CN106119790A - 一种钨镍合金靶材加工方法 - Google Patents
一种钨镍合金靶材加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106119790A CN106119790A CN201610656587.0A CN201610656587A CN106119790A CN 106119790 A CN106119790 A CN 106119790A CN 201610656587 A CN201610656587 A CN 201610656587A CN 106119790 A CN106119790 A CN 106119790A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- target
- tungsten
- protective layer
- nickel
- powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
- C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
- B22F3/02—Compacting only
- B22F3/04—Compacting only by applying fluid pressure, e.g. by cold isostatic pressing [CIP]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
- B22F3/12—Both compacting and sintering
- B22F3/14—Both compacting and sintering simultaneously
- B22F3/15—Hot isostatic pressing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
- B22F3/24—After-treatment of workpieces or articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F7/00—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression
- B22F7/06—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression of composite workpieces or articles from parts, e.g. to form tipped tools
- B22F7/08—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression of composite workpieces or articles from parts, e.g. to form tipped tools with one or more parts not made from powder
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C27/00—Alloys based on rhenium or a refractory metal not mentioned in groups C22C14/00 or C22C16/00
- C22C27/04—Alloys based on tungsten or molybdenum
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
- B22F3/24—After-treatment of workpieces or articles
- B22F2003/247—Removing material: carving, cleaning, grinding, hobbing, honing, lapping, polishing, milling, shaving, skiving, turning the surface
Landscapes
- Mechanical Engineering (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
本发明公开了一种钨镍合金靶材加工方法,先采用冷等静压工艺对钨、镍混合粉末和不锈钢空心管进行首次致密化和预成型,形成半致密的钨、镍混合粉末和不锈钢初始坯料,使后续的热等静压工艺对钨、镍混合粉末和不锈钢初始坯料可以进行更好的致密,以较好的对靶材的部分表面进行喷砂处理,同时不影响到靶材的其他不需要喷砂的部分。
Description
技术领域
本发明涉及合金材料制造领域,具体涉及一种钨镍合金靶材加工方法。
背景技术
近年来,随着溅射靶材和溅射技术的日益发展,溅射靶材在溅射技术中起到了越来越重要的作用,溅射靶材的质量直接影响到了溅射后的成膜质量。溅射靶材主要分为平面靶材和管靶,所述管靶通常由溅射靶材和背管组成,与平面靶相比,管靶的利用率更高且溅射后成膜质量更好,在靶材市场具有巨大的发展潜力。
W-Ni硬质合金具有高强度、高硬度、优良的耐磨性、耐热性以及良好的抗腐蚀性等特点,因此广泛应用于高压、高转速、高温、腐蚀性介质等工作环境。由于Ni属于面心立方(F.c.c)晶系,塑性很好,在湿磨过程中容易发生塑性变形,形成片状的Ni粉团。
钨镍靶材是一种比较典型的合金靶材,钨镍合金具有低电阻系数,良好的热稳定性和抗氧化性;同时,加工性能好,韧性高的特点,因此以钨、镍混合粉末作为溅射靶材的原料,由这两种原料制成的钨镍管靶已成为半导体领域用量较大的管靶之一。就目前而言,用于半导体制造用的钨镍管靶不仅对致密性、硬度和可加工型有很高的要求,同时对材料的内部组织均匀性也有着很高的要求。
由于在溅射过程中,靶材的边缘处上会留有溅射产生的颗粒物,这些颗粒物逐渐积累变成沉积物。沉积物在靶材上聚集到一定程度后会发生剥落现象(peeling),剥落的沉积物不仅会影响溅射环境,还容易掉落在产品表面上,导致产品有缺陷甚至报废。为此,现有技术会对靶材的部分非溅射区域进行喷砂处理,这样经过喷砂的部分表面变得粗糙,进而变得容易吸附沉积物,减少剥落现象发生的几率。
发明内容
本发明提供一种钨镍合金靶材加工方法,先采用冷等静压工艺对钨、镍混合粉末和不锈钢空心管进行首次致密化和预成型,形成半致密的钨、镍混合粉末和不锈钢初始坯料,使后续的热等静压工艺对钨、镍混合粉末和不锈钢初始坯料可以进行更好的致密,以较好的对靶材的部分表面进行喷砂处理,同时不影响到靶材的其他不需要喷砂的部分。
为了实现上述目的,本发明提供了一种钨镍合金靶材加工方法,该方法包括如下步骤:
(1)制备靶材
提供钨和镍混合粉末,所述钨粉和镍粉的质量比为9.95:1至10.05:1;
对所述钨和镍混合粉末进行冷等静压工艺,形成钨和镍混合粉末初始坯料;
将所述钨和镍混合粉末初始坯料装入真空包套并对所述真空包套抽真空后,对所述钨和镍混合初始坯料进行热等静压工艺,形成钨镍合金;
去除所述真空包套,获得以所述钨镍合金靶材;
其中,所述冷等静压工艺的工艺温度为50℃至150℃,环境压强为170MPa至190MPa,在所述工艺温度和环境压强下的工艺时间为15分钟至25分钟;
其中,所述热等静压工艺包括加热工艺和热等静压烧结工艺;
所述加热工艺的工艺温度为300℃至400℃,在所述温度下保温5小时至7小时;
所述热等静压烧结工艺的工艺温度为1150℃至1250℃,环境压强为160MPa至200MPa,在所述工艺温度和环境压强下的工艺时间为5小时至7小时;
(2)喷砂处理
提供所述钨镍合金靶材,所述靶材包括待喷砂区域以及不需要喷砂的保留区域;
至少在所述保留区域靠近待喷砂区域的部分,以及部分待喷砂区域粘贴保护层;
去除位于待喷砂区域的保护层,以完全露出靶材的待喷砂区域;
对靶材的待喷砂区域进行喷砂处理;
在喷砂处理的步骤之后,去除靶材上剩余的保护层。
优选的,在所述步骤(2)中,提供所述钨镍合金靶材的步骤包括:去除位于待喷砂区域的保护层的步骤包括:采用铣削的方式去除所述待喷砂区域的保护层;
其中,去除位于待喷砂区域的保护层的步骤包括:在车刀与粘贴有保护层的靶材表面之间设置不大于保护层厚度的间隙,使所述间隙在0.02mm~0.04mm的范围内;
去除位于待喷砂区域的保护层的步骤之后,进行喷砂处理的步骤之前,所述靶材加工方法还包括:采用刀片对于靶材待喷砂区域表面进行去胶处理;
粘贴保护层的步骤之后,进行喷砂处理的步骤之前,所述靶材加工方法还包括:采用盖板对保留区域未粘贴保护层的部分进行遮挡。
本发明的优点在于,先采用冷等静压工艺对钨、镍混合粉末和不锈钢空心管进行首次致密化和预成型,形成半致密的钨、镍混合粉末和不锈钢初始坯料,使后续的热等静压工艺对钨、镍混合粉末和不锈钢初始坯料可以进行更好的致密,以较好的对靶材的部分表面进行喷砂处理,同时不影响到靶材的其他不需要喷砂的部分。
具体实施方式
实施例一
制备靶材
提供钨和镍混合粉末,所述钨粉和镍粉的质量比为9.95:1;
对所述钨和镍混合粉末进行冷等静压工艺,形成钨和镍混合粉末初始坯料;
将所述钨和镍混合粉末初始坯料装入真空包套并对所述真空包套抽真空后,对所述钨和镍混合初始坯料进行热等静压工艺,形成钨镍合金;
去除所述真空包套,获得以所述钨镍合金靶材。
其中,所述冷等静压工艺的工艺温度为50℃,环境压强为170MPa,在所述工艺温度和环境压强下的工艺时间为15分钟。
其中,所述热等静压工艺包括加热工艺和热等静压烧结工艺;
所述加热工艺的工艺温度为300℃,在所述温度下保温5小时;
所述热等静压烧结工艺的工艺温度为1150℃,环境压强为160MPa,在所述工艺温度和环境压强下的工艺时间为5小时。
喷砂处理
提供所述钨镍合金靶材,所述靶材包括待喷砂区域以及不需要喷砂的保留区域;至少在所述保留区域靠近待喷砂区域的部分,以及部分待喷砂区域粘贴保护层;去除位于待喷砂区域的保护层,以完全露出靶材的待喷砂区域;对靶材的待喷砂区域进行喷砂处理;在喷砂处理的步骤之后,去除靶材上剩余的保护层。
优选的,提供所述钨镍合金靶材的步骤包括:去除位于待喷砂区域的保护层的步骤包括:采用铣削的方式去除所述待喷砂区域的保护层。
其中,去除位于待喷砂区域的保护层的步骤包括:在车刀与粘贴有保护层的靶材表面之间设置不大于保护层厚度的间隙,使所述间隙在0.02mm~0.04mm的范围内。
去除位于待喷砂区域的保护层的步骤之后,进行喷砂处理的步骤之前,所述靶材加工方法还包括:采用刀片对于靶材待喷砂区域表面进行去胶处理。
粘贴保护层的步骤之后,进行喷砂处理的步骤之前,所述靶材加工方法还包括:采用盖板对保留区域未粘贴保护层的部分进行遮挡。
实施例二
制备靶材
提供钨和镍混合粉末,所述钨粉和镍粉的质量比为10.05:1;
对所述钨和镍混合粉末进行冷等静压工艺,形成钨和镍混合粉末初始坯料;
将所述钨和镍混合粉末初始坯料装入真空包套并对所述真空包套抽真空后,对所述钨和镍混合初始坯料进行热等静压工艺,形成钨镍合金;
去除所述真空包套,获得以所述钨镍合金靶材。
其中,所述冷等静压工艺的工艺温度为150℃,环境压强为190MPa,在所述工艺温度和环境压强下的工艺时间为25分钟。
其中,所述热等静压工艺包括加热工艺和热等静压烧结工艺;
所述加热工艺的工艺温度为400℃,在所述温度下保温7小时;
所述热等静压烧结工艺的工艺温度为1250℃,环境压强为200MPa,在所述工艺温度和环境压强下的工艺时间为7小时。
喷砂处理
提供所述钨镍合金靶材,所述靶材包括待喷砂区域以及不需要喷砂的保留区域;至少在所述保留区域靠近待喷砂区域的部分,以及部分待喷砂区域粘贴保护层;去除位于待喷砂区域的保护层,以完全露出靶材的待喷砂区域;对靶材的待喷砂区域进行喷砂处理;在喷砂处理的步骤之后,去除靶材上剩余的保护层。
优选的,提供所述钨镍合金靶材的步骤包括:去除位于待喷砂区域的保护层的步骤包括:采用铣削的方式去除所述待喷砂区域的保护层。
其中,去除位于待喷砂区域的保护层的步骤包括:在车刀与粘贴有保护层的靶材表面之间设置不大于保护层厚度的间隙,使所述间隙在0.02mm~0.04mm的范围内。
去除位于待喷砂区域的保护层的步骤之后,进行喷砂处理的步骤之前,所述靶材加工方法还包括:采用刀片对于靶材待喷砂区域表面进行去胶处理。
粘贴保护层的步骤之后,进行喷砂处理的步骤之前,所述靶材加工方法还包括:采用盖板对保留区域未粘贴保护层的部分进行遮挡。
Claims (2)
1. 一种钨镍合金靶材加工方法,该方法包括如下步骤:
(1)制备靶材
提供钨和镍混合粉末,所述钨粉和镍粉的质量比为9.95:1至10.05:1;
对所述钨和镍混合粉末进行冷等静压工艺,形成钨和镍混合粉末初始坯料;
将所述钨和镍混合粉末初始坯料装入真空包套并对所述真空包套抽真空后,对所述钨和镍混合初始坯料进行热等静压工艺,形成钨镍合金;
去除所述真空包套,获得以所述钨镍合金靶材;
其中,所述冷等静压工艺的工艺温度为50℃至150℃,环境压强为170MPa至190MPa,在所述工艺温度和环境压强下的工艺时间为15分钟至25分钟;
其中,所述热等静压工艺包括加热工艺和热等静压烧结工艺;
所述加热工艺的工艺温度为300℃至400℃,在所述温度下保温5小时至7小时;
所述热等静压烧结工艺的工艺温度为1150℃至1250℃,环境压强为160MPa至200MPa,在所述工艺温度和环境压强下的工艺时间为5小时至7小时;
(2)喷砂处理
提供所述钨镍合金靶材,所述靶材包括待喷砂区域以及不需要喷砂的保留区域;
至少在所述保留区域靠近待喷砂区域的部分,以及部分待喷砂区域粘贴保护层;
去除位于待喷砂区域的保护层,以完全露出靶材的待喷砂区域;
对靶材的待喷砂区域进行喷砂处理;
在喷砂处理的步骤之后,去除靶材上剩余的保护层。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述步骤(2)中,提供所述钨镍合金靶材的步骤包括:去除位于待喷砂区域的保护层的步骤包括:采用铣削的方式去除所述待喷砂区域的保护层;
其中,去除位于待喷砂区域的保护层的步骤包括:在车刀与粘贴有保护层的靶材表面之间设置不大于保护层厚度的间隙,使所述间隙在0.02mm~0.04mm的范围内;
去除位于待喷砂区域的保护层的步骤之后,进行喷砂处理的步骤之前,所述靶材加工方法还包括:采用刀片对于靶材待喷砂区域表面进行去胶处理;
粘贴保护层的步骤之后,进行喷砂处理的步骤之前,所述靶材加工方法还包括:采用盖板对保留区域未粘贴保护层的部分进行遮挡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610656587.0A CN106119790A (zh) | 2016-08-12 | 2016-08-12 | 一种钨镍合金靶材加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610656587.0A CN106119790A (zh) | 2016-08-12 | 2016-08-12 | 一种钨镍合金靶材加工方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106119790A true CN106119790A (zh) | 2016-11-16 |
Family
ID=57257686
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201610656587.0A Pending CN106119790A (zh) | 2016-08-12 | 2016-08-12 | 一种钨镍合金靶材加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106119790A (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107604334A (zh) * | 2017-09-21 | 2018-01-19 | 中国建筑材料科学研究总院 | 氧化镍钨薄膜及其制备方法 |
CN110885963A (zh) * | 2019-10-09 | 2020-03-17 | 安泰天龙钨钼科技有限公司 | 一种钨镍合金靶材及其制备方法 |
CN112008083A (zh) * | 2020-08-27 | 2020-12-01 | 山东旭拓新材料科技有限公司 | 一种奥氏体不锈钢、硬质合金复合材料及其制备方法和应用 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102343437A (zh) * | 2011-11-11 | 2012-02-08 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 钨靶材的制作方法 |
CN104480446A (zh) * | 2014-12-30 | 2015-04-01 | 山东昊轩电子陶瓷材料有限公司 | 钼钛合金靶材及其生产方法 |
CN105695943A (zh) * | 2014-11-28 | 2016-06-22 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 靶材加工方法 |
-
2016
- 2016-08-12 CN CN201610656587.0A patent/CN106119790A/zh active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102343437A (zh) * | 2011-11-11 | 2012-02-08 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 钨靶材的制作方法 |
CN105695943A (zh) * | 2014-11-28 | 2016-06-22 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 靶材加工方法 |
CN104480446A (zh) * | 2014-12-30 | 2015-04-01 | 山东昊轩电子陶瓷材料有限公司 | 钼钛合金靶材及其生产方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107604334A (zh) * | 2017-09-21 | 2018-01-19 | 中国建筑材料科学研究总院 | 氧化镍钨薄膜及其制备方法 |
CN110885963A (zh) * | 2019-10-09 | 2020-03-17 | 安泰天龙钨钼科技有限公司 | 一种钨镍合金靶材及其制备方法 |
CN110885963B (zh) * | 2019-10-09 | 2022-03-04 | 安泰天龙钨钼科技有限公司 | 一种钨镍合金靶材及其制备方法 |
CN112008083A (zh) * | 2020-08-27 | 2020-12-01 | 山东旭拓新材料科技有限公司 | 一种奥氏体不锈钢、硬质合金复合材料及其制备方法和应用 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106119790A (zh) | 一种钨镍合金靶材加工方法 | |
CN110983264B (zh) | 一种高密度细晶粒易成型的w靶材的制备方法 | |
CN104480446A (zh) | 钼钛合金靶材及其生产方法 | |
US9758860B2 (en) | Indium sputtering target and method for manufacturing same | |
CN105714253A (zh) | 大尺寸、细晶钼钽合金溅射靶材的制备方法 | |
US9976212B2 (en) | Partial spray refurbishment of sputtering targets | |
CN106756846A (zh) | 一种共掺杂dlc薄膜的制备方法 | |
CN105908047B (zh) | 一种钛铝硅钽合金材料及其制备方法 | |
CN103981496B (zh) | 一种制备TiAlCrN多元涂层的装置和方法 | |
CN106544632A (zh) | 一种钨铌合金靶材加工方法 | |
CN106119788A (zh) | 一种改性钨镍合金靶材制备工方法 | |
JPH03257158A (ja) | スパッタリングターゲット | |
CN113337799A (zh) | 一种管状靶材及其制备方法 | |
JP7419885B2 (ja) | Mo合金ターゲット材およびその製造方法 | |
CN105755435A (zh) | 钛靶材的溅射表面加工方法 | |
US20090029068A1 (en) | Carbon thin film manufacturing method and carbon thin film coated body | |
CN104002202A (zh) | 一种薄带连铸结晶辊高清洁度无缺陷毛化表面制备方法 | |
JP2013249491A (ja) | 成膜方法 | |
CN111155060A (zh) | 钴靶坯的制作方法 | |
CN110656301A (zh) | 一种高速钢刀具可控渗氮-pvd复合涂层制备方法 | |
CN111733393B (zh) | 一种冷等静压后钼靶坯的表面处理方法 | |
CN112808833B (zh) | 一种制备高性能铁磁性靶材的方法 | |
US9987727B2 (en) | Induction heated vacuum furnace for making brazed diamond dental burrs | |
CN107858656B (zh) | CuSe化合物旋转靶材的制备方法 | |
CN109457087B (zh) | 一种在金属表面制备金属间化合物涂层的工艺方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20161116 |