CN105684176A - 压电变压器和对应电极 - Google Patents
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Abstract
说明具有表面结构的压电变压器(10),所述表面结构具有至少一个突出的表面结构片段(5),其中所述压电变压器具有外形(3)并且适合于与对应电极(10)共同作用地为产生等离子体对气体放电,其中表面结构被这样地构造,使得气体放电在外形(3)上的多个放电起始点(6)处开始。表面结构片段(5)的宽度小于压电变压器(1)的宽度。
Description
技术领域
本发明涉及压电变压器和具有压电变压器的设备以及对应电极和具有对应电极的设备。
发明内容
要解决的任务是:说明用于处理表面的设备用的改善的压电变压器和改善的对应电极。
所述任务通过具有权利要求1的特征的压电变压器以及通过具有权利要求15的特征的对应电极解决。有利的扩展方案和改进方案是从属权利要求的主题。
建议的压电变压器具有表面结构,所述表面结构具有至少一个突出的表面结构片段。压电变压器此外具有外形并且适合于与对应电极共同作用地为了产生等离子体对气体放电。表面结构被这样地构造,使得气体放电在外形上的多个放电起始点处开始。气体放电可以是介质阻挡放电或者其他放电。等离子体优选地是冷等离子体。
表面结构的外形(Kontur)优选地表示表面结构的轮廓线(Umriss)或者包络线或者包络性线或者面。外形优选地不是表面结构的实际上的外部轮廓线,而是虚构的、优选地平的或者轻微弯曲的侧线或者侧面。优选地,表面结构由外形包围或者限定,其中表面结构的表面点或者区域可以直接地布置在外形上或者布置在由外形限定或者包围的区域之内。
气体放电优选地在表面结构的外形上的多个、例如离散的放电起始点处开始。放电起始点优选地表示外形上的这样的点,在所述点中气体放电可以首先或者能量上最有益地被发起。
此外,表面结构的表面结构片段的宽度优选地小于压电变压器的宽度。
表面结构片段的宽度优选地与表面结构片段或者表面结构的长度垂直地延伸。压电变压器的宽度相应地优选地与压电变压器的长度垂直地延伸。所述的长度和宽度可以与所述的组件的俯视图或者横截面有关。
在一种优选的扩展方案中,表面结构被布置或者构造在压电变压器的输出侧上。输出侧优选地表示压电变压器的侧,可以在该侧处或者在该侧上分接所转换的输出电压。
表面结构优选地不描述压电变压器的唯一的平的端面或者输出侧,而是例如具有纹理或者确定的、例如显微地结构化的表面。优选地,表面结构包括多个突出的表面结构片段(见下面)。通过设置表面结构优选地实现:压电变压器的表面点或者表面区域不是所有全部地处于一个平面中,而是若干表面点例如相对于压电变压器的对应电极的间隔比其他的点具有更大的间隔。由此可以有利地创造多个放电起始点,所述放电起始点优选地最靠近对应电极地布置。由于较小的间隔在外形上的多个点中能够构造较高的局部电场用于对气体放电并且产生等离子体。
在一种优选的扩展方案中,表面结构适合于和/或被构造用于与对应电极共同作用地在放电起始点处构造局部提高的电场强度分布。
压电变压器尤其提供用于对气体放电需要的电压。气体可以是静态的或者流过的或者流经压电变压器和/或对应电极的气体。
尤其可以通过说明的压电变压器说明例如用于处理表面的设备,所述设备可以更有效地被运行。效力在此可以尤其涉及气体的电离程度或者效率。此外,例如在空气作为气体的情况下,每时间单位和空气体积所产生的臭氧的份额可以被提高。通过设置压电变压器,此外可以放弃使用从高压源到放电单元的高压引线以及放弃使用高压插头接点以及与此连接的点火单元。此外,可以说明用于处理表面的特别紧凑的和简单的设备,所述设备尤其以空间效率和/或重量效率和/或很少的所需要的构件或者组件而突出。通过低数量的所需要的或者相互作用的组件,可以又有利地提高总***的可靠性,因为该总***是不太易于出错的。此外,所介绍的概念有利地允许冷等离子体的简化的点火。在此可能也可以放弃使用阻挡放电单元作为用于冷等离子体的点火单元。
在一种优选的扩展方案中,表面结构具有电极或者构成所述电极。由此可以与对应电极共同作用地为了产生等离子体在电极和对应电极之间对气体放电。
在一种优选的扩展方案中,表面结构片段限定压电变压器的外形。
在一种优选的扩展方案中,表面结构具有多个表面结构片段,其中间隙分别布置在相邻的表面结构片段之间,并且其中表面结构片段与间隙一起构成表面结构。优选地,外形不同于表面轮廓地包围所述间隙。通过多个表面结构片段,可以尤其按照表面结构片段的几何形状提供多个放电起始点用于产生等离子体。由此从能量方面看能够实现特别高效的气体放电,因为气体可以被电离到特别高的程度。
在一种优选的扩展方案中,表面结构片段类似地被构造。通过所述扩展方案,气体可以有利地在表面处同样地或者均匀地被放电,并且均匀的等离子体以在表面上分布的方式被产生。这尤其提供均匀的表面处理的优点,例如用于表面的净化或者消毒。
在一种优选的扩展方案中,表面结构片段的宽度或者两个相邻的表面结构片段的间隔大于10μm。该扩展方案对于等离子体产生是特别有利的,因为通过这种方式可以在表面处或者在表面结构处构造微放电。微放电可以表示多个在微米范围中彼此相间隔的气体放电。
在一种优选的扩展方案中,表面结构具有表面轮廓,其中表面结构的表面轮廓的轮廓深度大于表面结构片段的宽度。所述扩展方案有利地提高表面结构片段的纵横比、例如从表面结构的横截面来看,由此如上描述的,表面结构的几何形状可以特别适宜地被创造,所述几何形状能够局部地在压电变压器和例如对应电极或者作为对应电极起作用的组件之间构造高的电场。表面轮廓适宜地与外形不同,其中所述表面轮廓例如从表面结构的横截面看描述或者构成表面结构的实际的走向。
在一种优选的扩展方案中,放电起始点处于一个平面中。通过平的几何形状此外有利地能够实现平的表面的尤其平面处理。
在一种优选的扩展方案中,表面结构片段在横截面中是三角形的、四角形的、例如矩形的,或者具有多于四个的角。通过所述扩展方案,可以与平坦的对应电极共同作用地构造在能量上特别高效的气体放电。表面结构片段的有角的几何形状此外允许以简单的和适宜的方式构造放电起始点。
在一种优选的扩展方案中,表面结构在2mm至4cm之间在压电变压器的宽度上延伸。
在一种扩展方案中,表面结构拥有多边形外表,并且具有多个表面结构片段。
在一种扩展方案中,各自的表面结构片段通过多边形导线的直的部分确定,其中放电起始点处于不同的平面上。通过所述扩展方案,等离子体可以这样地被形成或者构造,使得例如与放电起始点的平的布置相比,能够实现更确切地说成圆形的或者根据多边形外表形成的表面处理。
根据所述扩展方案,表面结构优选地无间隙地被构造。
在一种扩展方案中,表面结构具有仅一个唯一的表面结构片段,所述表面结构片段在压电变压器的输出侧处限定所述压电变压器的端面,其中放电起始点处于相同的平面上。按照所述扩展方案,表面结构片段的宽度例如为小于100μm,使得在端面上的相邻放电起始点之间的间隔也小于例如100μm。所述扩展方案能够有利地实现与其说平面的表面处理不如说对准的或者逐点的表面处理。
在一种扩展方案中,压电变压器朝向压电变压器的输出侧逐渐变细。
在一种扩展方案中,表面结构通过对压电变压器的基础材料进行机械加工与压电变压器整体地成型(abformen)。
在一种扩展方案中,压电变压器具有变压器主体,所述变压器主体配备有结构部分,其中表面结构在结构部分中被构造,并且其中结构部分相对于压电变压器固定地与变压器主体连接。通过所述扩展方案可以在压电变压器不必相应地被实施或者被处理的情况下,通过构造结构部分,使表面结构匹配于对于表面处理所需要的条件,并且利用上述的优点。结构部分可以是导电材料,这尤其在常规的等离子体产生中、也即在无介质阻挡放电的情况下是适宜的。可替代地,在介质阻挡放电的情况下,结构部分可以是电绝缘的结构部分。
在一种扩展方案中,表面结构是导电的。所述扩展方案能够在无介质阻挡放电的情况下实现常规的等离子体产生。放弃介质阻挡放电尤其提供优点:在产生等离子体时,可以放弃相应的点火单元和/或阻挡放电单元。
在一种可替代的扩展方案中,表面结构是电绝缘的,其中气体放电是介质阻挡放电。介质阻挡放电例如相对于常规的电极设计提供高的能量效率、低的等离子体温度以及少的材料磨损现象的优点。
此外,说明具有压电变压器的设备,所述设备此外具有对应电极,例如为了在压电变压器和对应电极之间产生等离子体,所述对应电极朝向表面结构地布置。适宜地,气体同样地布置在压电变压器或者该压电变压器的输出侧与对应电极之间。设备提供上面已经描述的优点。
在设备的一种优选的扩展方案中,对应电极平坦地被构造。
在设备的一种优选的扩展方案中,等离子体是低能量的大气压等离子体。有利地,通过所述扩展方案可以例如将空气环境考虑为用于放电的气体。
在设备的一种优选的扩展方案中,气体是氦气、氩气、氮气或者空气。
此外,对应电极具有表面结构,所述表面结构具有至少一个突出的表面结构片段,其中对应电极具有外形并且适合于与压电变压器共同作用为了产生等离子体对气体放电,其中气体放电在表面结构的外形上的多个、例如离散的放电起始点处开始。
尤其,全部针对压电变压器公开的特征也可以与对应电极有关,并且反之亦然。此外可以类似于具有表面结构的压电变压器的优点得到针对具有表面结构的对应电极的优点。
在对应电极的一种优选的扩展方案中,表面结构具有多个表面结构片段,其中间隙布置在表面结构片段之间,并且其中间隙与表面结构片段一起构成表面结构。
在对应电极的一种优选的扩展方案中,表面结构沿着对应电极的内侧延伸。通过所述扩展方案,用于处理表面的设备是可设想的,其中压电变压器被布置在由对应电极限定的空腔中。
在对应电极的一种扩展方案中,表面结构沿着对应电极的长度延伸。
此外,说明具有对应电极和压电变压器的设备,其中所述设备被构造用于在表面结构和压电变压器之间对气体放电。
在最后所述的设备的一种优选的扩展方案中,压电变压器至少部分地被布置在由对应电极构成的空腔之内。所述扩展方案有利地能够实现对应电极和压电变压器的同轴布置。
在最后所述的设备的一种优选的扩展方案中,压电变压器与对应电极同轴地布置在设备中。
另一方面涉及设备用于对表面疏水化、用于提高塑料薄膜的附着或者用于医学上伤口处理的应用。
附图说明
本发明的其他优点、有利扩展方案和权宜之计由结合图对实施例的以下描述得出。
图1A示意性地示出具有表面结构的压电变压器的扩展方案。
图1B示意性地示出按照可替代的实施方式的具有压电变压器的设备。
图1C示意性地示出按照图1B的压电变压器的扩展方案的一部分。
图1D示意性地示出按照可替代的扩展方案的压电变压器的前视图。
图1E示意性地示出按照图1D的压电变压器的俯视图。
图2A和2B分别示意性地示出压电变压器的表面结构的可替代的扩展方案的侧视图。
图3示意性地示出具有结构部分的压电变压器的可替代的扩展方案。
图4示意性地示出具有压电变压器和对应电极的用于处理表面的设备。
图5A和5B分别示意性地示出按照图4的对应电极的不同的扩展方案。
相同的、类似的和起相同作用的元件在图中配备有相同的附图标记。图和在图中所示出的元件彼此的尺寸比例不应被认为是按比例的。相反地,为了较好的可显示性和/或为了较好的理解可能将单个元件过大地示出。
具体实施方式
图1A示出压电变压器1。压电变压器1可以单片地或者以多层结构方式被制造。此外,压电变压器1优选地是陶瓷压电变压器。这样的陶瓷压电变压器可以适宜地被使用用于保障电压供应用于气体放电用以产生等离子体。
压电变压器1具有输出侧7。输出侧7适宜地表示压电变压器1的侧,在该侧处或在该侧上可以分接相应地转换的输出电压。压电变压器1的输入侧没有明确地标出。压电变压器1的宽度用B标出。
此外,压电变压器1在输出侧7处具有表面结构2。表面结构2在压电变压器的整个宽度B上延伸。表面结构2具有带有多个表面结构片段5的表面轮廓4。表面轮廓4的轮廓深度或者表面结构片段5的高度用H标出。表面结构的表面轮廓4的轮廓深度H优选地大于两个相邻的表面结构片段5的间隔或者大于表面结构片段5的宽度B1。宽度B优选地为2mm和4cm之间。
压电变压器1的宽度B优选地垂直于该压电变压器的高度(在所述图中未明确地标出)和长度(参见以下)伸展。对于具有压电变压器1和带有对应电极(下面参看附图标记10)的设备,对应电极相对于压电变压器1此外优选地纵向侧地位于表面结构2对面和/或位于表面结构2的相同高度上。可替代地或者附加地,对应电极可以适宜地朝向表面结构2。
宽度B1优选地是压电变压器1的宽度B的多倍分之一。
表面结构片段5的宽度B1可以对应于两个相邻的表面结构片段5的间隔,如在图1A中所示。
表面结构片段5在横截面中或者从侧面看分别以三角形方式形成并且布置在一个平面内。此外,表面结构片段5类似地被构造。
按照该示出的实施方式,表面结构片段5通过表面结构2的表面的在横截面中三角形的片段或者部分构成。
图1A和1B的图示可以是压电变压器1的纵视图或者侧视图。
在相邻的表面结构片段之间分别布置间隙(未明确标出),其中表面结构片段5与间隙一起构成表面结构2。
表面结构片段5此外限定表面结构2的外形3。表面结构片段5的宽度和/或两个相邻的表面结构片段5的间隔优选地大于10μm。
在表面结构2的侧向边缘处,表面结构片段5分别仅在宽度B1的一半上或者分别通过压电变压器1的侧边切断地被构造。
这在尤其通过裁剪用于压电变压器的基体生产压电变压器1情况下能够是适宜的或者能够意味着简化。
压电变压器1优选地适合于与对应电极(参看图1B中的附图标记10)共同作用地为了产生等离子体对气体放电,其中放电在表面结构2的外形3上的多个、例如离散的放电起始点6处进行。放电起始点6优选地是压电变压器或者表面结构2的输出侧最外面的点或者区域。所述放电起始点在图1A中位于表面结构2或者表面结构片段5与外形3相切的点处。气体放电可以在放电起始点6中优选地最简单地和/或能量最有益地被发起。
气体放电可以在运行压电变压器时有利地在表面结构2的外形3上的放电起始点6处开始或者进行,因为放电起始点6相对于作为压电变压器1的对应电极起作用的组件(参看图1B中的10)的几何间隔比在表面结构2的表面点5处小,所述表面点5不位于外形3上。作为对应电极起作用的组件例如可以是相对于表面结构2布置的、优选地平坦的对应电极。可替代地,在此可以是等离子体本身。可替代地,在此可以是通过等离子体要处理的表面。
由于所述组件的较小的几何间隔,局部提高的电场强度分布可以优选地在放电起始点6中被构造并且气体或者等离子体的电离程度可以被提高。
图1B示出用于处理表面的设备100。设备100包括按照一种可替代的扩展方案的压电变压器1。与来自图1A的该压电变压器不同,在所述压电变压器1情况下,表面结构2的表面结构片段5在横截面中以矩形或者正方形方式被构造。对应于表面结构片段5,在所述表面结构片段之间的间隙也以矩形或者正方形方式形成,以便构成表面结构片段5。
虽然这些未被明确地示出,但是表面结构片段也可以包括其他适宜的形状并且在横截面中例如可以是多边形的和/或可以具有多于四个的角。
不同于在图1A和1B中所示的,表面结构也可以这样构造,使得所述表面结构或者表面结构片段不是在压电变压器的宽度B上、而是沿着所述压电变压器的深度或者高度(在图1A和1B中进入图示平面)延伸。
此外,设备100具有对应电极10。对应电极10朝向压电变压器1的表面结构2并且与该表面结构2相间隔地布置。设备100优选地是用于借助于等离子体处理表面的设备。在设备运行中,在压电变压器1和对应电极10之间的间隙中优选地布置气体,所述气体为了产生等离子体可以借助于设备100和可能用于产生等离子体的其他组件被放电。对应电极10平坦地被构造。可替代地,代替压电变压器,对应电极10可以具有所描述的表面结构。与此相应地,每个对于表面结构所描述的特征可以涉及压电变压器和/或对应电极。
图1C示意性地示出按照在图1A中所示的扩展方案的单个表面结构片段5的透视的放大视图。放电起始点6优选地位于每个表面结构片段5的侧边或者角处。压电变压器的输出侧的端面用附图标记21标出。
图1D示出在可替代的扩展方案中的压电变压器1的前视图、正面或者横截面,其中在输出侧相对的表面配备有表面结构2。
在图1E中示出按照图1D的扩展方案的压电变压器1上的俯视图。放电起始点6在图1E中在输出侧7上用水平线表明,放电起始点6可以布置在所述水平线上或者可以在所述水平线上构造。气体放电因此可以优选地在所述线上进行。
按照该扩展方案,表面结构片段5(不同于图1A和1B)沿着主表面和部分地沿着压电变压器1的长度L延伸(也参看图1E)。如所示,表面结构片段5优选地在压电变压器1的整个输出侧7上延伸。长度L可以在图1A和1B中竖直地、也即垂直于宽度B地延伸。
在图1D和1E中所示的扩展方案尤其是适合于例如针对用于特别对准的表面处理的设备所设计的压电变压器。
图2A示出压电变压器1的可替代的扩展方案,其中表面结构2只具有一个唯一的表面结构片段5。表面结构片段5通过压电变压器1在输出侧上逐渐变细构成。尤其,压电变压器在输出侧上按照长度直到输出侧的端面21为止逐渐变细,其中表面结构2至少部分地通过端面21限定。
按照所述扩展方案,表面结构片段5通过端面21确定。宽度B1这里优选地比宽度B以及比输出侧7的纵向伸展小得多。表面结构片段的宽度B1可以例如处于微米范围或者毫米范围中。
图2B示出压电变压器1的另一可替代的扩展方案。表面结构2在该情况下具有多个表面结构片段5,所述表面结构片段5例如与来自图1A、1B和1E的表面结构片段不同,不是被布置在一个平面中而是被布置在不同的平面中。换而言之,表面结构2在横截面中以多角形或者多边形的方式被实施,使得放电起始点优选地布置在表面结构2的角或者边上。表面结构2尤其有多边形外表,其中各自的表面结构片段5通过多边形导线(Polygongzug)的直的部分确定。按照表面结构片段5,放电起始点6布置在不同的平面上。(如上描述的那样)通过表面结构片段5限定的外形3半圆形地伸展。
图3示出压电变压器1的可替代的扩展方案,自动(vonsichaus)或者由同一基体形成的压电变压器1不具有表面结构。换而言之,在生产或者制造压电变压器1时,变压器主体22配备有结构部分20。结构部分20优选地具有表面结构2。该表面结构2在图3中具有按照图1B的矩形的表面结构片段5。可替代地,表面结构2可以对应于每个这里描述的表面结构2被构成。结构部分20例如利用适当的装置固定地在输出侧被安置或者模制在变压器主体22上。
结构部分20相对于压电变压器1适宜地以机械方式刚性地与该压电变压器1连接,使得结构部分20在压电变压器运行中例如可以吸收压电变压器1的机械振动。在此,结构部分20可以间接地或者直接地被安置在压电变压器1处。
在本申请的范围中并且在常规的电极设计的情况下,表面结构2可以导电地被构造。在通过介质阻挡放电(dielektrischeBarriereentladung)产生等离子体的情况下,表面结构2可替代地也可以电绝缘地被构造。
在阻挡放电单元情况下,例如为了产生冷的等离子体,静态的或者流经的气体被电离。对于放电需要的电压可以包括几千伏特的交流电压。
介质阻挡放电尤其意味着:虽然在电极之间构建高压,但是所述电极中的至少一个通过电介质遮蔽。
图4示意性地示出设备100的可替代的扩展方案。该图示优选地是设备100的侧视图或者横截面视图。设备100包括压电变压器1。此外,设备100包括对应电极10。与在图1B中示出的设备不同,对应电极10(代替压电变压器1)具有表面结构2。表面结构2按照来自图1A的表面结构利用在截面图中三角形的表面结构片段5构造;然而表面结构也可以类似于所有这里描述的表面结构来构造。
压电变压器1布置在由对应电极10限定的空腔或者间隙(未明确地标出)中。压电变压器1此外与压电变压器1同轴地围绕设备100的纵轴X布置。在图4中,表面结构优选地决定性地在对应电极10和/或压电变压器1的长度上延伸。
用于使等离子放电的气体(未明确示出)可以静态地布置在对应电极10和压电变压器1之间的间隙或者空腔中,或者在那里流过。所述气体可以是氦气、氩气、氮气、空气、例如环境空气或者其他气体。
等离子体优选地是低能量大气压等离子体。
在图5A中示意性地示出对应电极10,其中只要图4涉及设备100的横截面,所述对应电极10就与在图4中示出的表面结构2类似地来构造。表面结构2被这样地构造,使得放电起始点6广泛地围绕对应电极10延伸。可能的放电起始点6通过线表明。
图5B示意性地示出对应电极10的可替代的扩展方案,其中表面结构2被这样地构造,使得放电起始点6沿着对应电极10的纵轴X伸展。
通过连同表面结构片段和放电起始点来构造表面结构,可以尤其最大化在对应电极或者压电变压器的表面处的气体放电的数量,并且因此提高用于处理表面的等离子体的电离程度。这又可以导致在能量上更有效的以及在空间上更均匀的表面处理。
表面处理优选地涉及表面的疏水化、塑料薄膜的附着的提高和/或医学上伤口处理。
在利用臭氧进行表面处理的情况下,优选地将环境空气用作针对用于产生等离子体的气体放电的气体。所产生的等离子体几何形状的精调在该情况下可以通过对压电变压器的脉宽调制操控来实现。
此外,在利用臭氧进行表面处理的情况下,可以通过具有压电变压器连同结构部分的多重布置的设备进一步提高用于等离子体产生或者臭氧生成的效率。
本发明不通过根据实施例的描述被限制。相反地,本发明包括每个新的特征以及特征的每个组合,这尤其包含在权利要求中的特征的每个组合,即使所述特征或者所述组合自身未明确地在权利要求或者实施例中说明。
附图标记列表
1压电变压器
2表面结构
3外形
4表面轮廓
5表面结构片段
6放电起始点
7输出侧
10对应电极
20结构部分
21端面
22变压器主体
100设备
X纵轴
L长度
B、B1宽度
H轮廓深度。
Claims (18)
1.具有表面结构(2)的压电变压器(1),所述表面结构(2)具有至少一个突出的表面结构片段(5),其中所述压电变压器(1)具有外形(3)并且适合于与对应电极(10)共同作用地为了产生等离子体对气体放电,其中所述表面结构被这样地构造,使得气体放电在外形(3)上的多个放电起始点(6)处开始,并且其中表面结构(2)的表面结构片段(5)的宽度(B1)小于压电变压器(1)的宽度(B)。
2.按照权利要求1所述的压电变压器(1),其中表面结构片段(5)限定压电变压器(1)的外形(3)。
3.按照权利要求1或者2所述的压电变压器(1),其中表面结构片段(5)的宽度(B1)大于10μm。
4.按照上述权利要求中的至少一个所述的压电变压器(1),其中表面结构在2mm和4cm之间在压电变压器(1)的宽度(B1)上延伸。
5.按照上述权利要求中的至少一个所述的压电变压器(1),其中表面结构(2)具有多个表面结构片段(5),其中间隙分别布置在相邻的表面结构片段(5)之间,并且其中表面结构片段(5)与间隙一起构成表面结构(2)。
6.按照权利要求5所述的压电变压器(1),其中表面结构(2)具有表面轮廓(4),并且其中表面结构(2)的表面轮廓(4)的轮廓深度(H)大于表面结构片段(5)的宽度(B1)。
7.按照权利要求5或者6所述的压电变压器(1),其中放电起始点(6)处于一个平面中,并且其中表面结构片段(5)在横截面中是三角形的、四角形的、例如矩形的或者具有多于四个的角。
8.按照权利要求1至4中的至少一个所述的压电变压器(1),其中所述表面结构(2)拥有多边形外表,并且具有多个表面结构片段(5),并且其中各自的表面结构片段(5)通过多边形导线的直的部分确定,并且其中放电起始点(6)处于不同的平面上。
9.按照权利要求1至4所述的压电变压器(1),其中所述表面结构(2)仅具有一个唯一的表面结构片段(5),所述表面结构片段(5)在压电变压器(1)的输出侧处限定所述压电变压器(1)的端面,并且其中放电起始点(6)处于同一平面上。
10.按照上述权利要求中的至少一个所述的压电变压器(1),所述压电变压器(1)朝向压电变压器(1)的输出侧逐渐变细。
11.按照上述权利要求中的至少一个所述的压电变压器(1),其中所述压电变压器(1)具有变压器主体,所述变压器主体配备有结构部分(20),其中所述表面结构(2)在结构部分(20)中被构造,并且其中所述结构部分(20)固定地与变压器主体连接。
12.按照上述权利要求中的至少一个所述的压电变压器(1),其中所述表面结构(2)是导电的。
13.按照权利要求1至11中的至少一个所述的压电变压器(1),其中所述表面结构(2)是电绝缘的,并且其中所述气体放电是介质阻挡放电。
14.具有按照上述权利要求中的至少一个所述的压电变压器(1)的设备(100),其中所述设备(100)具有对应电极(10),所述对应电极(10)朝向表面结构(2)地布置并且,其中所述对应电极(10)平坦地被构造。
15.具有表面结构(2)的对应电极(10),所述表面结构(2)具有至少一个突出的表面结构片段(5),其中所述对应电极(10)具有外形(3)并且适合于与压电变压器(1)共同作用地为了产生等离子体对气体放电,其中所述气体放电在外形(3)上的多个放电起始点(6)处开始。
16.按照权利要求15所述的对应电极(10),其中所述表面结构(2)具有多个表面结构片段(5),其中间隙被布置在表面结构片段(5)之间,并且其中间隙与表面结构片段(5)一起构成表面结构(2)。
17.具有按照权利要求15或16所述的对应电极(1)以及压电变压器(1)的设备(100),其中所述设备(100)被构造用于在表面结构(2)和压电变压器(1)之间对气体放电。
18.按照权利要求17所述的设备(100),其中所述压电变压器(1)至少部分地布置在由对应电极(10)构成的空腔之内。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102013112316.3 | 2013-11-08 | ||
DE201310112316 DE102013112316A1 (de) | 2013-11-08 | 2013-11-08 | Piezoelektrischer Transformator und Gegenelektrode |
PCT/EP2014/068172 WO2015067388A1 (de) | 2013-11-08 | 2014-08-27 | Piezoelektrischer transformator und gegenelektrode |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN105684176A true CN105684176A (zh) | 2016-06-15 |
CN105684176B CN105684176B (zh) | 2018-10-19 |
Family
ID=51485580
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201480060969.6A Active CN105684176B (zh) | 2013-11-08 | 2014-08-27 | 压电变压器和对应电极 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10164165B2 (zh) |
EP (1) | EP3066700B1 (zh) |
JP (1) | JP6280217B2 (zh) |
CN (1) | CN105684176B (zh) |
DE (1) | DE102013112316A1 (zh) |
WO (1) | WO2015067388A1 (zh) |
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- 2013-11-08 DE DE201310112316 patent/DE102013112316A1/de not_active Withdrawn
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- 2014-08-27 CN CN201480060969.6A patent/CN105684176B/zh active Active
- 2014-08-27 EP EP14758833.9A patent/EP3066700B1/de active Active
- 2014-08-27 WO PCT/EP2014/068172 patent/WO2015067388A1/de active Application Filing
- 2014-08-27 JP JP2016528146A patent/JP6280217B2/ja active Active
- 2014-08-27 US US15/035,198 patent/US10164165B2/en active Active
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US10164165B2 (en) | 2018-12-25 |
US20160284970A1 (en) | 2016-09-29 |
EP3066700A1 (de) | 2016-09-14 |
EP3066700B1 (de) | 2018-10-03 |
JP6280217B2 (ja) | 2018-02-14 |
DE102013112316A1 (de) | 2015-05-13 |
WO2015067388A1 (de) | 2015-05-14 |
JP2017504954A (ja) | 2017-02-09 |
CN105684176B (zh) | 2018-10-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
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