CN105924871A - 一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法,其具体制备步骤为:(1)将氧化锌与二氧化钛混合置入球磨机中,并加入等质量的纯水,球磨后取出置入真空烘箱中烘干;(2)将配制好的玻璃粉与步骤(1)中处理好的混合料混合后进行充分搅拌,再置入真空烘箱中烘烤;(3)将步骤(2)中处理好的混合料均匀投入有机载料中,混匀搅拌后,再密闭超声后得到气敏浆料;本发明的有益效果是:采用配方、工艺参数设计合理,制备出的气敏浆料均匀,用该气敏浆料制备的半导体气敏元件敏感度高,各项性能优异。
Description
技术领域
本发明涉及半导体元件制备技术领域,特别是一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法。
背景技术
半导体气敏元件由于具有灵敏度高、响应时间和恢复时间短、使用寿命长及成本低等优点,被广泛应用于检测各种有害气体、可燃气体、工业废气和环境污染气体。 气敏元件是检测环境气氛中某种(或某类)气体存在及其含量的基础。气敏元件性能与敏感材料的种类、结构及制作工艺密切相关。
在制备半导体气敏元件时,气敏浆料的制备过程至关重要,直接影响气敏元件性能的好坏,然而大多制备方法制备的气敏浆料并不能满足器件的要求,制备出的气敏元件敏感度较低。
发明内容
本发明的目的是为解决现有技术中的问题,公开了一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法。
为实现上述目的,本发明公开了一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法,主要组分及所占比例为:氧化锌40%、二氧化钛30%、玻璃粉5%、有机载料25%,其具体制备步骤为:
(1)将氧化锌与二氧化钛混合置入球磨机中,并加入等质量的纯水,球磨5-7小时后,取出置入真空烘箱中烘干20-30分钟,烘干温度设定为140-160℃;
(2)将配制好的玻璃粉与步骤(1)中处理好的混合料混合后进行充分搅拌,搅拌时间为20-30分钟,再置入真空烘箱中烘烤30-40分钟,烘烤温度设定为200-220℃;
(3)将步骤(2)中处理好的混合料均匀投入有机载料中,混匀搅拌10-15分钟后,再密闭超声20-25分钟后得到气敏浆料。
其中所述玻璃粉组分及质量百分比为:氧化锆60%,氧化铅15%,二氧化硅15%,三氧化钼10%。
其中所述有机载料组分及质量百分比为:丁酸丁基卡必醇87%、聚甲基丙烯酸脂9%、丁醛树脂4%。
本发明的优点和积极效果是:
本发明方法采用配方、工艺参数设计合理,制备出的气敏浆料均匀,用该气敏浆料制备的半导体气敏元件敏感度高,各项性能优异。
具体实施方式
具体实施例一:
一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法,主要组分及所占比例为:氧化锌40%、二氧化钛30%、玻璃粉5%、有机载料25%,其具体制备步骤为:
(1)将氧化锌与二氧化钛混合置入球磨机中,并加入等质量的纯水,球磨5小时后,取出置入真空烘箱中烘干20分钟,烘干温度设定为140℃;
(2)将配制好的玻璃粉与步骤(1)中处理好的混合料混合后进行充分搅拌,其中玻璃粉组分及质量百分比为:氧化锆60%,氧化铅15%,二氧化硅15%,三氧化钼10%,搅拌时间为20分钟,再置入真空烘箱中烘烤30分钟,烘烤温度设定为200℃;
(3)将步骤(2)中处理好的混合料均匀投入有机载料中,其中有机载料组分及质量百分比为:丁酸丁基卡必醇87%、聚甲基丙烯酸脂9%、丁醛树脂4%,混匀搅拌10分钟后,再密闭超声20分钟后得到气敏浆料。
具体实施例二:
一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法,主要组分及所占比例为:氧化锌40%、二氧化钛30%、玻璃粉5%、有机载料25%,其具体制备步骤为:
(1)将氧化锌与二氧化钛混合置入球磨机中,并加入等质量的纯水,球磨7小时后,取出置入真空烘箱中烘干30分钟,烘干温度设定为160℃;
(2)将配制好的玻璃粉与步骤(1)中处理好的混合料混合后进行充分搅拌,其中玻璃粉组分及质量百分比为:氧化锆60%,氧化铅15%,二氧化硅15%,三氧化钼10%,搅拌时间为30分钟,再置入真空烘箱中烘烤40分钟,烘烤温度设定为220℃;
(3)将步骤(2)中处理好的混合料均匀投入有机载料中,其中有机载料组分及质量百分比为:丁酸丁基卡必醇87%、聚甲基丙烯酸脂9%、丁醛树脂4%,混匀搅拌15分钟后,再密闭超声25分钟后得到气敏浆料。
具体实施例三:
一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法,主要组分及所占比例为:氧化锌40%、二氧化钛30%、玻璃粉5%、有机载料25%,其具体制备步骤为:
(1)将氧化锌与二氧化钛混合置入球磨机中,并加入等质量的纯水,球磨6小时后,取出置入真空烘箱中烘干25分钟,烘干温度设定为150℃;
(2)将配制好的玻璃粉与步骤(1)中处理好的混合料混合后进行充分搅拌,其中玻璃粉组分及质量百分比为:氧化锆60%,氧化铅15%,二氧化硅15%,三氧化钼10%,搅拌时间为25分钟,再置入真空烘箱中烘烤35分钟,烘烤温度设定为210℃;
(3)将步骤(2)中处理好的混合料均匀投入有机载料中,其中有机载料组分及质量百分比为:丁酸丁基卡必醇87%、聚甲基丙烯酸脂9%、丁醛树脂4%,混匀搅拌13分钟后,再密闭超声23分钟后得到气敏浆料。
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法,主要组分及所占比例为:氧化锌40%、二氧化钛30%、玻璃粉5%、有机载料25%,其具体制备步骤为:
(1)将氧化锌与二氧化钛混合置入球磨机中,并加入等质量的纯水,球磨5-7小时后,取出置入真空烘箱中烘干20-30分钟,烘干温度设定为140-160℃;
(2)将配制好的玻璃粉与步骤(1)中处理好的混合料混合后进行充分搅拌,搅拌时间为20-30分钟,再置入真空烘箱中烘烤30-40分钟,烘烤温度设定为200-220℃;
(3)将步骤(2)中处理好的混合料均匀投入有机载料中,混匀搅拌10-15分钟后,再密闭超声20-25分钟后得到气敏浆料。
2.根据权利要求1所述的一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法,其特征在于:所述玻璃粉组分及质量百分比为:氧化锆60%,氧化铅15%,二氧化硅15%,三氧化钼10%。
3.根据权利要求1所述的一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法,其特征在于:所述有机载料组分及质量百分比为:丁酸丁基卡必醇87%、聚甲基丙烯酸脂9%、丁醛树脂4%。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111825853A (zh) * | 2020-07-23 | 2020-10-27 | 崔恩密 | 一种半导体行业掺杂用复合浆料及固化成膜加工方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1128351A (zh) * | 1995-01-03 | 1996-08-07 | 中国有色金属工业总公司昆明贵金属研究所 | 气敏传感器用钌基电极浆料 |
CN1487287A (zh) * | 2003-08-12 | 2004-04-07 | 山东师范大学 | 二氧化钛基动物食品测鲜气敏器件及其制作方法 |
CN1645122A (zh) * | 2005-01-19 | 2005-07-27 | 山东师范大学 | 叠加式动物食品测鲜气敏器件及其制作方法 |
CN101149354A (zh) * | 2007-10-26 | 2008-03-26 | 华中科技大学 | 气体敏感阵列传感器及其制备方法 |
CN101232049A (zh) * | 2007-01-26 | 2008-07-30 | 中国科学院物理研究所 | 纳米氧化物多孔薄膜电极及其制备方法和应用 |
CN101256166A (zh) * | 2008-04-16 | 2008-09-03 | 北京航空航天大学 | 氧化锌/二氧化钛复合自组装薄膜气敏器件的制备方法 |
CN101811888A (zh) * | 2010-04-23 | 2010-08-25 | 西安交通大学 | 一种嵌有氧化物量子点的碳纳米管复合气敏膜的制备方法 |
CN102353702A (zh) * | 2011-07-22 | 2012-02-15 | 李学中 | 氧化物半导体常温氧传感器 |
CN102637467A (zh) * | 2012-04-27 | 2012-08-15 | 苏州晶讯科技股份有限公司 | 用于硅晶太阳能电池正面电极的导电浆料 |
CN102751000A (zh) * | 2012-06-16 | 2012-10-24 | 华东微电子技术研究所合肥圣达实业公司 | 一种压电陶瓷用无铅无镉电极银浆料及其制备方法 |
-
2016
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1128351A (zh) * | 1995-01-03 | 1996-08-07 | 中国有色金属工业总公司昆明贵金属研究所 | 气敏传感器用钌基电极浆料 |
CN1487287A (zh) * | 2003-08-12 | 2004-04-07 | 山东师范大学 | 二氧化钛基动物食品测鲜气敏器件及其制作方法 |
CN1645122A (zh) * | 2005-01-19 | 2005-07-27 | 山东师范大学 | 叠加式动物食品测鲜气敏器件及其制作方法 |
CN101232049A (zh) * | 2007-01-26 | 2008-07-30 | 中国科学院物理研究所 | 纳米氧化物多孔薄膜电极及其制备方法和应用 |
CN101149354A (zh) * | 2007-10-26 | 2008-03-26 | 华中科技大学 | 气体敏感阵列传感器及其制备方法 |
CN101256166A (zh) * | 2008-04-16 | 2008-09-03 | 北京航空航天大学 | 氧化锌/二氧化钛复合自组装薄膜气敏器件的制备方法 |
CN101811888A (zh) * | 2010-04-23 | 2010-08-25 | 西安交通大学 | 一种嵌有氧化物量子点的碳纳米管复合气敏膜的制备方法 |
CN102353702A (zh) * | 2011-07-22 | 2012-02-15 | 李学中 | 氧化物半导体常温氧传感器 |
CN102637467A (zh) * | 2012-04-27 | 2012-08-15 | 苏州晶讯科技股份有限公司 | 用于硅晶太阳能电池正面电极的导电浆料 |
CN102751000A (zh) * | 2012-06-16 | 2012-10-24 | 华东微电子技术研究所合肥圣达实业公司 | 一种压电陶瓷用无铅无镉电极银浆料及其制备方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
周志刚等: "纳米ZnO浆料的制备研究", 《传感技术学报》 * |
胡昌义等: "《贵金属新材料》", 30 September 2015, 中南大学出版社 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111825853A (zh) * | 2020-07-23 | 2020-10-27 | 崔恩密 | 一种半导体行业掺杂用复合浆料及固化成膜加工方法 |
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