CN105706249B - 电极接合装置以及电极接合方法 - Google Patents

电极接合装置以及电极接合方法 Download PDF

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Abstract

本发明的目的在于，提供一种对电极实施多点的超声波振动接合处理、且即使对基板使电极以较小的剥离力接合也能抑制各点的剥离力的偏差的电极接合装置。并且，本发明在太阳能电池单元(ST1)上使集电电极(20A、20B)沿着玻璃基板(1)的端边部(L1、L2)配置。然后，由按压构件(12A)在从端边部到配置集电电极的位置为止的玻璃基板的区域沿着端边部按压玻璃基板。然后，一边进行该按压，一边使用超声波振动工具(14)对集电电极实施超声波振动接合处理。

Description

电极接合装置以及电极接合方法
技术领域
本发明涉及太阳能电池的制造方法，更具体地，涉及利用了超声波振动接合法的基板与太阳能电池的构成构件的接合。
背景技术
过去以来，作为太阳能电池，利用在玻璃基板上成膜发电层以及电极层等而成的薄膜太阳能电池。该薄膜太阳能电池一般将多个太阳能电池单元串联连接而构成。
另外，在上述薄膜太阳能电池的构成中，在各太阳能电池单元发电的电会被集电在形成于玻璃基板的两端边部附近的集电电极(汇流条)。然后，由集电电极集电的电被通过引出线(引线)取出。即，引出线与集电电极连接，另外还与端子盒的端子连接。通过该连接构成，引出线能将在集电电极集电的电导向端子盒。
在此，集电电极与形成于玻璃基板上的太阳能电池单元的电极层电连接，引出线不与太阳能电池单元直接连接(即，引出线经由集电电极与太阳能电池单元电连接，但太阳能电池单元自身与引出线自身绝缘)。
另外，利用与本发明关联的现有技术(即，利用超声波振动接合处理将集电电极等连接于基板的现有技术)已经存在多种(专利文献1、2、3、4、5)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2010/150350号
专利文献2：JP特开2011-9261号公报
专利文献3：JP特开2011-9262号公报
专利文献4：JP特开2012-4280号公报
专利文献5：JP特开2012-4289号公报
发明内容
发明要解决的课题
在基板上形成太阳能电池单元(太阳能电池层叠膜)，使带状的集电电极配置在该太阳能电池单元上，对该集电电极实施超声波振动接合处理。由此，构成该太阳能电池单元的电极层与集电电极电连接，集电电极相对于基板接合。
在超声波振动接合处理中，使超声波振动工具对集电电极抵接、加压。然后，一边进行该加压，一边使超声波振动工具在水平方向上进行超声波振动。然而，近年来，期望使相对于基板的集电电极的剥离强度(接合强度)为低强度来进行施工。这出于以下的理由。
为了增强相对于基板的集电电极的剥离强度(接合强度)，使超声波振动工具对集电电极较强地加压。于是，存在于集电电极的下方的太阳能电池单元会受到损害，在该受到损害的太阳能电池单元中会不进行发电。因而，为了在维持相对于基板的集电电极的接合(固定)的同时、避免太阳能电池单元的损害，期望使相对于基板的集电电极的剥离强度(接合强度)为低强度来进行施工。另外，即使使集电电极的剥离强度降低，也需要使集电电极固定于形成太阳能电池单元的基板上。
另外，在相对于基板接合带状的集电电极时，沿着该带状对集电电极的多点(称作处理实施点或处理点)实施超声波振动接合处理。在此，不期望在集电电极中的各处理实施点处在集电电极的剥离强度(接合强度)上出现较大的偏差。这是因为，在使集电电极的剥离强度(接合强度)为低强度进行施工的情况下，若剥离强度(接合强度)的偏差变大，则会产生完全不能接合的处理实施点，或者出现由于加压力过大而给太阳能电池单元带来损害的处理实施点。
为此，本发明的目的在于，对集电电极实施多点的超声波振动接合处理、即使对基板使集电电极以较小的剥离力接合也能抑制各点的剥离力的偏差的电极接合装置以及电极接合方法。
用于解决课题的手段
为了达到上述的目的，本发明所涉及的电极接合装置是使电极沿着形成有太阳能电池单元的矩形状的基板的端边部而与所述基板接合的电极接合装置，具备：载置所述基板的基台；在所述太阳能电池单元上对沿着所述端边部配置的所述电极实施超声波振动接合处理的超声波振动工具；和能够在上下方向上移动、用于按压所述基板的2个按压构件，所述基板具有：第一端边部；和与该第一端边部对置的第二端边部，一方的所述按压构件在所述基板中的从所述第一端边部到所述电极的配置位置为止的第一给定区域内，沿着所述第一端边部按压所述基板，另一方的所述按压构件在所述基板中的从所述第二端边部到所述电极的配置位置为止的第二给定区域内，沿着所述第二端边部按压所述基板。
另外，本发明所涉及的电极接合方法具备：(A)将形成太阳能电池单元(ST1)的矩形状的基板(1)载置在基台(11)上的工序；(B)在所述太阳能电池单元上使电极(20A、20B)沿着所述基板的端边部(L1、L2)配置的工序；(C)在从所述端边部到配置所述电极的位置为止的所述基板的区域内，沿着所述端边部按压所述基板的工序；和(D)一边进行所述(C)工序，一边对所述电极实施超声波振动接合处理、来使所述电极与所述基板接合的工序。
发明的效果
在本发明中，在太阳能电池单元上，对沿着基板的端边部配置的电极实施以下的接合处理。即，在从端边部到配置电极的位置为止的基板的区域，沿着端边部按压基板。然后，一边进行该按压，一边对上述电极实施超声波振动接合处理，使电极与基板接合。
因此，即使对基板1使电极以较小的剥离强度(接合强度)接合，也能抑制各点的剥离强度(接合强度)的偏差。
本发明的目的、特征、方面、以及优点，通过以下的详细说明和附图，会变得清晰。
附图说明
图1是表示形成太阳能电池单元ST1的玻璃基板1的整体的立体图。
图2是表示电极接合装置100的主要部分构成的立体图。
图3是表示电极接合装置100的主要部分构成的放大截面图。
图4是表示玻璃基板1被基板固定部12固定、按压的情形的立体图。
图5是表示玻璃基板1被基板固定部12固定、按压的情形的放大截面图。
图6是表示在太阳能电池单元ST1上配置集电电极20A、20B的情形的立体图。
图7是表示在太阳能电池单元ST1上配置集电电极20A、20B的情形的放大截面图。
图8是表示超声波振动工具14对集电电极20A、20B实施超声波振动接合处理的情形的放大截面图。
图9是表示对集电电极20A、20B实施超声波振动接合处理后的情形的立体图。
图10是表示说明本发明的效果的实验数据的图。
具体实施方式
在本发明中，在配设于太阳能电池的集电电极的接合中采用超声波振动接合法(超声波振动接合处理)。在此，在超声波振动接合法中，是通过对接合对象物(集电电极)一边在垂直方向上加压、一边在水平方向施加超声波振动来将该接合对象物接合于被接合对象物(太阳能电池单元基板)的方法(处理)。以下，基于表示本实施方式的附图来具体说明本发明。
<实施方式>
首先，准备具有透明性的矩形状的基板1(以下作为玻璃基板1)。然后，在该玻璃基板1的第一主面上分别以给定的图案形状形成表面电极层、发电层以及背面电极层。通过到该工序为止，做成薄膜太阳能电池的基本构成。另外，也可以在第一主面上方层叠具有绝缘性的保护膜，覆盖表面电极层、发电层以及背面电极层的全部。以下为了说明简化，不含保护膜地进行说明。
在此，将形成在玻璃基板1的第一主面上的按照表面电极层、发电层以及背面电极层的顺序层叠而成的层叠结构(另外，在还形成保护膜的情况下也包含该保护膜)的整体称作太阳能电池层叠膜ST1或太阳能电池单元ST1。
另外，按照表面电极层、发电层以及背面电极层的顺序将它们层叠，表面电极层以及背面电极层分别与发电层电连接。另外，是玻璃基板1的厚度例如为数mm程度以下的薄膜基板。另外，表面电极层由具有透明性的导电膜构成，例如能采用ZnO、ITO或SnO2。另外，该表面电极层的厚度例如为数10nm程度。
另外，发电层是能将入射的光变换成电的光电变换层。该发电层是膜厚数μm程度(例如3μm以下)的薄膜层。另外，该发电层例如由硅等构成。另外，背面电极层例如能采用含银的导电膜。该背面电极层的厚度例如为数10nm程度。
图1是表示在矩形状的玻璃基板1的第一主面上成膜太阳能电池层叠膜ST1的情形的立体图。另外，在图1中，用砂面图示了太阳能电池层叠膜ST1。另外，在图1中，能从图面视觉辨识的成膜了太阳能电池层叠膜ST1的玻璃基板1的主面是第一主面。另一方面，不能从图面视觉辨识的与第一主面面对面的主面是第二主面。不在第二主面成膜太阳能电池层叠膜ST1，玻璃基板1露出。
在此，为了以后的说明的容易化，定义以下的名称。
玻璃基板1的俯视观察形状是矩形状。因而如图1所示那样，玻璃基板1的第一主面具有端边部L1、L2、L3、L4。该端边部L1、L2、L3、L4由第一端边部L1、第二端边部L2、第三端边部L3、以及第四端边部L4构成。
在图1所例示的构成中，第一端边部L1以及第二端边部L2相互面对面(对置)平行地并行，第三端边部L3以及第四端边部L4相互面对面(对置)平行地并行。另外，在图1所示的构成例中，第一端边部L1与第三端边部L3以及第四端边部L4垂直交叉，在第二端边部L2中，也与第三端边部L3以及第四端边部L4垂直交叉。
接下来，说明本发明所涉及的电极接合装置100的构成。
图2是表示该电极接合装置100的主要部分构成的立体图。另外，图3是表示沿着图2的A-A截面线的截面构成的放大截面图。
电极接合装置100具有超声波振动工具、控制部、基台11以及基板固定部12。在此，在图2中，为了图面简化，省略了超声波振动工具以及控制部的图示。另外，如图2所示那样，基板固定部12为2个，一方的基板固定部12夹着具有矩形的平面形状的基台11，与另一方的基板固定部12面对面。
基台11具有平板部分，在该平板部分上载置玻璃基板1。另外，各基板固定部12如图3所示那样由按压构件12A和驱动部12B构成。在此，在图2所示的构成例中，对各基板固定部12设置了2个驱动部12B。
基板固定部12是能通过按压载置在基台11的玻璃基板1而将该玻璃基板1相对于该基台11固定的装置。一方的基板固定部12配设在基台11的一方侧方，另一方的基板固定部12配设在基台12的另一侧方。基板固定部12能通过驱动部12B的驱动而如图3所示那样在上下方向以及左右方向上移动。
驱动部12B由空气气缸等构成，如上述那样在图3的上下、左右方向上进行驱动。另外，在基板固定部12中的与玻璃基板1的抵接侧固定了按压构件12A。因此，按照驱动部12B的驱动而使按压构件12A移动。
按压构件12A如图2、3所示那样，是截面形状为L字状的棒状的构件(即L字棒)。该L字的形成直角(90°)一侧与玻璃基板1抵接。另外，按压构件12A的与玻璃基板1抵接的部分由弹性构件12C构成。在此，在弹性构件12C中，与形成于玻璃基板1的太阳能电池单元ST1抵接的部分，比与玻璃基板1的侧面抵接的部分柔软。
如上述那样，各基板固定部12由2个驱动部12B、和固定在该2个驱动部12B的1条按压构件12A构成。
控制部是控制基板固定部12的驱动的装置。即，控制部能可变地控制由按压构件12A进行按压的力，并且还能控制按压构件12A的图3的左右方向的移动。另外，该控制部还能控制超声波振动工具的驱动。即，控制部例如根据来自用户的指示来可变地控制由超声波振动工具进行超声波振动接合处理的条件(振动数、振幅、加压力)。
例如，需要根据集电电极的材质以及厚度、构成太阳能电池单元ST1的各膜的材质以及厚度、以及超声波振动接合处理的条件，来改变按压构件12A对玻璃基板1的按压力。为此，控制部根据来自用户的指示可变地控制由按压构件12A进行的按压的力。另外，在对控制部输入各信息(集电电极的材质以及厚度、构成太阳能电池单元ST1的各膜的材质以及厚度、以及超声波振动接合处理的条件)的情况下，也可以用根据预先设定的基台和上述各信息决定的按压力来控制按压构件12A。在此，在该基台针对上述各信息唯一规定按压力。
接下来，使用电极接合装置100来说明相对于玻璃基板1的集电电极的接合动作。
首先，准备上述的形成太阳能电池单元ST1的玻璃基板1。然后，将该玻璃基板1载置在基台11的平面部。在此，基板固定部12的面对面的方向(以下称作面对面方向)上的基台11的尺寸小于该面对面方向上的玻璃基板1的尺寸。另外，在基台11载置玻璃基板1的状态下，形成太阳能电池单元ST1的玻璃基板1的面成为上表面侧。
接下来，通过控制部的经过调整的控制而使驱动部12B进行驱动，由此，基板固定部12在图3的左右方向(更具体的，在玻璃基板1的载置侧的水平方向)上移动。即，基板固定部12从两侧方夹着玻璃基板1而在水平方向上移动。
然后，使与玻璃基板1的侧面面对面的按压构件12A的面与该玻璃基板1的侧面接触。然后，各按压构件12A从两侧方握持玻璃基板1。在此，各基板固定部12通过控制部的经过调整的控制，在水平方向上被调整而移动。该控制根据来自用户的指示而实施。即，基台11上的玻璃基板1的位置根据用户的指示来决定。
在此，所谓调整，是指将基台11上的玻璃基板1的载置位置定位。即，通过各基板固定部12的经过调整的移动，能将基台11上的玻璃基板1的位置定位。另外，如上述那样，面对面方向上的基台11的尺寸小于面对面方向上的玻璃基板1的尺寸。因此，在该定位时，按压构件12A与基台11的侧面接触，能防止按压构件12A妨碍玻璃基板1的定位。
若定位完成，则接下来通过控制部的控制而使驱动部12B进行驱动，由此，基板固定部12在图3的下方向(更具体的，按压玻璃基板1的方向)上进行移动。即，基板固定部12在垂直方向上移动，从上方按压玻璃基板1。
然后，与玻璃基板1的上表面面对面的按压构件12A的面与形成于该玻璃基板1的太阳能电池单元ST1接触。然后，各按压构件12A从上方向按压玻璃基板1。在此，各基板固定部12通过控制部的控制而向下方向移动。该控制根据来自用户的指示而实施。即，按压构件12A对玻璃基板1的按压力根据用户的指示来决定。
图4是表示通过基板固定部12将玻璃基板1固定在基台11的情形的立体图。另外，图5是与图3对应的图面，是表示由基板固定部12将玻璃基板1固定在基台11的情形的放大截面图。
如图4、5所示那样，图1中说明的形成太阳能电池单元ST1、具有各端边部L1～L4的玻璃基板1被各按压构件12A按压固定。在此，L字棒的一方的按压构件12A在第一端边部L1沿着该第一端边部L1(更具体地，遍及第一端边部L1的全长)按压玻璃基板1。与此相对，L字棒的另一方的按压构件12A在第二端边部L2沿着该第二端边部L2(更具体地，遍及第二端边部L2的全长)按压玻璃基板1。
另外，如图5所示那样，按压构件12A所具有的弹性构件12C在玻璃基板1的第一端边部L1(以及第二端边部L2)与玻璃基板1抵接。在此，如上述那样，在弹性构件12C中，与形成于玻璃基板1的太阳能电池单元ST1抵接的部分，比与玻璃基板1的侧面抵接的部分柔软。因此，比弹性构件12C硬的部分会在玻璃基板1的定位时与玻璃基板1的侧面抵接，之后从水平方向握持玻璃基板1。与此相对，比弹性构件12C柔软的部分会从玻璃基板1的上方按压该玻璃基板1。
另外，在上述中，叙述了面对面方向上的基台11的尺寸小于面对面方向上的玻璃基板1的尺寸，将其情形在图5示出。另外，着眼于按压构件12A按压玻璃基板1的部分(称作按压部分)。通过该按压部分的至少一部分的下方和基台11来夹着玻璃基板1的构成成立。即，在按压构件12A按压玻璃基板1时，该按压构件12A并不是仅按压玻璃基板1中的未载置在基台11的部分。
接下来，在载置于基台11的玻璃基板1，在太阳能电池单元ST1上的给定的位置(沿着玻璃基板1的端边部L1、L2)配置集电电极20A、20B。在此，集电电极20A、20B是带状的导体，作为集电电极20A、20B，例如采用铜、铝或包含它们的导体。
图6是表示在形成于玻璃基板1的太阳能电池单元ST1上配设各集电电极20A、20B的情形的立体图。另外，图7是与图3、5对应的图面，表示在形成于玻璃基板1的太阳能电池单元ST1上配置集电电极20A、20B的情形的放大截面图。
如图6、7所示那样，带状的集电电极20A沿着第一端边部L1避开按压构件12A而配置。另一方面，带状的集电电极20B沿着第二端边部L2避开按压构件12A而配置。更具体地，集电电极20A在稍离开第一端边部L1的位置沿着该第一端边部L1配置。另一方面，集电电极20B在稍离开第二端边部L2的位置沿着该第二端边部L2配置。
因此，L字棒的一方的按压构件12A在玻璃基板1中的从第一端边部L1到集电电极20A的配置位置的第一区域沿着该第一端边部L1(更具体地，遍及第一端边部L1的全长)按压玻璃基板1。另一方面，L字棒的另一方的按压构件12A在玻璃基板1中的从第二端边部L2到集电电极20B的配置位置的第二区域沿着该第二端边部L2(更具体地，遍及第二端边部L2的全长)按压玻璃基板1。另外，第一区域的宽度以及第二区域的宽度(即，从第一端边部L1到集电电极20A的配置位置的距离、以及从第二端边部L2到集电电极20B的配置位置的距离)例如为数mm程度。
在此，在上述中，在由基板固定部12固定玻璃基板1之后，使集电电极20A、20B配置在该玻璃基板1上。但是，也可以在使玻璃基板1载置在基台11之后，使集电电极20A、20B配置在该玻璃基板1上，然后，由基板固定部12固定玻璃基板1。
在使集电电极20A、20B配置在太阳能电池层叠膜ST1上之后，对该集电电极20A、20B的上表面散布点(spot)地实施超声波振动接合处理。更具体地，在由基板固定部12将玻璃基板1相对于基台11固定的状态下，对集电电极20A、20B实施后述的超声波振动接合处理。图8是表示对集电电极20A、20B的上表面实施超声波振动接合处理的情形的图。
参考图8，将超声波振动工具14抵接在集电电极20A、20B的上表面，在该抵接方向(玻璃基板1的方向)上施加给定的压力。然后，在该压力施加状态下，使该超声波振动工具14在水平方向(与压力施加方向垂直的方向)上进行超声波振动。由此，能使集电电极20A、20B在太阳能电池层叠膜ST1上接合、固定。在集电电极20A、20B的上表面的多处沿着集电电极20A、20B分别实施该超声波接合处理。
在此，基于用户的输入操作，控制部决定超声波振动接合处理的条件，按照该决定的条件，控制部控制超声波振动工具14。另外，在此，选择使集电电极20A、20B的剥离强度(接合强度)降低的条件，即：能不给存在于集电电极20A、20B之下的太阳能电池单元ST1带来损害地将该集电电极20A、20B接合在玻璃基板1的(能不给发电层带来损害地与电极层电接合)超声波振动接合处理的条件。
在图9的立体图示出该超声波振动接合处理后的情形。在图9中，标号25是实施了超声波振动接合处理的压痕25。如图9所示那样，沿着集电电极20A、20B的线方向而多个压痕25散布点(分散点)地存在。
通过上述超声波振动接合处理而使集电电极20A、20B与太阳能电池单元ST1直接电连接(接合)。如此，人工集电电极20A、20B与太阳能电池单元ST1电接合，在太阳能电池模块中，该集电电极20A、20B作为在太阳能电池单元ST1发电的电的“集电用电极”即汇流条电极而发挥功能。在此，例如，一方的集电电极20A作为阴极电极发挥功能，另一方的集电电极20B作为阳极电极发挥功能。
如以上那样，本实施方式所涉及的电极接合装置100(电极接合方法)在太阳能电池单元ST1上对沿着玻璃基板1的端边部L1、L2而配置的集电电极20A、20B实施以下的接合处理。即，在从端边部L1、L2到配置集电电极20A、20B的位置为止的玻璃基板1的区域，沿着端边部L1、L2按压玻璃基板1。然后，一边进行该按压，一边对上述集电电极20A、20B实施超声波振动接合处理，使集电电极20A、20B与玻璃基板1接合。
因此，即使对玻璃基板1使集电电极20A、20B以较小的剥离强度(接合强度)接合，也能抑制各点的剥离强度(接合强度)的偏差。图10是表示本发明的效果的实验数据。
发明人一边用基板固定部12按压固定端边部L1、L2，一边对集电电极20A、20B实施超声波振动接合处理(第一情形)。另外，发明人不用基板固定部12按压固定端边部L1、L2地对集电电极20A、20B实施超声波振动接合处理(第二情形)。在此，在第一、二情形中，对带状的集电电极20A、20B散布点地沿着该集电电极20A、20B的延设方向实施多个超声波振动接合处理。另外，第一情形中的超声波振动接合处理的条件(超声波振动工具14的加压力、超声波振动工具14的振动数、振幅)与第二情形中的超声波振动接合处理的条件相同。
在该第一、二情形下，在实施了超声波振动接合处理的各点测定集电电极20A、20B的剥离力。将该测定结果在图10示出。在此，图10的纵轴是剥离力(还能掌握为剥离强度、接合强度)(g)，图10的横轴是集电电极20A(或集电电极20B)中的实施了超声波振动接合处理的处理点。
如图10所示那样，在第一情形中，在剥离力较弱的状态下，其强度稳定。即，即使成为较弱的剥离力那样实施了超声波振动接合处理，也抑制了各处理点的剥离强度(接合强度)的偏差。
另一方面，在第二情形下，成为较弱的剥离力那样实施了超声波振动接合处理的结果，各处理点的剥离力(接合强度)的偏差变大。例如，即使以剥离力200g(目标值)为目标实施了超声波振动接合处理，也会产生未接合的处理点，或者产生成为目标值的5倍程度的剥离力的处理点。即，在第二情形中，在相同的集电电极20A、20B出现未接合的处理点以及给太阳能电池单元ST1带来损害的处理点。
如图10所示那样，通过采用本发明，即使对玻璃基板1使集电电极20A、20B以较小的剥离力接合，也能抑制各点的剥离强度(接合强度)的偏差。
另外，发明人尝试各种实验的结果，有如下发现。即，使集电电极20A、20B沿着玻璃基板1的端边部L1、L2配置。然后，在端边部L1、L2附近(即，从端边部L1、L2到配置集电电极20A、20B的位置为止的区域)(参考图6、7)，沿着端边部L1、L2按压玻璃基板1。然后，一边进行该按压，一边对集电电极20A、20B实施超声波振动接合处理。由此发现，即使对玻璃基板1使集电电极20A、20B以较小的剥离力接合，也最能抑制各点的剥离强度(接合强度)的偏差。
例如，使集电电极20A、20B沿着玻璃基板1的端边部L1、L2配置。然后，在端边部L1、L2附近(即，从端边部L1、L2到配置集电电极20A、20B的位置为止的区域)(参考图6、7)，沿着端边部L1、L2按压玻璃基板1。此外，在端边部L3、L4附近，沿着该端边部L3、L4按压玻璃基板1。然后，一边进行该按压(即，一边按压全部端边部L1～L4)，一边对集电电极20A、20B实施超声波振动接合处理。发现在该情况下，即使对玻璃基板1使集电电极20A、20B以较小的剥离力接合，各点的剥离强度(接合强度)的偏差也是与上述第二情形同样的倾向。
另外，使集电电极20A、20B沿着玻璃基板1的端边部L1、L2配置。然后，在端边部L3、L4附近，沿着端边部L3、L4按压玻璃基板1。然后，一边进行该按压(即，一边按压端边部L3、L4)，一边对集电电极20A、20B实施超声波振动接合处理。发明人发现，在该情况下，即使对玻璃基板1使集电电极20A、20B以较小的剥离力接合，各点的剥离强度(接合强度)的偏差也不能抑制到第一情形程度。使集电电极20A、20B沿着玻璃基板1的端边部L1、L2配置。然后，在端缘部L1、L2附近(即，从端边部L1、L2到配置集电电极20A、20B的位置为止的区域)，散布点地按压玻璃基板1。然后，一边进行该按压(即，一边以点按压端边部L1、L2附近)，一边对集电电极20A、20B实施超声波振动接合处理。发明人发现，在该情况下，即使对玻璃基板1使集电电极20A、20B以较小的剥离力接合，各点的剥离强度(接合强度)的偏差也会变大。
另外，按压构件12A的截面形状为L字状。并且，通过驱动部12B，基板固定部12(按压构件12A)还能在水平方向上移动。因此，还能使用按压构件12A来进行基台11的玻璃基板1的定位处理。
另外，按压构件12A中的与太阳能电池单元ST1上抵接的部分，比按压构件12A中与玻璃基板1的侧面抵接的部分柔软。因此，按压构件12A能柔和地按压玻璃基板1，能防止由于该按压给太阳能电池单元ST1带来损害。另外，由于按压构件12A中的与玻璃基板1的侧面抵接的部分不柔软，因此能精度良好地进行玻璃基板1的定位。
另外，按压构件12A按压玻璃基板1的部分也可以是带有圆的形状。
另外，控制部可变地控制按压构件12A进行按压的力以及超声波振动工具14进行的超声波振动接合处理的条件。因此，能根据玻璃基板1的厚度和原材料、集电电极20A、20B的厚度和原材料等，自由地变更由按压构件12A进行按压的力以及由超声波振动工具14进行的超声波振动接合处理的条件。
对本发明详细进行了说明，但上述的说明在全部方面都是例示，并不限定本发明。能理解为：能在不脱离本发明的范围内得到未例示的无数的变形例。
标号的说明
1 玻璃基板
L1～L4 端边部
ST1 太阳能电池单元
11 基台
12 基板固定部
12A 按压构件
12B 驱动部
12C 弹性构件
14 超声波振动工具
20A、20B 集电电极
25 压痕
100 电极接合装置

Claims (5)

1.一种电极接合装置，是使第一电极以及第二电极(20A、20B)沿着形成有太阳能电池单元(ST1)的矩形状的基板(1)的相互对置的第一端边部以及第二端边部(L1、L2)而与所述基板(1)接合的电极接合装置(100)，具备：
基台(11)，其载置所述基板；
超声波振动工具(14)，其在所述太阳能电池单元上，对沿着所述第一端边部以及所述第二端边部配置的所述第一电极以及所述第二电极实施超声波振动接合处理；和
2个按压构件(12A)，能够在上下方向上移动，用于按压所述基板，
一方的所述按压构件在所述基板中的从所述第一端边部到所述第一电极的配置位置为止的第一给定区域内，沿着所述第一端边部避开所述第一电极地按压所述基板，
另一方的所述按压构件在所述基板中的从所述第二端边部到所述第二电极的配置位置为止的第二给定区域内，沿着所述第二端边部避开所述第二电极地按压所述基板，
所述电极接合装置还具备：
用于控制所述按压构件的控制部，
所述控制部可变地控制由所述按压构件进行的所述按压的力。
2.根据权利要求1所述的电极接合装置，其特征在于，
所述按压构件的截面形状为L字状，
所述按压构件还能够在水平方向上移动。
3.根据权利要求2所述的电极接合装置，其特征在于，
所述按压构件中的与所述太阳能电池单元上抵接的部分，比所述按压构件中的与所述基板的侧面抵接的部分柔软。
4.根据权利要求3所述的电极接合装置，其特征在于，
所述控制部可变地控制由所述超声波振动工具进行的所述超声波振动接合处理的条件。
5.一种电极接合方法，具备：
(A)将形成太阳能电池单元(ST1)的矩形状的基板(1)载置在基台(11)上的工序；
(B)在所述太阳能电池单元上使电极(20A、20B)沿着所述基板的端边部(L1、L2)配置的工序；
(C)在从所述端边部到配置所述电极的位置为止的所述基板的区域内，沿着所述端边部避开所述电极地按压所述基板的工序；和
(D)一边进行所述(C)工序，一边对所述电极实施超声波振动接合处理来使所述电极与所述基板接合的工序，
可变地控制按压所述基板的力。
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