CN105277298A - 一种面状压力传感器组合的制造方法 - Google Patents

Abstract

一种面状压力传感器组合的制造方法，在第一板体的外侧面或内侧面设置第一电极，在第二板体的外侧面设置第二电极，在第一板体与第二板体之间形成夹层腔体，并在夹层腔体中填充液态绝缘材料或气体，形成液态绝缘层或气态层，由于液态绝缘层或气态层的厚度根据外部的压力而变，从而使得所形成的各个电容器均能够感应压力。一次性形成多个能够感应按压力的电容器，即是压力传感器，从而构成一面状的压力传感器组合，其不需要将多个独立的压力传感器拼合起来，因此制作起来非常简单，大幅度降低面状压力传感器组合的制作成本。

Description

一种面状压力传感器组合的制造方法

技术领域

本发明涉及一种传感器的制造方法，尤其涉及一种面状压力传感器组合的制造方法。

背景技术

将多个压力传感器在一面上进行排列从而得到一种面状压力传感器组合，能够测量压力在该面上的压力分布，从而获得其压力分布的图像。目前，这种压力传感器组合一般需要将多个独立的压力传感器拼合起来，当其分布密度较高或其所需要探测的面积较大，往往需要采用很多个压力传感器，其不仅成本高，且制作困难。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种压力传感器组合的制作方法，这种压力传感器组合的制作方法能够更容易地制作密度较高或面积较大的面状压力传感器组合，降低面状压力传感器组合的制作成本。采用的技术方案如下：

一种面状压力传感器组合的制造方法，其特征在于包括如下步骤：

（1）在的第一板体的外侧面或内侧面设置第一导电层，第一导电层包含至少一个第一电极；

（2）在第二板体的外侧面设置图形化的第二导电层，第二导电层包含多个第二电极；

（3）在第一板体的内侧面或第二板体的外侧面设置密封胶圈以及由密封胶圈所包围的垫隔体，密封胶圈设有缺口；

（4）通过密封胶圈将第一板体、第二板体粘合在一起，密封胶圈与第一板体、第二板体构成夹层腔体，密封胶圈的缺口构成夹层腔体的注入口；

（5）将液态绝缘材料通过注入口注入到夹层腔体内部，并封闭注入口，使液态绝缘材料被夹合第一电极、第二电极之间而形成液态绝缘层，从而使得第一电极、第二电极与液态绝缘层构成多个能够感应按压力的电容器。

优选在上述步骤（5）中，先将夹层腔体抽真空，再将液态绝缘材料注入到夹层腔体中，形成液态绝缘层。

一种面状压力传感器组合的制造方法，其特征在于包括如下步骤：

（1）在的第一板体的外侧面或内侧面设置第一导电层，第一导电层包含至少一个第一电极；

（2）在第二板体的外侧面设置图形化的第二导电层，第二导电层包含多个第二电极；

（3）在第一板体的内侧面或第二板体的外侧面设置密封胶圈以及由密封胶圈所包围的垫隔体；

（4）将液态绝缘材料滴落到密封胶圈所围成的区域中，直至将密封胶圈所围成的区域填满；

（5）通过密封胶圈将第一板体、第二板体粘合在一起，密封胶圈与第一板体、第二板体构成夹层腔体，液态绝缘材料密封在夹层腔体中，使液态绝缘材料被夹合第一电极、第二电极之间而形成液态绝缘层，从而使得第一电极、第二电极与液态绝缘层构成多个能够感应按压力的电容器。

一种面状压力传感器组合的制造方法，其特征在于包括如下步骤：

（1）在的第一板体的外侧面或内侧面设置第一导电层，第一导电层包含至少一个第一电极；

（2）在第二板体的外侧面设置图形化的第二导电层，第二导电层包含多个第二电极；

（3）在第一板体的内侧面或第二板体的外侧面设置密封胶圈以及由密封胶圈所包围的垫隔体，密封胶圈设有缺口；

（4）通过密封胶圈将第一板体、第二板体粘合在一起，密封胶圈与第一板体、第二板体构成夹层腔体，密封胶圈的缺口构成夹层腔体的气口；

（5）将气体通过气口填充到夹层腔体内部，并封闭气口，使气体被夹合第一电极、第二电极之间而形成气态层，从而使得第一电极、第二电极与气态层构成多个能够感应按压力的电容器。

一种面状压力传感器组合的制造方法，其特征在于包括如下步骤：

（1）在第一板体的外侧面或内侧面设置第一导电层，第一导电层包含至少一个第一电极；

（2）在第二板体的外侧面设置图形化的第二导电层，第二导电层包含多个第二电极；

（3）在第一板体的内侧面或第二板体的外侧面设置密封胶圈以及由密封胶圈所包围的垫隔体；

（4）将第一板体、第二板体放置在干燥气体的气氛下；

（5）通过密封胶圈将第一板体、第二板体粘合在一起，密封胶圈与第一板体、第二板体构成夹层腔体，干燥气体密封在夹层腔体中，使干燥气体被夹合第一电极、第二电极之间而形成气态层，从而使得第一电极、第二电极与气态层构成多个能够感应按压力的电容器。

上述外侧是指靠近操作者的一侧，而内侧是指远离操作者的一侧。

在第一板体的外侧面或内侧面设置第一电极，在第二板体的外侧面设置第二电极，在第一板体与第二板体之间形成夹层腔体，并在夹层腔体中填充液态绝缘材料或气体，形成液态绝缘层或气态层，由于液态绝缘层或气态层的厚度根据外部的压力而变，从而使得所形成的各个电容器均能够感应压力。上述各个方法均能够一次性形成多个能够感应按压力的电容器，即是压力传感器，从而构成一面状的压力传感器组合，其不需要将多个独立的压力传感器拼合起来，因此制作起来非常简单，大幅度降低面状压力传感器组合的制作成本。

上述，第一板体、第二板体可以选取厚度0.2～1.5mm的玻璃板、有机玻璃板或厚度为0.02～0.5mm的塑料膜，密封胶圈可以为混合有垫隔体的热固化胶或紫外固化胶，垫隔体可以为直径为2～100微米的微小球体、棒状体或块状体，液态绝缘材料可以为绝缘油、胶水或液晶，填充的气体可以为空气，且优选为氮气或惰性气体。

上述第一电极、第二电极可以为金属层或半导体导电材料层，上述第一电极、第二电极还可以覆盖一层绝缘层，以进一步增强其绝缘性。

作为本发明的优选方案，在所述步骤（5）之后，还在第一板体的外侧面设置一层紫外光过滤层。

作为本发明的优选方案，在所述步骤（5）之后，还在第一板体的外侧面以及第二板体的内侧面贴附紫外光过滤层。

紫外光过滤层可以过滤掉外界的紫外光，避免所填充的液态绝缘材料或气体变质或被电离，从而保证液态绝缘材料或气体具有较高的绝缘性，从而避免了相邻电容器（即是压力传感器）由于共用一层液态绝缘层或气态层而导致的相互导通，避免了相邻电容器（即是压力传感器）之间的相互干扰，使得压力传感器组合的多点压力图像探测更加准确，并且工作起来更加稳定。紫外光过滤层可以为具有紫外光过滤性能的玻璃或塑料片(如偏光片)。

本发明与现有技术相比，具有如下优点：

一次性形成多个能够感应按压力的电容器，即是压力传感器，从而构成一面状的压力传感器组合，其不需要将多个独立的压力传感器拼合起来，因此制作起来非常简单，大幅度降低面状压力传感器组合的制作成本。

附图说明

图1是本发明实施例一中设置第一导电层的示意图；

图2是本发明实施例一中设置第二导电层的示意图；

图3是本发明实施例一中设置密封胶圈及垫隔体的示意图；

图4是本发明实施例一中将第一板体、第二板体贴合的示意图；

图5是本发明实施例一中第一板体、第二板体贴合后形成夹层腔体的示意图；

图6是夹层腔体抽真空后灌注绝缘材料的示意图；

图7是贴附紫外光过滤层的示意图；

图8是本发明实施例三中设置第一导电层的示意图；

图9是本发明实施例三中设置第二导电层的示意图；

图10是本发明实施例三中设置密封胶圈及垫隔体的示意图；

图11是本发明实施例三中将液态绝缘材料滴落到密封胶圈所围成的区域中的示意图；

图12是本发明实施例三中第一板体、第二板体贴的示意图；

图13是本发明实施例三中贴附紫外光过滤层的示意图；

图14是本发明实施例四中设置第一导电层的示意图；

图15是本发明实施例四中设置第二导电层的示意图；

图16是本发明实施例四中设置密封胶圈及垫隔体的示意图；

图17是本发明实施例四中在干燥气体的气氛下将第一板体、第二板体贴的示意图；

图18是本发明实施例四中贴附紫外光过滤层的示意图。

具体实施方式

下面结合附图和本发明的优选实施方式做进一步的说明。

实施例一

这种面状压力传感器组合的制造方法，其特征在于包括如下步骤：

（1）如图1所示，在的第一板体1的外侧面（内侧面也可以）设置第一导电层2，第一导电层2包含一个第一电极3；

（2）如图2所示，在第二板体4的外侧面设置图形化的第二导电层5，第二导电层5包含多个第二电极6；

（3）如图3所示，在第二板体4的外侧面（也可以在第一板体1的内侧面）设置密封胶圈7以及由密封胶圈7所包围的垫隔体8，密封胶圈7设有缺口9；

（4）如图4所示，通过密封胶圈7将第一板体1、第二板体4粘合在一起，如图5所示，密封胶圈7与第一板体1、第二板体4构成夹层腔体10，密封胶圈的缺口9构成夹层腔体10的注入口；

（5）如图6所示，将夹层腔体10抽真空，并将液态绝缘材料11通过注入口（缺口9）注入到夹层腔体10内部，并封闭注入口（缺口9），使液态绝缘材料11被夹合第一电极3、第二电极6之间而形成液态绝缘层12，从而使得第一电极3、第二电极6与液态绝缘层12构成多个能够感应按压力的电容器；

（6）如图7所示，第一板体1的外侧面以及第二板体4的内侧面贴附紫外光过滤层13。

实施例二

在其它部分均与实施例一相同的情况下，其区别仅在于：将实施例一中灌注绝缘材料改为绝缘气体，在夹层腔体10中所形成的为成气态层。

实施例三

这种面状压力传感器组合的制造方法，其特征在于包括如下步骤：

（1）如图8所示，在的第一板体1的外侧面（也可以是内侧面）设置第一导电层2，第一导电层2包含一个第一电极3；

（2）如图9所示，在第二板体4的外侧面设置图形化的第二导电层5，第二导电层6包含多个第二电极6；

（3）如图10所示，在第二板体4的外侧面（也可以是第一板体1的内侧面）设置密封胶圈7以及由密封胶圈7所包围的垫隔体8；

（4）如图11所示，将液态绝缘材料11滴落到密封胶圈7所围成的区域中，直至将密封胶圈7所围成的区域填满；

（5）如图12所示，通过密封胶圈7将第一板体1、第二板体4粘合在一起，密封胶圈7与第一板体1、第二板体4构成夹层腔体10，液态绝缘材料11密封在夹层腔体10中，使液态绝缘材料11被夹合第一电极3、第二电极6之间而形成液态绝缘层12，从而使得第一电极3、第二电极6与液态绝缘层12构成多个能够感应按压力的电容器；

（6）如图13所示，第一板体1的外侧面以及第二板体4的内侧面贴附紫外光过滤层13。

实施例四

这种面状压力传感器组合的制造方法，其特征在于包括如下步骤：

（1）如图14所示，在第一板体1的外侧面（也可以是内侧面）设置第一导电层2，第一导电层2包含一个第一电极3；

（2）如图15所示，在第二板体4的外侧面设置图形化的第二导电层5，第二导电层5包含多个第二电极6；

（3）如图16所示，在第二板体4的外侧面（也可以第一板体1的内侧面）设置密封胶圈7以及由密封胶圈7所包围的垫隔体8；

（4）将第一板体1、第二板体4放置在干燥气体的气氛下；

（5）如图17所示，通过密封胶圈7将第一板体1、第二板体4粘合在一起，密封胶圈7与第一板体1、第二板体4构成夹层腔体10，干燥气体密封在夹层腔体10中，使干燥气体被夹合第一电极3、第二电极6之间而形成气态层，从而使得第一电极3、第二电极6与气态层构成多个能够感应按压力的电容器；

（6）如图18所示，第一板体1的外侧面以及第二板体4的内侧面贴附紫外光过滤层13。

上述，第一板体1、第二板体4可以选取厚度0.2～1.5mm的玻璃板、有机玻璃板或厚度为0.02～0.5mm的塑料膜，密封胶圈7可以为混合有垫隔体8的热固化胶或紫外固化胶，垫隔体8可以为直径为2～100微米的微小球体、棒状体或块状体，液态绝缘材料11可以为绝缘油、胶水或液晶，填充的气体可以为空气，且优选为氮气或惰性气体。

此外，需要说明的是，本说明书中所描述的具体实施例，其各部分名称等可以不同，凡依本发明专利构思所述的构造、特征及原理所做的等效或简单变化，均包括于本发明专利的保护范围内。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离本发明的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种面状压力传感器组合的制造方法，其特征在于包括如下步骤：

（1）在的第一板体的外侧面或内侧面设置第一导电层，第一导电层包含至少一个第一电极；

（2）在第二板体的外侧面设置图形化的第二导电层，第二导电层包含多个第二电极；

（3）在第一板体的内侧面或第二板体的外侧面设置密封胶圈以及由密封胶圈所包围的垫隔体，密封胶圈设有缺口；

（4）通过密封胶圈将第一板体、第二板体粘合在一起，密封胶圈与第一板体、第二板体构成夹层腔体，密封胶圈的缺口构成夹层腔体的注入口；

（5）将液态绝缘材料通过注入口注入到夹层腔体内部，并封闭注入口，使液态绝缘材料被夹合第一电极、第二电极之间而形成液态绝缘层，从而使得第一电极、第二电极与液态绝缘层构成多个能够感应按压力的电容器。

2.一种面状压力传感器组合的制造方法，其特征在于包括如下步骤：

（1）在的第一板体的外侧面或内侧面设置第一导电层，第一导电层包含至少一个第一电极；

（2）在第二板体的外侧面设置图形化的第二导电层，第二导电层包含多个第二电极；

（3）在第一板体的内侧面或第二板体的外侧面设置密封胶圈以及由密封胶圈所包围的垫隔体；

（4）将液态绝缘材料滴落到密封胶圈所围成的区域中，直至将密封胶圈所围成的区域填满；

（5）通过密封胶圈将第一板体、第二板体粘合在一起，密封胶圈与第一板体、第二板体构成夹层腔体，液态绝缘材料密封在夹层腔体中，使液态绝缘材料被夹合第一电极、第二电极之间而形成液态绝缘层，从而使得第一电极、第二电极与液态绝缘层构成多个能够感应按压力的电容器。

3.一种面状压力传感器组合的制造方法，其特征在于包括如下步骤：

（1）在的第一板体的外侧面或内侧面设置第一导电层，第一导电层包含至少一个第一电极；

（2）在第二板体的外侧面设置图形化的第二导电层，第二导电层包含多个第二电极；

（3）在第一板体的内侧面或第二板体的外侧面设置密封胶圈以及由密封胶圈所包围的垫隔体，密封胶圈设有缺口；

（4）通过密封胶圈将第一板体、第二板体粘合在一起，密封胶圈与第一板体、第二板体构成夹层腔体，密封胶圈的缺口构成夹层腔体的气口；

（5）将气体通过气口填充到夹层腔体内部，并封闭气口，使气体被夹合第一电极、第二电极之间而形成气态层，从而使得第一电极、第二电极与气态层构成多个能够感应按压力的电容器。

4.一种面状压力传感器组合的制造方法，其特征在于包括如下步骤：

（1）在第一板体的外侧面或内侧面设置第一导电层，第一导电层包含至少一个第一电极；

（2）在第二板体的外侧面设置图形化的第二导电层，第二导电层包含多个第二电极；

（3）在第一板体的内侧面或第二板体的外侧面设置密封胶圈以及由密封胶圈所包围的垫隔体；

（4）将第一板体、第二板体放置在干燥气体的气氛下；

（5）通过密封胶圈将第一板体、第二板体粘合在一起，密封胶圈与第一板体、第二板体构成夹层腔体，干燥气体密封在夹层腔体中，使干燥气体被夹合第一电极、第二电极之间而形成气态层，从而使得第一电极、第二电极与气态层构成多个能够感应按压力的电容器。

5.如权利要求1～4任一项所述的面状压力传感器组合的制造方法，其特征是：在所述步骤（5）之后，还在第一板体的外侧面设置一层紫外光过滤层。

6.如权利要求1～4任一项所述的面状压力传感器组合的制造方法，其特征是：在所述步骤（5）之后，还在第一板体的外侧面以及第二板体的内侧面贴附紫外光过滤层。