CN105819136A - 物品搬运设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种物品搬运设备，所述物品搬运设备能够防止在下方的层发生火灾时烟等穿过开口侵入至上方的层。在位于上方的层和下方的层之间的中间地板部（FM）上形成升降体能够在上下方向上通过的开口（P），设置有将开口（P）开闭的防火门（34）。将具备喷出气体的喷出部（42）的气体喷出装置（40）比防火门（34）靠下方地设置。喷出部（42）设置于将气体朝在防火门（34）将开口（P）关闭的状态下形成于防火门（34）的端部的间隙的紧下方沿水平方向喷出的状态。

Description

物品搬运设备

技术领域

本发明涉及设置有防火门的物品搬运设备。

背景技术

在日本特开2009-137675号公报（专利文献1）中记载有设置有使支承物品的升降体遍及多层地升降移动的物品搬运装置的物品搬运设备。在该物品搬运设备上，在位于上方的层和下方的层之间的地板部上，形成有升降体能够在上下方向上通过的开口。此外，在该物品搬运设备上设置有将该开口开闭的防火门。即，专利文献1的物品搬运设备构成为，在下方的层发生火灾的情况下，借助防火门将开口关闭，由此防止由火灾产生的火焰、烟及热气（以下称作热气等）穿过开口侵入至上方的层。

另外，在如上所述的物品搬运设备中，在防火门将开口关闭的状态中，在防火门的端部形成有间隙的情况较多。特别地，在引导升降体的引导轨道或向升降体供电的供电缆线等的形状复杂的设置物在地板面的开口处存在的情况下，难以使防火门的端部的形状配合设置物的形状。因此，在借助防火门将开口关闭的状态中，在防火门的端部和设置物之间容易形成间隙。

若形成这样的间隙，则在下方的层发生火灾的情况下，存在由火灾产生的火焰和烟等穿过在防火门的端部形成的间隙侵入至上方的层的可能。作为其对策，可以考虑在形成间隙的部位预先具备借助加热来膨胀的膨胀体。即，可以考虑借助由火灾加热而膨胀的膨胀体堵塞间隙。这样将间隙堵塞，由此能够防止火焰和烟等侵入至上方的层，但从发生火灾到膨胀体膨胀来堵塞间隙存在时间差。因此，存在在膨胀体膨胀来堵塞间隙之前烟等穿过间隙侵入至上方的层的可能。

发明内容

因此，需要一种物品搬运设备，所述物品搬运设备能够防止在下方的层发生火灾时烟等穿过在防火门的端部形成的间隙侵入至上方的层。

作为一种技术方案，物品搬运设备包括物品搬运装置、开口、防火门、气体喷出装置，前述物品搬运装置使支承物品的升降体遍及多层地升降移动，前述开口在位于前述多层内的最上层和最下层之间的地板部即中间地板部上形成，前述升降体在上下方向上能够通过前述开口，前述防火门将前述开口开闭，前述气体喷出装置具备将气体喷出的喷出部，这里，前述气体喷出装置比前述防火门靠下方地设置，前述喷出部设置成将气体朝在前述防火门将前述开口关闭的状态下形成于前述防火门的端部的间隙的紧下方沿水平方向喷出的状态。

根据该技术方案，气体喷出装置的喷出部喷出的气体朝形成于防火门的端部的间隙的紧下方沿水平方向被喷出。并且，借助从喷出部喷出的气体的流动，烟等难以上升至比该气体流动的部位靠上方的部位，所以能够防止烟等穿过位于气体流动的部位的紧上方的间隙侵入至上方的层。另外，为了有效地防止烟等的上升，优选地，从气体喷出装置喷出的气体的位于间隙的紧下方的气流的强度比由烟等产生的上升气流的强度强。

关于物品搬运装置的进一步的特征和优点，从关于参照附图进行说明的实施方式的以下的记载可以明确。

附图说明

图1是物品搬运设备的要部立体图。

图2是表示升降式搬运装置的横剖视图。

图3是表示升降式搬运装置和筒部的宽度较宽部分的横剖视图。

图4是表示升降式搬运装置和筒部的宽度较窄部分的横剖视图。

图5是表示打开状态的防火门的俯视图。

图6是表示关闭状态的防火门的俯视图。

图7是表示防火门和气体喷出装置的纵剖视侧视图。

图8是气体喷出装置的俯视图。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。如图1所示，在物品搬运设备100上，设置有升降式搬运装置2、顶棚搬运车3、地板面搬运车4，所述升降式搬运装置2在多层之间搬运物品1，所述顶棚搬运车3被设置于多层的各层，并且在顶棚附近行进来搬运物品1，所述地板面搬运车4被设置于多层的各层，并且在地板面上行进。升降式搬运装置2是使升降体6遍及上层U和下层D地升降移动的物品搬运装置。此外，在本实施方式中，作为物品1，例示为容纳半导体基板的前端开启式晶圆传送盒（FOUP，FrontOpeningUnifiedPod）。

在本实施方式中，物品搬运设备100例示为具有上层U、中层M、下层D这3层的构造的实施方式。显然，物品搬运设备100也可以是2层建筑的构造，也可以具有4层以上的构造。在2层建筑的情况下，没有中层M，由上层U和下层D构成。在具有4层以上的构造的情况下，以下的说明的上层U相当于最上层，下层D相当于最下层。此外，中层M相当于除了最上层和最下层以外的被设置于两层之间的多层的各层。

如图2所示，升降式搬运装置2具备升降体6、平衡重7、引导轨道8，所述升降体6支承物品1，所述平衡重7被连接于升降体6，所述引导轨道8沿上下方向升降引导升降体6及平衡重7，所述引导轨道8是钢制的。如图1所示，在上层U和下层D之间，存在上层U的地板部F和中层M的地板部F。在将这些地板部F与下层D（最下层）的地板部F进行区分的情况下，称作中间地板部FM。在这些位于上层U和下层D之间的地板部F（中间地板部FM）上，如图2所示，形成有升降体6和平衡重7在上下方向上能够通过的开口P。详细情况如后所述，但在物品搬运设备100上，设置有能够在火灾等发生的情况下将该开口P开闭的防火门34。引导轨道8设置为贯通开口P地遍及上层U、中层M及下层D的状态。

另外，在下方存在有层的层的地板部F也可兼用作该层的下方的层的顶棚部。例如，上层U的地板部F也可兼用作中层M的顶棚部。此外，中层M的地板部F也可兼用作下层D的顶棚部。即，中间地板部FM能够分别兼用作紧下方的层的顶棚部。

此外，在以下的说明中，所谓的上方的层是指，例如将发生火灾等的层作为对象层的位于比该对象层靠上方的位置的层，或将设置有对应火灾等被关闭的防火门34（对象防火门）的地板部F（中间地板部FM）作为对象地板部的位于比该对象地板部靠上方的位置的层。此外，所谓的下方的层是与上述上方的层相反的概念，是指位于比上方的层靠下方的位置的层、位于比火灾发生的层、上述对象地板部靠下方的位置的层。因此，最上层（上层U）基本上对应于上方的层，最下层（下层D）基本上对应于下方的层。中层M根据状况对应于上方的层及下方的层。例如，在中层M的1个上发生火灾等的情况下，位于比该中层M靠下方的位置的层（其他的中层M及下层D）为下方的层。并且，位于比该中层M靠上方的位置的层（余下的中层M及上层U）为上方的层。

在各层中，作为搬运物品1的物品搬运车5，利用顶棚搬运车3和地板面搬运车4。顶棚搬运车3是被悬挂支承于设置在各层的顶棚部上的行进轨道L来沿该行进轨道L行进的物品搬运车5。地板面搬运车4是在各层的地板部F上行进的物品搬运车5。

如图1所示，在物品搬运设备100上从上层U遍及至下层D地设置有筒体9，所述筒体9用于形成用于升降体6升降移动的升降路径。该筒体9形成为包围供升降体6升降移动的升降路径的形状。并且，在筒体9上，在上层U、中层M及下层D的各层和升降体6之间形成有用于将物品1放入取出的放入取出口15。

筒体9对应各层分割（分割）地构成。在本实施方式中，筒体9构成为分割成设置于上层U的部分、设置于中层M的部分、设置于下层D的部分这3部分。被分割地构成的部分分别沿上下方向形成为筒状，使得能够在内部形成升降体6的升降路径。如图1所示，筒体9的各部分具备水平方向的面积相对较大的宽度较宽部分9a、相对较小的宽度较窄部分9b。即，宽度较窄部分9b形成为其横截面积比开口P的面积大的大小，宽度较宽部分9a形成为其横截面积比宽度较窄部分9b的横截面积大的大小。宽度较宽部分9a被设置于该层的地板部F一侧，宽度较窄部分9b被设置于与该层的地板部F相反的一侧。在各层中，以在宽度较宽部分9a上载有宽度较窄部分9b的状态形成有筒体9。

如图1及图3所示，在筒体9的宽度较宽部分9a上设置有载置搬运物品1的搬运传送带14。搬运传送带14设置成从筒体9向外部延伸，在筒体9的内部和筒体9的外部之间载置搬运物品1。在筒体9的内部，搬运传送带14在位于筒体9的外部的外部侧部位12和位于筒体9的内部的内部侧部位13之间载置搬运物品1。在本实施方式中，在各层中在上下方向（垂直方向）上设置有2层搬运传送带14（14a、14b）。在地板部F一侧设置有第1搬运传送带14a，在距地板部F的高度比第1搬运传送带14a高的位置上设置有第2搬运传送带14b。另外，在以下的说明中不需要将二者进行区分的情况下，仅称作搬运传送带14来说明。

相对于被设置于较高位置的第2搬运传送带14b的外部侧部位12，顶棚搬运车3进行物品1的接受（授受），相对于被设置于较低位置的第1搬运传送带14a的外部侧部位12，地板面搬运车4进行物品1的接受。此外，相对于第1搬运传送带14a的内部侧部位13及第2搬运传送带14b的内部侧部位13，都由升降式搬运装置2进行物品1的接受。

如上所述，搬运传送带14设置成从筒体9向外部延伸。因此，在筒体9的内部和筒体9的外部之间，用于在搬运物品1时供被载置于搬运传送带14的物品1通过的放入取出口15形成于筒体9的壁面。此外，在筒体9上还设置有用于将放入取出口15开闭的开闭门16。

此外，如图3及图4所示，在筒体9的宽度较宽部分9a及宽度较窄部分9b二者上，设置有收纳物品1的物品收纳部18。因此，在筒体9内，能够收纳多个物品1。若借助顶棚搬运车3或地板面搬运车4，物品1被载于搬运传送带14的外部侧部位12，则该物品1在被载置于搬运传送带14的状态下借助搬运传送带14被从外部侧部位12搬运至内部侧部位13。到达内部侧部位13的物品1借助升降式搬运装置2，被从内部侧部位13移载至物品收纳部18来被收纳于物品收纳部18。另外，升降式搬运装置2不限于从内部侧部位13向物品收纳部18的移载，也有将物品从内部侧部位13向其他部位移载的情况。

此外，被收纳于物品收纳部18的物品1借助升降式搬运装置2，在被从物品收纳部18移载至搬运传送带14的内部侧部位13之后，在被载置于搬运传送带14的状态下，借助搬运传送带14被从内部侧部位13搬运至外部侧部位12。到达外部侧部位12的物品1借助顶棚搬运车3或地板面搬运车4被从外部侧部位12卸下。

图2是表示升降式搬运装置2的横剖视图，图5及图6是能够将开口P堵塞的防火门34（后述详细情况）的俯视图（从沿垂直方向的方向观察的图）。如后所述，在升降体6的上端部及下端部上，连结有在上升或下降时将该升降体6向上方或下方牵引的升降用带（20、21）。具体地，在升降体6上连结有上侧升降用带20（参照图2、图5、图6）、下侧升降用带21（参照图5、图6）。另外，如图5及图6所示，上侧升降用带20设置有2根，下侧升降用带21设置有1根。

上侧升降用带20被卷绕至设置于升降体6的升降路径的上方的上侧旋转体（图中未示出）。如图2所示，上侧升降用带20的一端部被连结于升降体6的上端部，上侧升降用带20的另一端部被连结于平衡重7的上端部。此外，下侧升降用带21被卷绕至设置于升降体6的升降路径的下方的下侧旋转体（图中未示出）。虽省略图示，但下侧升降用带21的一端部被连结于升降体6的下端部，下侧升降用带21的另一端部被连结于平衡重7的下端部。使上侧旋转体在正方向或反方向上旋转驱动，使上侧升降用带20沿其延长方向移动，由此升降体6沿升降路径升降移动。

如图2等所示，在俯视时升降体6和平衡重7在隔着引导轨道8的中央部8a的状态下排列地配置。另外，将该在俯视时升降体6和平衡重7排列的方向称作前后方向X，将升降体6相对于引导轨道8位于的一侧称作前后方向前方侧X1，将平衡重7相对于引导轨道8位于的一侧称作前后方向后方侧X2。此外，将相对于该前后方向X在俯视时（在水平面上）正交的方向称作横向宽度方向Y。

如图2等所示，引导轨道8在筒体9内设置为比前后方向X的中央靠近前后方向后方侧X2的状态。在引导轨道8的前后方向前方侧X1的部分上，沿上下方向引导升降体6的升降体用卡合槽24（引导槽）沿上下方向地形成。该升降体用卡合槽24形成为从引导轨道8的前表面朝后方凹陷（形成为从前后方向前方侧X1向前后方向后方侧X2凹陷）。即，升降体用卡合槽24形成为，横截面的形状呈与连通于外部的连通部的横向宽度方向Y相比内侧的横向宽度方向Y宽度较大的形状。

此外，在引导轨道8的前后方向后方侧X2的部分上，沿上下方向引导平衡重7的配重用卡合槽25沿上下方向地形成。该配重用卡合槽25形成为从引导轨道8的后表面朝前方凹陷（形成为从前后方向后方侧X2向前后方向前方侧X1凹陷）。即，配重用卡合槽25形成为，横截面的形状呈与连通于外部的连通部的横向宽度方向Y相比内侧的横向宽度方向Y宽度较大的形状。

如上所述，上侧升降用带20及下侧升降用带21在隔着引导轨道8的中央部8a的状态下排列地配置。相对于中央部8a在前后方向前方侧X1形成有升降体用卡合槽24，在前后方向后方侧X2形成有配重用卡合槽25。上侧升降用带20及下侧升降用带21在隔着引导轨道8的中央部8a的状态下跨于升降体6和平衡重7之间。

如图2等所示，例如，上侧升降用带20连结于升降体6的上端部的位置等在上侧升降用带20的部位内位于比引导轨道8的中央部8a靠前后方向前方侧X1的位置的部分，位于比升降体用卡合槽24靠前后方向前方侧X1的位置。此外，如图2所示，例如，上侧升降用带20连结于平衡重7的上端部的位置等在上侧升降用带20的部位内位于比引导轨道8的中央部8a靠前后方向后方侧X2的位置的部分，位于配重用卡合槽25内。

同样地，虽在图中未出现，但例如，下侧升降用带21连结于升降体6的下端部的位置等在下侧升降用带21的部位内位于比引导轨道8的中央部8a靠前后方向前方侧X1的位置的部分，位于比升降体用卡合槽24靠前后方向前方侧X1的位置。此外，如图5及图6所示，例如，下侧升降用带21连结于平衡重7的下端部的位置等在下侧升降用带21的部位内位于比引导轨道8的中央部8a靠前后方向后方侧X2的位置的部分，设置成位于配重用卡合槽25内。

如图2所示，在升降体6上具备借助引导轨道8的升降体用卡合槽24被引导的多个升降体用引导辊26。多个升降体用引导辊26接触于升降体用卡合槽24，由此升降体6的向前后方向X及横向宽度方向Y的位置偏差被限制，在此状态下，升降体6沿上下方向升降移动。此外，在平衡重7上，设置有借助引导轨道8的配重用卡合槽25被引导的多个配重用引导辊27。多个配重用引导辊27接触于配重用卡合槽25，由此平衡重7的向前后方向X及横向宽度方向Y的位置偏差被限制，在此状态下，平衡重7沿上下方向升降移动。

如图2所示，在引导轨道8的外侧支承有供电线或通信线等配线29及设备检查用的梯子32，所述引导轨道8在内侧形成有升降体用卡合槽24及配重用卡合槽25。具体地，在引导轨道8的外侧的横向宽度方向Y的一侧（图2中的下侧）支承有配线29，在另一侧（图2中的上侧）支承有梯子32。配线29从下层D向上方延伸，其延长方向的中间部在中层M被固定支承，延长方向的末端部被连接于升降体6。在中层M上，在引导轨道8的横向宽度方向Y的一侧（图2中的下侧）支承有将配线29支承的支承部件30，借助固定部件31，配线29的中间部被固定于支承部件30。

另外，如图1所示，在中间地板部FM（位于上层U和下层D之间的地板部F）上，设置有能够将其开口P开闭的防火门34。在本实施方式中，作为防火门34，存在被支承于上层U的地板部F的上表面（上层U的地板面）的防火门34和被支承于中层M的地板部F的上表面（中层M的地板面）的防火门34。这些防火门34作为被支承于中间地板部FM的上表面的防火门34，都以相同的方式构成。即，每个防火门34都以在中间地板部FM上形成的开口P的上方与该开口P相邻的状态设置。

如上所述，图5及图6是防火门34的俯视图。此外，图7是包括防火门34的中间地板部FM的纵剖视图。如图5~图7所示，防火门34构成为具备框体35和多个门体36，所述框体35以将矩形开口P包围的方式形成为矩形。在本实施方式中，框体35及多个门体36由钢材构成。在多个门体36上包括主门体36a、升降体侧副门体36b、配重侧副门体36c、及固定门体36d。主门体36a、升降体侧副门体36b、配重侧副门体36c、及固定门体36d沿水平方向（在本实施方式中沿前后方向X）排列。

主门体36a将开口P内的比引导轨道8靠前后方向前方侧X1的部分遮挡。升降体侧副门体36b将开口P内的引导轨道8的升降体用卡合槽24内部遮挡。配重侧副门体36c将开口P内的引导轨道8的配重用卡合槽25内部遮挡。固定门体36d将开口P内的比引导轨道8靠前后方向后方侧X2的部分遮挡。即，主门体36a将开口P内的位于升降体用卡合槽24的外部的部分开闭。另外，升降体侧副门体36b相当于将开口P的位于升降体用卡合槽24的内部的部分开闭的副门体。

主门体36a被配备为，借助马达和齿轮的组合或其他众所周知的机构，沿水平方向（沿前后方向X）滑动自如。主门体36a构成为，通过沿前后方向X滑动，自由地切换至将开口P内的比引导轨道8靠前后方向前方侧X1的部分关闭的关闭状态和将该部分打开的打开状态。另外，固定门体36d以将开口P内的比引导轨道8靠前后方向后方侧X2的部分遮挡的关闭状态被固定。

升降体侧副门体36b配置成，在升降体用卡合槽24的内侧即前后方向后方侧X2上，以沿横向宽度方向Y设置的轴心（第1摆动轴AX1）为摆动轴摆动自如。升降体侧副门体36b构成为，借助马达和齿轮的组合或其他众所周知的机构，通过以第1摆动轴AX1为摆动轴摆动，自由地切换至将开口P内的升降体用卡合槽24内部关闭的关闭状态和将升降体用卡合槽24内部打开的打开状态。升降体侧副门体36b以在改变姿势成打开姿势的状态下从升降体6的升降路径脱离的方式配置于升降体用卡合槽24内。

配重侧副门体36c配置成，在配重用卡合槽25的开口部侧即前后方向后方侧X2上，以沿横向宽度方向Y设置的轴心（第2摆动轴AX2）为摆动轴摆动自如。配重侧副门体36c构成为，借助马达和齿轮的组合或其他众所周知的机构，通过以第2摆动轴AX2为摆动轴摆动，自由地切换至将开口P内的配重用卡合槽25内部关闭的关闭状态和将配重用卡合槽25内部打开的打开状态。配重侧副门体36c以在姿势改变至打开姿势的状态下从平衡重7的升降路径脱离的方式配置于配重用卡合槽25内。

如图5所示，在主门体36a的末端部，形成有一对上侧升降用带20分别嵌合的一对第1凹入部38a。如图5及图6所示，在将主门体36a从打开状态切换至关闭状态的途中，一对上侧升降用带20嵌合于一对第1凹入部38a。嵌合之后，被切换至关闭状态的主门体36a将一对上侧升降用带20推向前后方向后方侧X2。在主门体36a被切换至关闭状态的状态下，在主门体36a和升降体侧副门体36b之间形成由一对第1凹入部38a产生的间隙，但该间隙被一对上侧升降用带20遮挡。

此外，如图6所示，在配重侧副门体36c的末端部形成有下侧升降用带21嵌合的第2凹入部38c。如图5及图6所示，在将配重侧副门体36c从打开状态切换至关闭状态的途中，下侧升降用带21嵌合于第2凹入部38c。配重侧副门体36c的末端部（第2凹入部38c一侧的端部）具有朝向下方及前后方向前方侧X1的移动部分，描绘圆弧，切换至关闭状态，所以下侧升降用带21和第2凹入部38c嵌合之后，切换至关闭状态的配重侧副门体36c将下侧升降用带21推向前后方向前方侧X1。在配重侧副门体36c切换至关闭状态的状态下，在配重侧副门体36c和引导轨道8之间形成由第2凹入部38c产生的间隙，但该间隙被下侧升降用带21遮挡。

进而，如图5及图6所示，在主门体36a上，在关闭状态中接近固定部件31的部位，具备会由于热而膨胀的膨胀体39。在主门体36a被切换至关闭状态的状态下，如图6所示，构成为，通过膨胀体39受热膨胀，在主门体36a和支承部件30或固定部件31之间形成的间隙被遮挡。即，在防火门34将开口P关闭的状态中防火门34的端部所处的间隙部位上具备膨胀体39。另外，所谓“防火门34的端部”，是指防火门34的结构部分（门体）的端部。

在物品搬运设备100中，在借助升降式搬运装置2搬运物品1的通常情况下，防火门34被切换至打开状态。若在下层D等任意一层发生火灾，则该火灾被无图示的火灾检测器检测。控制物品搬运设备100的无图示的控制装置基于火灾检测器的检测信息，控制升降式搬运装置2，使升降体6下降移动至下层D。之后，该控制装置控制防火门34的工作，将防火门34切换至关闭状态。

这样将防火门34切换至关闭状态，由此，能够将在中间地板部FM上形成的开口P关闭。但是，若在防火门34的端部存在间隙，则有在下方的层产生的烟等穿过该间隙侵入至上方的层的可能。在将防火门34关闭的状态下，作为另外有可能存在于防火门34的端部的某个间隙，可以考虑以下间隙。例如，在主门体36a的端部和引导轨道8或固定门体36d的端部之间形成的间隙、在升降体侧副门体36b的端部和引导轨道8之间形成的间隙、及在配重侧副门体36c和引导轨道8之间形成的间隙等。

因此，为了防止在将防火门34切换至关闭状态的状态中、烟等穿过形成于防火门34的端部的间隙从下方的层侵入至上方的层，如图7及图8所示地设置有气体喷出装置40。在该气体喷出装置40上具备将作为气体的空气喷出的喷出部42。

气体喷出装置40具有多个，优选地，被支承于各中间地板部FM的下表面（各中层M的顶棚面及下层D的顶棚面）。在本实施方式中，气体喷出装置40分别被支承于上层U的地板部F的下表面（中层M的顶棚面）和中层M的地板部F的下表面（下层D的顶棚面）。这些多个气体喷出装置40构成为相同的方式，每个气体喷出装置40都在形成于中间地板部FM的开口P的下方设置成与该开口P相邻的状态。即，在本实施方式中，在各个开口P上除了防火门34还设置有气体喷出装置40。此外，各个气体喷出装置40相对于开口P在下方侧设置为与开口P相邻的状态，设置于比防火门34靠下方的位置。换言之，气体喷出装置40被设置于将设置有防火门34的中间地板部FM作为顶棚部的下方的层。

如图7及图8所示，气体喷出装置40相对于开口P被设置于前后方向后方侧X2。在本实施方式中，气体喷出装置40被设置于筒体9的外侧（相对于筒体9的前后方向后方侧X2）。此外，在气体喷出装置40上具备将空气吸入的吸气部41、将该吸气部41供给的空气喷出的喷出部42。在吸气部41和喷出部42的某一个或二者上具备马达驱动的送风机和使空气移动的众所周知的机构。吸气部41相对于气体喷出装置40从与升降体6的升降路径存在的一侧相反的一侧（前后方向后方侧X2）的空间将空气吸进。喷出部42相对于气体喷出装置40朝升降体6的升降路径存在的一侧（前后方向前方侧X1）在水平方向上将空气喷出。喷出部42将气体喷出的喷出口和对置于该喷出口的筒体9的外壁面（筒体9的前后方向后方侧X2的壁面）接近，优选地配置成大致紧密接触。此外，在与喷出部42对置的该壁面上，设置有用于将从喷出部42喷出的气体导入至筒体9的内部的气体流入口43。

喷出部42构成为沿横向宽度方向Y将空气喷出成宽度较宽的带状。通过喷出部42将空气喷出而形成的空气的带形成为比沿门体36的横向宽度方向Y的宽度更大的宽度。即，喷出部42设置成遍及沿横向宽度方向Y的门体36的整个宽度将空气喷出。即，气体喷出装置40的喷出部42被设置为朝在防火门34将开口P关闭的状态中在防火门34的端部形成的间隙的紧下方将空气沿着水平方向（前后方向X）喷出的状态。被喷出的空气（气体）在烟等到达该间隙之前将烟等在水平方向上吹飞，使得上升的热气和烟不会穿过间隙侵入至上方的层。

此外，筒体9具备能够使气体从该筒体9的内部向外部流通的筒体用通气部44。在本实施方式中，筒体用通气部44被设置于各中间地板部FM的下方。在筒体9的前后方向前方侧X1（喷出部42的气体喷出方向的下游侧）具备该筒体用通气部44。具体地，筒体用通气部44为形成筒体9的前后方向前方侧X1的表面的部分（前方侧筒形成面），并且由形成为与喷出部42相同高度的孔构成。即，在水平方向（前后方向X）上在位于喷出部42的正面的部位上具备设置于筒体9的筒体用通气部44。如上所述，在筒体9上设置有气体流入口43。筒体用通气部44形成为与该气体流入口43相同的高度。被从喷出部42喷出的气体穿过气体流入口43、开口P的正下方（包括在关闭开口P的状态下形成于防火门34的端部的间隙）、筒体用通气部44。

引导轨道8也同样地具备能够使气体在前后方向X（喷出部42的气体喷出方向）上流通的轨道用通气部45。该轨道用通气部45为引导轨道8的位于升降体用卡合槽24和配重用卡合槽25之间的位置的部分（中央部8a），并且由形成为与喷出部42相同高度的孔构成。即，在水平方向（前后方向X）上在位于喷出部42的正面的位置的部位上具备被设置于引导轨道8的轨道用通气部45。

从喷出部42朝形成于防火门34的端部的间隙的紧下方在水平方向（前后方向X）上喷出的气体穿过气体流入口43、轨道用通气部45、筒体用通气部44，从筒体9中向筒体9的外部流动。例如，即使烟等在筒体9的内部上升，也能够将烟向筒体9的外部吹出，使得该烟不会从该间隙超过中间地板部FM地上升。即，将气体朝形成于防火门34的端部的间隙的紧下方喷出，由此，借助该气体的流动，能够防止烟等的上升，防止烟等穿过间隙侵入至通更上方的层。此外，从气体喷出装置40的喷出部42喷出的空气穿过筒体用通气部44和轨道用通气部45，由此在筒体9的内部空气的流动难以紊乱。因此，易于防止烟等的上升，易于适当地防止烟等穿过间隙侵入至更上方的层。

〔其他实施方式〕

（1）在上述说明中，作为气体喷出装置40，例示了具备从后方（前后方向后方侧X2）将空气吸进的吸气部41的结构。但是，吸气部41也可以从气体喷出装置40的上方（地板部F和气体喷出装置40之间的空间）或下方将空气吸进。

（2）此外，在上述中，例示了以形成比开口P的横向宽度在横向上更大的空气的层的方式从喷出部42将空气喷出的实施方式，但该空气的层的横向宽度也可以适当改变。例如，也可以构成为，以形成大致为引导轨道8的横向宽度加上支承部件30的横向宽度得到的宽度的空气的层的方式从喷出部42将空气喷出，在俯视观察时仅将空气向开口P处的引导轨道8的周围或配线29的周围喷出。

（3）在上述中，例示了从喷出部42将空气喷出的实施方式，但也可以构成为从喷出部42将氮气等非活性气体喷出。

（4）在上述中，例示了将防火门34构成为具备主门体36a、升降体侧副门体36b、配重侧副门体36c、固定门体36d这4个的门体36的实施方式。但是，防火门34也可以构成为具备3个以下或5个以上的门体36。例如，也可以减少门体36的个数，使得不具备配重侧副门体36c，不将配重用卡合槽25内部关闭。此外，也可以代替主门体36a而具备第1门体和第2门体，增加门体36的个数，使得将借助主门体36a关闭的部分由第1门体和第2门体关闭。

（5）此外，防火门34的开闭构造可以适当改变。例如，也可以构成为通过缠绕及放出将主门体36a切换至关闭状态和打开状态。此外，也可以构成为通过使配重侧副门体36c滑动来切换至关闭状态和打开状态。

（6）在上述中，例示了为了将形成于防火门34的端部和配线29之间的间隙闭塞而在防火门34的端部部位具备膨胀体39的实施方式。但是，在能够将来自该间隙的烟等的侵入借助例如气体喷出装置40等来防止的情况等下，也可以不具备膨胀体39。

（7）此外，在上述中，例示了具备将升降体6的升降路径包围的筒体9的实施方式，但在不需要局部地清洁升降体6的升降路径的情况等下，也可以不具备筒体9。

（8）此外，在上述中，例示了具备引导升降体6的引导轨道8的实施方式，但在具备在上下方向上伸缩且在末端部上将升降体支承的伸缩臂来借助伸缩臂的伸缩使升降体6升降移动的情况等下，也可以不具备引导轨道8。

（9）在上述中，例示了气体喷出装置40被设置于筒体9的外侧（相对于筒体9的前后方向后方侧X2）、在与喷出部42对置的筒体9的外壁面上设置有用于将被从喷出部42喷出的气体导入至筒体9的内部的气体流入口43的实施方式。但是，气体喷出装置40不妨碍被设置于筒体9的内侧的实施方式。该情况下，气体流入口43优选地设置成在筒体9的内壁面上与气体喷出装置40的吸气部41对置。

〔物品搬运设备的概要〕

以下，对上述说明的物品搬运设备的概要进行简单地说明。

作为1个实施方式，物品搬运设备包括物品搬运装置、开口、防火门、气体喷出装置，前述物品搬运装置使支承物品的升降体遍及多层地升降移动，前述开口在位于前述多层内的最上层和最下层之间的地板部即中间地板部上形成，前述升降体能够在上下方向上通过前述开口，前述防火门将前述开口开闭，前述气体喷出装置具备将气体喷出的喷出部，这里，前述气体喷出装置被比前述防火门靠下方地设置，前述喷出部设置成朝在前述防火门将前述开口关闭的状态下形成于前述防火门的端部的间隙的紧下方将气体沿水平方向喷出的状态。

根据该实施方式，气体喷出装置的喷出部喷出的气体朝形成于防火门的端部的间隙的紧下方沿水平方向喷出。并且，借助从喷出部喷出的气体的流动，烟等难以上升至比该气体流动的部位靠上方的部位，所以能够防止烟等穿过位于气体流动的部位的紧上方的间隙侵入至上层。另外，为了有效地防止烟等的上升，从气体喷出装置喷出的气体的位于间隙的紧下方的气流的强度优选为比由烟等产生的上升气流的强度强。

此外，优选地，前述气体喷出装置具备将比前述防火门靠下方的层的空气吸入的吸气部，前述喷出部将前述吸气部吸入的空气喷出。

根据该实施方式，气体喷出装置借助吸气部将下方的层的空气吸进，将该空气从喷出部喷出。下方的层的空气考虑为由于发生火灾氧气的含有率降低的空气。将这样的氧气的含有率相对较低的空气从喷出部喷出，由此能够抑止火灾变猛烈，同时能够防止烟等穿过间隙侵入至上方的层。

此外，进而，优选的是，具备筒体，前述筒体形成为将供前述升降体升降移动的升降路径包围的形状，前述筒体用于形成升降路径，前述筒体具备放入取出口和筒体用通气部，前述放入取出口分别对应前述多个层地形成，用于物品的放入取出，前述筒体用通气部能够使气体从该筒体的内部向外部流通，在前述筒体的前述喷出部的气体喷出方向上的下游侧的部位上具备前述筒体用通气部。

根据该实施方式，能够将被搬入至放入取出口的物品借助物品搬运装置搬运来从其他放入取出口搬出，能够借助物品搬运装置将物品遍及多个层地搬运。并且，例如，在物品搬运装置作为物品搬运收纳半导体等的基板的容器的情况等下，需要使移动路径的环境成为干净的环境，但仅使筒体内局部地干净即可等，容易使借助物品搬运装置将物品搬运时的环境成为适合物品的环境。

而且，在这样地设置有筒体的情况下，从气体喷出装置的喷出部喷出并通过间隙的紧下方的气体碰撞于筒体的内表面，由此气流发生紊乱，存在不能适当地防止烟等通过间隙的可能。但是，在筒体的位于喷出部的气体喷出方向上的下游侧的部位上具备筒体用通气部，由此通过间隙的紧下方的气体通过筒体用通气部被排出至筒体的外部。由此，能够抑制从喷出部喷出的气体的流动发生紊乱，所以适当地防止烟等通过间隙变得容易。此外，在筒体的位于喷出部的正面的位置的部位上具备筒体用通气部，由此能够更有效地抑制从喷出部喷出的气体的流动发生紊乱。

优选地，在前述筒体的位于前述喷出部的气体喷出方向的下游侧的部位上具备前述筒体用通气部的情况下，进而，前述气体喷出装置在前述喷出部对置于前述筒体的壁面的状态下，被配置于前述筒体的外部，在与前述喷出部对置的前述筒体的壁面上，具备用于将从前述喷出口喷出的气体导入至前述筒体的内部的气体流入口。

根据该实施方式，气体从筒体的外部借助喷出部，经由气体流入口喷出至筒体的内部，被喷出的气体穿过筒体通气部被从筒体的内部向外部排出。即，能够更有效地抑制从喷出部喷出的气体的流动发生紊乱，同时能够使气体在间隙的紧下方通过。因此，能够有效地抑制烟等穿过间隙侵入至上方的层。

此外，优选地，引导前述升降体的引导轨道在将前述开口贯通地遍及前述最上层和前述最下层的状态下设置，前述引导轨道具备能够使气体在前述喷出部的气体喷出方向上通气的轨道用通气部。

根据该实施方式，升降体在借助引导轨道被引导的同时升降移动，所以能够使升降体沿升降路径适当地升降移动。并且，在这样地设置有引导轨道的情况下，从气体喷出装置的喷出部喷出的气体碰撞于引导轨道，由此气流发生紊乱，存在不能适当地防止烟等通过间隙的可能。在引导轨道上，具备能够使气体在喷出部的气体喷出方向上通气的轨道用通气部，由此气体通过轨道用通气部。由此，能够抑制从喷出部喷出的气体的流动发生紊乱，所以适当地防止烟等通过间隙变得容易。另外，在引导轨道的位于喷出部的正面的部位上具备轨道用通气部，由此能够更有效地抑制从喷出部喷出的气体的流动发生紊乱。

此外，优选地，前述引导轨道具备将前述升降体沿上下方向上引导的引导槽，前述引导槽形成为与连通于外部的连通部相比内部侧宽度较大的形状，前述防火门具备副门体和主门体，前述副门体将前述开口的位于前述引导槽的内部的部分开闭，前述主门体将前述开口的位于前述引导槽的外部的部分开闭。

根据该实施方式，借助副门体将开口的位于引导槽的内部的部分关闭，借助副门体将开口的位于引导槽的外部的部分关闭，由此，与借助单一的门体将开口关闭的情况相比，容易使形成于开闭门的端部和引导轨道之间的间隙变小。

此外，优选地，在前述升降体的上端部及下端部连结有在上升或下降时将该升降体向上方或下方牵引的升降用带，在前述防火门将前述开口关闭的状态下，在与前述升降用带对置的前述防火门的前述端部上，形成有与前述升降用带嵌合的凹部，该凹部在前述防火门将前述开口关闭的状态下被前述升降用带遮挡。

为了使升降体顺畅地升降，存在在升降体上连结有升降用带的情况。这样的升降用带穿过设置于中间地板部的开口，遍及多个层地延长。这里，在借助防火门将开口关闭的情况下，升降用带被隔在防火门和开口之间，存在形成不需要的间隙的可能。但是，根据本实施方式，防火门的端部形成有与升降用带嵌合的凹部，所以即使在借助防火门关闭开口的情况下，也不会形成那样的不需要的间隙。进而，该凹部在防火门将开口关闭的状态下，被升降用带遮挡。因此，即使在具有这样的升降用带的情况下，在借助防火门将开口关闭的情况下也不形成不需要的间隙，有效地抑制烟等穿过这样的间隙侵入至上方的层。

这里，优选地，在前述防火门将前述开口关闭的状态中前述端部所处的间隙部位上，具备借助加热会膨胀的膨胀体。

根据该实施方式，借助膨胀体，在防火门的端部形成的间隙被物理性关闭，由此能够防止由下方的层的火灾产生的火焰或烟等从间隙侵入至上方的层。

附图标记说明

1物品；2物品搬运装置（升降式搬运装置）；6升降体；8引导轨道；9筒体；24升降体用卡合槽（引导槽）；34防火门；36a主门体；36b升降体侧副门体（副门体）；39膨胀体；40气体喷出装置；41喷出部；42吸气部；44筒体用通气部；45轨道用通气部；F地板部；FM中间地板部；P开口。

Claims (10)

1.一种物品搬运设备，具备物品搬运装置、开口、防火门，

前述物品搬运装置使支承物品的升降体遍及多层地升降移动，

前述开口在位于前述多层内的最上层和最下层之间的地板部即中间地板部上形成，前述升降体在上下方向上能够通过前述开口，

前述防火门将前述开口开闭，

其特征在于，

前述物品搬运设备还具备气体喷出装置，前述气体喷出装置具备将气体喷出的喷出部，

这里，前述气体喷出装置比前述防火门靠下方地设置，

前述喷出部设置成将气体朝在前述防火门将前述开口关闭的状态下形成于前述防火门的端部的间隙的紧下方沿水平方向喷出的状态。

2.如权利要求1所述的物品搬运设备，其特征在于，

前述气体喷出装置具备将比前述防火门靠下方的层的空气吸入的吸气部，

前述喷出部将前述吸气部吸入的空气喷出。

3.如权利要求1所述的物品搬运设备，其特征在于，

前述物品搬运设备还具备筒体，前述筒体形成为将供前述升降体升降移动的升降路径包围的形状，前述筒体用于形成升降路径，

这里，前述筒体具备放入取出口和筒体用通气部，

前述放入取出口分别对应前述多个层地形成，用于将物品放入取出，

前述筒体用通气部能够使气体从该筒体的内部向外部流通，

在前述筒体的位于前述喷出部的气体喷出方向上的下游侧的部位上具备前述筒体用通气部。

4.如权利要求2所述的物品搬运设备，其特征在于，

前述物品搬运设备还具备筒体，前述筒体形成为将供前述升降体升降移动的升降路径包围的形状，前述筒体用于形成升降路径，

这里，前述筒体具备放入取出口和筒体用通气部，

前述放入取出口分别对应前述多个层地形成，用于将物品放入取出，

前述筒体用通气部能够使气体从该筒体的内部向外部流通，

在前述筒体的位于前述喷出部的气体喷出方向上的下游侧的部位上具备前述筒体用通气部。

5.如权利要求3所述的物品搬运设备，其特征在于，

前述气体喷出装置在前述喷出部对置于前述筒体的壁面的状态下，被配置于前述筒体的外部，在与前述喷出部对置的前述筒体的壁面上，具备用于将被从前述喷出口喷出的气体导入至前述筒体的内部的气体流入口。

6.如权利要求4所述的物品搬运设备，其特征在于，

前述气体喷出装置在前述喷出部对置于前述筒体的壁面的状态下，被配置于前述筒体的外部，在与前述喷出部对置的前述筒体的壁面上，具备用于将被从前述喷出口喷出的气体导入至前述筒体的内部的气体流入口。

7.如权利要求1至6中任一项所述的物品搬运设备，其特征在于，

前述物品搬运设备还具备引导前述升降体的引导轨道，

这里，前述引导轨道在将前述开口贯通地遍及前述最上层和前述最下层的状态下设置，

具备使气体能够在前述喷出部的气体喷出方向上通气的轨道用通气部。

8.如权利要求7所述的物品搬运设备，其特征在于，

前述引导轨道具备沿上下方向引导前述升降体的引导槽，

前述引导槽形成为内部侧比连通于外部的连通部宽度更大的形状，

前述防火门具备副门体和主门体，

前述副门体将前述开口的位于前述引导槽的内部的部分开闭，

前述主门体将前述开口的位于前述引导槽的外部的部分开闭。

9.如权利要求1至8中任一项所述的物品搬运设备，其特征在于，

在前述升降体的上端部及下端部上连结有升降用带，前述升降用带在上升或下降时将该升降体向上方或下方牵引，

在前述防火门将前述开口关闭的状态下，在与前述升降用带对置的前述防火门的前述端部上形成有与前述升降用带嵌合的凹部，

该凹部在前述防火门将前述开口关闭的状态下，被前述升降用带遮挡。

10.如权利要求1至9中任一项所述的物品搬运设备，其特征在于，

在前述防火门将前述开口关闭的状态中前述端部所处的间隙部位上，具备借助加热会膨胀的膨胀体。