CN105802581A - 蓝宝石晶片加工水性研磨液 - Google Patents

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林丽静
常建忠
阿部聪
俞威
张晶晶
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    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
    • C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
    • C09K3/1454—Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
    • C09K3/1463—Aqueous liquid suspensions

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

本发明公开了一种蓝宝石晶片加工水性研磨液，由有机酸、有机胺、缓蚀剂、润滑添加剂、新型表面活性剂、水、消泡剂组成。本发明润滑性能好、磨屑沉降性能好、产品安全卫生质量高。

Description

蓝宝石晶片加工水性研磨液
技术领域
本发明涉及一种蓝宝石晶片加工水性研磨液。
背景技术
蓝宝石晶片的研磨精度要求极高（研磨加工后晶片表面平整度≤5μm），由于国内研发工作起步较晚以及工艺、技术落后等原因，现在国内使用的研磨液都是从日本等发达国家进口，目前国内也有不少厂家纷纷开发此研磨液，但是存在诸多缺陷：一是润滑性能一般，达不到加工精度要求；二是磨屑沉降性差，晶面易划伤受损；三是加入了氯等对人体和环境有害的物质。这些弊端制约了产品在用户中尤其是高端用户中的推广。
发明内容
本发明的目的在于提供一种润滑性能好、磨屑沉降性能好、产品安全卫生质量高的蓝宝石晶片加工水性研磨液。
本发明的技术解决方案是：
一种蓝宝石晶片加工水性研磨液，其特征是：由下列重量百分比的组分组成：
有机酸2-15%
有机胺10-25%
缓蚀剂0.5-3%
润滑添加剂3-12%
新型表面活性剂15-25%
水20-45%
消泡剂0.5-3%
上述各组分的用量之和为100%。
有机酸是月桂二酸、对硝基苯甲酸或氨基磺酸化合物、对叔丁基间己基苯甲酸、壬酸、新癸酸中的一种或几种。
有机胺是一乙醇胺、三乙丙醇胺、异丙醇胺、羟乙基乙二胺中的一种或几种。
缓蚀剂是苯并三氮唑、2-巯基苯并噻唑中的一种或几种。
润滑添加剂是非硫磷型水溶性有机钼添加剂、聚乙二醇1000、聚乙二醇2000中的一种或几种。
新型表面活性剂是聚氧乙烯聚氧丙烯醚、聚乙烯胺、脂肪醇聚氧乙烯醚、丙二醇嵌段聚醚中的一种或几种。
消泡剂是乳化硅油。
本发明润滑性能好、磨屑沉降性能好、产品安全卫生质量高。
1、本产品选用非硫磷型水溶性有机钼添加剂与优质助剂配伍，使产品的润滑性能得到较高提升（经实验室测试，5%稀释液时，攻丝扭矩≤250N·cm）。
2、本产品选用性能优良的丙二醇嵌段聚醚新型表面活性剂组伍，使产品的磨屑沉降性得到较大提高（5%稀释液时，磨屑沉降时间≤5S）。
3、本产品中原料不使用危及人体健康和环境安全的有害物质，使产品的安全卫生质量得到大幅提升（经检测，产品急性经口毒性LD50≥5000mg/kg，急性吸入毒性LC50≥5000mg/m3，呼吸道粘膜刺激强度为0级）。
下面结合实施例对本发明作进一步说明。
具体实施方式
实施例1：
一种蓝宝石晶片加工水性研磨液，由下列重量百分比的组份混合搅拌而成：
月桂二酸4%
异丙醇胺8%
三乙丙醇胺11%
壬酸5%
非硫磷型水溶性有机钼添加剂
（采用中国专利公开号：CN102453590A中公开的非硫磷型水溶性有机钼添加剂）7%
丙二醇嵌段聚醚20%
聚乙烯胺2.5%
苯并三氮唑0.5%
乳化硅油0.5%
水41.5%。
实施例2：
一种蓝宝石晶片加工水性研磨液，由下列重量百分比的组分组成：
有机酸2-15%（例2%、8%、15%）
有机胺10-25%（例10%、17%、25%）
缓蚀剂0.5-3%（例0.5%、2%、3%）
润滑添加剂3-12%（例3%、8%、12%）
新型表面活性剂15-25%（例15%、20%、25%）
水20-45%（例20%、30%、45%）
消泡剂0.5-3%（例0.5%、2%、3%）
上述各组分的用量之和为100%。
有机酸是月桂二酸、对硝基苯甲酸或氨基磺酸化合物、对叔丁基间己基苯甲酸、壬酸、新癸酸中的一种或几种。
有机胺是一乙醇胺、三乙丙醇胺、异丙醇胺、羟乙基乙二胺中的一种或几种。
缓蚀剂是苯并三氮唑、2-巯基苯并噻唑中的一种或几种。
润滑添加剂是非硫磷型水溶性有机钼添加剂、聚乙二醇1000、聚乙二醇2000中的一种或几种。
新型表面活性剂是聚氧乙烯聚氧丙烯醚、聚乙烯胺、脂肪醇聚氧乙烯醚、丙二醇嵌段聚醚中的一种或几种。
消泡剂是乳化硅油。

Claims (7)

1.一种蓝宝石晶片加工水性研磨液，其特征是：由下列重量百分比的组分组成：
有机酸2-15%
有机胺10-25%
缓蚀剂0.5-3%
润滑添加剂3-12%
新型表面活性剂15-25%
水20-45%
消泡剂0.5-3%
上述各组分的用量之和为100%。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片加工水性研磨液，其特征是：有机酸是月桂二酸、对硝基苯甲酸或氨基磺酸化合物、对叔丁基间己基苯甲酸、壬酸、新癸酸中的一种或几种。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片加工水性研磨液，其特征是：有机胺是一乙醇胺、三乙丙醇胺、异丙醇胺、羟乙基乙二胺中的一种或几种。
4.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片加工水性研磨液，其特征是：缓蚀剂是苯并三氮唑、2-巯基苯并噻唑中的一种或几种。
5.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片加工水性研磨液，其特征是：润滑添加剂是非硫磷型水溶性有机钼添加剂、聚乙二醇1000、聚乙二醇2000中的一种或几种。
6.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片加工水性研磨液，其特征是：新型表面活性剂是聚氧乙烯聚氧丙烯醚、聚乙烯胺、脂肪醇聚氧乙烯醚、丙二醇嵌段聚醚中的一种或几种。
7.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片加工水性研磨液，其特征是：消泡剂是乳化硅油。
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