CN105345829A - 一种薄片运输手爪装置 - Google Patents

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    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
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    • B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
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Abstract

本发明提供了一种薄片运输手爪装置，包括：吸盘、法兰盘、摆臂下盘、摆臂上盘、摆臂；其中，所述法兰盘上设置有一中心柱；所述摆臂下盘固定连接于所述摆臂的第一面，所述摆臂上盘固定连接于所述摆臂的第二面；所述中心柱穿过所述摆臂下盘、所述摆臂上盘和所述摆臂；其中，所述摆臂的第一面和所述摆臂的第二面是所述摆臂上相对的两个面；所述吸盘与所述法兰盘固定连接，所述中心柱与所述法兰盘的第一面连接，所述吸盘与所述法兰盘的第二面连接；其中，所述法兰盘的第一面和所述法兰盘的第二面是所述法兰盘上相对的两个面。本发明解决了传统薄片抓取装置可靠性低、结构复杂的技术问题。

Description

一种薄片运输手爪装置
技术领域
本发明涉及一种运输装置，特别涉及一种薄片运输手爪装置。
背景技术
在半导体专用设备制造过程中，实现超薄硅片的自动取、放和自动传输是一项关键技术。在现代化的生产设备中，常见的对晶片抓取装置有：夹持式、电磁吸附式和真空吸盘吸附式等。其中，夹持式的晶片抓取装置容易造成晶片损坏，电磁吸附式的晶片抓取装置和真空吸盘吸附式晶片抓取装置结构较为复杂，零件加工难度大，还存在难于控制的问题。
发明内容
本发明提供了一种薄片运输手抓装置，其目的是为了解决传统薄片手抓装置可靠性低、结构复杂的技术问题。
为了达到上述目的，本发明的实施例提供了一种薄片运输手爪装置，包括：吸盘、法兰盘、摆臂下盘、摆臂上盘、摆臂；其中，
所述法兰盘上设置有一中心柱；
所述摆臂下盘固定连接于所述摆臂的第一面，所述摆臂上盘固定连接于所述摆臂的第二面；所述中心柱穿过所述摆臂下盘、所述摆臂上盘和所述摆臂；其中，
所述摆臂的第一面和所述摆臂的第二面是所述摆臂上相对的两个面；
所述吸盘与所述法兰盘固定连接，所述中心柱与所述法兰盘的第一面连接，所述吸盘与所述法兰盘的第二面连接；其中，
所述法兰盘的第一面和所述法兰盘的第二面是所述法兰盘上相对的两个面。
其中，上述薄片运输手爪装置中，所述吸盘上设有一微孔陶瓷。
其中，上述薄片运输手爪装置中，所述法兰盘的径向设有一真空通道。
其中，上述薄片运输手爪装置中，所述真空通道的靠近所述法兰盘中心的一端与微孔陶瓷导通连接。
其中，上述薄片运输手爪装置中，所述吸盘和所述法兰盘的第二面通过螺钉固定连接。
其中，上述薄片运输手爪装置中，所述摆臂下盘和所述摆臂上盘分别通过螺钉与所述摆臂固定连接。
其中，上述薄片运输手爪装置中，所述摆臂的中心孔内壁连接有一直线滚珠导套。
其中，上述薄片运输手爪装置中，所述摆臂下盘、所述摆臂上盘和所述摆臂通过所述直线滚珠导套套设在所述中心柱上，并通过螺帽锁止。
其中，上述薄片运输手爪装置中，还包括弹簧，所述弹簧套设在所述中心柱上。
其中，上述薄片运输手爪装置中，所述弹簧连接于所述法兰盘和直线滚珠导套。
本发明的上述方案有如下的有益效果：
本发明实施例提供的一种薄片运输手爪装置，不仅简单实用、操作方便，并且具有结构可靠、运行平稳的优点。由于采用了弹簧和直线滚珠导套的双重结构设计，使该装置整体结构紧凑，能够起到缓冲的作用，防止碎片。
附图说明
图1为发明实施例的薄片运输手抓装置的剖面图；
图2为发明实施例的薄片运输手抓装置的实体图；
图3为发明实施例的法兰盘的剖面图；
图4为发明实施例的法兰盘的实体图。
附图标记说明：
1、吸盘；
2、法兰盘；
3、摆臂下盘；
4、弹簧；
5、摆臂上盘；
6、直线滚珠导套；
7、螺帽；
8、摆臂；
9、中心柱。
具体实施方式
为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
如图1、图2、图3和图4所示，本发明的实施例提供了一种薄片运输手爪装置，包括：吸盘1、法兰盘2、摆臂下盘3、摆臂上盘5、摆臂8。其中，法兰盘2上设置有一中心柱9。摆臂下盘3固定连接于摆臂8的第一面，摆臂上盘5固定连接于摆臂8的第二面；中心柱9穿过摆臂下盘3、摆臂上盘5和摆臂8；其中，摆臂8的第一面和摆臂8的第二面是摆臂8上相对的两个面；吸盘1与法兰盘2固定连接，中心柱9与法兰盘2的第一面连接，吸盘1与法兰盘2的第二面连接；其中，法兰盘2的第一面和法兰盘2的第二面是法兰盘2上相对的两个面。该实施例可以实现横向和纵向的移动吸附薄片。
进一步地，上述薄片运输手爪装置中，吸盘1上设有一微孔陶瓷。法兰盘2的径向设有一真空通道。真空通道的靠近法兰盘2中心的一端与微孔陶瓷导通连接。在真空通道位于法兰盘2边缘的一端连接真空泵，在真空泵的作用下，通过吸盘1上的微孔陶瓷来吸附薄片。
进一步地，上述薄片运输手爪装置中，吸盘1和法兰盘2的第二面通过螺钉固定连接。摆臂下盘3和摆臂上盘5也分别通过螺钉与摆臂8固定连接。通过螺钉进行紧固增加了各部件的连接强度。
进一步地，上述薄片运输手爪装置中，其特征在于，摆臂8的中心孔内壁连接有一直线滚珠导套6。摆臂下盘3、摆臂上盘5和摆臂8通过直线滚珠导套6套设在法兰盘的中心柱9上，并通过螺帽7锁止。摆臂上盘5和摆臂下盘3对直线滚珠导套6起到定位的作用，使摆臂8和直线滚珠导套6的连接稳固。螺帽7起到限位的作用，防止摆臂8沿直线滚珠导套6纵向移动时脱落。
进一步地，上述薄片运输手爪装置中，还包括弹簧4，弹簧4套设在中心柱9上。弹簧4还连接于法兰盘2和直线滚珠导套6。在弹簧4压缩时，吸盘1随着直线滚珠导套6向上滑动，在吸附薄片时起到一定的缓冲作用，防止碎片。
本发明实施例提供的一种薄片运输手爪装置，不仅简单实用、操作方便，并且具有结构可靠、运行平稳的优点。由于采用了弹簧和直线滚珠导套的双重结构设计，使该装置整体结构紧凑，能够起到缓冲的作用，防止碎片。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种薄片运输手爪装置，其特征在于，包括：吸盘(1)、法兰盘(2)、摆臂下盘(3)、摆臂上盘(5)、摆臂(8)；其中，
所述法兰盘(2)上设置有一中心柱(9)；
所述摆臂下盘(3)固定连接于所述摆臂(8)的第一面，所述摆臂上盘(5)固定连接于所述摆臂(8)的第二面；所述中心柱(9)穿过所述摆臂下盘(3)、所述摆臂上盘(5)和所述摆臂(8)；其中，
所述摆臂(8)的第一面和所述摆臂(8)的第二面是所述摆臂(8)上相对的两个面；
所述吸盘(1)与所述法兰盘(2)固定连接，所述中心柱(9)与所述法兰盘(2)的第一面连接，所述吸盘(1)与所述法兰盘(2)的第二面连接；其中，
所述法兰盘(2)的第一面和所述法兰盘(2)的第二面是所述法兰盘(2)上相对的两个面。
2.根据权利要求1所述的薄片运输手爪装置，其特征在于，所述吸盘(1)上设有一微孔陶瓷。
3.根据权利要求1所述的薄片运输手爪装置，其特征在于，所述法兰盘(2)的径向设有一真空通道。
4.根据权利要求3所述的薄片运输手爪装置，其特征在于，所述真空通道的靠近所述法兰盘(2)中心的一端与微孔陶瓷导通连接。
5.根据权利要求1所述的薄片运输手爪装置，其特征在于，所述吸盘(1)和所述法兰盘(2)的第二面通过螺钉固定连接。
6.根据权利要求1所述的薄片运输手爪装置，其特征在于，所述摆臂下盘(3)和所述摆臂上盘(5)分别通过螺钉与所述摆臂(8)固定连接。
7.根据权利要求1所述的薄片运输手爪装置，其特征在于，所述摆臂(8)的中心孔内壁连接有一直线滚珠导套(6)。
8.根据权利要求7所述的薄片运输手爪装置，其特征在于，所述摆臂下盘(3)、所述摆臂上盘(5)和所述摆臂(8)通过所述直线滚珠导套(6)套设在所述中心柱(9)上，并通过螺帽(7)锁止。
9.根据权利要求1所述的薄片运输手爪装置，其特征在于，还包括弹簧(4)，所述弹簧(4)套设在所述中心柱(9)上。
10.根据权利要求9所述的薄片运输手爪装置，其特征在于，所述弹簧(4)连接于所述法兰盘(2)和直线滚珠导套(6)。
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