CN106078676A - 工业用机器人以及制造*** - Google Patents

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Abstract

一种工业用机器人，其即使手的长度较长，也能在水平方向上将在内部配置有手和臂等的输送腔小型化。工业用机器人(1)具有：手(12、13)能转动地与其末端侧连接的臂(14、15)；臂(14、15)的基端侧能转动地与其连接的臂支承部(16)；臂支承部(16)能转动地与其末端侧连接的摆臂(17)；以及摆臂(17)的基端侧能转动地与其连接的主体部(18)。臂(14、15)是多关节臂。若将从上下方向观察时的臂支承部(16)的转动中心作为支承部转动中心(C1)，则臂(14、15)能收缩至手(12、13)的基端侧相对于支承部转动中心(C1)的转动半径(R2)比包含搬运对象物(2)的手(12、13)的末端侧相对于支承部转动中心(C1)的转动半径(R1)大的位置。

Description

工业用机器人以及制造***
技术领域
本发明涉及搬运搬运对象物的工业用机器人。并且，本发明涉及具有该工业用机器人的制造***。
背景技术
以往，公知有一种搬运面板原材料的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1记载的工业用机器人具有：能够升降地设置的支承单元；安装于支承单元的臂单元；以及安装于臂单元的手单元。支承单元具有：能够升降且能够转动地设置的柱部；从柱部朝向水平方向的一方向延伸的基底部；以及能够转动地支承于基底部的末端侧的头部。臂单元具有一对多关节臂，一对多关节臂的基端侧能够转动地与头部连接。手单元具有分别能够转动地与一对多关节臂各自的末端侧连接的两个手。
并且，专利文献1记载的工业用机器人用于面板处理装置。在该面板处理装置中，工业用机器人配置于输送腔的内部。具体地说，工业用机器人以从上下方向观察时支承单元的柱部的转动中心与输送腔的中心一致的方式配置。在输送腔的周围，面板供给部、多个面板处理单元以及面板搬出部以包围输送腔的方式配置。面板供给部具有面板原材料的供给端口。面板处理单元具有面板原材料的搬入搬出端口。面板搬出部具有面板原材料的搬出端口。供给端口、搬入搬出端口以及搬出端口与输送腔连接。
专利文献1记载的工业用机器人进行柱部的升降动作以及转动动作、头部的转动动作以及多关节臂的伸缩动作，从而进行面板原材料相对于面板供给部、面板处理单元以及面板搬出部的搬运。另外，在头部相对于基底部转动时，多关节臂收缩以使转动的部分的转动半径变小。
专利文献1：日本特开2014-73558号公报
发明内容
发明所要解决的课题
在利文献1记载的工业用机器人中，为了相对于面板供给部、面板处理单元以及面板搬出部适当地搬运面板原材料，根据面板供给部、面板处理单元以及面板搬出部的纵深设定手的长度。因此，若面板供给部、面板处理单元以及面板搬出部的纵深较深，则手的长度较长，在专利文献1记载的工业用机器人中，若手的长度较长，则存在头部转动时与头部一起转动的部分的转动半径变大的担忧。若与头部一起转动的部分的转动半径变大，则为了防止与头部一起转动的部分和输送腔干涉，必须在水平方向上扩大输送腔，需要用于设置面板处理装置的较大的设置空间。
因此，本发明的课题是提供一种工业用机器人，其即使手的长度较长，也能够在水平方向上将在内部配置有手、臂等的输送腔小型化。并且，本发明的课题是提供一种具有该工业用机器人的制造***。
用于解决课题的方案
为了解决上述课题，本发明的工业用机器人具有：两个手，所述两个手装载搬运对象物；两个臂，两个手分别以上下方向作为转动的轴向能够转动地与所述两个臂的末端侧连接；臂支承部，两个臂的基端侧以上下方向作为转动的轴向能够转动地与所述臂支承部连接；摆臂，臂支承部以上下方向作为转动的轴向能够转动地与所述摆臂的末端侧连接；以及主体部，摆臂的基端侧以上下方向作为转动的轴向能够转动地与主体部连接，两个臂的基端侧在彼此相邻的状态下与臂支承部连接，臂是具有能够彼此相对转动地连接的至少两个臂部的多关节臂，并且所述臂能够在以手的末端离开臂支承部的方式伸展的位置和以手的末端靠近臂支承部的方式收缩的位置之间伸缩，若将从上下方向观察时的臂支承部相对于摆臂的转动中心作为支承部转动中心，则臂能够收缩至手的基端侧相对于支承部转动中心的转动半径比在搬运对象物装载于手的状态下的、包含搬运对象物的手的末端侧相对于支承部转动中心的转动半径大的位置。
在本发明的工业用机器人中，若将从上下方向观察时的臂支承部相对于摆臂的转动中心作为支承部转动中心，则臂能够收缩至手的基端侧相对于支承部转动中心的转动半径比在搬运对象物装载于手的状态下的、包含搬运对象物的手的末端侧相对于支承部转动中心的转动半径大的位置。因此，在本发明中，在臂收缩至手的基端侧相对于支承部转动中心的转动半径比包含搬运对象物的手的末端侧相对于支承部转动中心的转动半径大的位置的状态下，通过使臂支承部相对于摆臂朝向规定方向转动，即使手的长度变长，并且，即使在水平方向上将输送腔小型化，也能够防止在臂支承部相对于摆臂转动时转动的部分与输送腔的壁面的干涉，并能够将腔在水平方向上小型化。
并且，在本发明中，在将臂收缩至手的基端侧相对于支承部转动中心的转动半径比包含搬运对象物的手的末端侧相对于支承部转动中心的转动半径大的位置的状态下，并且在以摆臂相对于主体部转动时手的末端侧靠近输送腔的壁面的方式配置臂以及手的状态下，通过使摆臂相对于主体部转动，即使手的长度变长，并且，即使在水平方向上将输送腔小型化，也能够防止在摆臂相对于主体部转动时转动的部分与输送腔的壁面干涉。因此，在本发明中，即使手的长度变长，也能够在水平方向上将输送腔小型化。
并且，在本发明中，在将臂收缩至手的基端侧相对于支承部转动中心的转动半径比包含搬运对象物的手的末端侧相对于支承部转动中心的转动半径大的位置的状态下，并且在以摆臂相对于主体部转动时手的末端侧靠近输送腔的壁面的方式配置臂以及手的状态下，通过使摆臂相对于主体部转动，即使缩短摆臂的长度，也能够防止在摆臂相对于主体部转动时转动的部分与输送腔的壁面干涉。因此，在本发明中，能够通过缩短摆臂的长度而在水平方向上将工业用机器人小型化，其结果是，能够在水平方向上将输送腔小型化。并且，在本发明中，由于能够缩短摆臂的长度，因此即使将摆臂的厚度(上下方向的厚度)减薄，也能够确保摆臂的刚性。因此，在本发明中，能够通过将摆臂的厚度减薄而在上下方向(铅垂方向)上将工业用机器人小型化，其结果是，能够在上下方向上将输送腔小型化。
在本发明中，例如，在从上下方向观察时的形状是正方形状的输送腔的内部配置手、臂、臂支承部以及摆臂。
本发明的工业用机器人能够用于具有输送腔的制造***。在该制造***中，例如，从上下方向观察时，若将与呈正方形状的输送腔的一边平行的方向作为第一方向，将与第一方向正交的方向作为第二方向，将第一方向的一侧作为第三方向侧，将与第三方向侧相反的一侧作为第四方向侧，则从上下方向观察时，作为摆臂相对于主体部的转动中心的臂转动中心在第二方向上配置于输送腔的中心，且在第一方向上配置于比输送腔的中心靠第四方向侧的位置，从上下方向观察时，支承部转动中心与臂转动中心之间的距离比第一方向上的输送腔的中心与臂转动中心之间的距离长，若将以臂转动中心为中心使摆臂旋转时的、从上下方向观察时的支承部转动中心的轨迹作为假想圆，则摆臂在支承部转动中心通过圆弧上的范围内以臂转动中心为中心转动，所述圆弧在从上下方向观察时构成假想圆的一部分，且位于比第一方向上的输送腔的中心靠第三方向侧的位置，当在手的末端侧配置于第三方向侧且手的基端侧配置于第四方向侧的状态下摆臂以臂转动中心为中心转动时，臂收缩至手的基端侧相对于支承部转动中心的转动半径比搬运对象物装载于手的状态下的包含搬运对象物的手的末端侧相对于支承部转动中心的转动半径大的位置，当在手的末端侧配置于第四方向侧且手的基端侧配置于第三方向侧的状态下摆臂以臂转动中心为中心转动时，臂收缩至手的基端侧相对于支承部转动中心的转动半径比搬运对象物装载于手的状态下的包含搬运对象物的手的末端侧相对于支承部转动中心的转动半径小的位置。在该制造***中，即使手的长度变长，也能够在水平方向以及上下方向(铅垂方向)上将输送腔小型化。
发明效果
如上所述，在本发明中，即使手的长度变长，也能够在水平方向上将在内部配置有手、臂等的输送腔小型化。
附图说明
图1是表示将本发明的实施方式所涉及的工业用机器人组装到制造***的状态的俯视图。
图2是图1所示的工业用机器人的主视图。
图3是图1所示的工业用机器人的侧视图。
图4是图1所示的工业用机器人的俯视图。
图5是用于说明图4所示的摆臂的动作等的俯视图。
图6是用于说明图1所示的制造***的工业用机器人的动作的俯视图。
图7是用于说明图1所示的制造***的工业用机器人的动作的俯视图。
图8是用于说明图1所示的制造***的工业用机器人的动作的俯视图。
图9是用于说明图1所示的制造***的工业用机器人的动作的俯视图。
图10是用于说明图1所示的制造***的工业用机器人的动作的俯视图。
图11是用于说明图1所示的制造***的工业用机器人的动作的俯视图。
图12是用于说明图1所示的制造***的工业用机器人的动作的俯视图。
附图标记说明
1 机器人(工业用机器人)
2 基板(玻璃基板，搬运对象物)
3 制造***
4 腔(输送腔)
12、13 手
14、15 臂
16 臂支承部
17 摆臂
18 主体部
22 第一臂部(臂部)
23 第二臂部(臂部)
C1 支承部转动中心
C4 臂转动中心
CA 圆弧
L 第一方向上的输送腔的中心与臂转动中心之间的距离
R1 手的末端侧相对于支承部转动中心的转动半径
R2 手的基端侧相对于支承部转动中心的转动半径
X 第一方向
X1 第四方向侧
X2 第三方向侧
Y 第二方向
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
(工业用机器人以及制造***的结构)
图1是表示将本发明的实施方式所涉及的工业用机器人1组装到制造***3的状态的俯视图。图2是图1所示的工业用机器人1的主视图。图3是图1所示的工业用机器人1的侧视图。图4是图1所示的工业用机器人1的俯视图。图5是用于说明图4所示的摆臂17的动作等的俯视图。
本实施方式的工业用机器人1(以下作为“机器人1”)是例如用于搬运作为搬运对象物的有机EL(有机电致发光)显示屏用的玻璃基板2(以下作为“基板2”)的机器人。该机器人1是组装到有机EL显示屏的制造***3而使用的水平多关节机器人。
制造***3具有：输送腔4(以下作为“腔4”)；以及以包围腔4的方式配置的多个工艺腔5～9(以下作为“腔5～9”)。本实施方式的制造***3具有五个腔5～9。腔4～9是真空腔，腔4～9的内部是真空的。在腔4的内部配置有机器人1的一部分。通过构成机器人1的后述的叉部21进入腔5～9内，机器人1在多个腔5～9之间搬运基板2。在腔5～9配置有各种装置等，并收容通过机器人1搬运的基板2。并且，在腔5～9中，对基板2进行各种处理。
腔4形成为从上下方向观察时的形状是正方形状的大致长方体的箱状。以下，将从上下方向观察时，与呈正方形状的腔4的一边平行的方向(图1的X方向)作为“前后方向”，将与前后方向正交的方向(图1的Y方向)作为“左右方向”。并且，将前后方向的一侧(图1的X2方向侧)作为“里侧”，将与里侧相反的一侧(图1的X1方向侧)作为“前侧”，将左右方向的一侧(图1的Y1方向侧)作为“右”侧，将与右侧相反的一侧(图1的Y2方向侧)作为“左”侧。本实施方式的前后方向(X方向)是第一方向，左右方向(Y方向)是第二方向，里侧(X2方向侧)是第三方向侧，前侧(X1方向侧)是第四方向侧。
腔5配置于腔4的左侧。并且，腔5在前后方向上以腔5的中心与腔4的中心一致的方式配置。腔6、7配置于腔4的前侧，腔8、9配置于腔4的里侧。并且，腔6和腔7以在左右方向上相邻的方式配置，腔8和腔9以在左右方向上相邻的方式配置。腔6和腔8在左右方向上配置于相同的位置，腔7和腔9在左右方向上配置于相同的位置。并且，腔6、8配置于比腔7、9靠左侧的位置。在腔5～9各自与腔4的连接部分形成有门。
机器人1具有：装载基板2的两个手12、13；手12能够转动地与其末端侧连接的臂14；手13能够转动地与其末端侧连接的臂15；臂14、15的基端侧能够转动地与其连接的臂支承部16；臂支承部16能够转动地与其末端侧连接的摆臂17；以及摆臂17的基端侧能够转动地与其连接的主体部18。手12、13、臂14、15、臂支承部16以及摆臂17配置于主体部18的上侧。手12、13、臂14、15、臂支承部16、摆臂17以及主体部18的上端侧配置于腔4的内部。
手12、13具有：与臂14、15连接的基部20；以及装载基板2的叉部21。叉部21以从基部20朝向水平方向突出的方式固定于基部20。基板2装载于叉部21的末端侧部分。即，基板2装载于手12、13的末端侧部分。在本实施方式中，腔5～9的纵深较深，叉部21的长度较长。即，手12、13的长度较长。并且，在本实施方式中，手12配置于比手13靠上侧的位置。
臂14、15分别是由彼此能够相对转动地连接的第一臂部22和第二臂部23这两个臂部构成的多关节臂。第一臂部22的基端侧以上下方向作为转动的轴向能够转动地与臂支承部16连接。臂14的第一臂部22的基端侧与臂15的第一臂部22的基端侧以在水平方向上彼此相邻的状态与臂支承部16连接。即，两个臂14、15的基端侧在彼此相邻的状态下与臂支承部16连接。并且，臂14与臂15在彼此相邻的状态下配置，且在上下方向上配置于相同的位置。
第二臂部23的基端侧以上下方向作为转动的轴向能够转动地与第一臂部22的末端侧连接。手12、13以上下方向作为转动的轴向能够转动地与第二臂部23的末端侧连接。在水平方向上，第一臂部22相对于臂支承部16的转动中心与第二臂部23相对于第一臂部22的转动中心之间的距离与第二臂部23相对于第一臂部22的转动中心与手12、13相对于第二臂部23的转动中心之间的距离相等。
臂14、15能够在以手12、13的末端离开臂支承部16的方式伸展的位置(参照图7～图10、图12)和以手12、13的末端靠近臂支承部16的方式收缩的位置(参照图1)之间伸缩。在臂14、15分别连接有分别使臂14、15伸缩的臂驱动机构。臂驱动机构以手12、13在朝向固定方向的状态下直线地移动的方式使臂14、15伸缩。在本实施方式中，在臂14、15的伸缩量相等时，手12与手13在上下方向上重叠。并且，此时，从上下方向观察时，臂14与臂15呈线对称配置。
臂支承部16形成为圆板状。该臂支承部16以上下方向作为转动的轴向能够转动地与摆臂17的末端侧连接。如图4所示，从上下方向观察时，若将作为臂支承部16相对于摆臂17的转动中心的支承部转动中心C1、作为臂14的第一臂部22相对于臂支承部16的转动中心的臂转动中心C2、以及作为臂15的第一臂部22相对于臂支承部16的转动中心的臂转动中心C3连接，则形成等腰三角形。在臂支承部16连接有使臂支承部16转动的转动机构。另外，臂支承部16既可形成为三角板状、四角板状等多角板状，也可形成为椭圆板状等。
摆臂17由从上下方向观察时的形状是长圆形状的一个臂部构成。摆臂17的基端侧以上下方向作为转动的轴向能够转动地与主体部18连接。主体部18具有形成为中空状的壳体24。在壳体24中收容有：使摆臂17转动的转动机构；以及使摆臂17升降的升降机构。
在本实施方式中，如图4所示，臂14、15能够收缩至手12、13的基端侧相对于支承部转动中心C1的转动半径(更加具体地说，手12、13的基端侧的最大转动半径)R2比基板2装载于手12、13的状态下的包含基板2的手12、13的末端侧相对于支承部转动中心C1的转动半径(更加具体地说，包含基板2的手12、13的末端侧的最大转动半径)R1大的位置。在此，在臂14、15最大程度地收缩、转动半径R1最小时的转动半径R1形成为如下尺寸：如图1的双点划线所示，从上下方向观察时，臂14、15伸缩时的第一臂部22的末端不从由转动半径R1规定的假想圆露出。
并且，如图5所示，从上下方向观察时，作为摆臂17相对于主体部18的转动中心的臂转动中心C4在左右方向上配置于腔4的中心，并且在前后方向上配置于比腔4的中心靠前侧的位置。并且，从上下方向观察时，臂转动中心C4与支承部转动中心C1之间的距离比前后方向上的腔4的中心与臂转动中心C4之间的距离L(即，前后方向上的腔4的中心线CL1与臂转动中心C4之间的距离L)长。
若将以臂转动中心C4为中心使摆臂17旋转时的、从上下方向观察时的支承部转动中心C1的轨迹作为假想圆，则在本实施方式中，如图5所示，摆臂17在支承部转动中心C1通过圆弧CA上的范围内以臂转动中心C4为中心转动，所述圆弧CA从上下方向观察时构成该假想圆的一部分，且所述圆弧CA位于比前后方向上的腔4的中心靠里侧的位置。在本实施方式中，从上下方向观察时，前后方向上的腔4的中心线CL1与该假想圆的两个交点(即，圆弧CA的两端点)中的一方和左右方向上的腔6、8的中心线CL2与中心线CL1的交点一致，中心线CL1与该假想圆的两个交点中的另一方和左右方向上的腔7、9的中心线CL3与中心线CL1的交点一致。
(工业用机器人的动作)
图6～图12是用于说明图1所示的制造***3的工业用机器人1的动作的俯视图。
在制造***3中，例如，在将基板2搬入腔5或者从腔5搬出基板2前，如图6所示，以手12、13的末端侧配置于左侧且手12、13的基端侧配置于右侧的方式，在臂14、15收缩的状态下，机器人1待机。此时，从上下方向观察时，中心线CL1和中心线CL2的交点与支承部转动中心C1一致。并且，此时，臂14、15收缩至手12、13的基端侧相对于支承部转动中心C1的转动半径R2比手12、13的末端侧相对于支承部转动中心C1的转动半径R1大的位置。具体而言，在该状态下，臂14、15收缩至即使臂支承部16以支承部转动中心C1为中心转动，手12、13的末端侧也不与腔4的左侧的内壁面干涉的位置。然后，如图7所示，臂14以及臂15中的至少任意一方伸缩，将基板2搬入腔5或者从腔5搬出基板2。
并且，例如，然后，在将基板2搬入腔8或者从腔8搬出基板2的情况下，在图6所示的状态下，臂支承部16以支承部转动中心C1为中心朝向图6的顺时针方向(以下将该方向作为“顺时针方向”)转动90°。然后，如图8所示，臂14以及臂15中的至少任意一方伸缩，将基板2搬入腔8或者从腔8搬出基板2。
并且，例如，然后，在将基板2搬入腔9或者从腔9搬出基板2的情况下，如图1所示，在臂14、15收缩至转动半径R2比转动半径R1大的位置的状态下，摆臂17以臂转动中心C4为中心朝向顺时针方向转动。具体地说，从上下方向观察时，摆臂17转动至中心线CL1和中心线CL3的交点与支承部转动中心C1一致。然后，如图9所示，臂14以及臂15中的至少任意一方伸缩，将基板2搬入腔9或者从腔9搬出基板2。
如此，在手12、13的末端侧配置于里侧且手12、13的基端侧配置于前侧的状态下，摆臂17以臂转动中心C4为中心转动时，臂14、15收缩至转动半径R2比转动半径R1大的位置。另外，此时，臂14、15收缩至即使摆臂17以臂转动中心C4为中心朝向顺时针方向转动，手12、13的末端侧也不与腔4的里侧的内壁面干涉的位置。
并且，例如，在将基板2搬入腔5或者从腔5搬出基板2后，将基板2搬入腔6或者从腔6搬出基板2的情况下，在图6所示的状态下，臂支承部16以支承部转动中心C1为中心朝向图6的逆时针方向(以下将该方向作为“逆时针方向”)转动90°。然后，如图10所示，臂14以及臂15中的至少任意一方伸缩，将基板2搬入腔6或者从腔6搬出基板2。
并且，例如，然后，在将基板2搬入腔7或者从腔7搬出基板2的情况下，如图11所示，在臂14、15收缩至转动半径R2比转动半径R1小的位置的状态下，摆臂17以臂转动中心C4为中心朝向顺时针方向转动。具体而言，从上下方向观察时，摆臂17转动至中心线CL1和中心线CL3的交点与支承部转动中心C1一致。然后，如图12所示，臂14以及臂15中的至少一方伸缩，将基板2搬入腔7或者从腔7搬出基板2。
如此，在手12、13的末端侧配置于前侧且手12、13的基端侧配置于里侧的状态下，摆臂17以臂转动中心C4为中心转动时，臂14、15收缩至转动半径R2比转动半径R1小的位置。另外，此时，臂14、15收缩至即使摆臂17以臂转动中心C4为中心朝向顺时针方向转动，手12、13的基端侧也不与腔4的里侧的内壁面干涉的位置。
并且，例如，在将基板2搬入腔9或者从腔9搬出基板2后，将基板2搬入腔7或者从腔7搬出基板2的情况下，在臂14、15收缩至与图6所示的位置相同的位置的状态下，臂支承部16朝向顺时针方向转动180°。然后，如图12所示，臂14以及臂15中的至少任意一方伸缩，将基板2搬入腔7或者从腔7搬出基板2。
(本实施方式的主要效果)
如以上说明，在本实施方式中，臂14、15能够收缩至转动半径R2比转动半径R1大的位置，例如，在将基板2搬入腔5或者从腔5搬出基板2后，将基板2搬入腔8或者从腔8搬出基板2的情况下、或者将基板2搬入腔6或者从腔6搬出基板2的情况等下，在臂14、15收缩至转动半径R2比转动半径R1大的位置的状态下，臂支承部16以支承部转动中心C1为中心转动。即，在本实施方式中，在以从上下方向观察时中心线CL1和中心线CL2的交点与支承部转动中心C1一致的状态下手12、13的末端侧通过比支承部转动中心C1靠左侧的位置的方式，臂支承部16以支承部转动中心C1为中心转动的情况下，或者在以从上下方向观察时中心线CL1和中心线CL3的交点与支承部转动中心C1一致的状态下手12、13的末端侧通过比支承部转动中心C1靠右侧的位置的方式，臂支承部16以支承部转动中心C1为中心转动的情况下，臂14、15收缩至转动半径R2比转动半径R1大的位置。
因此，在本实施方式中，即使手12、13的长度较长，并且，从上下方向观察时的腔4的形状是正方形状且左右方向上的腔4的尺寸较小，也能够在中心线CL1和中心线CL2的交点与支承部转动中心C1一致的状态下，或者在中心线CL1和中心线CL3的交点与支承部转动中心C1一致的状态下，防止臂支承部16以支承部转动中心C1为中心转动时的、手12、13的末端侧部分与腔4的左右的壁面干涉。因此，在本实施方式中，即使手12、13的长度较长，也能够在左右方向上将腔4小型化。
在本实施方式中，如图5所示，摆臂17在支承部转动中心C1通过圆弧CA上的范围内以臂转动中心C4为中心转动，但是，当在手12、13的末端侧配置于里侧、手12、13的基端侧配置于前侧的状态下摆臂17以臂转动中心C4为中心转动时，臂14、15收缩至转动半径R2比转动半径R1大的位置，当在手12、13的末端侧配置于前侧、手12、13的基端侧配置于里侧的状态下摆臂17以臂转动中心C4为中心转动时，臂14、15收缩至转动半径R2比转动半径R1小的位置。因此，在本实施方式中，即使手12、13的长度较长，并且，在前后方向上腔4的尺寸较小，也能够防止在摆臂17相对于主体部18转动时的、手12、13的末端侧部分或者基端侧部分与腔4的里侧的壁面干涉。因此，在本实施方式中，即使手12、13的长度较长，也能够在前后方向上将腔4小型化。
并且，在本实施方式中，当在手12、13的末端侧配置于里侧、手12、13的基端侧配置于前侧的状态下摆臂17以臂转动中心C4为中心转动时，臂14、15收缩至转动半径R2比转动半径R1大的位置，当在手12、13的末端侧配置于前侧、手12、13的基端侧配置于里侧的状态下摆臂17以臂转动中心C4为中心转动时，臂14、15收缩至转动半径R2比转动半径R1小的位置，因此，即使缩短摆臂17的长度，也能够防止在摆臂17相对于主体部18转动时的、手12、13的末端侧部分或者基端侧部分与腔4的里侧的壁面干涉。因此，在本实施方式中，能够缩短摆臂17，其结果是，能够在前后方向上将在内部配置有摆臂17的腔4小型化。并且，在本实施方式中，由于能够缩短摆臂17的长度，因此即使将摆臂17的厚度(上下方向)的厚度减薄，也能够确保摆臂17的刚性。因此，在本实施方式中，能够将摆臂17的厚度减薄，其结果是，能够在上下方向上将内部配置有摆臂17的腔4小型化。
(其他实施方式)
上述实施方式是本发明优选的实施方式的一个例子，但是本发明不限于此，在不脱离本发明的主旨的范围内可以进行各种变形实施。
在上述实施方式中，臂转动中心C4在左右方向上配置于腔4的中心，但是臂转动中心C4也可在左右方向上配置于与腔4的中心偏离的位置。并且，在上述实施方式中，臂转动中心C4在前后方向上配置于比腔4的中心靠前侧的位置，但是臂转动中心C4还可以在前后方向上配置于与腔4的中心一致的位置，还可以在前后方向上配置于比腔4的中心靠里侧的位置。并且，在上述实施方式中，从上下方向观察时，臂转动中心C4与支承部转动中心C1之间的距离比前后方向上的腔4的中心与臂转动中心C4之间的距离L长，但是臂转动中心C4与支承部转动中心C1之间的距离和距离L还可以相等，臂转动中心C4与支承部转动中心C1之间的距离还可以比距离L短。
在上述实施方式中，腔4以从上下方向观察时的形状是正方形状的方式形成。除此之外，例如，腔4还可以从上下方向观察时的形状是以左右方向作为长边方向的长方形状的方式形成，还可以从上下方向观察时的形状是以前后方向作为长边方向的长方形状的方式形成。并且，在上述实施方式中，制造***3具有五个腔(工艺腔)5～9，但是制造***3所具有的工艺腔的数量还可以是四个以下，还可以是六个以上。
在上述实施方式中，臂14、15由第一臂部22和第二臂部23这两个臂部构成，但是臂14、15也可由三个以上臂部构成。并且，在上述实施方式中，通过机器人1搬运的搬运对象物是有机EL显示屏用的基板2，但是通过机器人1搬运的搬运对象物还可以是液晶显示屏用的玻璃基板，还可以是半导体晶圆等。

Claims (3)

1.一种工业用机器人，其特征在于，具有：
两个手，所述两个手装载搬运对象物；
两个臂，两个所述手分别以上下方向作为转动的轴向能够转动地与所述两个臂的末端侧连接；
臂支承部，两个所述臂的基端侧以上下方向作为转动的轴向能够转动地与所述臂支承部连接；
摆臂，所述臂支承部以上下方向作为转动的轴向能够转动地与所述摆臂的末端侧连接；以及
主体部，所述摆臂的基端侧以上下方向作为转动的轴向能够转动地与所述主体部连接，
两个所述臂的基端侧在彼此相邻的状态下与所述臂支承部连接，
所述臂是具有能够彼此相对转动地连接的至少两个臂部的多关节臂，并且所述臂能够在以所述手的末端离开所述臂支承部的方式伸展的位置和以所述手的末端靠近所述臂支承部的方式收缩的位置之间伸缩，
若将从上下方向观察时的所述臂支承部相对于所述摆臂的转动中心作为支承部转动中心，
则所述臂能够收缩至所述手的基端侧相对于所述支承部转动中心的转动半径比在所述搬运对象物装载于所述手的状态下的、包含所述搬运对象物的所述手的末端侧相对于所述支承部转动中心的转动半径大的位置。
2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，
在从上下方向观察时的形状是正方形状的输送腔的内部配置所述手、所述臂、所述臂支承部以及所述摆臂。
3.一种制造***，其特征在于，具有：
权利要求2所述的工业用机器人；以及
所述输送腔；
从上下方向观察时，若将与呈正方形状的所述输送腔的一边平行的方向作为第一方向，将与所述第一方向正交的方向作为第二方向，将所述第一方向的一侧作为第三方向侧，将与所述第三方向侧相反的一侧作为第四方向侧，
则从上下方向观察时，作为所述摆臂相对于所述主体部的转动中心的臂转动中心在所述第二方向上配置于所述输送腔的中心，且在所述第一方向上配置于比所述输送腔的中心靠所述第四方向侧的位置，
从上下方向观察时，所述支承部转动中心与所述臂转动中心之间的距离比所述第一方向上的所述输送腔的中心与所述臂转动中心之间的距离长，
若将以所述臂转动中心为中心使所述摆臂旋转时的、从上下方向观察时的所述支承部转动中心的轨迹作为假想圆，
则所述摆臂在所述支承部转动中心通过圆弧上的范围内以所述臂转动中心为中心转动，所述圆弧在从上下方向观察时构成所述假想圆的一部分，且位于比所述第一方向上的所述输送腔的中心靠所述第三方向侧的位置，
当在所述手的末端侧配置于所述第三方向侧且所述手的基端侧配置于所述第四方向侧的状态下所述摆臂以所述臂转动中心为中心转动时，所述臂收缩至所述手的基端侧相对于所述支承部转动中心的转动半径比所述搬运对象物装载于所述手的状态下的包含所述搬运对象物的所述手的末端侧相对于所述支承部转动中心的转动半径大的位置，
当在所述手的末端侧配置于所述第四方向侧且所述手的基端侧配置于所述第三方向侧的状态下所述摆臂以所述臂转动中心为中心转动时，所述臂收缩至所述手的基端侧相对于所述支承部转动中心的转动半径比所述搬运对象物装载于所述手的状态下的包含所述搬运对象物的所述手的末端侧相对于所述支承部转动中心的转动半径小的位置。
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