CN105154880B - 汽轮机转子轮槽铣刀表面TiCN多层复合涂层制备工艺 - Google Patents

汽轮机转子轮槽铣刀表面TiCN多层复合涂层制备工艺 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种汽轮机转子轮槽铣刀表面TiCN多层复合涂层制备工艺，包括刀具基体表面的预处理、清洗、装夹及载入刀具、多层复合涂层制备、冷却出炉、后处理。采用本发明的涂层制备工艺所形成的多层结构，以TiN和TiCN做为交替涂层，在轮槽铣刀表面制备层数为50的TiN和TiCN交替涂层，TiN为打底层，最外层是TiCN。采用该方法制备的涂层缓解涂层与刀具基体的残余应力，使基体与涂层的结合力更大，涂层结合程度更高，不易剥落。另外，在TiN的基础上引入C原子，引起晶格畸变和固溶强化作用，使刀具基体表面的硬度可达到HV3500，提高刀具耐磨性，延长刀具使用寿命，保证汽轮机转子加工质量，降低生产成本。

Description

汽轮机转子轮槽铣刀表面TiCN多层复合涂层制备工艺
技术领域
本发明涉及一种金属加工刀具涂层，具体涉及一种用于汽轮机转子轮槽加工用的枞树型铣刀表面TiCN多层复合涂层制备工艺，该多层复合涂层采用的是TiN和TiCN的交替涂层形式。
背景技术
转子是汽轮机生产中难度最高、周期最长、价格最贵的核心部件之一，其枞树型轮槽形状复杂、尺寸精度高，而且转子目前常用新型材料26NiCrMov145，该材料韧性好，但导热性差，加工硬化较严重，所以加工转子枞树型轮槽时切削热大，排屑差，切削温度高，轮槽刀具磨损严重，刀具寿命低，影响转子加工效率和质量。对于轮槽铣刀，老旧刀具涂层工艺制备方法已不能满足新型转子材料的加工要求。解决转子加工刀具的有效方法是采用先进的纳米多层复合涂层技术，新型涂层应具有更高的硬度、耐磨性、高温稳定性、高的结合强度与抗粘附性，提高加工26NiCrMov145材料的涂层刀具的综合性能和使用寿命。
元素掺杂成为当前涂层技术研究热点，通过掺杂第三元素可以显著提高刀具涂层性能。TiN属于间隙相，可对其添加金属或者非金属元素形成三元涂层，TiCN涂层相比较于TiN涂层具有更高的强度、硬度。单一的涂层虽然也具有高的硬度和良好的抗腐蚀性，但是在较高温度下还是容易被氧化而失去原有性能。采用多层复合涂层技术，不仅可以获得单一涂层所具有的性能，而且使涂层的综合性能得到很大程度的提高。多层结构缓和涂层的本征应力，且与刀具基体的结合力也显著提高。采用先进的TiCN纳米多层复合涂层技术可以有效解决26NiCrMov145材料转子加工难题。
发明内容
为了提高刀具的使用寿命，保证汽轮机转子加工精度，本发明提供一种汽轮机转子轮槽铣刀表面TiCN多层复合涂层制备工艺。该工艺提供一套严格的涂层刀具前处理与后处理方案，前处理有效提高涂层与刀具基体的结合力，解决涂层易剥落等技术问题，后处理通过对涂层表面去液滴等工艺可有效提高加工精度与表面加工质量，使轮槽铣刀表面有更高的硬度、耐磨性和高温稳定性。
本发明的技术方案是：一种汽轮机转子轮槽铣刀表面TiCN多层复合涂层制备工艺，包括以下步骤：
（1）刀具基体表面预处理：用无水酒精及喷砂对刀具基体表面进行除油、去毛刺、清除氧化物处理，粗化基体表面，提高膜基结合力；
（2）清洗：将预处理后的刀具再用无水酒精进行清洗并吹干，并将清洗后的刀具基体装夹送入超声波清洗机中进行超声波清洗；
（3）装夹及载入刀具基体：将超声波清洗后并烘干的刀具装夹在喷涂架上，并载入喷涂炉腔内；
（4）多层复合涂层制备：
a．将预处理后的刀具基体均匀地固定在带有自传和公转功能的旋转喷膜架锥形套内，喷膜架公转转速为3转/分钟；将喷涂炉腔抽成真空，加热至450℃，加热时间为100分钟，通入氩气，当真空度达到5.0×10-3mBar时，设置偏压为800V，清洁刀具基体，清洁时间为12分钟；
b．Ti靶通电，通电电流为180A，向喷涂炉腔中通入氮气与乙炔气体，保持真空度为9.0×10-3mBar，设置偏压为150V，通过调节氮气和乙炔的流量，溅射Ti靶，制备TiN和TiCN交替涂层，TiN为打底层，最外层为TiCN，沉积时间为85分钟，制备50层的多层结构；结束涂层后，待炉温冷却至150-200℃后取出刀具，冷却至常温；
（5）后处理：将冷却至室温的涂层刀具再进行喷砂处理，用于去除涂层过程中产生的液滴，并起到表面强化作用。
所述步骤（1）包括以下步骤：
a．将刀具基体完全浸入无水酒精中，利用人工对表面进行除油除杂清洗；
b．将酒精清洗后并蒸发干燥的刀具基体放入喷砂设备中，使得喷嘴与刀具基体的距离为100～200mm，喷射方向与刀具基体表面法线方向间夹角为20°～30°；
所述步骤（2）包括以下步骤：
a．将刀具基体完全浸入无水酒精中，利用人工对表面进行除油除杂清洗；
b．将超声波清洗机的各个装有清洗液的水腔预加热至60℃，并将酒精清洗后的刀具基体装夹，送入超声波清洗机的炉腔内清洗，清洗时间为35分钟；
c．清洗完成后，随炉烘干、冷却，取出刀具基体。
所述步骤（5）中将冷却至室温的涂层刀具再进行喷砂处理具体方法是：将涂层后的刀具基体装夹于喷砂机的旋转架上，设置旋转速度为3转/分钟，喷砂时间为10分钟，启动程序进行喷砂。
本发明得到的涂层刀具的有益效果是：本发明得到的TiCN多层复合涂层厚度为单面4-5微米，刀具涂层表面的摩擦系数不大于0.25，涂层的耐热及抗高温氧化温度大于600℃，涂层的表面硬度为HV3500，与以往涂层相比，刀具的综合性能得到提高，寿命大大延长。
附图说明
图1是汽轮机转子轮槽半精加工轮槽表面形状示意图；
图2是本发明的汽轮机转子轮槽铣刀复合多层刀具涂层结构示意图。
具体实施方式
本发明所采用的涂层制备工艺技术方案是：依据转子材料、刀具材料、切削加工方式、刀具几何形状（图1）、切削加工要求等进行涂层设计，包括涂层成份、涂层结构、涂层工艺。该涂层采用多层结构，以TiN和TiCN做为交替涂层，在轮槽铣刀表面制备层数为50的TiN涂层1和TiCN涂层2的交替涂层（图2），TiN为打底层，最外层是TiCN。采用阴极电弧技术沉积TiN/TiCN多层复合涂层，沉积温度低，对刀具基体3没有损伤，制备的涂层热应力小，表面均匀致密，光洁度好。采用TiN作为打底层和中间过渡层，缓和涂层生长的本征应力，使涂层与刀具基体结合程度提高，避免涂层脱落。
本发明所采用的涂层工艺技术方案对刀具基体进行严格的涂层前处理，并对涂层后的刀具进行了相应的后处理。采用先进的喷砂设备，可彻底清除刀具表面的油脂、污垢、氧化皮、锈、腐蚀物、氧化物和其他杂质，可有效提高涂层与刀具基体表面的附着力。对涂层后的刀具进行喷砂处理，可去除刀具涂层后表面产生的液滴现象，还可对刀具表面起到强化作用。
本发明所采用的涂层制备工艺方案主要步骤有：
（1）刀具基体表面的预处理：利用无水酒精及喷砂对刀具基体表面进行除油、去毛刺、清除氧化物处理，粗化基体表面，提高膜基结合力；
（2）清洗：将预处理后的刀具再次利用无水酒精进行清洗并吹干，并将清洗后的刀具基体进行装夹送入超声波清洗机中进行超声波清洗；
（3）装夹及载入刀具基体：将超声波清洗后并已烘干的刀具装夹在喷涂架上，并载入喷涂炉腔内；
（4）多层复合涂层的制备：关闭炉腔门，启动程序，开始制备复合多层涂层。
（5）冷却出炉：涂层程序完成后，基体在真空下随炉冷却至120℃，然后出炉空冷至室温；
（6）涂层后工件后处理：将冷却至室温的工件再次进行喷砂处理，一方面可以去除涂层过程中产生的液滴，另一方面可以起到表面强化的作用。
采用该方法制备的涂层缓解消除了涂层与刀具基体的残余应力，使得基体与涂层的结合力更大强，涂层结合程度更高，不易剥落。此外，在TiN的基础上引入C原子，引起晶格畸变与固溶强化的作用，使得刀具基体表面的硬度可以达到HV3500，提高刀具耐磨性，延长刀具使用寿命，保证汽轮机转子的加工精度，降低生产成本。
本发明所使用的阴极电弧涂层技术设备是由瑞士生产，其型号为PlFC-04 ARC/PRO。所使用的清洗机是意大利Novatec 2CRD 200超声波清洗机生产线，自动完成清洗、烘干、冷却。所使用的喷砂设备是由中国生产，其型号为FLB-D-84 。
为了更好的理解本发明，下面说明汽轮机转子加工整体式粉末冶金高速钢（M42）轮槽铣刀涂层制备实施过程：
（1）刀具基体表面的预处理：先利用无水酒精人工清洗刀具表面，然后将轮槽铣刀放于喷砂机中，使喷嘴距刀具基体表面150mm，喷射方向与刀具基体表面法线的方向的夹角为25°；
（2）清洗：将预处理后的刀具再次利用无水酒精进行清洗并吹干，将超声波清洗机的各个装有清洗液的水腔预加热至60℃，并将清洗后的刀具基体进行装夹送入超声波清洗机中进行超声波清洗，清洗时间为35分钟，清洗完成后，轮槽铣刀随机内烘干、冷却，待完全烘干后取出轮槽铣刀，要求保证刀具基体上无水渍痕迹；
（3）装夹及载入刀具基体：将超声波清洗后并已烘干的轮槽铣刀装夹在带有自传和公转功能的旋转喷涂架上，并载入喷涂炉腔内，喷膜架公转转速为3转/分钟；
（4）多层复合涂层的制备：将炉腔抽成真空，并利用真空炉腔内配备的加热管装置对炉腔及刀具基体进行梯度升温加热，加热至450℃，加热时间为100分钟，通入氩气，5.0×10-3mBar时，设置偏压为800V，刻蚀清洁刀具基体，清洁时间为12分钟；
（5）Ti靶通电，通电电流为180A，向炉腔中通入氮气与乙炔气体，保持真空度为9.0×10-3mBar，设置偏压为150V，通过调节氮气和乙炔的流量，溅射Ti靶，制备TiN和TiCN交替涂层，沉积时间为85分钟，制备50层的多层结构。
（6）冷却出炉：待涂层完成后，基体在真空下随炉冷却至120℃，然后出炉空冷至室温；
（7）涂层后刀具后处理：将冷却至室温的涂层刀具再次进行喷砂处理，将涂层后的轮槽铣刀装夹于喷砂机的旋转架上，设置旋转速度为3转/分钟，启动程序进行喷沙，喷砂时间为10分钟。
涂层后试验证明，利用该制备工艺在刀具材料为W2Mo9Cr4VCo8（M42）的轮槽铣刀上制备的TiN/TiCN多层复合涂层，该涂层均匀致密，呈灰黑色且与刀具的结合程度好，韧性高。经检测，在该刀具材料上制备的涂层厚度为单面4-5微米，涂层的维氏硬度为HV3500，涂层与该刀具材料的结合力好，高温抗氧化性强。与以往涂层相比，刀具的综合性能得到提高，同等切削条件和工艺参数下，刀具耐用度提高20%以上，转子加工成本降低20%以上，被加工零件的表面质量明显提高。

Claims (4)

1.一种汽轮机转子轮槽铣刀表面TiCN多层复合涂层制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：
（1）刀具基体表面预处理：用无水酒精及喷砂对刀具基体表面进行除油、去毛刺、清除氧化物处理，粗化基体表面，提高膜基结合力；
（2）清洗：将预处理后的刀具再用无水酒精进行清洗并吹干，并将清洗后的刀具基体装夹送入超声波清洗机中进行超声波清洗；
（3）装夹及载入刀具基体：将超声波清洗后并烘干的刀具装夹在喷涂架上，并载入喷涂炉腔内；
（4）多层复合涂层制备：
a．将预处理后的刀具基体均匀地固定在带有自传和公转功能的旋转喷膜架锥形套内，喷膜架公转转速为3转/分钟；将喷涂炉腔抽成真空，加热至450℃，加热时间为100分钟，通入氩气，当真空度达到5.0×10-3mBar时，设置偏压为800V，清洁刀具基体，清洁时间为12分钟；
b．Ti靶通电，通电电流为180A，向喷涂炉腔中通入氮气与乙炔气体，保持真空度为9.0×10-3mbar ，设置偏压为150V，通过调节氮气和乙炔的流量，溅射Ti靶，制备TiN和TiCN交替涂层，TiN为打底层，最外层为TiCN，沉积时间为85分钟，制备50层的多层结构；结束涂层后，待炉温冷却至150-200℃后取出刀具，冷却至常温；
（5）涂层后刀具后处理：将冷却至室温的涂层刀具再进行喷砂处理，用于去除涂层过程中产生的液滴，并起到表面强化作用。
2.根据权利要求1所述的汽轮机转子轮槽铣刀表面TiCN多层复合涂层制备工艺，其特征在于，所述步骤（1）包括以下步骤：
a．将刀具基体完全浸入无水酒精中，利用人工对表面进行除油除杂清洗；
b．将酒精清洗后并蒸发干燥的刀具基体放入喷砂设备中，使得喷嘴与刀具基体的距离为100～200mm，喷射方向与刀具基体表面法线方向间夹角为20°～30°。
3.根据权利要求1所述的汽轮机转子轮槽铣刀表面TiCN多层复合涂层制备工艺，其特征在于，所述步骤（2）包括以下步骤：
a．将刀具基体完全浸入无水酒精中，利用人工对表面进行除油除杂清洗；
b．将超声波清洗机的各个装有清洗液的水腔预加热至60℃，并将酒精清洗后的刀具基体装夹，送入超声波清洗机的炉腔内清洗，清洗时间为35分钟；
c．清洗完成后，随炉烘干、冷却，取出刀具基体。
4.根据权利要求1所述的汽轮机转子轮槽铣刀表面TiCN多层复合涂层制备工艺，其特征在于，所述步骤（5）中将冷却至室温的涂层刀具再进行喷砂处理具体方法是：将涂层后的刀具基体装夹于喷砂机的旋转架上，设置旋转速度为3转/分钟，喷砂时间为10分钟，启动程序进行喷砂。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106065460B (zh) * 2016-05-23 2018-11-30 圆兴(厦门)精密工具有限公司 微型挤压丝锥复合涂层及其制备工艺和制备设备
CN109182663A (zh) * 2018-08-14 2019-01-11 浙江钜丰冲压科技有限公司 一种耐磨损转子的制备方法
CN109182984B (zh) * 2018-09-21 2020-10-23 西安浩元航空科技有限公司 一种用于丝锥表面制备TiCN涂层的方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3109272B2 (ja) * 1992-08-04 2000-11-13 三菱マテリアル株式会社 耐欠損性および耐摩耗性にすぐれた表面被覆炭窒化チタン基サーメット製切削工具
JP3997084B2 (ja) * 2001-12-27 2007-10-24 株式会社不二越 硬質炭素被覆膜の脱膜方法及び再生方法並びに再生基材
CN101318394A (zh) * 2007-06-06 2008-12-10 厦门金鹭特种合金有限公司 一种应用于切削工具的新型TiAlN复合多重涂层
CN101678466A (zh) * 2007-05-30 2010-03-24 住友电工硬质合金株式会社 表面被覆切削工具
CN103160793A (zh) * 2011-12-16 2013-06-19 中国科学院兰州化学物理研究所 超厚TiN-TiCN多层复合薄膜材料的制备方法
CN104302804A (zh) * 2012-12-26 2015-01-21 伍尚华 一种采用物理气相沉积工艺在氮化硅切削刀具表面制备Al2O3涂层及其复合涂层的方法
CN104593737A (zh) * 2015-01-13 2015-05-06 上海应用技术学院 高硅超硬pvd涂层制备工艺
CN105154825A (zh) * 2015-09-22 2015-12-16 华南理工大学 一种等离子辅助电弧技术制备TiCN成分梯度硬质涂层的方法
CN105269010A (zh) * 2014-06-30 2016-01-27 株洲钻石切削刀具股份有限公司 改善涂层结构的切削刀片及其制备方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3109272B2 (ja) * 1992-08-04 2000-11-13 三菱マテリアル株式会社 耐欠損性および耐摩耗性にすぐれた表面被覆炭窒化チタン基サーメット製切削工具
JP3997084B2 (ja) * 2001-12-27 2007-10-24 株式会社不二越 硬質炭素被覆膜の脱膜方法及び再生方法並びに再生基材
CN101678466A (zh) * 2007-05-30 2010-03-24 住友电工硬质合金株式会社 表面被覆切削工具
CN101318394A (zh) * 2007-06-06 2008-12-10 厦门金鹭特种合金有限公司 一种应用于切削工具的新型TiAlN复合多重涂层
CN103160793A (zh) * 2011-12-16 2013-06-19 中国科学院兰州化学物理研究所 超厚TiN-TiCN多层复合薄膜材料的制备方法
CN104302804A (zh) * 2012-12-26 2015-01-21 伍尚华 一种采用物理气相沉积工艺在氮化硅切削刀具表面制备Al2O3涂层及其复合涂层的方法
CN105269010A (zh) * 2014-06-30 2016-01-27 株洲钻石切削刀具股份有限公司 改善涂层结构的切削刀片及其制备方法
CN104593737A (zh) * 2015-01-13 2015-05-06 上海应用技术学院 高硅超硬pvd涂层制备工艺
CN105154825A (zh) * 2015-09-22 2015-12-16 华南理工大学 一种等离子辅助电弧技术制备TiCN成分梯度硬质涂层的方法

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