真空度的状态，能够以轻的力使靶材相对于电子束的照射位置容易地移动，并且，无须为了获得该作用效果而设置大型结构体，因此也不会对透视扩大率造成影响。因此，如果将本发明尤其应用于具备使用了密闭型真空容器的透过型靶材的X射线产生装置，则能够提高所述效果。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式中的靶材附近的示意性纵剖视图。

图2是图1中的A-A线剖视图。

图3(a)、图3(b)是表示本发明的另一实施方式中的滚珠附近的主要部分剖视图。

图4(a)、图4(b)是表示本发明的又一实施方式中的滚珠附近的主要部分剖视图。

图5(a)、图5(b)是表示能够应用于图1的形态的移动机构的一例的概念图。

图6是表示本发明的又一实施方式中的靶材附近的示意性纵剖视图。

图7是表示使引导机构进行凸曲面与平坦面的滑动接触的情况下的接触部的结构的示意图。

图8是表示使用了开放型的真空容器的X射线产生装置的构成例的示意性剖视图。

图9是使用了密闭型的真空容器的与图8相同的示意性剖视图。

图10是表示使用真空波纹管使对靶材的电子束照射位置变化的情况下的靶材附近的主要部分构成例的示意性剖视图。

[主要元件符号说明]

1：本体部 1a：贯通孔

2：真空波纹管 3：移动部

3a：凹部 4、504、604：靶材

5、505、605：X射线照射窗 10：引导部

10a：引导用平坦面 11：环

12：滚珠(转动体) 13：被引导部

13a：被引导用平坦面 14：偏心环

21：滚珠 111：凹陷部

211：槽 211a：隔板

501、601：真空容器 502、602：电子枪

503：真空泵 B：电子束

具体实施方式

以下，一边参照附图一边对本发明的实施方式进行说明。

图1是示意性地表示本发明的实施方式中的靶材附近的纵剖面图，图2是图1中的A-A线剖面图。另外，图1相当于图2中的a-b-c-d-e-f剖面。而且，该实施方式中的X射线产生装置的基本构成与所述图9同样地，使用密闭型真空容器与透过型靶材。

图1所示的真空容器包含：收容固定着电子枪(未图示)的本体部1，及经由真空波纹管2而与该本体部1气密地连结的移动部3。即，在本体部1的顶部形成着贯通孔1a，在该贯通孔1a的周围利用熔接或焊接气密地固定着真空波纹管2的一端部。同样地，真空波纹管2的另一端部气密地固定于形成在移动部3的凹部3a的周围。

积层形成着靶材4的X射线照射窗5以形成凹部3a的顶部的方式固定于移动部3。由此，本体部1的壁体与真空波纹管2成为形成真空容器的壁体，且它们的内侧区域V为抽成真空的状态，所述真空波纹管2的下端部气密地与该本体部1连通，并且，上端部由X射线照射窗5封闭。

来自固定于本体部1侧的电子枪的电子束B，从本体部1通过贯通孔1a并穿过真空波纹管2内，而照射到靶材4。

在本体部1的上表面，以包围真空波纹管2的外侧的方式固定着圆环状的引导部10，在该引导部10的上表面，形成着沿着与电子束B的中心轴正交的面的引导用平坦面10a。

另一方面，在移动部3的下表面，以与引导用平坦面10a相向的方式形成着被引导用平坦面13a，该部分构成被引导部13。而且，在引导用平坦面10a与被引导用平坦面13a之间介隔存在彼此相同尺寸的三个滚珠(钢球)12。

各滚珠12如图2所示，在固定于引导用平坦面10a的三个环11内各配置一个，由此，各滚珠12的相互的位置关系被限制为将电子束B的中心轴的周围大致3等分的位置，相互的位置关系未大幅偏离。即，各环11被固定于将以电子束B的中心轴为圆心的圆进行3等分的位置，配置于该各环11内的各滚珠12的转动范围被限定于该各环11的内侧。由此，当如后述般使移动部3反复移动时，即便各自移动时因各滚珠12的转动而各滚珠12的相互的位置关系发生稍微偏离，因环11的限制，各滚珠12的位置关系也不会大幅偏离。

而且，因环11的存在，装置组装时在引导用平坦面10a上各滚珠12的位置受到限制，从而也具有使滚珠12操作变得容易的优点。

以上的构成中，成为如下状态，即，因真空容器的内外的压力差，真空波纹管2收缩，从而设置于移动部3的被引导用平坦面13a被挤压到各滚珠12。由此，移动部3成为在其被引导用平坦面13a经由相同尺寸的三个滚珠12支撑于引导用平坦面10a的状态，而成为沿着与电子束B的中心轴正交的方向的姿势。

为了使移动部3移动，从任意的水平方向施加力即可。此时，利用由真空容器内外的压力差引起的真空波纹管2的收缩，向下的强的力作用于移动部3，在形成于移动部3的下表面的被引导用平坦面13a与本体部1侧的引导用平坦面10a之间，介隔存在相对于所述两个平坦面滚动接触的滚珠12，因而，比起平坦面彼此面接触的情况，其摩擦阻力得到大幅减轻，能够以轻的力使其容易地移动。

以上的实施方式中应特别注意的方面为利用极其紧凑的构成减轻了限制移动部3的移动的引导机构的摩擦阻力，因X射线照射窗5的X射线照射方向外侧不存在结构体或突起等，所以能够应用本发明，而不会对使用了透过型靶材的X射线产生装置的优点即高透视扩大率进行任何破坏。

此处，以上的例中表示使用三个滚珠作为转动体的例，只要转动体的个数为三个以上，则不作特别限定。

作为限制滚珠12的转动范围的机构，除使用所述环11以外，也可采用图3(a)、图3(b)及图4(a)、图4(b)所示的构成。图3(a)、图3(b)表示转动体(滚珠)附近的另一构成例，图3(a)是表示主要部分的纵剖视图，图3(b)是图3(a)的B-B线剖视图。图3(a)、图3(b)所示的构成中，在引导构件10的上表面形成多个凹陷部111，在该凹陷部111内各配置一个滚珠12，将各滚珠12的转动范围限制于该凹陷部111的内侧。

而且，图4(a)、图4(b)是表示转动体(滚珠)附近的另一构成例的图，图4(a)是表示主要部分的纵剖视图，图4(b)是图4(a)的C-C线剖视图。图4(a)、图4(b)所示的构成中，在引导构件10的上表面形成以电子束B的中心轴为圆心的圆环状的槽211，且在该槽211内配置多个滚珠12，并且利用固定于槽211内的一组两块隔板211a来限制槽211内的各个滚珠12的朝向周向的转动范围。

关于包含以上的环11或凹陷部111、或者槽211与隔板211a的转动范围的限制机构，如所述各例中所示般，除设置于本体部1的引导部10侧以外，即便设置于移动部3的被引导部13侧也能够实现同等的作用效果。

且说，以上的实施方式中未对使移动部3移动的机构作任何限定，将一例概念性地表示于图5(a)、图5(b)中。另外，图5(b)表示使偏心环14从图5(a)的状态旋转180°后的状态。

如图5(a)、图5(b)所示，能够构成为如下：在移动部3的外侧，配置内周面相对于外周面偏心的偏心环14，以电子束B的中心轴为圆心使偏心环14以外周面为基准转动，由此，其内周面抵接于移动部3的外周面而使该移动部3的中心O相对于电子束B的中心轴偏心。

如根据图5(a)、图5(b)可知，能够在与偏心环14的转动位置相应的方向上使移动部3从电子束B的中心轴偏心，进而能使靶材4的电子束B的照射位置在距离移动部3的中心O为规定距离的圆上跨及360°而变化。

此处，以上的实施方式中，表示了如下的例，即，将引导部10固定于真空容器的本体部1的上表面并竖起，且在引导部10的上表面形成引导用平坦面10a，但例如图6所示，也可将本体部1的上表面直接作为引导用平坦面10a，另一方面，将被引导部13固定于移动部3的下表面并使其面向下方，在该被引导部13的下表面形成被引导用平坦面13a，且在这些平坦面之间介隔存在多个滚珠12。该情况下，各滚珠12的转动范围由环11等转动范围的限制机构所限制，所述环11设置于引导用平坦面10a或被引导用平坦面13a中的任一侧。该情况下，也能够实现与所述例完全同等的作用效果。

而且，以上的实施方式中，表示了使用滚珠作为转动体的例，但本发明未必需要使用滚珠，也可使用其他转动体，例如圆筒形辊(cylindrical roller)等。然而，因圆筒形辊仅能够朝一方向转动，所以移动部的移动被限制为一维方向。因此，在使用圆筒形辊的情况下，能够采用如下构成，即，在引导用平坦面或被引导用平坦面，隔着电子束的中心轴而在其两侧设置沿着圆筒形辊的转动方向的相互平行的引导槽等，在各个引导槽内收容多个圆筒形辊而对各圆筒形辊的端面进行引导，并且在其滚动方向上设置隔板等，由此防止各个圆筒形辊的偏离。

此外，在引导用平坦面上，隔着电子束的中心轴而在其两侧平行地形成着剖面为V字形状的槽(V形槽)，在该槽上载置滚珠的情况下也仅能够朝一方向转动，从而发挥与所述圆筒形辊相同的作用效果。关于V形槽，就字面来说并非指平坦面，载置于两条V形槽上的滚珠所接触的线状位置(四条直线)包含于一个平面内，因而本说明书中这种构成也包含于本发明的引导用平坦面。

以上的各例表示使用转动体达成本发明的目的的例，但本发明不限于此，即便利用使平坦面与凸曲面接触的构成也能够实现依据所述各例的目的效果。该情况下的构成中，代替例如图1、图2所示的实施方式中的滚珠12，在引导部10的上表面突出形成着多个凸曲面，使该各凸曲面与移动部3侧的被引导用平坦面13a抵接。另外，该情况下当然不需要环11。

然而，因在构件突出形成多个凸曲面并不容易，所以例如图7所示，采用利用熔接或焊接等将滚珠(钢球)21固定于引导部10的表面的方法即可，且使被引导用平坦面13a抵接于该各滚珠21的顶部即可。

根据所述构成，由于引导部10与被引导部13(被引导用平坦面13a)滑动接触，所以比起使用所述转动体12而滚动接触的之前的各例，摩擦阻力的减轻效果稍低，但比起使平坦面彼此滑动接触的情况则能够减轻摩擦阻力，而且，能够防止平坦面彼此接触时所产生的振铃现象。

而且，在采用如以上的组合了凸曲面与平坦面的构成的情况下，当然也可将凸曲面设置于本体部1的引导部10侧，在移动部3的被引导部13侧形成被引导用平坦面13a，并且将凸曲面设置于移动部3的被引导部13侧，在本体部1的引导部10侧形成引导用平坦面10a。而且，凸曲面的形成数量只要为三个部位以上，则能够设为任意的数量。

Claims (7)

1.一种X射线产生装置，在真空容器内配置着电子枪，使通过将来自所述电子枪的电子束照射到靶材而产生的X射线，经由X射线照射窗出射到外部，所述X射线产生装置的特征在于：所述真空容器包括：固定着所述电子枪的本体部、及能够经由真空波纹管相对于所述本体部移动且气密地连结的移动部，在所述移动部设置着所述靶材及所述X射线照射窗，并且在所述真空容器的外侧设置着引导机构，所述引导机构在所述移动部的移动时为了将所述靶材的电子束照射面与所述电子枪的距离保持为固定而限制所述移动部的朝向相对于所述电子枪的接近或离开方向的移动及倾斜；

所述引导机构包括：引导部，设置于所述本体部侧且形成着沿着与所述电子束的中心轴正交的面的引导用平坦面；被引导部，设置于所述移动部侧且形成着与所述引导用平坦面相向的被引导用平坦面；以及至少三个转动体，配置于所述引导用平坦面与所述被引导用平坦面间。

2.根据权利要求1所述的X射线产生装置，其特征在于：所述转动体为滚珠，在所述引导用平坦面或所述被引导用平坦面设置着限制机构，所述限制机构以各个所述滚珠不会脱离绕所述电子束的中心轴且针对各所述滚珠的每一个所设定的区域的方式，来限制各自的转动范围。

3.根据权利要求2所述的X射线产生装置，其特征在于：所述限制机构为环状构件，所述环状构件在所述引导用平坦面或所述被引导用平坦面以包围各个所述滚珠的方式固定。

4.根据权利要求2所述的X射线产生装置，其特征在于：所述限制机构为凹陷部，所述凹陷部在所述引导用平坦面或所述被引导用平坦面以收容各个所述滚珠的方式形成。

5.根据权利要求2所述的X射线产生装置，其特征在于：所述限制机构为槽及隔板，所述槽在所述引导用平坦面或所述被引导用平坦面绕所述电子束的中心轴呈环状形成，所述隔板设置于所述槽内且限制各个所述滚珠在槽内的朝向周向的移动。

6.一种X射线产生装置，在真空容器内配置着电子枪，使通过将来自所述电子枪的电子束照射到靶材而产生的X射线，经由X射线照射窗出射到外部，所述X射线产生装置的特征在于：所述真空容器包括：固定着所述电子枪的本体部，及能够经由真空波纹管相对于所述本体部移动且气密地连结的移动部，在所述移动部设置着所述靶材及所述X射线照射窗，并且在所述真空容器的外侧设置着引导机构，所述引导机构在所述移动部的移动时为了将所述靶材的电子束照射面与所述电子枪的距离保持为固定而限制所述移动部的朝向相对于所述电子枪的接近或离开方向的移动及倾斜；

所述引导机构包括设置于所述本体部侧的引导部、及设置于所述移动部侧的被引导部，在这些中的其中一者形成着平坦面，在另一者形成着分别与所述平坦面抵接的至少三个部位的凸曲面。

7.根据权利要求6所述的X射线产生装置，其特征在于：所述凸曲面为球面。