CN105335026A - 一种小片制程的ogs触摸屏及其制作方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种小片制程的OGS触摸屏，该OGS触摸屏包括依次层叠的透明基板(1)、油墨层(2)、ITO电极层(3)和ITO保护层(4)。本发明还提供了小片制程的OGS触摸屏的制作方法，该方法包括：在透明基板(1)上印刷油墨形成油墨层(2)；在油墨层(2)上进行小片ITO镀膜并采用激光干刻形成ITO电极层(3)；在ITO电极层(3)上印刷油墨形成ITO保护层(4)。本发明的方法能够大幅提高OGS触摸屏的玻璃强度，减少并优化OGS的制程工序，降低生产成本，提高OGS触摸屏的良率，而且还有利于环境保护。

Description

一种小片制程的OGS触摸屏及其制作方法

技术领域

本发明涉及电容式触摸屏技术领域，具体地，涉及一种小片制程的OGS触摸屏及其制作方法。

背景技术

目前，OGS(Oneglasssolution单片玻璃方案)玻璃的制作工艺按照镀膜、裁切的先后顺序，可以分为大片制程和小片制程两种。小片制程是指将大片玻璃通过裁切及CNC加工成OGS玻璃的外形后钢化，再经过数道镀膜、黄光制程，在玻璃的一面经过两道工序形成ITO电极图案和金属走线，从而形成OGS玻璃成品；大片制程是先将大片玻璃强化，通过数道镀膜、黄光制程，在玻璃的一面经过两道工序形成ITO电极图案和金属走线的OGS玻璃外形，再通过裁切、CNC加工、化学强化修复成多片OGS玻璃成品。OGS玻璃成品通过绑定FPC形成OGS电容触摸屏。

其中，行业内大批量生产OGS触摸屏主要采用的是大片制程，即大片玻璃强化后经过ITO(氧化铟锡)镀膜、黄光制程，再经过切割加工成小片，再对小片进行二次强化的流程。虽然规模成本效益尚可，也能满足较低阶电子产品的需求，但是OGS触摸屏的玻璃强度不高，外形不易加工，良率有待提高，而且制程工序繁琐，导致资源浪费，生产成本高，还会带来环境问题。

因此，研发一种能够大幅提高OGS触摸屏玻璃强度以满足更高阶电子产品的强度需求、良率高、生产成本低且经济环保的OGS触摸屏的制作方法，具有重要的现实意义。

发明内容

本发明的目的是为了克服现有技术中存在的上述缺陷，提供一种小片制程的OGS触摸屏及其制作方法。

本发明的发明人在研究中意外发现，采用小片制程工艺，先在透明基板上印刷油墨形成油墨层，再在油墨层上进行小片ITO镀膜并采用激光干刻形成ITO电极层，最后在ITO电极层上印刷油墨形成ITO保护层，由此制得的OGS触摸屏具有较高的玻璃强度，能够满足现有的高阶电子产品的强度要求，且该制程工艺能够减少工序、降低生产成本，提高生产效率和OGS触摸屏的良率，并且有利于环境保护。

为了实现上述目的，一方面，本发明提供了一种小片制程的OGS触摸屏，所述OGS触摸屏包括依次层叠的透明基板、油墨层、ITO电极层和ITO保护层。

另一方面，本发明提供了一种小片制程的OGS触摸屏的制作方法，该方法包括如下步骤：

(1)在透明基板上印刷油墨形成油墨层；

(2)在油墨层上进行小片ITO镀膜并采用激光干刻形成ITO电极层；

(3)在ITO电极层上印刷油墨形成ITO保护层。

本发明的小片制程的OGS触摸屏的制作方法，能够大幅提高OGS触摸屏的玻璃强度，足够满足现有的高阶电子产品的强度要求。同时，本发明的方法不但减少并优化了OGS的制程工序，降低了生产成本，提高了生产效率和OGS触摸屏的良率，提高了OGS触摸屏的可靠性，而且还有利于环境保护。另外，在本发明的一种优选的实施方式中，通过印刷多层油墨还能够实现OGS玻璃的色彩加工多样性，进而满足人们日益多元性的商品需求。

本发明的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

图1是本发明的小片制程的OGS触摸屏的结构示意图。

附图标记说明

1透明基板2油墨层3ITO电极层4ITO保护层

具体实施方式

以下结合图1对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

本发明提供了一种小片制程的OGS触摸屏，该OGS触摸屏包括依次层叠的透明基板1、油墨层2、ITO电极层3和ITO保护层4。

本发明的小片制程的OGS触摸屏，优选情况下，透明基板1包括视窗区和非视窗区，油墨层2层叠于透明基板1的非视窗区。进一步优选地，透明基板1为小片化学强化玻璃基板。对于小片化学强化玻璃基板没有特别的限定，可以为本领域小片制程的各种小片化学强化玻璃基板。

本发明的小片制程的OGS触摸屏，油墨层2可以为多层，油墨层2的盖底油墨层可以为耐激光的黑色/灰色油墨层。本领域技术人员应该理解的是，盖底油墨层为在印刷多层油墨层2时最后印刷的一层。油墨层2的厚度可以为8-30μm，多层可以为n层，n≥2，每层油墨层的厚度可以为4-6μm。优选情况下，n为2-5。

为了实现OGS玻璃的色彩加工多样性，进而满足人们日益多元性的商品需求，进一步优选的，2层的油墨层2为两层耐激光的黑色油墨层或两层耐激光的灰色油墨层；大于2层的油墨层2为一层耐激光的黑色/灰色油墨层和n-1层耐高温的白色油墨层，或者为一层耐激光的黑色/灰色油墨层和n-1层颜色相同的耐高温的彩色油墨层。彩色可以为除了黑色、灰色和白色外的其他颜色，例如可以为红色、黄色、蓝色、紫色、绿色等。

对于耐激光的黑色油墨、耐激光的灰色油墨、耐高温的白色油墨和耐高温的彩色油墨的材料没有特别的限定，可以分别为本领域常用的各种耐激光的黑色油墨、耐激光的灰色油墨、耐高温的白色油墨和耐高温的彩色油墨，均可以商购获得。其中，耐高温是指耐230-270℃的高温。

本发明的小片制程的OGS触摸屏，ITO电极层3包括ITO电极图案和ITO走线，ITO电极图案包括电容屏驱动和感应电极，其中，电容屏驱动和感应电极具有规则的图形结构，且电容屏驱动与感应电极在同一层面。优选情况下，ITO电极层3为厚度为50-2000埃米的ITO电极层。对于电容屏驱动和感应电极的规则图形结构没有特别的限定，可以为本领域技术人员能够想到的各种规则图形结构。

本发明的小片制程的OGS触摸屏，对于ITO保护层4没有特别的限定，可以为本领域常用的各种ITO保护层。为了起到绝缘、消影和保护ITO的作用，优选情况下，ITO保护层4为一层厚度均匀的透明消影保护油墨层，其厚度进一步优选为4-6μm。

对于透明消影保护油墨的材料没有特别的限定，可以为能够起到绝缘、消影和保护ITO的本领域常用的各种透明消影保护油墨，可以商购获得。

另一方面，本发明提供了一种小片制程的OGS触摸屏的制作方法，该方法包括以下步骤：

(1)在透明基板1上印刷油墨形成油墨层2；

(2)在油墨层2上进行小片ITO镀膜并采用激光干刻形成ITO电极层3；

(3)在ITO电极层3上印刷油墨形成ITO保护层4。

本发明方法中，优选情况下，透明基板1包括视窗区和非视窗区，在透明基板1的非视窗区印刷油墨形成油墨层2。进一步优选地，透明基板1为小片化学强化玻璃基板。对于小片化学强化玻璃基板没有特别的限定，可以为本领域小片制程的各种小片化学强化玻璃基板。

对于透明基板1的制作方法没有特别的限定，可以为本领域技术人员能够想到的各种方法，例如可以包括：采用激光玻璃切割机或异形玻璃切割机将大片的玻璃基板切割成一定尺寸的小片玻璃基板；将小片玻璃基板进行外形加工，小片玻璃基板经过磨边、钻孔、倒角及曲面加工后，进行清洗；最后将小片玻璃基板进行化学强化，得到小片化学强化玻璃基板。小片化学强化玻璃基板也可以通过商购获得。

本发明方法中，形成油墨层2的方法可以包括：在透明基板1的非视窗区印刷多层油墨形成多层油墨层，且多层油墨层的盖底油墨层为耐激光的黑色或灰色油墨层；其中，每层油墨印刷完后进行烘烤，然后再印刷下一层油墨。

油墨层2的厚度可以为8-30μm，多层可以为n层，n≥2，每层油墨的印刷厚度可以为4-6μm。优选地，n为2-5。进一步优选地，形成2层的油墨层2的方法包括在透明基板1的非视窗区印刷两层耐激光的黑色油墨或两层耐激光的灰色油墨；形成大于2层的油墨层2的方法包括在透明基板1的非视窗区印刷一层耐激光的黑色/灰色油墨和n-1层耐高温的白色油墨，或者印刷一层耐激光黑色/灰色油墨和n-1层颜色相同的耐高温的彩色油墨。

优选情况下，印刷的方式为网版印刷的方式。对于网版印刷的方法没有特别的要求，可以为本领域常用的各种网版印刷方法。例如网版印刷的方法可以包括：使用350-420目网版进行印刷。

为了能够更好的形成相应的黑色/灰色、白色或彩色油墨层，优选情况下，烘烤的条件包括：烘烤温度为150-180℃，烘烤时间为10-15分钟。

对于耐激光的黑色油墨、耐激光的灰色油墨、耐高温的白色油墨和耐高温的彩色油墨的材料及彩色油墨的颜色，可参见前文，在此不作赘述。

本发明方法中，优选情况下，在油墨层2上经小片ITO镀膜形成一层透明、厚度均匀的ITO膜层，ITO膜层的厚度为50-2000埃米。

对于小片ITO镀膜的方式没有特别的限定，可以为本领域常用的小片镀膜方法，例如可以为小片真空磁控溅镀，具体地，小片真空磁控溅镀的条件包括：真空度为0.3-0.7Pa，温度为200-350℃。

激光干刻是指用激光器进行ITO电极图案和ITO走线的蚀刻。本发明方法中，通过激光干刻的方式仅进行一道工序即可实现ITO电极图案和ITO走线的制作，因此，一方面，相较于现有的需进行两道工序的ITO电极图案和金属走线的制作，采用激光干刻能够减少制程工序，降低生产成本并提高产品良率。另一方面，采用激光干刻相较于黄光工艺，能够更有效地制作ITO电极图案和ITO走线，生产效率高，生产成本低且精度高。优选情况下，激光干刻的条件包括：振镜速度为1500-3000mm/s，频率为200-250KHz，激光功率为10-15瓦，激光为红外激光，波长为1064nm。本发明形成的ITO电极层3包括ITO电极图案和ITO走线，ITO电极图案包括电容屏驱动和感应电极，电容屏驱动和感应电极具有规则的图形结构，且电容屏驱动与感应电极在同一层面。对于电容屏驱动和感应电极的规则图形结构没有特别的限定，可以为本领域技术人员能够想到的各种规则图形结构。优选情况下，ITO电极层3的厚度为50-2000埃米。

对于激光器没有特别的要求，可以为已知的各种激光机，例如，激光机可以为银浆激光蚀刻机XHYJ1064-A(购自武汉先河激光技术有限公司)，激光为红外激光，波长为1064nm。

本发明方法中，为了起到绝缘、消影和保护ITO的作用，优选情况下，形成ITO保护层4的方法包括在ITO电极层3上印刷透明消影保护油墨。也就是说，形成的ITO保护层4优选为一层厚度均匀的透明消影保护油墨层。进一步优选地，透明消影保护油墨的印刷厚度(即ITO保护层4的厚度)为4-6μm。

对于透明消影保护油墨的材料没有特别的限定，可以为能够起到绝缘、消影和保护ITO的本领域常用的各种透明消影保护油墨，可以商购获得。

实施例

以下的实施例将对本发明作进一步的说明，但并不因此限制本发明。

以下实施例中，OGS触摸屏的良率为良品数/产品总数。

OGS触摸屏的玻璃强度通过玻璃表面应力测试仪进行测试，其中，玻璃表面应力测试仪购自北京恒奥德仪器仪表有限公司，型号为H16473。

小片化学强化玻璃基板购自旭硝子玻璃股份有限公司。

小片真空磁控溅镀进行小片ITO镀膜的方法包括：真空度为0.4Pa，温度为300℃。

实施例1

本实施例用于说明本发明的小片制程的OGS触摸屏及其制作方法。

本实施例的小片制程的OGS触摸屏的制作方法包括以下步骤：

(1)在透明基板1上形成油墨层2：将透明基板1(即小片化学强化玻璃基板)划分为视窗区和非视窗区，在透明基板1的非视窗区使用400目网版先印刷一层厚度为4μm的耐激光的黑色油墨，印刷完后进行烘烤，烘烤温度为160℃，烘烤时间为12分钟，形成第一层黑色油墨层后再印刷一层厚度为4μm的耐激光的黑色油墨，印刷完后再进行烘烤，烘烤温度为160℃，烘烤时间为12分钟，形成盖底油墨层。

(2)在油墨层2上形成ITO电极层3：在油墨层2上经小片真空磁控溅镀进行小片ITO镀膜形成一层透明的、厚度为1000埃米的均匀ITO膜层，然后使用激光机在ITO膜层上进行激光干刻形成厚度为1000埃米、包括ITO电极图案和ITO走线的ITO电极层3，其中，激光干刻的条件包括：振镜速度为2000mm/s，频率220KHz，激光功率为12瓦，激光为红外激光，波长为1064nm。

(3)在ITO电极层3上形成ITO保护层4：在ITO电极层3上印刷一层厚度为6μm的透明消影保护油墨形成厚度均匀的ITO保护层4。

本实施例制作的小片制程的OGS触摸屏的结构示意图如图1所示，其中，该OGS触摸屏包括依次层叠的透明基板1、油墨层2、ITO电极层3和ITO保护层4。透明基板1包括视窗区和非视窗区，油墨层2层叠于透明基板1的非视窗区。油墨层2为2层耐激光的黑色油墨层，每层黑色油墨层的厚度均为4μm。ITO电极层3的厚度为1000埃米，包括ITO电极图案和ITO走线，ITO电极图案包括电容屏驱动和感应电极，电容屏驱动和感应电极具有规则的图形结构，且电容屏驱动与感应电极在同一层面。ITO保护层4为一层厚度为6μm的均匀的透明消影保护油墨层。

本实施例制作的小片制程的OGS触摸屏，良率为98％，玻璃强度为680Mpa。

实施例2

本实施例用于说明本发明的小片制程的OGS触摸屏及其制作方法。

本实施例的小片制程的OGS触摸屏的制作方法包括以下步骤：

(1)在透明基板1上形成油墨层2：将透明基板1(即小片化学强化玻璃基板)划分为视窗区和非视窗区，在透明基板1的非视窗区使用350目网版先印刷一层厚度为6μm的耐高温的白色油墨，印刷完后进行烘烤，烘烤温度为150℃，烘烤时间为15分钟，形成第一层白色油墨层后再印刷一层厚度为6μm的耐高温的白色油墨，印刷完后进行烘烤，烘烤温度为150℃，烘烤时间为15分钟，形成第二层白色油墨层后再印刷一层厚度为5μm的耐激光的黑色油墨，印刷完后进行烘烤，烘烤温度为150℃，烘烤时间为15分钟，形成盖底油墨层。

(2)在油墨层2上形成ITO电极层3：在油墨层2上经小片真空磁控溅镀进行小片ITO镀膜形成一层透明的、厚度为2000埃米的均匀ITO膜层，然后使用激光机在ITO膜层上进行激光干刻形成厚度为2000埃米、包括ITO电极图案和ITO走线的ITO电极层3，其中，激光干刻的条件包括：振镜速度为3000mm/s，频率为250KHz，激光功率为15瓦，激光为红外激光，波长为1064nm。

(3)在ITO电极层3上形成ITO保护层4：在ITO电极层3上印刷一层厚度为4μm的透明消影保护油墨形成厚度均匀的ITO保护层4。

本实施例制作的小片制程的OGS触摸屏的结构示意图如图1所示，其中，该OGS触摸屏包括依次层叠的透明基板1、油墨层2、ITO电极层3和ITO保护层4。透明基板1包括视窗区和非视窗区，油墨层2层叠于透明基板1的非视窗区。油墨层2为一层厚度为5μm的盖底的耐激光的黑色油墨层和两层厚度均为6μm的耐高温的白色油墨层。ITO电极层3的厚度为2000埃米，包括ITO电极图案和ITO走线，ITO电极图案包括电容屏驱动和感应电极，电容屏驱动和感应电极具有规则的图形结构，且电容屏驱动与感应电极在同一层面。ITO保护层4为一层厚度为4μm的均匀的透明消影保护油墨层。

本实施例制作的小片制程的OGS触摸屏，良率为97％，玻璃强度为676Mpa。

实施例3

本实施例用于说明本发明的小片制程的OGS触摸屏及其制作方法。

本实施例的小片制程的OGS触摸屏的制作方法包括以下步骤：

(1)在透明基板1上形成油墨层2：将透明基板1(即小片化学强化玻璃基板)划分为视窗区和非视窗区，在透明基板1的非视窗区使用420目网版先印刷一层厚度为5μm的耐高温的红色油墨，印刷完后进行烘烤，烘烤温度为180℃，烘烤时间为10分钟，形成第一层红色油墨层后再按相同的方法通过印刷和烘烤依次形成4层厚度均为5μm的耐高温的红色油墨层，形成第五层红色油墨层后再印刷一层厚度为5μm的耐激光的灰色油墨，印刷完后进行烘烤，烘烤温度为180℃，烘烤时间为10分钟，形成盖底油墨层。

(2)在油墨层2上形成ITO电极层3：在油墨层2上经小片真空磁控溅镀进行小片ITO镀膜形成一层透明的、厚度为50埃米的均匀ITO膜层，然后使用激光机在ITO膜层上进行激光干刻形成厚度为50埃米、包括ITO电极图案和ITO走线的ITO电极层3，其中，激光干刻的条件包括：振镜速度为1500mm/s，频率200KHz，激光功率为10瓦，激光为红外激光，波长为1064nm。

(3)在ITO电极层3上形成ITO保护层4：在ITO电极层3上印刷一层厚度为5μm的透明消影保护油墨形成厚度均匀的ITO保护层4。

本实施例制作的小片制程的OGS触摸屏的结构示意图如图1所示，其中，该OGS触摸屏包括依次层叠的透明基板1、油墨层2、ITO电极层3和ITO保护层4。透明基板1包括视窗区和非视窗区，油墨层2层叠于透明基板1的非视窗区。油墨层2为一层厚度为5μm的盖底的耐激光的灰色油墨层和五层厚度均为5μm的耐高温的红色油墨层。ITO电极层3的厚度为50埃米，包括ITO电极图案和ITO走线，ITO电极图案包括电容屏驱动和感应电极，电容屏驱动和感应电极具有规则的图形结构，且电容屏驱动与感应电极在同一层面。ITO保护层4为一层厚度为5μm的均匀的透明消影保护油墨层。

本实施例制作的小片制程的OGS触摸屏，良率为96％，玻璃强度为668Mpa。

实施例4

按照实施例1的方法，不同的是，采用常规的黄光工艺在油墨层2上形成的ITO膜层上进行干刻形成ITO电极层3，其中，黄光工艺的条件包括：在黄光的环境下，使用紫外光对涂有光刻胶的产品进行曝光，然后经过显影、蚀刻得到ITO电极图形；然后再制作金属走线(钼铝钼金属走线)。

本实施例制作的OGS触摸屏，良率为80％，玻璃强度为550Mpa。

实施例5

按照实施例1的方法，不同的是，在油墨层2上形成的ITO膜层表面通过电镀制作金属走线，然后通过镭射激光将ITO膜层及金属走线蚀刻出ITO电极图案。

本实施例制作的OGS触摸屏，良率为82％，玻璃强度为560Mpa。

由本发明实施例1-3与实施例4-5比较可知，采用激光干刻工艺形成ITO电极层得到的小片制程的OGS触摸屏，具有较高的良率和玻璃强度，足够满足现有的高阶电子产品的强度要求，且能够减少制程工序，降低生产成本并有利于环境保护。

本发明的方法能够大幅提高OGS触摸屏的玻璃强度和OGS触摸屏的良率，不但减少并优化了OGS的制程工序，降低了生产成本，提高了生产效率和OGS触摸屏的可靠性，而且还有利于环境保护。同时，通过印刷多层油墨还能够实现OGS玻璃的色彩加工多样性，进而满足人们日益多元性的商品需求。

以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。

Claims (16)

1.一种小片制程的OGS触摸屏，其特征在于，所述OGS触摸屏包括依次层叠的透明基板(1)、油墨层(2)、ITO电极层(3)和ITO保护层(4)。

2.根据权利要求1所述的OGS触摸屏，其中，所述透明基板(1)包括视窗区和非视窗区，所述油墨层(2)层叠于透明基板(1)的非视窗区；优选地，所述透明基板(1)为小片化学强化玻璃基板。

3.根据权利要求2所述的OGS触摸屏，其中，所述油墨层(2)为多层，且所述油墨层(2)的盖底油墨层为耐激光的黑色/灰色油墨层。

4.根据权利要求3所述的OGS触摸屏，其中，所述油墨层(2)的厚度为8-30μm，所述多层为n层，n≥2，每层油墨层的厚度为4-6μm。

5.根据权利要求4所述的OGS触摸屏，其中，2层的油墨层(2)为两层耐激光的黑色油墨层或两层耐激光的灰色油墨层；大于2层的油墨层(2)为一层耐激光的黑色/灰色油墨层和n-1层耐高温的白色油墨层，或者为一层耐激光的黑色/灰色油墨层和n-1层颜色相同的耐高温的彩色油墨层。

6.根据权利要求1所述的OGS触摸屏，其中，所述ITO电极层(3)包括ITO电极图案和ITO走线，所述ITO电极图案包括电容屏驱动和感应电极，所述电容屏驱动和所述感应电极具有规则的图形结构，且所述电容屏驱动与所述感应电极在同一层面；优选地，所述ITO电极层(3)的厚度为50-2000埃米。

7.根据权利要求1所述的OGS触摸屏，其中，所述ITO保护层(4)为透明消影保护油墨层，其厚度优选为4-6μm。

8.一种小片制程的OGS触摸屏的制作方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

(1)在透明基板(1)上印刷油墨形成油墨层(2)；

(2)在油墨层(2)上进行小片ITO镀膜并采用激光干刻形成ITO电极层(3)；

(3)在ITO电极层(3)上印刷油墨形成ITO保护层(4)。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述透明基板(1)包括视窗区和非视窗区，在所述透明基板(1)的非视窗区印刷油墨形成油墨层(2)；优选地，所述透明基板(1)为小片化学强化玻璃基板。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，形成油墨层(2)的方法包括：在所述透明基板(1)的非视窗区印刷多层油墨形成多层油墨层，且所述多层油墨层的盖底油墨层为耐激光的黑色或灰色油墨层；其中，每层油墨印刷完后进行烘烤，然后再印刷下一层油墨。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，所述油墨层(2)的厚度为8-30μm，多层为n层，n≥2，每层油墨的印刷厚度为4-6μm。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，形成2层的油墨层(2)的方法包括在所述透明基板(1)的非视窗区印刷两层耐激光的黑色油墨或两层耐激光的灰色油墨；形成大于2层的油墨层(2)的方法包括在所述透明基板(1)的非视窗区印刷一层耐激光的黑色/灰色油墨和n-1层耐高温的白色油墨，或者印刷一层耐激光的黑色/灰色油墨和n-1层颜色相同的耐高温的彩色油墨。

13.根据权利要求10所述的方法，其中，所述烘烤的条件包括：烘烤温度为150-180℃，烘烤时间为10-15分钟。

14.根据权利要求8所述的方法，其中，经所述小片ITO镀膜形成一层透明的、厚度均匀的ITO膜层，所述ITO膜层的厚度为50-2000埃米。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，所述激光干刻的条件包括：振镜速度为1500-3000mm/s，频率为200-250KHz，激光功率为10-15瓦，激光为红外激光，波长为1064nm。

16.根据权利要求8所述的方法，其中，形成ITO保护层(4)的方法包括在ITO电极层(3)上印刷透明消影保护油墨，优选地，所述透明消影保护油墨的印刷厚度为4-6μm。