CN105506548B - 一种掩膜板修复装置、修复方法及蒸镀*** - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种掩膜板修复装置、修复方法及蒸镀***，涉及掩膜技术领域，解决了现有对掩膜板进行修复必须将掩膜板从蒸镀腔室取出的问题。一种掩膜板修复装置，所述掩膜板修复装置包括修复器件和移动机构；所述移动机构用于带动所述修复器件在金属掩膜板正对的区域内、且在与所述金属掩膜板平行的面内移动；所述修复器件用于对所述金属掩膜板上与所述修复器件相对的部分进行修复。应用于掩膜板修复。

Description

一种掩膜板修复装置、修复方法及蒸镀***

技术领域

本发明涉及掩膜技术领域，尤其涉及一种掩膜板修复装置、修复方法及蒸镀***。

背景技术

FMM(fine metal mask，高精度金属掩膜板)主要用于显示面板的薄膜蒸镀，例如OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)显示面板中彩色膜层的蒸镀。

具体的薄膜蒸镀工艺如图1所示，在真空蒸镀腔室内，将蒸镀基板12与金属掩膜板11对位放置，其中，蒸镀基板12位于金属掩膜板11的上面，蒸发源14位于金属掩膜板11的下面。由于在真空蒸镀过程中蒸镀基板12与金属掩膜板11有可能发生相对移动，造成成膜区域偏移，导致形成的薄膜精度差，如图1所示，现有技术中在蒸镀基板12的上面放置有一块磁铁盖板13，磁铁盖板13通过磁性吸附金属掩膜板11，从而使得金属掩膜板11与蒸镀基板12紧密贴合，避免在真空蒸镀过程中蒸镀基板12与金属掩膜板11发生相对移动。

但由于金属掩膜板11的精度高，其金属网丝很细很轻，长时间的真空蒸镀，金属掩膜板11受到磁铁盖板13的磁化，金属网丝容易粘连，使得金属掩膜板11的掩膜图案不精准。

现有的修复金属掩膜板的方法是作业人员手持消磁器金属掩膜板进行消磁，从而必须将金属掩膜板从真空蒸镀腔室内取出，从而工作量大。

发明内容

本发明的实施例提供一种掩膜板修复装置、修复方法及蒸镀***，该掩膜板修复装置可以使得在真空蒸镀腔室内就可以对金属掩膜板进行修复处理。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一方面，本发明实施例提供了一种掩膜板修复装置，所述掩膜板修复装置包括修复器件和移动机构；

所述移动机构用于带动所述修复器件在金属掩膜板正对的区域内、且在与所述金属掩膜板平行的面内移动；

所述修复器件用于对所述金属掩膜板上与所述修复器件相对的部分进行修复。

可选的，所述修复器件包括：消磁器以及与所述消磁器连接的电流控制器；

所述电流控制器用于控制所述消磁器产生的磁场大小以及磁场变化频率的高低。

可选的，所述金属掩膜板的轮廓为矩形，包括相邻的第一边和第二边；

沿所述金属掩膜板的第一边，所述消磁器的长度大于或等于所述金属掩膜板；沿所述金属掩膜板的第二边，所述消磁器的长度小于所述金属掩膜板；

所述移动机构用于带动所述修复器件沿所述第二边的方向移动。

可选的，所述移动机构包括：第一丝杠和导向杆，所述第一丝杠和所述导向杆均与所述金属掩膜板的第二边平行，且所述第一丝杠与所述导向杆所确定的平面与所述金属掩膜板平行，所述第一丝杠和所述导向杆均穿过所述消磁器。

可选的，所述修复装置包括：图像获取装置以及与所述图像获取装置连接的显示设备；

其中，所述图像获取装置用于获取所述金属掩膜板上与所述图像获取装置相对的部分的图像，并发送给所述显示设备；

所述显示设备用于显示所述图像获取装置所获取的图像；

所述移动机构还用于使得所述图像获取装置在所述金属掩膜板正对的区域内、且在与所述金属掩膜板平行的面内移动。

可选的，在所述修复器件包括消磁器的情况下，所述图像获取装置设置在所述消磁器上，并可随着所消磁器的移动而移动；

所述移动机构还用于带动所述图像获取装置在垂直于所述消磁器移动的方向上移动。

可选的，所述修复器件包括：激光器，所述激光器用于向所述金属掩膜板发射激光；

所述移动机构具体用于驱动所述激光器移动至与所述显示设备显示的图像对应所述金属掩膜板的正对位置处。

可选的，所述修复装置还包括激光控制器，所述激光控制器还用于控制所述激光器发出的激光强度。

可选的，在所述修复器件包括消磁器的情况下，所述激光器设置在所述消磁器上，并可随着所消磁器的移动而移动；

所述移动机构还用于带动所述激光器在垂直于所述消磁器移动的方向上移动。

可选的，所述移动机构包括：导向槽和第二丝杠，所述导向槽设置在所述消磁器面对所述金属掩膜板的表面上、其垂直于所述消磁器移动的方向，所述第二丝杠设置在所述导向槽中，

所述第二丝杠与图像获取装置和/或激光器连接。

另一方面，本发明实施例提供了一种蒸镀***，包括真空蒸镀腔室以及位于所述真空蒸镀腔室内的蒸镀源和位于所述蒸镀源上方的金属掩膜板；还本发明实施例提供的任一所述的掩膜板修复装置，其中，所述掩膜板修复装置的修复器件位于所述真空蒸镀腔室内。

另一方面，本发明实施例提供了一种掩膜板修复装置的修复方法，所述修复方法包括：

启动修复器件；

驱动所述移动机构，以使得移动机构带动所述修复器件在金属掩膜板正对的区域内、且在与所述金属掩膜板平行的面内移动。

可选的，在所述修复器件包括消磁器和电流控制器的情况下，所述启动修复器件包括：启动所述电流控制器，以便由所述电流控制器向所述消磁器输入交流电，其中所述电流控制器向所述消磁器输入交流电的电流大小不断变化。

可选的，在所述修复装置还包括图像获取装置以及与所述显微镜连接的显示设备的情况下，所述修复方法还包括：

图像获取装置获取所述金属掩膜板上与所述图像获取装置相对的部分的图像，并发送给显示设备；

所述显示设备接收所述图像获取装置发送的图像并进行显示。

可选的，在所述修复器件包括激光器的情况下，若所述显示设备显示所述金属掩膜板有蒸镀材料淤积，驱动所述移动机构使得所述移动结构带动所述激光器移动至正对所述金属掩膜板有蒸镀材料淤积的位置处；

所述启动修复器件包括：启动所述激光器，向淤积的蒸镀材料位置处发射激光。

本发明的实施例提供一种掩膜板修复装置、修复方法及蒸镀***，包括修复器件和移动机构；移动机构用于带动修复器件在金属掩膜板正对的区域内、且在与金属掩膜板平行的面内移动；修复器件用于对金属掩膜板上与修复器件相对的部分进行修复。则修复装置可以安装于真空蒸镀腔室内，则无需将掩膜板从蒸镀腔室内取出，减少了修复的工作量。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有的薄膜蒸镀示意图；

图2为本发明实施例提供的掩膜板及其正对区域的示意图；

图3为本发明实施例提供的一种修复器件示意图；

图4为本发明实施例提供的另一种修复器件示意图；

图5为本发明实施例提供的一种修复装置示意图；

图6为本发明实施例提供的一种修复装置对掩膜板进行修复的示意图；

图7为本发明实施例提供的一种修复方法示意图。

附图标记：

11-金属掩膜板；12-蒸镀基板；13-磁铁盖板；14-蒸发源；20-修复器件；21-消磁器；22-电流控制器；30-移动机构；32-第一丝杠；32-导向杆；33-导向槽；34-第二丝杠；40-图像获取装置；100-掩膜板修复装置；111-第一边；112-第二边。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供了一种掩膜板修复装置，掩膜板修复装置包括修复器件和移动机构；移动机构用于带动修复器件在金属掩膜板正对的区域内、且在与金属掩膜板平行的面内移动；修复器件用于对金属掩膜板上与修复器件相对的部分进行修复。

如图2所示，金属掩膜板正对的区域11′即与金属掩膜板11所在平面垂直的面内，金属掩膜板11垂直投影区域。金属掩膜板正对的区域11′位于与金属掩膜板平行的面内。本发明实施例中，移动机构带动修复器件在金属掩膜板正对的区域内、且在与金属掩膜板平行的面内移动，即可以是移动机构带动修复器件在图2所示的区域11′内移动。具体的，移动机构可以是机械手或机械机器人等。

此外，对掩膜板进行修复具体根据掩膜板的实际问题进行。例如，掩膜板被磁化而有金属网丝粘结，则对掩膜板进行修复即要对掩膜板进行消磁修复。若掩膜板上有蒸镀材料淤积，则对掩膜板进行修复即要去除淤积的蒸镀材料。

本发明实施例提供的一种掩膜板修复装置，包括修复器件和移动机构；移动机构用于带动修复器件在金属掩膜板正对的区域内、且在与金属掩膜板平行的面内移动；修复器件用于对金属掩膜板上与修复器件相对的部分进行修复。则修复装置可以安装于真空蒸镀腔室内，则无需将掩膜板从蒸镀腔室内取出，减少了修复的工作量。当然，也可以将金属掩膜板从真空蒸镀腔室内取出，再利用修复装置对金属掩膜板进行修复，以减少作业人员的工作量。

优选的，如图3所示，修复器件20包括：消磁器21以及与消磁器连接的电流控制器22；电流控制器22用于控制消磁器21产生的磁场大小以及磁场变化频率的高低。电流控制器22和消磁器21的位置不限于图3所示，图3中以电流控制器22位于消磁器21的下方为例进行说明。

需要说明的是，消磁器产生不同频率(即磁场变化频率)和强度(即磁场大小)的交变磁场，以打乱金属掩膜板内部排列一致的磁畴，从而金属掩膜板由于磁化而粘连的金属网丝会消磁分开。一般的，磁场大小的变化频率越高，磁场强度越大，消磁效果越好。现有的修复金属掩膜板的方法是作业人员手持消磁器金属掩膜板进行消磁，且在一定频率的情况下，作业人员需要使得消磁器与金属掩膜板的距离逐渐减小，从而使得掩膜板接收磁场逐渐增大，以达到对金属掩膜板进行消磁的目的。

本发明实施例提供的修复器件中，电流控制器用于产生交变电流，并输出不同大小和频率的交变电流，继而使消磁器产生不同强度和频率的交变磁场。即本发明实施例可以通过电流控制器控制消磁器产生的磁场大小，从而无需改变消磁器与金属掩膜板之间的距离。即消磁器的移动平面与金属掩膜板所在平面平行且距离不变，通过调整电流控制器调整消磁器的磁场大小，即可以对金属掩膜板进行消磁，从而无需较大空间，可以更加方便的将修复装置安装于蒸镀腔室内。

当然，还可以通过电路控制器使得消磁器的磁场变化频率提高，从而消磁器的消磁效果更好，以节省消磁时间。

优选的，如图6所示，金属掩膜板11的轮廓为矩形，包括相邻的第一边111(即矩形的短边)和第二边112(即矩形的长边)；沿金属掩膜板11的第一边111，消磁器21的长度大于或等于金属掩膜板11，即沿101方向消磁器21的长度大于等于金属掩膜板11的长度。沿金属掩膜板11的第二边112，消磁器21的长度小于金属掩膜板11，即沿102方向消磁器21的长度小于金属掩膜板11的长度。移动机构用于带动修复器件20沿第二边112的方向(即102方向)移动，则修复器件20沿第二边112的方向(即102方向)移动，就可以对金属掩膜板的全部进行消磁。

当然，消磁器的长度也可以是在第一边和第二边的方向上均小于掩膜板的长度，则消磁器在第一边和第二边的方向上均可以移动，以对金属掩膜板的全部进行消磁。或者，消磁器的长度也可以是在第一边和第二边的方向上均大于掩膜板的长度，则消磁器在不移动的情况下，以对金属掩膜板的全部进行消磁。

优选的，如图5、图6所示，移动机构30包括：第一丝杠31和导向杆32，第一丝杠31和导向杆32均与金属掩膜板11的第二边112平行，且第一丝杠31与导向杆32所确定的平面与金属掩膜板11平行，第一丝杠31和导向杆32均穿过消磁器21，即消磁器21在第一丝杠31的带动下，沿导向杆32移动，则消磁器21的移动方向即为第二边112的方向(即102方向)。且第一丝杠31与导向杆32所确定的平面即为与金属掩膜板11平行的面。如图5、图6所示，本发明实施例以移动结构30包括两个导向杆32为例，其中，两个导向杆32分别位于第一丝杠31的两侧。

优选的，如图5、图6所示，修复装置100包括：图像获取装置40以及与图像获取装置40连接的显示设备(图中未示出)；其中，图像获取装置40用于获取金属掩膜板11上与图像获取装置40相对的部分的图像，并发送给显示设备；显示设备用于显示图像获取装置40所获取的图像；移动机构30还用于使得图像获取装置40在金属掩膜板11正对的区域内、且在与金属掩膜板11平行的面内移动。

图像获取装置可以获取掩膜板的图像以发送给显示设备，显示设备还可以将图像获取装置获取的图像进行放大以方便显示。从显示设备显示的图像中可以看出掩膜板是否被磁化而发出金属丝粘结或者从显示设备显示的图像中可以看出掩膜板上是否有蒸镀材料的淤积，从而进一步确认是否需要对金属掩膜板进行修复。

优选的，如图5、图6所示，在修复器件20包括消磁器21的情况下，图像获取装置30设置在消磁器21上，并可随着所消磁器21的移动而移动。移动机构30还用于带动图像获取装置40在垂直于消磁器21移动的方向上移动。

消磁器21移动的方向即为导向杆32的方向，导向杆32与第二边112平行，消磁器21的移动方向为第二边112的方向(即102方向)，即图像获取装置40可以沿第二边112的方向移动。则垂直于消磁器21移动的方向即为第一边111的方向(即101方向)，移动机构30还用于带动图像获取装置40在垂直于消磁器21移动的方向上移动，则图像获取装置40还可以沿第一边111的方向移动。则在图像获取装置40比较小的情况下，图像获取装置40通过在第一边111和第二边112的方向上的移动，可以获取金属掩膜板的全部图像。

优选的，本发明实施例中，图像获取装置可以是显微镜，显示设备可以是液晶显示器。则图像获取装置每次获取与显微镜对应的部分金属掩膜板的图像。

优选的，如图4、图6所示，修复器件20包括：激光器23，激光器23用于向金属掩膜板11发射激光；移动机构30具体用于驱动激光器23移动至与显示设备显示的图像对应金属掩膜板11的正对位置处，即移动机构30带动激光器23在与金属掩膜板11平行且与金属掩膜板11正对的区域内移动，以使得激光器23可以向金属掩膜板11的任意位置发射激光。

需要说明的是，掩膜板在进行掩膜蒸镀过程中，蒸镀材料有可能淤积在掩膜板上，从而造成掩膜图案不精准。本发明实施例提供的修复器件包括激光器，则激光器可以向掩膜板上淤积的蒸镀材料发射激光，从而使得淤积的蒸镀材料蒸发，保证掩膜板的掩膜精度。

优选的，如图4、图6所示，激光器21发射的激光与图像获取装置30获取的掩膜板图像的位置一致。以图像获取装置为显微镜为例，显微镜的镜头垂直掩膜板，以获取与镜头正对的掩膜板位置处的图像。激光器位于显微镜一侧，激光器的激光头可以是具有一定倾斜角度，从而激光头发射的激光正对掩膜板与镜头正对的位置。

优选的，修复装置还包括激光控制器，激光控制器还用于控制激光器发出的激光强度。由于不同蒸镀材料的沸点不同，本发明实施例中，激光控制器可以通过调节激光强度以蒸发不同的蒸镀材料。

优选的，如图4、图6所示，在修复器件20包括消磁器21的情况下，激光器23设置在消磁器21上，并可随着所消磁器21的移动而移动；移动机构30还用于带动激光器23在垂直于消磁器21移动的方向上移动。与图像获取装置30设置在消磁器21上的原理相同，消磁器21移动的方向即为导向杆32的方向，导向杆32与第二边112平行，消磁器21的移动方向为第二边112的方向(即102方向)，即激光器23可以沿第二边112的方向移动。则垂直于消磁器21移动的方向即为第一边111的方向(即101方向)，移动机构30还用于带动激光器23在垂直于消磁器21移动的方向上移动，则激光器23还可以沿第一边111的方向移动。则激光器23可以在第一边111和第二边112的方向上的移动，以向金属掩膜板11的任意位置发射激光。

优选的，如图5、图6所示，移动机构30包括：导向槽33和第二丝杠34，导向槽33设置在消磁器21面对金属掩膜板11的表面上、其垂直于消磁器21移动的方向，第二丝杠34设置在导向槽33中，第二丝杠34与图像获取装置40和/或激光器23连接，并沿导向槽33移动。由于消磁器21的移动方向为第二边112的方向，导向槽33垂直于消磁器21移动的方向，即导向槽33沿第一边111的方向，则第二丝杠34用于带动图像获取装置40和/或激光器23沿第一边111的方向(即101方向)移动。

需要说明的是，在移动机构还用于带动图像获取装置在垂直于消磁器移动的方向上移动的情况下，则第二丝杠穿过图像获取装置。在移动机构还用于带动激光器在垂直于消磁器移动的方向上移动的情况下，则第二丝杠穿过激光器。或者，在移动机构还用于带动图像获取装置和激光器在垂直于消磁器移动的方向上移动的情况下，如图4、图6所示，第二丝杠34穿过图像获取装置40和激光器23。

此外，本发明实施例中还提供了一种掩膜板修复装置，包括修复器件、移动机构以及图像获取装置以及与图像获取装置连接的显示设备；其中，图像获取装置用于获取金属掩膜板上与图像获取装置相对的部分的图像，并发送给显示设备；显示设备用于显示图像获取装置所获取的图像。修复器件包括激光器，移动机构用于带动激光器在金属掩膜板正对的区域内、且在与金属掩膜板平行的面内移动。

掩膜板在进行掩膜蒸镀过程中，蒸镀材料有可能淤积在掩膜板上，从而造成掩膜图案不精准。若显示设备显示金属掩膜板有蒸镀材料淤积，移动结构带动激光器移动至正对金属掩膜板有蒸镀材料淤积的位置处，并使得激光器向淤积的蒸镀材料位置处发射激光，从而使得淤积的蒸镀材料蒸发，保证掩膜板的掩膜精度。

其中，移动机构可以带动激光器在金属掩膜板正对的区域内、且在与金属掩膜板平行的面内任意移动，从而激光器可以向掩膜板的任意位置发射激光。移动结构的具体结构可以参照本发明实施例提供的方式，当然也不局限于本发明实施例中的具体方式。

本发明实施例提供了一种蒸镀***，包括真空蒸镀腔室以及位于真空蒸镀腔室内的蒸镀源和位于蒸镀源上方的金属掩膜板；还包括本发明实施例提供的任一掩膜板修复装置，其中，掩膜板修复装置的修复器件位于蒸镀腔室内。

需要说明的是，在掩膜板修复装置还包括图像获取装置以及与图像获取装置连接的显示设备的情况下，图像获取装置位于蒸镀腔室内，显示设备可以是位于蒸镀腔室的外面，以便工作人员进行观察。

为了保证掩膜板的正常蒸镀，位于蒸镀腔室内的掩膜板修复装置还可以在蒸镀腔室内移动。例如，在掩膜板进行蒸镀的过程中，掩膜板修复装置位于掩膜板正对区域之前的位置处。若需要对掩膜板进行检测修复时，驱动掩膜板修复装置位于掩膜板正对的区域内。

此外，在蒸镀腔室内还可以设置防尘罩以将掩膜板修复装置封闭保护起来，从而在掩膜板蒸镀的过程中可以防止蒸镀材料沉积在掩膜板修复装置上。

本发明实施例中，控制掩膜板修复装置进行修复以及移动机构的移动等均可以在蒸镀腔室外的线路控制，即操作人员可以在蒸镀腔室外控制消磁器、激光器以及图像获取装置的移动和开启等。

本发明实施例提供了一种如本发明实施例提供的任一的修复装置的修复方法，具体的，修复方法包括：

启动修复器件；驱动移动机构，以使得移动机构带动修复器件在金属掩膜板正对的区域内、且在与金属掩膜板平行的面内移动。

优选的，在修复器件包括消磁器和电流控制器的情况下，启动修复器件具体包括：启动电流控制器，以便由电流控制器向消磁器输入交流电，其中电流控制器向消磁器输入交流电的电流大小不断变化。

一般的，磁场大小的变化频率越高，磁场强度越大，消磁效果越好。具体的，本发明实施例中，在磁场频率一定的情况下，电流控制器向消磁器输入交流电的电流大小逐渐增大，则消磁器产生的磁场逐渐变大，消磁效果越高。即本发明实施例通过电流控制器控制消磁器产生的磁场大小，从而无需改变消磁器与金属掩膜板之间的距离。即消磁器的移动平面与金属掩膜板所在平面平行且距离不变，通过调整电流控制器调整消磁器的磁场大小，即可以对金属掩膜板进行消磁，从而无需较大空间，可以更加方便的将修复装置安装于蒸镀腔室内。

进一步的，还可以通过电路控制器使得消磁器的磁场变化频率提高，从而消磁器的消磁效果更好，以节省消磁时间。

优选的，在修复装置还包括图像获取装置以及与显微镜连接的显示设备的情况下，修复方法还包括：

图像获取装置获取金属掩膜板上与图像获取装置相对的部分的图像，并发送给显示设备；显示设备接收图像获取装置发送的图像并进行显示。

本发明实施例中，图像获取装置可以获取掩膜板的图像以发送给显示设备，显示设备还可以将图像获取装置获取的图像进行放大以方便显示。从显示设备显示的图像中可以看出掩膜板是否被磁化而发出金属丝粘结或者从显示设备显示的图像中可以看出掩膜板上是否有蒸镀材料的淤积，从而进一步确认是否需要对金属掩膜板进行修复。

优选的，在修复器件包括激光器的情况下，若显示设备显示金属掩膜板有蒸镀材料淤积，驱动移动机构具体使得移动结构带动激光器移动至正对金属掩膜板有蒸镀材料淤积的位置处；启动激光器，向淤积的蒸镀材料位置处发射激光。

掩膜板在进行掩膜蒸镀过程中，蒸镀材料有可能淤积在掩膜板上，从而造成掩膜图案不精准。本发明实施例提供的修复器件包括激光器，则激光器可以向掩膜板上淤积的蒸镀材料发射激光，从而使得淤积的蒸镀材料蒸发，保证掩膜板的掩膜精度。

具体的，以图像获取装置为显微镜为例，则显微镜与金属掩膜板对好焦，其视野内范围区域为蒸镀材料淤积的区域，则显微镜获取的图像中显示掩膜板上有蒸镀材料淤积。则激光器向蒸镀材料发射激光，激光烧结温度为蒸发材料的蒸发温度，从而使得蒸镀材料蒸发。优选的，在进行烧结完毕后再次用显微镜进行观察，直到金属网丝没有蒸镀材料为止。

优选的，在移动机构包括第一丝杠和导向杆的情况下，驱动移动机构具体包括：驱动第一丝杠旋转，以带动修复器件沿导向杆移动。即第一丝杠向修复器件提供驱动动力，从而使得修复器件沿导向杆移动。

优选的，在移动机构包括导向槽和第二丝杠的情况下，驱动移动机构还包括：驱动第二丝杠旋转，以带动图像获取装置和/或激光器沿导向槽移动。同理，第二丝杠向连接在第二丝杠上的图像获取装置和/或激光器提供驱动动力，从而使得连接在第二丝杠上的图像获取装置和/或激光器沿导向槽移动。

下面，本发明提供一具体实施例，说明本发明实施例提供的修复装置的修复方法。

如图6所示，掩膜板修复装置100位于金属掩膜板11的正下方，修复方法包括：

步骤101、启动电流控制器，向消磁器输入交流电。具体的，在较高磁场变化频率下，电流控制器向消磁器输入交流电的电流大小逐渐增大，从而使得消磁器的磁场逐渐变大，以对金属掩膜板进行消磁。

步骤102、驱动第一丝杠旋转，以带动消磁器沿导向杆方向移动。即消磁器沿第二边112的方向移动，从而消磁器可以对整个掩膜板进行全面消磁。

步骤103、图像获取装置获取金属掩膜板上与图像获取装置相对的部分的图像，并发送给显示设备进行显示。

步骤104、根据显示图像确认金属掩膜板是否有金属网丝粘结。

若显示设备显示图像中显示金属掩膜板可以继续进行掩膜，即金属掩膜板没有材料淤积，则修复结束。若显示设备显示的图像中显示金属掩膜板上仍有因磁化而导致的金属网丝粘结，则重复上述步骤101-步骤104，直至金属掩膜板上没有金属网丝粘结为止。

步骤105、根据显示图像确认金属掩膜板是否有蒸镀材料淤积.

若显示设备显示的图像中显示金属掩膜板上仍有蒸镀材料淤积则进行以下步骤106-步骤108。

步骤106、根据显示设备显示的图像确定掩膜板有蒸镀材料淤积的位置。具体的，掩膜板有蒸镀材料淤积的位置可以是与图像获取装置正对的位置处。

步骤107、驱动移动机构具体使得移动结构带动激光器移动至对应金属掩膜板有蒸镀材料淤积的位置处。

具体的，移动机构驱动第一丝杠和第二丝杠旋转，使得激光器与金属掩膜板有蒸镀材料淤积的位置处，以使得激光器能够向蒸镀材料发射激光。

步骤108、启动激光器，向淤积的蒸镀材料发射激光。以将淤积的蒸镀材料蒸发。

步骤103、图像获取装置获取金属掩膜板上与图像获取装置相对的部分的图像，并发送给显示设备进行显示。

若显示设备显示的图像中显示金属掩膜板上仍有蒸镀材料淤积则重复上述步骤106-步骤108，直至金属掩膜板上没有蒸镀材料淤积为止。

若显示设备显示金属掩膜板可以继续进行掩膜，即金属掩膜板没有材料淤积，则修复结束。

当然，根据金属掩膜板需要修复的问题的不同，上述步骤也不局限于上述顺序，本发明实施例仅以上述为例进行说明。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (13)

1.一种掩膜板修复装置，其特征在于，所述掩膜板修复装置包括修复器件和移动机构；

所述移动机构用于带动所述修复器件在金属掩膜板正对的区域内、且在与所述金属掩膜板平行的面内移动；

所述修复器件用于对所述金属掩膜板上与所述修复器件相对的部分进行修复；

所述修复装置包括：图像获取装置以及与所述图像获取装置连接的显示设备；

其中，所述图像获取装置用于获取所述金属掩膜板上与所述图像获取装置相对的部分的图像，并发送给所述显示设备；

所述显示设备用于显示所述图像获取装置所获取的图像；

所述移动机构还用于使得所述图像获取装置在所述金属掩膜板正对的区域内、且在与所述金属掩膜板平行的面内移动。

2.根据权利要求1所述的修复装置，其特征在于，所述修复器件包括：消磁器以及与所述消磁器连接的电流控制器；

所述电流控制器用于控制所述消磁器产生的磁场大小以及磁场变化频率的高低。

3.根据权利要求2所述的修复装置，其特征在于，所述金属掩膜板的轮廓为矩形，包括相邻的第一边和第二边；

沿所述金属掩膜板的第一边，所述消磁器的长度大于或等于所述金属掩膜板；沿所述金属掩膜板的第二边，所述消磁器的长度小于所述金属掩膜板；

所述移动机构用于带动所述修复器件沿所述第二边的方向移动。

4.根据权利要求3所述的修复装置，其特征在于，所述移动机构包括：第一丝杠和导向杆，所述第一丝杠和所述导向杆均与所述金属掩膜板的第二边平行，且所述第一丝杠与所述导向杆所确定的平面与所述金属掩膜板平行，所述第一丝杠和所述导向杆均穿过所述消磁器。

5.根据权利要求1所述的修复装置，其特征在于，在所述修复器件包括消磁器的情况下，所述图像获取装置设置在所述消磁器上，并可随着所消磁器的移动而移动；

所述移动机构还用于带动所述图像获取装置在垂直于所述消磁器移动的方向上移动。

6.根据权利要求1所述的修复装置，其特征在于，所述修复器件包括：激光器，所述激光器用于向所述金属掩膜板发射激光；

所述移动机构具体用于驱动所述激光器移动至与所述显示设备显示的图像对应所述金属掩膜板的正对位置处。

7.根据权利要求6所述的修复装置，其特征在于，所述修复装置还包括激光控制器，所述激光控制器还用于控制所述激光器发出的激光强度。

8.根据权利要求6所述的修复装置，其特征在于，在所述修复器件包括消磁器的情况下，所述激光器设置在所述消磁器上，并可随着所消磁器的移动而移动；

所述移动机构还用于带动所述激光器在垂直于所述消磁器移动的方向上移动。

9.根据权利要求5或权利要求8所述的修复装置，其特征在于，所述移动机构包括：导向槽和第二丝杠，所述导向槽设置在所述消磁器面对所述金属掩膜板的表面上、其垂直于所述消磁器移动的方向，所述第二丝杠设置在所述导向槽中，

所述第二丝杠与图像获取装置和/或激光器连接。

10.一种蒸镀***，包括真空蒸镀腔室以及位于所述蒸镀腔室内的蒸镀源和位于所述蒸镀源上方的金属掩膜板；其特征在于，还包括权利要求1-9任一项所述的掩膜板修复装置，其中，所述掩膜板修复装置的修复器件位于所述蒸镀腔室内。

11.一种如权利要求1-9任一项所述的掩膜板修复装置的修复方法，其特征在于，所述修复方法包括：

启动修复器件；

驱动所述移动机构，以使得移动机构带动所述修复器件在金属掩膜板正对的区域内、且在与所述金属掩膜板平行的面内移动；

在所述修复装置还包括图像获取装置以及与所述图像获取装置连接的显示设备的情况下，所述修复方法还包括：

图像获取装置获取所述金属掩膜板上与所述图像获取装置相对的部分的图像，并发送给显示设备；

所述显示设备接收所述图像获取装置发送的图像并进行显示。

12.根据权利要求11所述的修复方法，其特征在于，在所述修复器件包括消磁器和电流控制器的情况下，所述启动修复器件包括：启动所述电流控制器，以便由所述电流控制器向所述消磁器输入交流电，其中所述电流控制器向所述消磁器输入交流电的电流大小不断变化。

13.根据权利要求11所述的修复方法，其特征在于，在所述修复器件包括激光器的情况下，若所述显示设备显示所述金属掩膜板有蒸镀材料淤积，驱动所述移动机构使得所述移动结构带动所述激光器移动至正对所述金属掩膜板有蒸镀材料淤积的位置处；

所述启动修复器件包括：启动所述激光器，向淤积的蒸镀材料位置处发射激光。