CN105276769A - 一种光学***局部环境控制单元 - Google Patents

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Abstract

一种光学***局部环境控制单元属于光刻投影物镜环境控制领域，包括人机交互界面、主控单元、空气调节供给单元和环境控制单元。人机交互界面与主控单元之间通过串行通信总线连接，主控单元与空气调节供给单元之间通过串行通信总线连接，空气调节供给单元与环境控制单元之间通过软连接管连接，环境控制单元与主控单元之间通过以LEMO接插件形式接插的信号、电源线缆相连接。本发明结构简易，造价低；在光学***加工、检测等工艺过程中，能够很好的控制局部关键空间气浴环境的温度、洁净度，使其相对稳定，测量精度高、重复性好。

Description

一种光学***局部环境控制单元
技术领域
本发明属于光刻投影物镜环境控制领域，具体涉及一种光学***局部环境控制单元。
背景技术
光刻投影物镜是一种超精密光学***。随着加工和检测精度的提高，环境空间内的温度和洁净度引起的误差占的比例越来越高，因此用于保障关键部分的高稳定气浴条件是研制的重点和前提。然而为光刻投影物镜制造和检测的全流程设备提供所有范围空间气浴精密控制维护成本颇高，且不易实现温度波动度小于±0.05℃的严格控制，一种光学***局部环境控制单元是超精密光学***必备的配套装备，是保障超精密设备内部环境控制技术的重点和核心。
高精度光学干涉检测是实现超高精密光学***研发的关键工艺过程，以干涉检测测量为例，光学元件的面形和曲率半径都需要达到纳米级测量精度，要求区域内的基准温度范围为22±0.1℃，实验设备在区域内任意测试点温度波动值优于0.05℃/72小时，温度均匀性在区域内任意两点(间距400mm及以内)的温差不超0.05℃，相对湿度50％-55％RH可调，洁净度达到千级净化标准，光学***局部环境控制单元向目标区域内提供温度受控、湿度受控和层流处理后的空气，以满足上述严格的环境条件。
在光刻投影物镜机构装调过程中，电容传感器为调节机构提供精密位移基准，决定了调节机构的性能。利用激光干涉仪标定电容传感器性能的参数中，测量噪声、稳定性、线性度和重复性对环境温度非常敏感，直接影响标定结果。因此，需要一种局部环境控制单元，加入隔热装置，通过温度控制保障稳定的测量环境条件。
可调机构六轴测试台整个***包括被测对象、光路测量装置和工装平台三部分，由于在测量过程中使用多路多轴干涉仪，因此对于局部环境空间内的温度稳定性和洁净度有着极高要求，需要对关键区域使用隔离罩等手段进行保护，确保可调机构六轴测试台结果的准确性。
现有局部环境控制的设计方法主要利用基建的洁净工程，通过中央温度控制整个洁净间的温度稳定性，该实现方法成本颇大，维护不易，尤其是在目标区域实验品调试阶段，出入人员与物品带来的气流波动非常明显，且往往需要较严格环境目标区域空间较小，该传统方法浪费资源严重。
公开号为CN102564299A的中国专利公开了一种提高目标空间温度稳定性的实现装置及方法，发明应用于干涉仪等需要高温度稳定性的装置，可以实现长时间的高温度稳定性。该实现装置包括内壳、外壳、静压箱体、过滤器，以及内壳目标空间中的第一介质和内壳、外壳中间填充的第二介质。这种装置应用场合符合局部环境控制的条件要求，但是其设计采用气流从水平方向右侧顶端流向对侧底端的方式，不利于被控区域整体浸没在气浴环境中，而且通过气流运动路径，内壳内的区域颗粒物容易堆积，不能达到维持长时间洁净度要求。
一种光学***局部环境控制单元在22±0.1℃的初始自然风条件下，提供稳定度不低于±0.05℃，达到千级洁净度的局部区域封闭空间，目标区域可以移动并且调节大小(不大于1.6m*1.6m*2m)，通过闭环控制过程保证引入一定热源等干扰的前提下，控制精度不受影响。
公开号为CN102193565A的中国专利公开了一种气浴控温装置及方法，装置包括：气浴板、进风口、第一气帘和第二气帘，第一气帘和第二气帘相互垂直放置，位于孔板的同侧。该发明气浴控温装置及方法实现了对精密机械仪器进行控温时，气浴全区域覆盖最大化，通过垂直气浴和水平气浴复合叠加，实现了对分散结构的均匀控温。在该发明中未提及温度控制和采集过程，仅通过结构形式的改进达到空气温度均匀的效果，没有使用算法对目标区域进行智能控制，不适合复杂环境场合。
发明内容
本发明的目的在于提出一种光学***局部环境控制单元，目的在于解决制造光刻投影物镜时，在光学***加工、检测等工艺过程中，局部关键空间气浴环境的温度、洁净度不稳定，导致测量精度低、重复性差等问题。
本发明解决技术问题所采用的技术方案如下：
一种光学***局部环境控制单元，包括人机交互界面、主控单元、空气调节供给单元和环境控制单元；
人机交互界面与主控单元之间通过串行通信总线连接，主控单元与空气调节供给单元之间通过串行通信总线连接，串行通信总线距离为1-3m，空气调节供给单元与环境控制单元之间通过软连接管连接，软连接管距离为1-3m，环境控制单元与主控单元之间通过以LEMO接插件形式接插的信号、电源线缆相连接，信号、电源线缆距离为1-3m。
本发明的有益效果是：本发明结构简易，造价低；在光学***加工、检测等工艺过程中，能够很好的控制局部关键空间气浴环境的温度、洁净度，使其相对稳定，测量精度高、重复性好。
附图说明
图1为本发明的一种光学***局部环境控制单元结构示意图；
图2为本发明静压箱内高效过滤器布局俯视示意图；
图3为本发明静压箱内均风板和洁净灯布局俯视示意图；
图4为本发明的气浴孔示意图；
其中：1、人机交互界面，2、主控单元，3、空气调节供给单元，4、环境控制单元，5、自然风，6、过滤***，7、加热***，8、换热***，9、风机，10、出风口，11、止逆风阀，12、软连接管，13、静压箱，14、高效过滤器，15、均风板，16、传感器，17、工作台，18、304不锈钢方通，19、把手，20、合页，21、有机玻璃，22、万向脚轮，23、洁净灯，24、气浴孔，25、串行通信总线，26、LEMO接插件，27、304不锈钢板及框架。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的实施方式作进一步说明。
参见附图1，本发明的一种光学***局部环境控制单元包括人机交互界面1、主控单元2、空气调节供给单元3和环境控制单元4；
人机交互界面1与主控单元2之间通过串行通信总线25连接，主控单元2与空气调节供给单元3之间通过串行通信总线25连接，串行通信总线25距离为1-3m，空气调节供给单元3与环境控制单元4之间通过软连接管12连接，软连接管12距离为1-3m，环境控制单元4与主控单元2之间通过以LEMO接插件26形式接插的信号、电源线缆相连接，信号、电源线缆距离为1-3m。
人机交互界面1可选用7寸、10寸、12寸以及以上尺寸电阻式、电容式触摸屏幕，运行嵌入式组态软件或嵌入式***软件，通过串行通信总线25与主控单元2利用通信协议通信。人机交互界面1满足友好性和易用性，实时温度、颗粒度、风速等环境温度查询，执行使用者的观察和控制命令。
主控单元2可选用PLC、ARM、DSP、单片机等低功耗、高运算效率的智能控制单元，其应具备丰富的外设资源，如串行通信接口、模拟转数字接口、数字转模拟接口、通用I/O接口等，至少提供2路串行通信总线25连接与串行通信协议的解析能力，并可流畅运行PID控制算法，满足传感器16的信号采集和供电，实现空气调节供给单元3和环境控制单元4的闭环控制。
人机交互界面1和主控单元2可以集成在一个控制箱体内，以减小整个***单元的空间占用。
空气调节供给单元3包括过滤***6、加热***7、换热***8和风机9。具备温度和湿度初始条件要求的自然风5依次通过空气调节供给单元3内部的过滤***6、加热***7、换热***8和风机9，以达到目标气体被过滤、除湿以及温度控制的目的，最后通过出风口10将调节后供给空气传送至软连接管12中。
其中过滤***6包括板式初效过滤器、除湿装置、板式中效过滤器等，对自然风5进行两级过滤，经过该过程后可降低目标气体颗粒物的个数。加热***7包括功率可调节控制的电加热器，该过程有助于蒸发自然风5水分，达到一定除湿效果。
换热***8包括板式初级换热器和板式次级换热器，其热源可以选用恒温循环水机，该过程是通过解析主控单元2传递的闭环控制命令后执行的间接温控过程，因为目标气体在流经目标区域后，再流出融入外部环境，其热量经过传递后导致温度稳定性较差，重新以自然风5进入空气调节供给单元3后，需要稳定的热源传导温度，以积极影响目标气体。当受控区域目标气体温度低于设定点时，主控单元2发送升温命令，恒温循环水机加热中间介质，通过严密的盘管结构使得流经换热***8的目标气体与恒温循环水机中间介质充分接触换热，以提升目标气体温度；当受控区域目标气体温度高于设定点时，主控单元2发送降温命令，恒温循环水机降低中间介质温度，利用换热***8内的恒温循环水机中间介质降低目标气体温度。
环境控制单元4为立方体密闭气体受控区域，长宽高尺寸可变化，不大于1.6m*1.6m*2m，包括静压箱13、传感器16、工作台17、304不锈钢方通18、把手19、合页20、有机玻璃21、万向脚轮22、LEMO接插件26、304不锈钢板及框架27。
304不锈钢方通18为受控区域整体框架，低于5mm*5mm，主要起支撑框架作用。有机玻璃21为受控区域的四面墙；厚度为1-3mm，厚度不易过厚，应满足环境控制单元4外通过透明有机玻璃21清晰观察，且有效隔离外部环境换热。304不锈钢板及框架27为受控区域上下及中间两层的隔板；厚度为1mm，降低环境控制单元4整体重量。万向脚轮22安装在下层隔板下；LEMO接插件26安装在任意一面有机玻璃21上。
参见附图2，静压箱13包括高效过滤器14、均风板15，其受控气流由止逆风阀11进入，其直径为300mm。气流首先通过由高效过滤器14和304不锈钢板及框架27组成平面的第一层，然后通过由均风板15和304不锈钢板及框架27组成平面的第二层，最后到达局部环境受控区域。高效过滤器14其表面积小于等于静压箱13第一层。均风板15其表面积小于等于静压箱13第二层。
参见附图3，均风板15包括洁净灯23、气浴孔24。其中洁净灯23可选用T5型LED灯管，功率不高于9W，避免由于受控区域的气流流经灯管后，灯管释放大量热源影响温度稳定性。
参见附图4，气浴孔24可选用2-4mm直径，布局整齐，保证气流流经的均风效果。
传感器16包括测量空气特征的温度传感器、湿度传感器、风速传感器、洁净度传感器。传感器16布局在受控区域中央位置，高于工作台17。温度传感器选用多支热敏电阻式传感器，为保证温度均匀性测量要求，放置在同一水平线上，均匀间隔400mm。风速传感器选用热线式类型，得到较高精度测量结果。传感器16所有信号线通过LEMO接插件26连接至主控单元2，完成主控单元2实时数据采集的闭环控制算法。

Claims (10)

1.一种光学***局部环境控制单元，其特征在于，包括人机交互界面(1)、主控单元(2)、空气调节供给单元(3)和环境控制单元(4)；
所述人机交互界面(1)与主控单元(2)之间通过串行通信总线(25)连接，所述主控单元(2)与空气调节供给单元(3)之间通过串行通信总线(25)连接，串行通信总线(25)距离为1-3m，所述空气调节供给单元(3)与环境控制单元(4)之间通过软连接管(12)连接，软连接管(12)距离为1-3m，所述环境控制单元(4)与主控单元(2)之间通过以LEMO接插件(26)形式接插的信号、电源线缆相连接，信号、电源线缆距离为1-3m。
2.根据权利要求1所述的一种光学***局部环境控制单元，其特征在于，所述人机交互界面(1)选用7寸、10寸、12寸以及以上尺寸电阻式或电容式触摸屏幕，运行嵌入式组态软件或自行编制嵌入式软件，执行使用者的观察和控制操作，并通过串行通信总线(25)与主控单元(2)利用自定义格式串行通信协议通信。
3.根据权利要求1所述的一种光学***局部环境控制单元，其特征在于,所述主控单元(2)选用PLC、ARM、DSP或其他智能控制单元，其具备至少2路串行通信总线(25)连接与串行通信协议的解析能力，并可流畅运行PID控制算法,满足传感器(16)的信号采集和供电，实现空气调节供给单元(3)和环境控制单元(4)的闭环控制。
4.根据权利要求1所述的一种光学***局部环境控制单元，其特征在于,所述空气调节供给单元(3)包括过滤***(6)、加热***(7)、换热***(8)、风机(9),具备温度、湿度初始条件要求的自然风(5)依次通过空气调节供给单元(3)的过滤***(6)、加热***(7)、换热***(8)和风机(9),并通过出风口(10)将调节后供给空气传送至软连接管(12)中。
5.根据权利要求4所述的一种光学***局部环境控制单元，其特征在于,所述过滤***(6)包括板式初效过滤器、除湿装置、板式中效过滤器；所述加热***(7)包括功率可调节控制的电加热器；所述换热***(8)包括板式初级换热器和板式次级换热器，其冷源可以选用恒温循环水机。
6.根据权利要求1所述的一种光学***局部环境控制单元，其特征在于，所述环境控制单元(4)为立方体密闭气体受控区域，包括静压箱(13)、传感器(16)、304不锈钢方通(18)、有机玻璃(21)、万向脚轮(22)、LEMO接插件(26)、304不锈钢板及框架(27)；所述304不锈钢方通(18)为受控区域整体框架；304不锈钢板及框架(27)为受控区域上下及中间两层的隔板；有机玻璃(21)为受控区域的四面墙；万向脚轮(22)安装在下层隔板下；LEMO接插件(26)安装在任意一面有机玻璃(21)上。
7.根据权利要求6所述的一种光学***局部环境控制单元，其特征在于，所述304不锈钢方通(18)横截面积小于5mm*5*mm，所述有机玻璃(21)厚度为1-3mm，所述304不锈钢板及框架(27)厚度为1mm。
8.根据权利要求6所述的一种光学***局部环境控制单元，其特征在于，所述静压箱(13)包括高效过滤器(14)和均风板(15)，受控气流首先通过由高效过滤器(14)和304不锈钢板及框架(27)组成平面的第一层，然后通过由均风板(15)和304不锈钢板及框架(27)组成平面的第二层，最后到达局部环境受控区域；所述传感器(16)包括测量空气特征的温度传感器、湿度传感器、风速传感器、洁净度传感器。
9.根据权利要求8所述的一种光学***局部环境控制单元，其特征在于，所述高效过滤器(14)的表面积小于等于静压箱(13)第一层；均风板(15)的表面积小于等于静压箱(13)第二层。
10.根据权利要求9所述的一种光学***局部环境控制单元，其特征在于，所述均风板(15)包括洁净灯(23)和气浴孔(24)；所述洁净灯(23)选用T5型LED灯管，气浴孔(24)直径为2-4mm。
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